JP2018015890A - 基板の表面を研磨する装置および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の好ましい態様は、前記複数のローラーを各ローラーの軸心を中心に回転させるローラー回転機構をさらに備えたことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第一の面とは反対側の前記基板の第二の面を支持する基板支持ステージをさらに備えたことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板の第一の面にリンス液を供給するリンス液供給ノズルと、前記基板の第一の面に供給された前記リンス液を収集し、該リンス液中に含まれる粒子の数を計測するパーティクルカウンタと、前記粒子の数に基づいて前記基板の第一の面の研磨終点を決定する動作制御部とをさらに備えたことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨終点は、前記粒子の数がしきい値よりも低下した点であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板の第一の面の研磨中に、前記第一の面とは反対側の前記基板の第二の面を支持することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第一の面を研磨する工程は、前記基板の第一の面にリンス液を供給しながら、研磨具を前記基板の第一の面に摺接させて該第一の面を研磨する工程であり、前記基板の第一の面に供給された前記リンス液を収集し、該リンス液中に含まれる粒子の数を計測し、前記粒子の数に基づいて前記基板の第一の面の研磨終点を決定する工程をさらに含むことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨終点は、前記粒子の数がしきい値よりも低下した点であることを特徴とする。
本発明の一参考例は、基板を保持し、該基板を回転させる基板保持部と、研磨具を前記基板の第一の面に摺接させて該第一の面を研磨する研磨ヘッドと、前記基板の第一の面にリンス液を供給するリンス液供給ノズルと、前記基板の第一の面に供給された前記リンス液を収集し、該リンス液中に含まれる粒子の数を計測するパーティクルカウンタと、前記粒子の数に基づいて前記基板の第一の面の研磨終点を決定する動作制御部とを備えたことを特徴とする装置である。
上記参考例の好ましい態様は、前記第一の面とは反対側の前記基板の第二の面を支持する基板支持ステージをさらに備えたことを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記基板保持部は、前記基板の周縁部に接触可能な複数のローラーを備え、前記複数のローラーは、各ローラーの軸心を中心に回転可能に構成されていることを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記研磨ヘッドの軸心から前記研磨具の最も外側の縁部までの距離と、前記基板保持部の軸心から前記研磨ヘッドの軸心までの距離との合計は、前記基板の半径よりも長いことを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記複数のローラーを各ローラーの軸心を中心に回転させるローラー回転機構をさらに備えたことを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記基板の第一の面の研磨中に、前記第一の面とは反対側の前記基板の第二の面を支持することを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記基板を回転させる工程は、複数のローラーを基板の周縁部に接触させながら、前記複数のローラーをそれぞれの軸心を中心に回転させることで、前記基板を回転させる工程であることを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記基板の第一の面を研磨しているとき、前記研磨具の一部は前記基板の周縁部からはみ出ることを特徴とする。
図1は、研磨装置の一実施形態を示す模式図である。研磨装置は、基板の一例であるウェーハWを保持し、その軸心を中心として回転させる基板保持部10と、この基板保持部10に保持されたウェーハWの第一の面1を研磨してウェーハWの第一の面1から異物や傷を除去する研磨ヘッド組立体49と、第一の面1とは反対側のウェーハWの第二の面2を支持する基板支持ステージとしての静圧支持ステージ90とを備えている。研磨ヘッド組立体49は、基板保持部10に保持されているウェーハWの上側に配置されており、静圧支持ステージ90は基板保持部10に保持されているウェーハWの下側に配置されている。
11 ローラー
11a クランプ部
11b テーパー面
12 ローラー回転機構
14A 第1ベルト
14B 第2ベルト
15A 第1モータ
15B 第2モータ
16A 第1ローラー台
16B 第2ローラー台
18A 第1アクチュエータ
18B 第2アクチュエータ
19A 第1サーボモータ
19B 第2サーボモータ
20A 第1ボールねじ機構
20B 第2ボールねじ機構
21 アクチュエータコントローラ
27 リンス液供給ノズル
49 研磨ヘッド組立体
50 研磨ヘッド
53 揺動アーム
54 揺動軸
57 エアシリンダ
58 ヘッド回転機構
61 研磨具
70 パーティクルカウンタ
71 吸引ノズル
73 フローセル
74 吸引ポンプ
76 レーザー
77 光検出器
79 計数処理部
81 動作制御部
83 ノズルアーム
84 ノズルアーム軸
85 洗浄ノズル
87 隔壁
90 静圧支持ステージ
91 基板支持面
92 流体供給路
94 流体噴射口
101 チャック
102 中空モータ
110 記憶装置
111 主記憶装置
112 補助記憶装置
120 処理装置
121 ロードアンロード部
122 フロントロード部
123 第1の搬送ロボット
126 第2の搬送ロボット
127 研磨装置
130 入力装置
132 記録媒体読み込み装置
133 システムコントローラ
134 記録媒体ポート
140 出力装置
141 ディスプレイ装置
142 印刷装置
150 通信装置
172 洗浄ユニット
173 乾燥ユニット
180 処理室
Claims (11)
- 基板を保持し、該基板を回転させる基板保持部と、
研磨具を前記基板の第一の面に摺接させて該第一の面を研磨する研磨ヘッドとを備え、
前記基板保持部は、前記基板の周縁部に接触可能な複数のローラーを備え、
前記複数のローラーは、各ローラーの軸心を中心に回転可能に構成されていることを特徴とする装置。 - 前記研磨ヘッドの軸心から前記研磨具の最も外側の縁部までの距離と、前記基板保持部の軸心から前記研磨ヘッドの軸心までの距離との合計は、前記基板の半径よりも長いことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記複数のローラーを各ローラーの軸心を中心に回転させるローラー回転機構をさらに備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の装置。
- 前記第一の面とは反対側の前記基板の第二の面を支持する基板支持ステージをさらに備えたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の装置。
- 前記基板の第一の面にリンス液を供給するリンス液供給ノズルと、
前記基板の第一の面に供給された前記リンス液を収集し、該リンス液中に含まれる粒子の数を計測するパーティクルカウンタと、
前記粒子の数に基づいて前記基板の第一の面の研磨終点を決定する動作制御部とをさらに備えたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の装置。 - 前記研磨終点は、前記粒子の数がしきい値よりも低下した点であることを特徴とする請求項5に記載の装置。
