CN117310589A - 一种晶圆测试系统的异常检测方法、装置及介质 - Google Patents

Abstract

本申请公开一种晶圆测试系统的异常检测方法、装置及介质，涉及晶圆测试领域，用于实现晶圆测试系统的异常测试，针对目前依赖于人工经验对测试系统进行评估所存在的问题，提供一种晶圆测试系统的异常检测方法，通过预设的多个不同测试项目，基于相应的测试工具对特定参数进行检测；通过控制源表以及电开关的工作模拟测试环境；最后基于统一的判断标准对测试结果进行确定。整个测试流程基于统一的规范标准进行，不依赖于人员经验，并且可以在晶圆测试系统正式投入使用之前即进行测试，更好地满足了实际工程生产的需要。

Description

一种晶圆测试系统的异常检测方法、装置及介质

技术领域

本申请涉及晶圆测试领域，特别是涉及一种晶圆测试系统的异常检测方法、装置及介质。

背景技术

在当今的芯片产业中，晶圆是芯片生产必不可少的原料，同时，晶圆的加工质量也成为限制芯片性能的一个重要因素。目前已存在如图1所示的晶圆测试系统，通过对生产出的晶圆的各项参数指标进行测试以保证晶圆质量。

但是，对于晶圆测试系统本身的性能测试，目前还是依靠于测试人员在实际使用测试系统时根据自身经验以及测试系统的表现进行粗略的评估。准确性不足的同时也存在较高的滞后性，需要测试系统实际投入使用且使用一段时间后才能粗略评判，不符合实际工程生产的需要。

所以，现在本领域的技术人员亟需要一种晶圆测试系统的异常检测方法，解决目前对于晶圆测试系统依赖测试人员凭借经验在实际使用中进行评估所带来的缺陷。

发明内容

本申请的目的是提供一种晶圆测试系统的异常检测方法、装置及介质，以解决目前对于晶圆测试系统依赖测试人员凭借经验在实际使用中进行评估所带来的缺陷。

为解决上述技术问题，本申请提供一种晶圆测试系统的异常检测方法，包括：

根据当前进行的测试项目为接入相应的测试工具以替代测试系统的探针卡；

根据测试项目，控制测试系统的源表阵列的信号输出、以及测试系统的电开关的开关状态，检测相应的测试参数，并根据测试参数确定测试结果；

切换当前进行的测试项目，并返回至根据当前进行的测试项目更换测试系统的探针卡为相应的测试工具的步骤，直至预设的所有测试项目完成。

优选的，测试项目包括：线阻测试、漏电流测试、电容测试、位置测试和校准测试；

其中：

A)当测试项目为线阻测试时，测试工具为短路设置的固定电阻负载板；

根据测试项目，控制测试系统的源表阵列的信号输出、以及测试系统的电开关的开关状态，检测相应的测试参数，并根据测试参数确定测试结果包括：

源表阵列无信号输出、电开关接通任意两条支路；检测固定电阻负载板的电阻值；若电阻值小于两条支路的设计线阻值之和，则测试结果为异常，否则为正常；

其中，支路为源表阵列中任一源表与测试系统任一探针组件之间的电路；

B)当测试项目为漏电流测试时，测试工具为测试用探针卡；

根据测试项目，控制测试系统的源表阵列的信号输出、以及测试系统的电开关的开关状态，检测相应的测试参数，并根据测试参数确定测试结果包括：

源表阵列输出固定电压信号、电开关接通任意一条支路；检测对应探针组件处的电流值；若电流值大于预设的漏电流阈值，则测试结果为异常，否则为正常；

C)当测试项目为电容测试时，测试工具为测试用探针卡；

根据测试项目，控制测试系统的源表阵列的信号输出、以及测试系统的电开关的开关状态，检测相应的测试参数，并根据测试参数确定测试结果包括：

源表阵列无信号输出、电开关断开；检测任意两个探针组件之间的电容值；若电容值在预设的电容范围之外，则测试结果为异常，否则为正常；

D)当测试项目为位置测试时，测试工具为测试用探针卡；

根据测试项目，控制测试系统的源表阵列的信号输出、以及测试系统的电开关的开关状态，检测相应的测试参数，并根据测试参数确定测试结果包括：

源表阵列输出固定电压信号、电开关接通任意一条支路；检测对应探针组件处的电压值；若电压值不等于固定电压信号的电压值，则测试结果为异常，否则为正常；

E)当测试项目为校准测试时，测试工具为校准仪表；

根据测试项目，控制测试系统的源表阵列的信号输出、以及测试系统的电开关的开关状态，检测相应的测试参数，并根据测试参数确定测试结果包括：

源表阵列输出固定检测信号、电开关接通任意一条支路；检测对应探针组件处与固定检测信号对应的电气参数；若电气参数的具体值不等于固定检测信号具体值，则测试结果为异常，否则为正常。

