JP2018041928A - 処理液供給装置及び処理液供給装置の運用方法並びに記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
ノズルから基板に対して処理液を供給する処理液供給装置において、
前記ノズルに処理液を供給するための処理液供給路を形成する絶縁性の流路部材と、
前記処理液供給路の処理液に接触した電極と、
前記電極の表面電位を測定するための表面電位測定部と、
前記表面電位測定部により測定された測定電位を微分する微分回路部と、を備えたことを特徴とする。
絶縁性の流路部材により形成される処理液供給路からノズルを介して基板に対して処理液を供給する処理液供給装置の運用方法において、
前記処理液供給路の処理液に接触した電極の表面電位を測定する工程と、
前記工程にて測定された測定電位を微分する工程と、
前記測定電位の微分値が異常であるか否かを判定する工程と、を含むことを特徴とする。
ノズルから基板に対して処理液を供給する処理液供給装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、前記処理液供給装置の運用方法を実行するためのステップ群を備えていることを特徴とする。
さらに表面電位測定部7による測定電位の微分値が放電信号と対応することを把握している。流路部材のある個所で放電が起こるということは、当該個所で電界が集中しているということであり、当該個所から離れた部位においても前記放電により電位が急激に変化する。このため、測定電位の微分により電界の強さが把握でき、放電(部分放電)を検出できる。
図6に示すテスト流路を用いて評価試験を行った。このテスト流路は、第1のポンプP1と第2のポンプP2を備えると共に、これら第1及び第2のポンプP1、P2の下流側に、流量検出部Mと、フィルタFと、バルブVと、測定部4と、を備えたものである。測定部4は上述の第1〜第5の測定部41〜45と同様に構成されている。そして、処理液を、第1のポンプユニットP1→フィルタF→測定部4→第2のポンプユニットP2→フィルタF→測定部4→第1のポンプユニットP1のルートで循環させて、電極棒61の表面電位を測定し、この測定電位の微分値(時間微分)を取得した。処理液としては酢酸ブチル(体積抵抗率:3.4×1011Ω・cm)を用い、処理液の流速はmax2000ml/min、ポンプサイクルは15秒×40回、サンプリング周期は20msとした。
100 液処理モジュール
11、12 ノズル
2 処理液供給路
61 電極棒
7 表面電位測定部
71 測定端
81 第1のコントローラ
82 第2のコントローラ
9 制御部
Claims (9)
- ノズルから基板に対して処理液を供給する処理液供給装置において、
前記ノズルに処理液を供給するための処理液供給路を形成する絶縁性の流路部材と、
前記処理液供給路の処理液に接触した電極と、
前記電極の表面電位を測定するための表面電位測定部と、
前記表面電位測定部により測定された測定電位を微分する微分回路部と、を備えたことを特徴とする処理液供給装置。 - 前記微分回路部により得られた測定電位の微分値が異常であるか否かを判定する判定部と、
前記判定部により異常であると判定されたときに警報を出力する警報出力部と、
を備えたことを特徴とする請求項1記載の処理液供給装置。 - 前記判定部は、前記微分値が閾値を越えた回数が設定回数に達した時に異常であると判定するように構成されていることを特徴とする請求項2記載の処理液供給装置。
- 前記流路部材の途中部分が当該流路部材における途中部分以外の部位に対して着脱自在に設けられ、
前記電極は、一端側が前記途中部分を貫通して当該途中部分の流路内に位置し、他端側が当該途中部分の外に位置するように構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の処理液供給装置。 - 前記電極及び前記表面電位測定部の測定端の周囲は、シールド部材により囲まれていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の処理液供給装置。
- 前記シールド部材により囲まれている空間を不活性ガスによりパージするためのパージガス供給部が設けられていることを特徴とする請求項5記載の処理液供給装置
- 絶縁性の流路部材により形成される処理液供給路からノズルを介して基板に対して処理液を供給する処理液供給装置の運用方法において、
前記処理液供給路の処理液に接触した電極の表面電位を測定する工程と、
前記工程にて測定された測定電位を微分する工程と、
前記測定電位の微分値が異常であるか否かを判定する工程と、を含むことを特徴とする処理液供給装置の運用方法。 - 前記判定する工程により異常であると判定されたときに警報を出力することを特徴とする請求項7記載の処理液供給装置の運用方法。
- ノズルから基板に対して処理液を供給する処理液供給装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項7または8に記載の処理液供給装置の運用方法を実行するためのステップ群を備えていることを特徴とする記憶媒体。
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