- 複数のローラーを基板の周縁部に接触させながら、前記複数のローラーをそれぞれの軸心を中心に回転させることで、前記基板を回転させ、
研磨具を前記基板の第一の面に摺接させて該第一の面を研磨することを特徴とする方法。 - 前記基板の第一の面を研磨しているとき、前記研磨具の一部は前記基板の周縁部からはみ出ることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記基板の第一の面の研磨中に、前記第一の面とは反対側の前記基板の第二の面を支持することを特徴とする請求項7または8に記載の方法。
- 前記第一の面を研磨する工程は、前記基板の第一の面にリンス液を供給しながら、研磨具を前記基板の第一の面に摺接させて該第一の面を研磨する工程であり、
前記基板の第一の面に供給された前記リンス液を収集し、
該リンス液中に含まれる粒子の数を計測し、
前記粒子の数に基づいて前記基板の第一の面の研磨終点を決定する工程をさらに含むことを特徴とする請求項7乃至9のいずれか一項に記載の方法。 - 前記研磨終点は、前記粒子の数がしきい値よりも低下した点であることを特徴とする請求項10に記載の方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200023184A (ko) | 2018-08-24 | 2020-03-04 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법, 및 기판 처리 장치를 제어하는 방법을 컴퓨터에 실행시키기 위한 프로그램을 저장한 기억 매체 |
CN113021178A (zh) * | 2019-12-24 | 2021-06-25 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置和基板处理方法 |
CN114641370A (zh) * | 2019-11-15 | 2022-06-17 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理方法和基板处理装置 |
CN115723035A (zh) * | 2022-09-08 | 2023-03-03 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 用于监控研磨装置的加工状态的系统、方法及双面研磨装置 |
CN116872067A (zh) * | 2023-09-07 | 2023-10-13 | 西安鸿磊科技有限公司 | 一种用于铝合金模板加工用表面处理设备 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109530845B (zh) * | 2018-10-29 | 2021-03-26 | 陕西航空电气有限责任公司 | 一种去除整流管芯片表面焊料氧化层的工具 |
CN109333337A (zh) * | 2018-11-19 | 2019-02-15 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 研磨装置及研磨方法 |
JP7149344B2 (ja) * | 2018-12-20 | 2022-10-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP7308074B2 (ja) * | 2019-05-14 | 2023-07-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
CN111451869A (zh) * | 2020-05-08 | 2020-07-28 | 吴学彪 | 一种卡芯片加工设备 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3447869B2 (ja) * | 1995-09-20 | 2003-09-16 | 株式会社荏原製作所 | 洗浄方法及び装置 |
JP2000108024A (ja) * | 1998-10-02 | 2000-04-18 | Toshiba Mach Co Ltd | Cmp研磨装置 |
US6692339B1 (en) * | 1999-11-05 | 2004-02-17 | Strasbaugh | Combined chemical mechanical planarization and cleaning |
US6461224B1 (en) * | 2000-03-31 | 2002-10-08 | Lam Research Corporation | Off-diameter method for preparing semiconductor wafers |
KR20070069780A (ko) * | 2005-12-28 | 2007-07-03 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체용 연마장치 |
JP5663295B2 (ja) * | 2010-01-15 | 2015-02-04 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置、研磨方法、研磨具を押圧する押圧部材 |
US20140024299A1 (en) * | 2012-07-19 | 2014-01-23 | Wen-Chiang Tu | Polishing Pad and Multi-Head Polishing System |
JP6100002B2 (ja) * | 2013-02-01 | 2017-03-22 | 株式会社荏原製作所 | 基板裏面の研磨方法および基板処理装置 |
JP6113624B2 (ja) * | 2013-10-11 | 2017-04-12 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置および基板処理方法 |
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200023184A (ko) | 2018-08-24 | 2020-03-04 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법, 및 기판 처리 장치를 제어하는 방법을 컴퓨터에 실행시키기 위한 프로그램을 저장한 기억 매체 |
CN114641370A (zh) * | 2019-11-15 | 2022-06-17 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理方法和基板处理装置 |
CN114641370B (zh) * | 2019-11-15 | 2023-06-30 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理方法和基板处理装置 |
CN113021178A (zh) * | 2019-12-24 | 2021-06-25 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置和基板处理方法 |
CN113021178B (zh) * | 2019-12-24 | 2023-11-28 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置和基板处理方法 |
CN115723035A (zh) * | 2022-09-08 | 2023-03-03 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 用于监控研磨装置的加工状态的系统、方法及双面研磨装置 |
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CN116872067B (zh) * | 2023-09-07 | 2023-12-15 | 西安鸿磊科技有限公司 | 一种用于铝合金模板加工用表面处理设备 |
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