优选的，测试项目还包括：电阻负载测试；

相应的，当测试项目为线阻测试时，测试工具为固定电阻负载板；

根据测试项目，控制测试系统的源表阵列的信号输出、以及测试系统的电开关的开关状态，检测相应的测试参数，并根据测试参数确定测试结果包括：

源表阵列无信号输出、电开关接通任意两条支路；检测固定电阻负载板的电阻值；若电阻值不等于两条支路的设计电阻值之和，则测试结果为异常，否则为正常。

优选的，在预设的所有测试项目完成之后，还包括：

根据各测试项目的测试结果生成测试报告并返回。

优选的，测试报告还包括：异常定位信息；

其中，异常定位信息为确定测试项目异常时所测试支路的位置信息。

优选的，测试报告还包括：对应于异常的测试项目的处理方案；

其中，处理方案预先设置并存储，且每一测试流程对应有至少一种处理方案。

优选的，若测试项目为线阻测试、电容测试或电阻负载测试，则处理方案包括：

根据异常定位信息替换相应线缆或接线；

若测试项目为漏电流测试，则处理方案包括：

根据异常定位信息判断是否为全部支路均异常，若是，则更换测试系统的源表阵列，若否，则根据异常支路信息更换测试系统的适配器或相应的探针组件；

若测试项目为位置测试，则处理方案包括：

根据异常定位信息更换相应探针组件的接线位置；

若测试项目为校准测试，则处理方案包括：

根据异常定位信息确定源表阵列中的目标源表，对目标源表的信号输出进行补偿。

为解决上述技术问题，本申请还提供一种晶圆测试系统的异常检测装置，包括：

测试准备模块，用于根据当前进行的测试项目为接入相应的测试工具以替代测试系统的探针卡；

项目测试模块，用于根据测试项目，控制测试系统的源表阵列的信号输出、以及测试系统的电开关的开关状态，检测相应的测试参数，并根据测试参数确定测试结果；

项目切换模块，用于切换当前进行的测试项目，并重新触发项目测试模块，直至预设的所有测试项目完成。

为解决上述技术问题，本申请还提供一种晶圆测试系统的异常检测装置，包括：

存储器，用于存储计算机程序；

处理器，用于执行计算机程序时实现如上述的晶圆测试系统的异常检测方法的步骤。

为解决上述技术问题，本申请还提供一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现如上述的晶圆测试系统的异常检测方法的步骤。

本申请提供的一种晶圆测试系统的异常检测方法，通过测试工具替代测试系统的探针卡，以实现对测试系统内部电路的接入以及检测；进而根据测试项目的不同，控制测试系统的源表阵列输出相应的信号、电开关的不同开关状态，模拟测试系统不同的工况，并对测试系统中不同支路进行针对性的测试，从而得到测试结果；当一个测试项目测试完毕后，切换至另外的测试项目再进行测试，直至所有的测试项目皆执行完毕，实现对晶圆测试系统的异常测试。本方案可以在晶圆测试系统出厂之前即对产品进行统一测试，大大降低劣品对用户带来的损失；并且根据性能以及需求的不同，可以定制相应的测试项目，测试工作更加灵活、测试场景更加广泛；整个测试流程统一化、规范化，无需依赖人工经验，不会因为测试人员个人的差异化产生测试标准不统一的问题，更好地适应于实际晶圆测试系统生产、校验的需要，也有利于晶圆产业整体的质量提升。

本申请提供的晶圆测试系统的异常检测装置、及计算机可读存储介质，与上述方法对应，效果同上。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例，下面将对实施例中所需要使用的附图做简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为一种晶圆测试系统的结构示意图；

图2为本发明提供的一种晶圆测试系统的异常检测方法的流程图；

图3为本发明提供的另一种晶圆测试系统的异常检测方法的流程图；

图4为本发明提供的一种晶圆测试系统的异常检测装置的结构图；

图5为本发明提供的另一种晶圆测试系统的异常检测装置的结构图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下，所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护范围。

