JP2018037488A - 静電吸着用部材 - Google Patents
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Abstract
Description
10(11)と脱着可能な凹部6h(7h)と、本体部6(7)の表面に位置し、内部電極2(3)および給電端子10(11)に電気的に接続される導電層8(9)とを備える。
蛍光X線分析装置(XRF)を用いて金属元素の含有量を測定した後、XRDを用いて同定された化合物の成分に換算することにより求められる。例えば、XRDで同定された化合物がAl2O3であれば、ICPで測定したAlの含有量をAl2O3に換算すればよい。
いずれも外径が同じである円板状の第1のセラミック成形体、第2のセラミック成形体および第3のセラミック成形体(以下、これらの成形体を円板状成形体ということがある。)を静水圧プレス成形法(ラバープレス)によって作製する。ここで、それぞれの円板状成形体には、同じ原料を用いる。
AまたはペーストA’、ペーストBを順次塗布した後、第1の貫通孔が一致するように第2のセラミック成形体を載置する。次に、第2のセラミック成形体の第3のセラミック成形体に対向する主面に、ペーストAまたはペーストA’,ペーストBを順次塗布した後、塗布した主面上に第3セラミック成形体を載置する。
1a 吸着面
1b 対向面
2,3 内部電極
4,5 導電部
6,7 本体部
6h,7h 凹部
8,9 導電層
10,11 給電端子
12,13 柱状体
20 静電吸着用部材
H1,H2 端子孔
Claims (6)
- 対象物が吸着される吸着面と、該吸着面の反対に位置する対向面とを有する板状の第1のセラミックスからなる基材と、該基材内に位置する内部電極と、前記対向面から前記内部電極にかけて位置する端子孔と、該端子孔内に位置する導電部と、を備えてなる静電吸着用部材であって、
前記導電部は、第2のセラミックスからなる本体部と、該本体部内に位置する、給電端子と脱着可能な凹部と、前記本体部の表面に位置し、前記内部電極および前記給電端子に電気的に接続される導電層とを有することを特徴とする静電吸着用部材。 - 前記第2のセラミックスは、前記第1のセラミックスとの線膨張係数差が0.5×10−6/℃以下であることを特徴とする請求項1に記載の静電吸着用部材。
- 前記導電層は、主成分が白金、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、金、銀およびこれらの合金の少なくともいずれかであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の静電吸着用部材。
- 前記導電層は、前記第1のセラミックスの主成分と同じ成分を含むことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の静電吸着用部材。
- 前記成分の含有量が、2質量%以上15質量%以下であることを特徴とする請求項4に記載の静電吸着用部材。
- 前記成分が、柱状で存在することを特徴とする請求項4または請求項5に記載の静電吸着用部材。
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