JP2018014717A5 - - Google Patents

Claims (22)

1. 電子フィルタであって、
   上面、下面及び側面を有する圧電基板と、
   前記圧電基板の上面に形成された複数の弾性表面波（ＳＡＷ）共振器を含むフィルタ回路と、
   上面及び下面を有する封止基板と、
   前記圧電基板の上面と前記封止基板の下面との間にキャビティを画定するべく形成された導電性の側壁と、
   前記側壁に接続されるが前記複数の共振器のいずれにも接続されないグランドパッドと
   を含み、
   前記側壁は、前記フィルタ回路の周縁を取り囲んで前記フィルタ回路のグランド電位に接続される電子フィルタ。
2. 前記フィルタ回路は、前記フィルタ回路の入力に対応する第１信号パッド、及び前記フィルタ回路の出力に対応する第２信号パッドを含む請求項１の電子フィルタ。
3. 前記複数の共振器は、
   前記第１信号パッドと前記第２信号パッドとの間に直列に接続された複数の直列共振器と、
   前記複数の直列共振器と前記グランド電位との間に並列に接続された複数の並列共振器と
   を含むラダー型フィルタを形成する請求項２の電子フィルタ。
4. 前記側壁は、前記フィルタ回路に向かって突出する突起部を含む請求項３の電子フィルタ。
5. 前記突起部は、前記複数の直列共振器の一つと前記複数の並列共振器の一つとの間に隔壁を形成する請求項４の電子フィルタ。
6. 前記フィルタ回路はさらに、前記複数の並列共振器に接続された複数のグランドパッドを含む請求項３の電子フィルタ。
7. 前記封止基板の上面に配置された複数の外部信号電極パッドと、
   前記封止基板の上面に配置された複数の外部グランド電極パッドと
   をさらに含み、
   前記複数の外部信号電極パッドはそれぞれが前記第１信号パッド及び第２信号パッドの一方に、対応する第１柱状電極を介して接続され、
   前記複数の外部グランド電極パッドはそれぞれが前記複数のグランドパッドのそれぞれに、対応する第２柱状電極を介して接続される請求項６の電子フィルタ。
8. 対応する第２柱状電極それぞれと前記側壁との間に配置された隔壁をさらに含む請求項７の電子フィルタ。
9. 前記複数のグランドパッドの少なくとも一つが前記側壁に接続される請求項６の電子フィルタ。
10. 前記封止基板の下面に配置された配線層をさらに含み、
    前記側壁は前記圧電基板の上面と前記配線層との間に延びる請求項９の電子フィルタ。
11. 前記封止基板の上面に配置されて前記複数のグランドパッドに複数の柱状電極のそれぞれ一つを介して接続された複数の電極パッドをさらに含み、
    前記複数の柱状電極の少なくとも２つの柱状電極が前記配線層によって互いに接続される請求項１０の電子フィルタ。
12. 前記封止基板の上面に配置されて前記配線層に接続された外部グランド電極パッドをさらに含む請求項１０の電子フィルタ。
13. 前記配線層は、インダクタ及びキャパシタの少なくとも一方を含む付加回路を含む請求項１２の電子フィルタ。
14. 前記付加回路は前記インダクタを含み、
    前記インダクタは、渦巻形状又はメアンダ形状を有する導線から形成される請求項１３の電子フィルタ。
15. 前記付加回路は前記キャパシタを含み、
    前記キャパシタは、互いに対向するように位置決めされた導線により形成される請求項１４の電子フィルタ。
16. 前記複数の共振器の少なくとも一つを覆うべく前記圧電基板の上面に配置された導電シールド層をさらに含む請求項１の電子フィルタ。
17. 前記圧電基板の側面及び前記側壁を覆うべく配置された導電シールド層をさらに含む請求項１の電子フィルタ。
18. 前記導電シールド層はさらに前記圧電基板の下面を覆うべく配置される請求項１７の電子フィルタ。
19. フィルタデバイスであって、
    上面、下面及び側面を有する圧電基板と、
    前記圧電基板の上面に形成されて複数の共振器を含む一対のフィルタ回路と、
    下面を有する封止基板と、
    前記圧電基板の上面と前記封止基板の下面との間にキャビティを形成するべく配置された導電性の側壁と、
    前記圧電基板の側面、前記圧電基板の下面、及び前記側壁を覆うべく配置された導電シールド層と
    を含み、
    前記側壁は、前記一対のフィルタ回路の周縁を取り囲み、前記一対のフィルタ回路のグランド電位に電気的に接続されるフィルタデバイス。
20. 前記一対のフィルタ回路は第１フィルタ回路及び第２フィルタ回路を含み、
    前記側壁は、前記第１フィルタ回路と前記第２フィルタ回路との接続部に向かって突出する突起部を含み、
    前記突起部は、前記第１フィルタ回路と前記第２フィルタ回路との間に隔壁を形成する請求項１９のフィルタデバイス。
21. 電子フィルタであって、
    上面、下面及び側面を有する圧電基板と、
    前記圧電基板の上面に形成された複数の弾性表面波（ＳＡＷ）共振器を含むフィルタ回路と、
    上面及び下面を有する封止基板と、
    前記圧電基板の上面と前記封止基板の下面との間にキャビティを画定するべく形成された導電性の側壁と、
    前記封止基板の下面に配置された配線層と
    を含み、
    前記側壁は、前記フィルタ回路の周縁を取り囲んで前記フィルタ回路のグランド電位に接続され、
    前記側壁は、前記圧電基板の上面と前記配線層との間に延び、
    前記配線層は、インダクタ及びキャパシタの少なくとも一方を有する付加回路を含む電子フィルタ。
22. 電子フィルタであって、
    上面、下面及び側面を有する圧電基板と、
    前記圧電基板の上面に形成された複数の弾性表面波（ＳＡＷ）共振器を含むフィルタ回路と、
    上面及び下面を有する封止基板と、
    前記圧電基板の上面と前記封止基板の下面との間にキャビティを画定するべく形成された導電性の側壁と、
    前記圧電基板の側面、前記圧電基板の下面、及び前記側壁を覆うべく配置された導電シールド層と
    を含み、
    前記側壁は、前記フィルタ回路の周縁を取り囲んで前記フィルタ回路のグランド電位に接続される電子フィルタ。