本申请的核心是提供一种晶圆测试系统的异常检测方法、装置及介质。

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步的详细说明。

目前，在晶圆的生产制造过程中，需要对生产晶圆的质量进行严格把控，一种常见的晶圆质量检测方案即采用如图1所示的晶圆测试系统。

在图1所示的晶圆测试系统中，测试系统包括：测试机和探针台两大部分；其中，测试机用于输出特定的信号为晶圆提供测试信号，探针台则用于放置被测晶圆。

进一步的，测试机中包括由若干源表组成的源表阵列、电开关、适配器和探针组件；

源表用于生成相应的测试信号，测试信号可以包括但不限于电压信号、电流信号。源表与电开关连接，源表与后续电路的连接关系受电开关控制。

电开关还通过适配器与多个探针组件连接，以任意一个源表与探针组件之间的电路称为测试系统的一条支路，电开关即用于控制各条支路通断的模块。需要说明的是，任一源表以及探针组件不一定仅对应于一条支路，例如源表1和探针组件1可以组成一条支路，但在另一时刻，根据电开关的开关控制，源表1还可以和探针组件2组成一条支路。

适配器即用于实现电开关与探针组件之间接口转换的设备，以允许电开关和探针组件相连。

对于探针台，包括用于放置待测晶圆的探针卡。在晶圆的测试流程中，探针卡与探针组件连接，通过源表阵列产生的测试信号对待测晶圆进行测试，以检验待测晶圆的性能指标。

但是，对于晶圆测试系统本身的性能测试以及质量检验，目前缺少一种合乎需求的测试设备或方案。对于晶圆测试系统是否可以满足对晶圆的测试要求、对晶圆进行测试的准确性、以及晶圆测试系统本身是否出现异常这些问题，目前多依赖于测试人员在使用晶圆测试系统时根据测试系统的工作状态以及表现凭借自身经验做出大概的评估。

这种评估方式不可避免地出现对测试人员的要求高、难以实施，评估准确性有待提高，测试人员对同一晶圆测试系统的评判标准不统一等问题。另外，上述这种方案还需要在晶圆测试系统实际投入使用之后才可以进行评估，但异常或性能未达到标准的晶圆测试系统所进行的晶圆测试结果不可信，不可避免地会为实际晶圆的生产制造额外带来损失。

基于上述问题，本申请提供一种晶圆测试系统的异常检测方法，如图2所示，包括：

S10：根据当前进行的测试项目为接入相应的测试工具以替代测试系统的探针卡。

S20：根据测试项目，控制测试系统的源表阵列的信号输出、以及测试系统的电开关的开关状态，检测相应的测试参数，并根据测试参数确定测试结果。

S30：切换当前进行的测试项目，并返回至根据当前进行的测试项目更换测试系统的探针卡为相应的测试工具的步骤，直至预设的所有测试项目完成。

需要注意的是，步骤S10和步骤S20皆为实际对某一测试项目的测试步骤，根据所执行的测试项目的不同，步骤S10和步骤S20的具体实施方式可能有所区别。其中，步骤S10为测试项目开始前的准备步骤，需要为测试项目提供测试硬件基础，而步骤S20即是正式的测试流程。

需要说明的是，本实施例虽然并未限制测试项目的具体种类，但针对实际应用中对晶圆测试系统的一般要求，提供一种可能的实施方案，上述的测试项目包括：线阻测试、漏电流测试、电容测试、位置测试和校准测试。

相应的，针对上述几种不同测试项目对应的步骤S10和步骤S20的具体流程，本实施例也提供如下所述的一种实施方案：

A)测试项目—线阻测试；

本测试项目的目的在于排查线缆的开路问题。

相应的，步骤S10中的测试工具具体为短路设置的固定电阻负载板，即将固定电阻负载板上的电阻进行短路设置。

而步骤S20则具体包括：

S21-A：控制源表阵列无信号输出、电开关接通任意两条支路。

S22-A：检测固定电阻负载板的电阻值。

S23-A：若电阻值小于两条支路的设计线阻值之和，则测试结果为异常，否则为正常。

容易知道的是，本测试项目的测试目的在于测试测试系统各支路的线阻是否符合要求。在实际应用中，电阻的检测通常需要两个接入点实现，但测试系统中一条支路的对外接口仅有一个探针组件，直接检测一条支路的线阻需要破坏测试系统的结构，以将检测点接入至测试系统内部电路中，不符合实际工程需要。所以本实施例通过电开关接通两条任意支路，并通过固定电阻板实现该两条支路之间的连通，形成回路，从而满足线阻检测需要。通过电阻表等电阻检测设备即可实现对该形成回路的两条支路的线阻之和进行检测。

需要说明的是，上述检测流程一次检测仅能检测两条支路的线阻之和是否正常或异常，所以对于不止包含两条支路的测试系统，需要多次测量以完成对测试系统所有支路的线阻测试。

另外，对于具体一条支路的线阻测试，则可以利用不同组合的回路线阻测试实现。例如，在第一次线阻测试时，通过电开关和固定电阻板连接为回路的支路为支路1和支路2；则在第二次线阻测试时，可以建立支路1和支路3的回路，综合两次(或者更多次)回路线阻检测结果，以确定支路1的线阻是否符合测试要求。

B)测试项目—漏电流测试；

本测试项目的目的在于排查源表、线缆的漏电问题。

相应的，步骤S10中的测试工具具体为测试用探针卡。

同理，步骤S20则具体包括：

S21-B：源表阵列输出固定电压信号、电开关接通任意一条支路。

S22-B：检测对应探针组件处的电流值。

S23-B：若电流值大于预设的漏电流阈值，则测试结果为异常，否则为正常。

对于步骤S21-B，由上述可知，测试系统中的源表阵列为用于提供晶圆测试信号的设备，晶圆测试包括测试晶圆基本性能的直流测试，直流测试具体又可以包括对电压、电流等参数的测试，所以源表阵列无需额外改动即可以输出固定电压信号。

由于本测试项目的测试目的在于检测测试系统任意支路是否出现漏电的问题，可以通过检测该支路上任意节点的电流实现，所以每次测试都可以以一条支路为单位进行。

具体即为通过电流表等电流检测设备对当前支路可能存在漏电电路的任意节点进行电流检测，检测是否有漏电流，若检测到的电流值超过预设的漏电流阈值，则说明该条支路存在漏电流问题。

C)测试项目—电容测试；

本测试项目的目的在于排查测量仪表、线缆电容的异常问题。

相应的，步骤S10中的测试工具具体为测试用探针卡。

而步骤S20则具体包括：

S21-C：源表阵列无信号输出、电开关断开；

S22-C：检测任意两个探针组件之间的电容值；

S23-C：若电容值在预设的电容范围之外，则测试结果为异常，否则为正常；

与上述线阻测试同理，电容测试无需额外的测试信号，利用电容检测设备即可实现。且同样需要一次对由两条支路的电容值进行检测，进行电容是否异常的判断。

而对于如何将电容异常定位到某一条支路，则可如上述线阻测试实施例部分相同，利用包含同一支路的不同支路组合的电容测试结果，对该支路进行电容是否合乎要求的检测测试，本实施例不再赘述。

D)测试项目—位置测试；

需要说明的是，本实施例的位置测试项目，其目的是测试探针组件的接入位置是否出现错误。由于在实际的晶圆测试系统中，测试机与探针卡之间需要连接数量较多的接口，每一接口输出的信号可能不同。所以当存在探针组件接入位置错误时，即可能会导致探针卡所接收到的测试信号错误，对晶圆的测试过程产生不良影响。

同理，步骤S10中的测试工具具体为测试用探针卡。

而步骤S20则具体包括：

S21-D：源表阵列输出固定电压信号、电开关接通任意一条支路；

S22-D：检测对应探针组件处的电压值；

S23-D：若电压值不等于固定电压信号的电压值，则测试结果为异常，否则为正常；

因此，本实施例通过依次控制各条支路的源表输出电压信号，通过检测该支路对应的探针组件是否有相应的电压信号输出，从而实现对该探针组件接入位置是否正确的测试。

E)测试项目—校准测试；

本测试项目的目的在于，对晶圆测试系统的信号输出进行进一步的校正，以保证其对晶圆进行测试的精度。

与上述的测试项目A-D有所区别的是，校准测试通常是在最后一个执行的测试项目。当在晶圆测试系统的测试过程中，若任意其他测试项目出现异常时，则无需再进行校准测试，待该晶圆测试系统排除相应异常问题后，再重新进行校准测试即可。

同理，对于上述的多个测试项目，通常无法同时实现，而是基于预设的测试顺序依次进行。当任意的测试项目出现异常时，一种常见的测试方案即为无需进行后续的测试项目，直接反馈异常，待异常问题排除后，即返回到上一次判定为异常的测试项目中即可(也可以从头开始测试)。

对于校准测试，其步骤S10中所述的测试工具为校准仪表，校准仪表即对应于需要进行校准的参数的检测仪表，其检测精度根据校准的精度要求确定。对于晶圆测试系统，常见的信号校准需求包括电压信号校准、电流信号校准等等。

