JP2018040715A - ガスセンサ - Google Patents
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Abstract
Description
上記センサ素子は、ジルコニア材料からなる1つ又は複数の固体電解質層(2,2A,2B)と、該固体電解質層の両表面に設けられた複数の電極(31,32,33,34)と、上記固体電解質層に積層された、純度が98%以上のアルミナ材料からなる絶縁層(41,42,43,44,41A,42A,43A,44A,45A)と、該絶縁層に埋設された発熱体(6)とを備え、
上記絶縁層における、上記固体電解質層と上記発熱体との間に位置する部分には、上記絶縁層を構成するアルミナ材料の電気伝導率よりも電気伝導率が高いジルコニア材料からなるノイズ吸収層(7)が配置されており、
該ノイズ吸収層は、上記絶縁層に積層されるとともに、その電位が独立している、ガスセンサにある。
(実施形態1)
本形態のガスセンサ100は、ガス濃度を検出するためのセンサ素子1を備える。センサ素子1は、図1に示すように、ジルコニア材料からなる1つの固体電解質層2と、固体電解質層2の両主面201,202に設けられた一対の電極31,32と、固体電解質層2に積層された、純度が98%以上のアルミナ材料からなる絶縁層41,42,43,44と、絶縁層43,44に埋設された発熱体6とを備える。絶縁層42,43における、固体電解質層2と発熱体6との間に位置する部分には、発熱体6から生じる誘導ノイズを吸収するためのノイズ吸収層7が配置されている。ノイズ吸収層7は、絶縁層42,43を構成するアルミナ材料の電気伝導率よりも電気伝導率が高いジルコニア材料からなる。ノイズ吸収層7は、絶縁層42,43に積層されるとともに、その電位が独立している。
ガスセンサ100は、車両の排気管に配置され、排気管を流れる排ガスを測定ガスGとするとともに大気を基準ガスAとし、測定ガスG中の酸素、NOx(窒素酸化物)等の濃度、内燃機関の空燃比(A/F)等を検出するために用いられる。本形態のガスセンサ100は、固体電解質層2を構成する金属酸化物のシートと、絶縁層41,42,43,44を構成する金属酸化物のシートとを積層し、焼結して形成されたものである。
センサ素子1は絶縁碍子71に保持されており、絶縁碍子71はハウジング70に保持されている。ガスセンサ100は、ハウジング70によって排気管に取り付けられ、センサ素子1は、排気管内に配置される。また、ハウジング70には、センサ素子1の先端部を覆う二重のカバー77A,77Bが取り付けられている。カバー77A,77Bには、センサ素子1のガス検知部10へ測定ガスGを流入させるための貫通穴771が形成されている。センサ素子1は、長尺形状に形成されており、被検出ガスGを検出するためのガス検知部10は、センサ素子1における長尺方向Lの先端側の端部に設けられている。
なお、固体電解質層2は、その活性化温度において、酸化物イオン(酸素イオン)の伝導性を有するものである。
本形態の絶縁層41,42,43,44によれば、固体電解質層2と発熱体6との間の絶縁抵抗値が、900℃において20MΩ以上に保たれる。固体電解質層2と発熱体6との間の絶縁抵抗値は、具体的には、絶縁層42,43自体の抵抗値と、絶縁層42と固体電解質層2との境界の抵抗値と、絶縁層43と発熱体6との境界の抵抗値とを合わせた値となる。
また、ジルコニアの線膨張係数(線膨張率)は、9〜11×10-6[K-1]であり、アルミナの線膨張係数(線膨張率)は、7〜9×10-6[K-1]である。
この構成により、発熱体6から生じる誘導ノイズがノイズ吸収層7を回り込んで一対の電極31,32に到達しにくくすることができ、ノイズ吸収層7による誘導ノイズの吸収効果を高めることができる。
この構成により、ノイズ吸収層7が発熱体6によって加熱されやすくなり、ノイズ吸収層7の温度の上昇によってその抵抗値が低下し、ノイズ吸収層7による誘導ノイズの吸収効果を高めることができる。
発熱体6への通電のオン・オフの切替によって発熱体6の通電状態が変化するときには、発熱体6の周囲に生じる磁界が変化し、誘導ノイズを生じさせる。このとき、発熱体6と固体電解質層2との間に配置されたノイズ吸収層7は電磁シールド層として機能し、ノイズ吸収層7によって磁界が遮られる。そして、ノイズ吸収層7における、磁束が衝突する部分には渦電流が発生し、この渦電流の発生によって磁束が吸収される。これにより、発熱体6から生じる誘導ノイズがノイズ吸収層7によって吸収され、誘導ノイズが、固体電解質層2及び一対の電極31,32によってガス濃度を検出する際のセンサ出力に影響を及ぼすことが抑制される。この結果、ガスセンサ100によるガス濃度の検出精度が向上する。
本形態においては、図6に示すように、電極33,34が設けられた2枚の固体電解質層2A,2Bを用いたセンサ素子1を備えるガスセンサ100について示す。
本形態のセンサ素子1においては、2枚の固体電解質層2A,2Bの間に、測定ガスGが導入される測定ガス室51が形成されている。第1固体電解質層2Aの主面には、測定ガス室51内の測定ガスGの酸素濃度を調整するための一対のポンプ電極33が、第1固体電解質層2Aを介して互いに対向する位置に設けられている。一方のポンプ電極33は、測定ガス室51内に配置されており、他方のポンプ電極33は、測定ガスGが透過可能な多孔質体からなるガス導入層40A内に埋設されている。
本確認試験においては、ノイズ吸収層7が設けられたセンサ素子1を備えるガスセンサ100(試験品)が、発熱体6から生じる誘導ノイズを吸収する効果を有するかを確認した。また、比較のために、ノイズ吸収層7が設けられていないセンサ素子を備えるガスセンサ(比較品)についても同様に確認した。本確認試験においては、試験品及び比較品のガスセンサを大気雰囲気中に配置し、発熱体に通電を行ってセンサ素子を活性温度である750℃に加熱・保持した後、発熱体への通電を停止し、この通電停止時のセンサ出力電流を検出した。
本確認試験により、センサ素子1に設けられたノイズ吸収層7が、発熱体6から生じる誘導ノイズを吸収する効果を有することが確認でき、試験品のガスセンサ100によれば、ガス濃度の検出精度が向上することが確認できた。
2,2A,2B 固体電解質層
31,32,33,34 電極
41,42,43,44,41A,42A,43A,44A,45A 絶縁層
6 発熱体
