JP2018022816A - 半導体システム - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の一実施形態に係る半導体システムについて説明する。図1は、一実施形態に係る半導体システムの一例を示す全体構成図である。
装置コントローラ10Aのハードウェア構成の一例について説明する。図2は、装置コントローラ10Aのハードウェア構成の一例を示す図である。
本発明の一実施形態に係る半導体システムによる処理の一例について説明する。以下では、半導体製造装置1Bの状態を参照して、半導体製造装置1Aの状態を半導体製造装置1Bの状態に合わせこむ場合を例に挙げて説明する。なお、半導体システムにより処理は、複数の半導体製造装置の間において半導体製造装置に関する情報を直接通信することにより共有するものであればよく、一の半導体製造装置の状態を他の半導体製造装置の状態に合わせこむものに限定されるものではない。例えば、一の半導体製造装置において他の半導体製造装置に関する情報を参照するものであってもよく、一の半導体製造装置に他の半導体製造装置に関する情報をコピーするものであってもよい。
10A、10B、10C 装置コントローラ
101 取得部
102 記憶部
103 通信部
104 解析部
105 情報生成部
106 表示部
107 入力受付部
108 クラスタ管理部
Claims (7)
- 第1の半導体製造装置と第2の半導体製造装置との間で半導体製造装置に関する情報を直接通信することにより共有する半導体システムであって、
前記第1の半導体製造装置は、
前記第1の半導体製造装置に関する第1の情報を取得する第1の取得部と、
前記第1の取得部が取得した前記第1の情報を記憶する第1の記憶部と、
前記第1の記憶部に記憶された前記第1の情報を前記第2の半導体製造装置へ送信する第1の通信部と、
を有し、
前記第2の半導体製造装置は、
前記第2の半導体製造装置に関する第2の情報を取得する第2の取得部と、
前記第2の取得部が取得した前記第2の情報を記憶する第2の記憶部と、
前記第1の半導体製造装置から送信された前記第1の情報を受信する第2の通信部と、
前記第2の通信部が受信した前記第1の情報と前記第2の記憶部に記憶された前記第2の情報とに基づいて前記第2の半導体製造装置の状態を解析する解析部と、
前記解析部の解析結果を可視化した情報を生成する情報生成部と、
前記情報生成部により生成された情報を表示する表示部と、
を有する、半導体システム。 - 前記解析部は、
前記第2の取得部が取得した前記第2の情報と前記第2の通信部が受信した前記第1の情報とを比較し、前記第2の半導体製造装置の状態が前記第1の半導体製造装置の状態と同じであるか否かを判定する、
請求項1に記載の半導体システム。 - 前記解析部は、
前記第1の半導体製造装置及び前記第2の半導体製造装置に同一の動作を実行させたときの前記第1の情報と前記第2の情報との差分が所定の範囲内に含まれている場合、前記第2の半導体製造装置の状態が前記第1の半導体製造装置の状態が同じであると判定し、
前記第1の半導体製造装置及び前記第2の半導体製造装置に同一の動作をさせたときの前記第1の情報と前記第2の情報との差分が所定の範囲内に含まれていない場合、前記第2の半導体製造装置の状態が前記第1の半導体製造装置の状態と異なると判定する、
請求項1に記載の半導体システム。 - 前記情報生成部は、
前記解析部が前記第2の半導体製造装置の状態が前記第1の半導体製造装置の状態と異なると判定した場合、前記第2の半導体製造装置により製造される半導体装置の特性を前記第1の半導体製造装置により製造される半導体装置の特性と一致させるための補正値を生成する、
請求項2又は3に記載の半導体システム。 - 前記第1の情報及び前記第2の情報は、それぞれ前記第1の半導体製造装置及び前記第2の半導体製造装置の各部の動作を制御するときに使用する設定値である、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体システム。 - 前記第1の情報及び前記第2の情報は、それぞれ前記第1の半導体製造装置及び前記第2の半導体製造装置に所定の動作を実行させたときの前記第1の半導体製造装置及び前記第2の半導体製造装置の各部の状態のログである、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体システム。
- 前記第1の情報及び前記第2の情報は、それぞれ前記第1の半導体製造装置及び前記第2の半導体製造装置が設置された環境に応じて変化する値である、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体システム。
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