进一步的，对于步骤S20，具体包括：

S21-E：源表阵列输出固定检测信号、电开关接通任意一条支路；

S22-E：检测对应探针组件处与固定检测信号对应的电气参数；

S23-E：若电气参数的具体值不等于固定检测信号具体值，则测试结果为异常，否则为正常。

需要说明的是，步骤S21-E中的固定检测信号，是根据所进行校准的电气参数所确定的。例如当本次校准的是测试系统的电压输出时，则相应的固定检测信号即为固定电压检测信号，其他诸如电流校准等也是同理，固定检测信号相应的即为电流检测信号等。

另外，还需要说明的是，在上述提供的5种测试项目仅为在实际晶圆测试系统使用过程中，一般对晶圆测试系统所需要进行的5项测试需求。但不代表限制本申请提供的一种晶圆测试系统的异常检测方法仅适用于上述5种测试项目。

示例性的，本实施例还提供另外一种关于测试项目的实施方案，上述的测试项目还包括：

F)测试项目—电阻负载测试；

电阻负载测试的目的在于，排查测试系统中线缆的短路问题。

相应的，步骤S10中对应的测量工具具体为固定电阻负载板，需要说明的是，本测试项目中的固定电阻负载板无需进行短路设置，将所连接的两条支路形成回路即可。

同理，步骤S20具体包括：

S21-F：源表阵列无信号输出、电开关接通任意两条支路；

S22-F：检测固定电阻负载板的电阻值；

S23-F：若电阻值不等于两条支路的设计电阻值之和，则测试结果为异常，否则为正常。

对于具体到其中一条支路是否出现短路问题的判断与上述线阻测试、电容测试同理，通过不同的支路排列组合实现，本实施例在此不再赘述。

另外还需要进行说明的是，在上述的几种测试项目中，在最后的检测值与预设的标准值进行比较时，考虑到实际测量误差，皆允许一定的误差范围。也即当判断检测值是否等同于预设的标准值时，若检测值在对应标准值的误差允许范围内，则也认为测试结果正常。

基于上述提供的6种测试项目，一种测试方法的整体流程如图3所示，依次进行：电阻负载测试、线阻测试、漏电流测试、电容测试、位置测试和校准测试，测试通过即进入下一测试项目，直至校准测试也通过，则本方法结束。

任意测试项目出现异常后，则排查相应的问题，如：电阻负载测试对应于排查线缆短路问题；线阻测试对应于排查线缆开路问题；漏电流测试对应于排查源表、通道链路(适配器及探针组件)问题；电容测试对应于排查线缆以及测量仪表连接问题；位置测试对应于排查线缆顺序(探针组件的接入位置顺序)问题；校准测试对应于判断系统性能的问题。

并且，在任意问题排查步骤执行完毕后，从头开始重新进行测试，以保证测试系统的质量和可靠性。

另一方面，本实施例还提供一种优选的实施方案，上述方法在完成所有的测试项目之后，还包括：

S40：根据各测试项目的测试结果生成测试报告并返回。

需要说明的是，本实施例并未对测试报告的具体实施形式做出限制，可以是以发光二极管、显示屏、蜂鸣器、扬声器等方式发出的光信号或声信号；测试报告的内容可以通过文字、图表、图像等方式展示；测试报告还可以通过邮件、推送、短信等方式发送至相关人员所持有的移动终端或所监管的监控平台中，可根据实际需要选择合适的测试报告的实现形式。

同样的，对于测试报告所包含的内容，至少应包括各项测试项目的测试结果，对于其他内容本实施例则不做限制。例如在另一种可能的实施方案中，上述的测试报告还包括：异常定位信息；异常定位信息包括异常支路信息和/或异常探针信息。

其中，异常支路信息为确定测试项目异常时所测试支路的位置，异常探针信息为确定测试项目异常时所测试探针组件的位置。

由上述各项具体的测试项目的实施例可知，对于每一测试项目，都可以将异常问题定位到某一具体的支路(源表、支路线缆或探针组件)，从而可用于放入测试报告中，为后续相关人员定位异常问题并排查故障提供便利，有利于晶圆测试系统异常问题的快速解决。

另一方面，本实施例还提供一种关于测试报告的优选实施方案，上述的测试报告还包括：对应于异常的测试项目的处理方案。

其中，处理方案预先设置并存储，且每一测试流程对应有至少一种处理方案。

另外，对于处理方案，还可以包括适应于大多数情况的整体流程，以及用于为相关人员提供参考的至少一个具体示例，具体示例应结合实际场景给出一个异常问题解决实例。

示例性的，本实施例也结合上述实施例中提供的6中测试项目，给出相应的处理方案：

1)线阻测试、电容测试以及电阻负载测试；

处理方案具体包括：根据异常定位信息替换相应线缆或接线。

由上述实施例可知，线阻测试的目的在于排查各支路线缆的开路问题、电阻负载测试的目的在于排查各支路线缆的短路问题、电容测试的目的主要在于排查各支路线缆的电容问题。所以对于上述的三种测试项目，且处理方案共同有对线缆(或接线)的更换。