7 ノイズ吸収層
Claims (5)
- ガス濃度を検出するためのセンサ素子(1)を備えるガスセンサ(100)であって、
上記センサ素子は、ジルコニア材料からなる1つ又は複数の固体電解質層(2,2A,2B)と、該固体電解質層の両表面に設けられた複数の電極(31,32,33,34)と、上記固体電解質層に積層された、純度が98%以上のアルミナ材料からなる絶縁層(41,42,43,44,41A,42A,43A,44A,45A)と、該絶縁層に埋設された発熱体(6)とを備え、
上記絶縁層における、上記固体電解質層と上記発熱体との間に位置する部分には、上記絶縁層を構成するアルミナ材料の電気伝導率よりも電気伝導率が高いジルコニア材料からなるノイズ吸収層(7)が配置されており、
該ノイズ吸収層は、上記絶縁層に積層されるとともに、その電位が独立している、ガスセンサ。 - 前記固体電解質層と前記発熱体との間の絶縁抵抗値は、900℃において20MΩ以上である、請求項1に記載のガスセンサ。
- 上記ノイズ吸収層は、上記発熱体における発熱部の外形を、上記固体電解質層と上記絶縁層との積層方向(D)に向けて上記ノイズ吸収層に投影したときに、上記外形の全体を覆う位置及び大きさに形成されている、請求項1又は2に記載のガスセンサ。
- 上記ノイズ吸収層の全体が上記絶縁層の内部に埋設されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載のガスセンサ。
- 上記発熱体と上記ノイズ吸収層との間隔(D2)は、上記複数の電極のうちの上記ノイズ吸収層に最も近い電極と上記ノイズ吸収層との間隔(D1)よりも狭い、請求項1〜4のいずれか1項に記載のガスセンサ。
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
JP2019070552A (ja) * | 2017-10-06 | 2019-05-09 | 日本特殊陶業株式会社 | センサ制御装置およびセンサユニット |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS613050A (ja) * | 1984-06-16 | 1986-01-09 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 酸素センサ−の検出基板 |
JPH07508100A (ja) * | 1993-04-10 | 1995-09-07 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ガス混合気のガス成分及び/又はガス濃度検出用センサ装置 |
JP2000180409A (ja) * | 1998-12-10 | 2000-06-30 | Akebono Brake Res & Dev Center Ltd | ガスセンサーにおけるリーク電流遮断方法 |
JP2000206080A (ja) * | 1999-01-20 | 2000-07-28 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ヒ―タ付き酸素センサ及びその製造方法 |
JP2002174616A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスセンサ |
JP2003083930A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-03-19 | Kyocera Corp | 検出素子 |
JP2003344348A (ja) * | 2002-05-23 | 2003-12-03 | Kyocera Corp | 酸素センサ素子 |
JP2010145214A (ja) * | 2008-12-18 | 2010-07-01 | Denso Corp | ガスセンサ素子及びその製造方法 |
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2016
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS613050A (ja) * | 1984-06-16 | 1986-01-09 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 酸素センサ−の検出基板 |
JPH07508100A (ja) * | 1993-04-10 | 1995-09-07 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ガス混合気のガス成分及び/又はガス濃度検出用センサ装置 |
JP2000180409A (ja) * | 1998-12-10 | 2000-06-30 | Akebono Brake Res & Dev Center Ltd | ガスセンサーにおけるリーク電流遮断方法 |
JP2000206080A (ja) * | 1999-01-20 | 2000-07-28 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ヒ―タ付き酸素センサ及びその製造方法 |
JP2002174616A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスセンサ |
JP2003083930A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-03-19 | Kyocera Corp | 検出素子 |
JP2003344348A (ja) * | 2002-05-23 | 2003-12-03 | Kyocera Corp | 酸素センサ素子 |
JP2010145214A (ja) * | 2008-12-18 | 2010-07-01 | Denso Corp | ガスセンサ素子及びその製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019070552A (ja) * | 2017-10-06 | 2019-05-09 | 日本特殊陶業株式会社 | センサ制御装置およびセンサユニット |
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