JP2018025194A5 - - Google Patents

Description

本発明の第１の態様によれば、真空システムは、作業領域と、分離機構と、制御室とを有し、制御室が、分離機構によって作業領域から分離され、制御室内を、作業領域内の圧力に対して相対的に変更可能な制御圧力が支配する。この場合、制御圧力の変更によって、分離機構により作業領域内での作業運動が実施可能である。

他の実施形態の場合、分離機構は、作業装置との協働によってこの作業装置に作業運動をさせる。

影響付与装置は、例えば真空ポンプの部分であるか、しかしながら付加的な要素の部分であり得る。例えば、装置は、真空ポンプの入口に配置することができ、例えば真空ポンプに特有の要素として形成され得るか、例えば入口フランジに取付け可能な要素のような付加的な要素、例えばガイド要素によって形成され得る。即ち、例えば、特に影響付与装置又はその一部としての付加的な要素に鑑み、既存の真空システム用の増強装置を提供することも可能である。

別の例では、可動の阻止手段は、例えば、真空ポンプの作業領域から制御室を分離する分離機構によって駆動及び／又は制御することもできる。この場合、特に、制御室内を、作業領域内の圧力に対して相対的に変更可能な制御圧力が支配することができ、制御圧力の変更によって、分離機構により作業領域内の作業運動が実施可能である。

阻止手段を構成するエッジ１１６が設けられている。エッジ１１６は、ロータ軸を中心として回転するエッジとして形成されている。この場合、エッジ１１６は、ハウジング部分１１８の内面にそって延在し、このハウジング部分に一体的に形成されている。加えて、エッジ１１６は、図５で上から入口１０２を経て真空ポンプの内部へ入り、次いでロータブレード１１４の横を右側に向かって延在する圧送方向で、入口１０２とロータブレード１１４の間に配置されている。従って、エッジ１１６は、故障時に解離されるロータブレード１１４用の第１の障害物として作用し、入口１０２から離間するロータブレードの方向転換を生じさせる。

スペーサリング１２２のウェッブ１２４は、約１２０°の角度間隔で配置され、しかしながらまた、ウェブ１２４の他の角度間隔及び他の数を設けることもできる。

図８に、３つの入口１０２を有するスプリットフロー真空ポンプ１００の別の実施形態の概略図が示されている。ロータ１０６は、複数のターボ真空ポンプ段（“ターボ段”）１２６を備え、これらターボ真空ポンプ段は、圧送方向でそれぞれ入口１０２の下流に配置されている。それぞれのターボ段１２６は、複数のロータブレードを備え、これらロータブレードは、少なくとも１つのロータ平面内に配置されている。この場合、ロータブレードもしくはロータ平面は、入口１０２に対して軸方向に位置ズレして配置されている。即ち、図８による実際の実施形態の場合、ターボ段１２６もしくはロータブレードは、入口１０２を経て視認可能でないか、入口１０２の間に形成されたハウジング部分によって覆われているはずである。これにより、同様にそれぞれの入口からのロータ部分の退出に対する安全性が改善される。

Claims (1)

1. 特に請求項３１〜４１のいずれか１項に記載の真空システム、特に真空ポンプ（４６）、又は、少なくとも１つの真空機器、好ましくは真空ポンプと、少なくとも１つのレシピエント、好ましくは真空チャンバ又は例えば電子顕微鏡のような測定機器とから成るアッセンブリであって、作業領域（１０）と、分離機構（２４）と、制御室（２６）とを有し、制御室が、分離機構（２４）によって作業領域（１０）から分離され、制御室内を、作業領域（１０）内の圧力に対して相対的に変更可能な制御圧力が支配し、制御圧力の変更によって、分離機構（２４）により作業領域（１０）内での作業運動が実施可能であること、を特徴とする真空システム。