JP2018040762A - 検査装置、検査システム、検査方法、及び検査プログラム - Google Patents
検査装置、検査システム、検査方法、及び検査プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018040762A JP2018040762A JP2016176699A JP2016176699A JP2018040762A JP 2018040762 A JP2018040762 A JP 2018040762A JP 2016176699 A JP2016176699 A JP 2016176699A JP 2016176699 A JP2016176699 A JP 2016176699A JP 2018040762 A JP2018040762 A JP 2018040762A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- value
- voltage
- inspection
- signal
- inspected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
Description
(第1の実施形態)
本実施形態における構成について説明する。
(第2の実施形態)
次に、本発明の第1の実施形態の基本である、本発明の第2の実施形態について説明する。本実施形態は、本発明の最小限の構成を有する。
110 検査対象基板
120、130 デバイス
140 検査装置
150 PC
160 デバイス間インタフェース
210 スイッチ
230 検査部
250 制御部
260 降圧回路
270 昇圧回路
102 検査システム
112 検査対象装置
142 検査装置
152 PC
232 検査部
252 制御部
262 降圧回路
272 昇圧回路
902 記憶装置
903 CPU
904 キーボード
905 モニタ
906 内部バス
907 検査装置
908 I/O
Claims (10)
- 高値側の値又は低値側の値の何れかをとる2値信号を表す被検査信号の電圧を降圧した第1の電圧を出力する降圧回路と、
前記被検査信号の電圧を昇圧した第2の電圧を出力する昇圧回路と、
前記被検査信号が前記高値側の値又は前記低値側の値のいずれを表すかを示す期待値が前記高値側の値を示す場合に、
前記被検査信号を前記降圧回路へ入力させ、
前記降圧回路から出力された前記第1の電圧が所定の下限値以上であるか否かの検査を実行し、
前記期待値が前記低値側の値を示す場合に、
前記被検査信号を前記昇圧回路へ入力させ、
前記昇圧回路から出力された前記第2の電圧が所定の上限値以下であるか否かの検査を行う
検査手段と
を備えた検査装置。 - 前記検査手段は、
特定のインタフェース規格に対応する前記下限値と前記上限値との複数の組から、特定の前記下限値又は特定の前記上限値を選択し、
選択した前記特定の前記下限値又は前記特定の前記上限値を用いて前記検査を行う
請求項1に記載の検査装置。 - 前記降圧回路は、前記被検査信号の電圧を分圧した前記第1の電圧を出力する分圧抵抗であり、
前記昇圧回路は、前記被検査信号の電圧と、前記低値側の値として予想される前記被検査信号の電圧の上限より高い定電圧との間の電圧を分圧した前記第2の電圧を出力する分圧抵抗である
請求項1又は2に記載の検査装置。 - 前記定電圧は、特定のインタフェース規格に対応する電源電圧である
請求項3に記載の検査装置。 - 前記期待値、前記下限値、及び前記上限値は、前記検査装置に接続されたコンピュータにより選択され、
前記コンピュータは前記検査装置から検査結果を受け取る
請求項1乃至4のいずれかに記載の検査装置。 - 複数の、前記降圧回路と前記昇圧回路と前記検査手段との組と、
検査対象装置に対して固定され、前記検査対象装置の異なる位置に接触する複数の電極を介して、前記検査対象装置から前記被検査信号を前記昇圧回路と前記検査手段との組毎に入力する検査用基板と
を更に備える請求項1乃至5のいずれかに記載の検査装置。 - 前記検査対象装置は、デバイス間インタフェースを介して接続された複数のデバイスを備え、
前記所定の位置は、前記デバイス間インタフェースに含まれる接点の位置である
請求項6に記載の検査装置。 - 高値側の値又は低値側の値の何れかをとる2値信号を表す被検査信号の電圧を降圧した第1の電圧を出力する降圧回路と、
前記被検査信号の電圧を昇圧した第2の電圧を出力する昇圧回路と、
前記被検査信号が前記高値側の値又は前記低値側の値のいずれを表すかを示す期待値が前記高値側の値を示す場合に、
前記被検査信号を前記降圧回路へ入力させ、
前記降圧回路から出力された前記第1の電圧が所定の下限値以上であるか否かの検査を実行し、
前記期待値が前記低値側の値を示す場合に、
前記被検査信号を前記昇圧回路へ入力させ、
前記昇圧回路から出力された前記第2の電圧が所定の上限値以下であるか否かの検査を行う
検査手段と
を含む検査装置と、
前記検査装置を制御し、
前記検査装置による前記検査の結果を収集するコンピュータと
を備える検査システム。 - 高値側の値又は低値側の値の何れかをとる2値信号を表す被検査信号の電圧を検査する検査方法であって、
前記被検査信号が前記高値側の値又は前記低値側の値のいずれを表すかを示す期待値が前記高値側の値を示す場合に、
前記被検査信号を降圧した第1の電圧を生成し、前記第1の電圧が所定の下限値以上であるか否かの検査を実行し、
前記期待値が前記低値側の値を示す場合に、
前記被検査信号を昇圧した第2の電圧を生成し、前記第2の電圧が所定の上限値以下であるか否かの検査を行う
検査方法。 - 高値側の値又は低値側の値の何れかをとる2値信号を表す被検査信号の電圧を検査する検査プログラムであって、
前記被検査信号が前記高値側の値又は前記低値側の値のいずれを表すかを示す期待値が前記高値側の値を示す場合に、
前記被検査信号を降圧した第1の電圧を生成し、前記第1の電圧が所定の下限値以上であるか否かの検査を実行し、
前記期待値が前記低値側の値を示す場合に、
前記被検査信号を昇圧した第2の電圧を生成し、前記第2の電圧が所定の上限値以下であるか否かの検査を行う
検査処理
をコンピュータに実行させる検査プログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016176699A JP6798834B2 (ja) | 2016-09-09 | 2016-09-09 | 検査装置、検査システム、検査方法、及び検査プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016176699A JP6798834B2 (ja) | 2016-09-09 | 2016-09-09 | 検査装置、検査システム、検査方法、及び検査プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018040762A true JP2018040762A (ja) | 2018-03-15 |
JP6798834B2 JP6798834B2 (ja) | 2020-12-09 |
Family
ID=61625973
