JP6006345B2 - 検査用ウエハおよび試験システム - Google Patents
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Description
[先行技術文献]
[特許文献]
[特許文献1] 特開平05−166893号公報
Claims (4)
- 被試験デバイスの端子と接続される複数のプローブ端子を有するプローブカードを検査する検査用ウエハであって、
前記複数のプローブ端子のうち、いずれか一つの特定プローブ端子と、他の各プローブ端子とを順番に接続するための複数の接続配線を備え、
前記複数の接続配線の各々において前記一つの特定プローブ端子と接続される一端は、予め定められた方向の直線上に並んで設けられている
検査用ウエハ。 - 前記検査用ウエハは、
行列状に配置された複数の端子を有する針跡位置精度確認用パターンと、
全ピンショートパターンと、
前記複数の接続配線が設けられる個別導通検査パターンと
を有する
請求項1に記載の検査用ウエハ。 - 被試験デバイスを試験する試験システムであって、
信号を入力または出力する複数の試験ユニットを有する試験部と、
前記被試験デバイスの端子と接続される複数のプローブ端子を有し、前記被試験デバイスおよび前記試験部との間で信号を伝送するプローブカードと、
前記プローブカードの検査時に前記被試験デバイスに代えて前記プローブカードに接続され、且つ、前記複数のプローブ端子のうちいずれか一つの特定プローブ端子と他の各プローブ端子とを順番に接続するための複数の接続配線を有する検査用ウエハと
を備え、
前記特定プローブ端子は、前記複数の試験ユニットのいずれかと一対一に接続され、
前記試験部は、前記一つの特定プローブ端子と一つの他のプローブ端子とに接続された2つの試験ユニットにおける少なくとも一方の出力を測定して、前記一つの特定プローブ端子および前記一つの他のプローブ端子の良否を判定し、
前記複数の接続配線の各々において前記一つの特定プローブ端子と接続される一端は、予め定められた方向の直線上に並んで設けられている
試験システム。 - 前記複数の試験ユニットの各々は、
予め定められたデータパターンに応じた波形を有する信号を出力するドライバ部と、
前記信号のレベルを予め定められた参照レベルと比較するコンパレータ部と
を有する
請求項3に記載の試験システム。
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