JP2014106151A - 半導体圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体圧力センサ1は、周囲の圧力を検出する感圧素子10と、感圧素子10が搭載され、溝21が形成された基板20と、基板20上において感圧素子10を被覆するキャップ30と、を備え、基板20とキャップ30との間に、キャップ30の端縁の一部を基板20に接合する接合部41と、キャップ30の端縁の他の一部と基板20とを非接合状態にする非接合部42と、が設けられ、溝21は、非接合部42においてキャップ30の端縁と対向する。
【選択図】図1
Description
10,110,210,310,510…感圧素子
11,111,211,311,511…ダイヤフラム
20,120,220,320,520…基板
20A,20B,120A,120B,220A,220B,320A…端面
21,121,221,321…溝
30,130,230,330,530…キャップ
40,140,240,340,540…接合樹脂
41,141,241,341…接合部
42,142,242,342…非接合部
531…貫通孔
Claims (4)
- 周囲の圧力を検出する感圧素子と、
溝が形成され、前記感圧素子が搭載された基板と、
前記基板上において前記感圧素子を被覆するキャップと、
を備え、
前記基板と前記キャップとの間に、
前記キャップの端縁の一部を前記基板に接合する接合部と、
前記キャップの端縁の他の一部と前記基板とを非接合状態にする非接合部と、
が設けられ、
前記溝は、前記非接合部において前記キャップの端縁と対向する、半導体圧力センサ。 - 前記溝は前記感圧素子よりも幅が狭く、前記感圧素子は前記溝の上部に配置された、請求項1に記載の半導体圧力センサ。
- 前記溝は前記感圧素子よりも幅が広く、前記感圧素子は前記溝内に配置された、請求項1に記載の半導体圧力センサ。
- 前記溝は、前記感圧素子よりも幅が狭く、前記感圧素子の両端部近傍に形成された、請求項1に記載の半導体圧力センサ。
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JP2012260154A JP6015384B2 (ja) | 2012-11-28 | 2012-11-28 | 半導体圧力センサ |
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-
2012
- 2012-11-28 JP JP2012260154A patent/JP6015384B2/ja active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6015384B2 (ja) | 2016-10-26 |
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