又由上述实施例可知，各项测试项目在测试过程中，其测试逻辑支持对异常支路位置的定位，进而确定上述测试报告中的异常定位信息。所以根据相关人员根据异常定位信息即可确定需要更换线路所处的支路位置，为相关人员提供切实可行的处理方案。

2)漏电流测试；

处理方案具体包括：根据异常定位信息判断是否为全部支路均异常，若是，则更换测试系统的源表阵列，若否，则根据异常支路信息更换测试系统的适配器或相应的探针组件。

与上述处理方案为更换线缆所对应的测试项目不同的是，漏电流测试中出现漏电问题可能的原因有两个，其一为某一条或某几条支路的适配器或探针组件存在异常，其二为源表出现漏电问题。

判断的原理也很简单，源表作为漏电流测试中测试信号的发出方，若为源表出现异常，则对于任何通道(电开关后由适配器和探针组件所构成的电路通道)，只要与该源表连接组成支路，则该支路即会反映出漏电流的问题。但是，若是适配器或探针组件的问题(即通道的问题)，则对于任何源表，只要是与该通道连接组成支路，则该支路即会反映出漏电流的问题。

因此，当任意支路出现漏电流问题时，则可以通过控制电开关，分别以相应源表/通道不变，与其他通道/源表之间组成新的支路，检测新的支路是否仍存在漏电流问题。若新的支路还存在漏电流问题，则说明支路中未变的源表/通道存在异常，若新的支路不存在漏电流问题，则说明支路中未变的源表/通道正常、原支路中的通道/源表存在异常。

另外，考虑到在实际应用中源表和通道(适配器、探针组件)不同的损坏概率，一般选择以源表不变，更换连接其他通道的方式进行判别；若仅个别通道出现漏电流问题，则说明是这部分通道的适配器或探针组件存在异常，需要相应的更换适配器或探针组件；若全部的通道皆存在漏电流问题，则说明是源表存在异常，需要更换相应的源表。

3)位置测试；

处理方案具体包括：根据异常定位信息更换相应探针组件的接线位置。

同理，若设置源表1与探针组件1连接形成支路，在源表1输出固定电压信号时，若探针组件1处未检测到相应的固定电压信号，则说明探针组件1的位置接入错误。进一步的，在保持源表1输出固定电压信号不变的情况下，还可以通过检测其他探针组件处的输出信号的方式，判断探针组件1具体和哪一个探针组件位置反接。

4)校准测试；

处理方案具体包括：根据异常定位信息确定源表阵列中的目标源表，对目标源表的信号输出进行补偿。

示例性的，若期望输出的电压值为200V，而实际检测到的电压输出仅有199V，则控制源表的输出电压进行相应比例的补偿，补偿后的电压输出值＝(200/199)*200＝201.005V。

综上所述，本申请提供一种晶圆测试系统的异常检测方法，通过预设不同的测试项目，基于相应的测试工具对特定参数进行检测；通过控制源表以及电开关的工作模拟测试环境；最后基于统一的判断标准对测试结果进行确定。整个测试流程基于统一的规范标准进行，不依赖于人员经验，并且可以在晶圆测试系统正式投入使用之前即进行测试，更好地满足了实际工程生产的需要。

在上述实施例中，对于一种晶圆测试系统的异常检测方法进行了详细描述，本申请还提供一种晶圆测试系统的异常检测装置对应的实施例。需要说明的是，本申请从两个角度对装置部分的实施例进行描述，一种是基于功能模块的角度，另一种是基于硬件的角度。

基于功能模块的角度，如图4所示，本实施例提供一种晶圆测试系统的异常检测装置，包括：

测试准备模块11，用于根据当前进行的测试项目为接入相应的测试工具以替代测试系统的探针卡；

项目测试模块12，用于根据测试项目，控制测试系统的源表阵列的信号输出、以及测试系统的电开关的开关状态，检测相应的测试参数，并根据测试参数确定测试结果；

项目切换模块13，用于切换当前进行的测试项目，并重新触发项目测试模块，直至预设的所有测试项目完成。

由于装置部分的实施例与方法部分的实施例相互对应，因此装置部分的实施例请参见方法部分的实施例的描述，这里暂不赘述。

图5为本申请另一实施例提供的一种晶圆测试系统的异常检测装置的结构图，如图5所示，一种晶圆测试系统的异常检测装置包括：存储器20，用于存储计算机程序；

处理器21，用于执行计算机程序时实现如上述实施例一种晶圆测试系统的异常检测方法的步骤。

其中，处理器21可以包括一个或多个处理核心，比如4核心处理器、8核心处理器等。处理器21可以采用数字信号处理器(Digital Signal Processor，DSP)、现场可编程门阵列(Field－Programmable Gate Array，FPGA)、可编程逻辑阵列(Programmable LogicArray，PLA)中的至少一种硬件形式来实现。处理器21也可以包括主处理器和协处理器，主处理器是用于对在唤醒状态下的数据进行处理的处理器，也称中央处理器(CentralProcessing Unit，CPU)；协处理器是用于对在待机状态下的数据进行处理的低功耗处理器。在一些实施例中，处理器21可以集成有图像处理器(Graphics Processing Unit，GPU)，GPU用于负责显示屏所需要显示的内容的渲染和绘制。一些实施例中，处理器21还可以包括人工智能(Artificial Intelligence，AI)处理器，该AI处理器用于处理有关机器学习的计算操作。

存储器20可以包括一个或多个计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质可以是非暂态的。存储器20还可包括高速随机存取存储器，以及非易失性存储器，比如一个或多个磁盘存储设备、闪存存储设备。本实施例中，存储器20至少用于存储以下计算机程序201，其中，该计算机程序被处理器21加载并执行之后，能够实现前述任一实施例公开的一种晶圆测试系统的异常检测方法的相关步骤。另外，存储器20所存储的资源还可以包括操作系统202和数据203等，存储方式可以是短暂存储或者永久存储。其中，操作系统202可以包括Windows、Unix、Linux等。数据203可以包括但不限于一种晶圆测试系统的异常检测方法等。

在一些实施例中，一种晶圆测试系统的异常检测装置还可包括有显示屏22、输入输出接口23、通信接口24、电源25以及通信总线26。

本领域技术人员可以理解，图5中示出的结构并不构成对一种晶圆测试系统的异常检测装置的限定，可以包括比图示更多或更少的组件。

本申请实施例提供的一种晶圆测试系统的异常检测装置，包括存储器和处理器，处理器在执行存储器存储的程序时，能够实现如下方法：一种晶圆测试系统的异常检测方法。

最后，本申请还提供一种计算机可读存储介质对应的实施例。计算机可读存储介质上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现如上述方法实施例中记载的步骤。

可以理解的是，如果上述实施例中的方法以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本申请的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，执行本申请各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(Read-Only Memory，ROM)、随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

以上对本申请所提供的一种晶圆测试系统的异常检测方法、装置及介质进行了详细介绍。说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以对本申请进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本申请权利要求的保护范围内。

还需要说明的是，在本说明书中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

Claims (10)

1.一种晶圆测试系统的异常检测方法，其特征在于，包括：

根据当前进行的测试项目为接入相应的测试工具以替代测试系统的探针卡；

根据所述测试项目，控制所述测试系统的源表阵列的信号输出、以及所述测试系统的电开关的开关状态，检测相应的测试参数，并根据所述测试参数确定测试结果；

切换当前进行的所述测试项目，并返回至所述根据当前进行的测试项目更换测试系统的探针卡为相应的测试工具的步骤，直至预设的所有所述测试项目完成。

2.根据权利要求1所述的晶圆测试系统的异常检测方法，其特征在于，所述测试项目包括：线阻测试、漏电流测试、电容测试、位置测试和校准测试；

其中：

A)当所述测试项目为线阻测试时，所述测试工具为短路设置的固定电阻负载板；

所述根据所述测试项目，控制所述测试系统的源表阵列的信号输出、以及所述测试系统的电开关的开关状态，检测相应的测试参数，并根据所述测试参数确定测试结果包括：

所述源表阵列无信号输出、所述电开关接通任意两条支路；检测所述固定电阻负载板的电阻值；若所述电阻值小于两条所述支路的设计线阻值之和，则所述测试结果为异常，否则为正常；

其中，所述支路为所述源表阵列中任一源表与所述测试系统任一探针组件之间的电路；

B)当所述测试项目为漏电流测试时，所述测试工具为测试用探针卡；

所述根据所述测试项目，控制所述测试系统的源表阵列的信号输出、以及所述测试系统的电开关的开关状态，检测相应的测试参数，并根据所述测试参数确定测试结果包括：

所述源表阵列输出固定电压信号、所述电开关接通任意一条支路；检测对应所述探针组件处的电流值；若所述电流值大于预设的漏电流阈值，则所述测试结果为异常，否则为正常；

C)当所述测试项目为电容测试时，所述测试工具为所述测试用探针卡；

所述根据所述测试项目，控制所述测试系统的源表阵列的信号输出、以及所述测试系统的电开关的开关状态，检测相应的测试参数，并根据所述测试参数确定测试结果包括：

所述源表阵列无信号输出、所述电开关断开；检测任意两个所述探针组件之间的电容值；若所述电容值在预设的电容范围之外，则所述测试结果为异常，否则为正常；

D)当所述测试项目为位置测试时，所述测试工具为测试用探针卡；

所述根据所述测试项目，控制所述测试系统的源表阵列的信号输出、以及所述测试系统的电开关的开关状态，检测相应的测试参数，并根据所述测试参数确定测试结果包括：

所述源表阵列输出固定电压信号、所述电开关接通任意一条支路；检测对应所述探针组件处的电压值；若所述电压值不等于所述固定电压信号的电压值，则所述测试结果为异常，否则为正常；

E)当所述测试项目为校准测试时，所述测试工具为校准仪表；

所述根据所述测试项目，控制所述测试系统的源表阵列的信号输出、以及所述测试系统的电开关的开关状态，检测相应的测试参数，并根据所述测试参数确定测试结果包括：

所述源表阵列输出固定检测信号、所述电开关接通任意一条支路；检测对应所述探针组件处与所述固定检测信号对应的电气参数；若所述电气参数的具体值不等于所述固定检测信号具体值，则所述测试结果为异常，否则为正常。

3.根据权利要求2所述的晶圆测试系统的异常检测方法，其特征在于，所述测试项目还包括：电阻负载测试；

相应的，当所述测试项目为线阻测试时，所述测试工具为固定电阻负载板；

所述根据所述测试项目，控制所述测试系统的源表阵列的信号输出、以及所述测试系统的电开关的开关状态，检测相应的测试参数，并根据所述测试参数确定测试结果包括：

所述源表阵列无信号输出、所述电开关接通任意两条支路；检测所述固定电阻负载板的电阻值；若所述电阻值不等于两条所述支路的设计电阻值之和，则所述测试结果为异常，否则为正常。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的晶圆测试系统的异常检测方法，其特征在于，在预设的所有所述测试项目完成之后，还包括：

根据各所述测试项目的测试结果生成测试报告并返回。

5.根据权利要求4所述的晶圆测试系统的异常检测方法，其特征在于，所述测试报告还包括：异常定位信息；

其中，所述异常定位信息为确定所述测试项目异常时所测试支路的位置信息。

6.根据权利要求5所述的晶圆测试系统的异常检测方法，其特征在于，所述测试报告还包括：对应于异常的所述测试项目的处理方案；

其中，所述处理方案预先设置并存储，且每一所述测试流程对应有至少一种所述处理方案。

7.根据权利要求6所述的晶圆测试系统的异常检测方法，其特征在于，若所述测试项目为线阻测试、电容测试或电阻负载测试，则所述处理方案包括：

根据所述异常定位信息替换相应线缆或接线；

若所述测试项目为漏电流测试，则所述处理方案包括：

根据所述异常定位信息判断是否为全部支路均异常，若是，则更换所述测试系统的源表阵列，若否，则根据所述异常支路信息更换所述测试系统的适配器或相应的探针组件；

若所述测试项目为位置测试，则所述处理方案包括：

根据所述异常定位信息更换相应所述探针组件的接线位置；

若所述测试项目为校准测试，则所述处理方案包括：

根据所述异常定位信息确定所述源表阵列中的目标源表，对所述目标源表的信号输出进行补偿。

8.一种晶圆测试系统的异常检测装置，其特征在于，包括：

测试准备模块，用于根据当前进行的测试项目为接入相应的测试工具以替代测试系统的探针卡；

项目测试模块，用于根据所述测试项目，控制所述测试系统的源表阵列的信号输出、以及所述测试系统的电开关的开关状态，检测相应的测试参数，并根据所述测试参数确定测试结果；

项目切换模块，用于切换当前进行的所述测试项目，并重新触发所述项目测试模块，直至预设的所有所述测试项目完成。

9.一种晶圆测试系统的异常检测装置，其特征在于，包括：

存储器，用于存储计算机程序；

处理器，用于执行所述计算机程序时实现如权利要求1至7任意一项所述的晶圆测试系统的异常检测方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至7任意一项所述的晶圆测试系统的异常检测方法的步骤。