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016176699A Active JP6798834B2 (ja) | 2016-09-09 | 2016-09-09 | 検査装置、検査システム、検査方法、及び検査プログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6798834B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06186292A (ja) * | 1992-12-22 | 1994-07-08 | Sharp Corp | Lsi検査装置 |
JPH098634A (ja) * | 1995-06-22 | 1997-01-10 | Nec Corp | 集積回路の出力電気レベル可変装置 |
JP2005237164A (ja) * | 2004-02-23 | 2005-09-02 | Mitsubishi Electric Corp | 電源回路 |
JP2006058042A (ja) * | 2004-08-17 | 2006-03-02 | Advantest Corp | 試験エミュレータ、エミュレーションプログラム、及び半導体デバイス製造方法 |
JP2009270903A (ja) * | 2008-05-07 | 2009-11-19 | Texas Instr Japan Ltd | 半導体装置の試験装置および試験方法 |
JP2012073166A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Advantest Corp | 試験装置および試験方法 |
-
2016
- 2016-09-09 JP JP2016176699A patent/JP6798834B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06186292A (ja) * | 1992-12-22 | 1994-07-08 | Sharp Corp | Lsi検査装置 |
JPH098634A (ja) * | 1995-06-22 | 1997-01-10 | Nec Corp | 集積回路の出力電気レベル可変装置 |
JP2005237164A (ja) * | 2004-02-23 | 2005-09-02 | Mitsubishi Electric Corp | 電源回路 |
JP2006058042A (ja) * | 2004-08-17 | 2006-03-02 | Advantest Corp | 試験エミュレータ、エミュレーションプログラム、及び半導体デバイス製造方法 |
JP2009270903A (ja) * | 2008-05-07 | 2009-11-19 | Texas Instr Japan Ltd | 半導体装置の試験装置および試験方法 |
JP2012073166A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Advantest Corp | 試験装置および試験方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6798834B2 (ja) | 2020-12-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2016017292A1 (ja) | デバイスの検査方法、プローブカード、インターポーザ及び検査装置 | |
JP5183447B2 (ja) | 試験装置および診断方法 | |
JP2018147959A (ja) | 検査システム、ならびに検査システムの故障解析・予知方法 | |
WO2018179890A1 (ja) | 検査システム、ウエハマップ表示器、ウエハマップ表示方法、およびコンピュータプログラム | |
US20200174073A1 (en) | Device inspection method | |
JP6104578B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
JP6006345B2 (ja) | 検査用ウエハおよび試験システム | |
JP2010133817A (ja) | 絶縁検査装置および絶縁検査方法 | |
JP4748181B2 (ja) | 半導体装置の試験装置および試験方法 | |
RU2534387C1 (ru) | Способ автоматизированного контроля электрических цепей сложных технических изделий и устройство для реализации этого способа | |
JP6798834B2 (ja) | 検査装置、検査システム、検査方法、及び検査プログラム | |
US11067623B2 (en) | Test system and method of operating the same | |
JP4314096B2 (ja) | 半導体集積回路検査装置および半導体集積回路検査方法 | |
JP2010002315A (ja) | 半導体試験装置とそのdc特性試験方法 | |
JP2010165819A (ja) | 半導体集積回路の試験装置、試験方法 | |
JP5474392B2 (ja) | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 | |
JP2003302444A (ja) | 試験装置 | |
JP6222966B2 (ja) | 基板検査装置および基板検査方法 | |
CN117310589A (zh) | 一种晶圆测试系统的异常检测方法、装置及介质 | |
JP6143279B2 (ja) | 検査手順データ生成装置および検査手順データ生成プログラム | |
KR20220160772A (ko) | 시스템 반도체의 테스트를 위한 소켓 및 보드의 오픈/쇼트 테스트 시스템 | |
CN116540066A (zh) | 一种笔电类显示模组pcba电性能检测系统 | |
JP2006058104A (ja) | 半導体装置の検査装置 | |
JP2011029512A (ja) | 半導体集積回路の試験方法及び試験装置 | |
JP2018036052A (ja) | 検査装置および検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20170706 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190820 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200730 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201027 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201119 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6798834 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |