JPH07154201A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
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- JPH07154201A JPH07154201A JP29957393A JP29957393A JPH07154201A JP H07154201 A JPH07154201 A JP H07154201A JP 29957393 A JP29957393 A JP 29957393A JP 29957393 A JP29957393 A JP 29957393A JP H07154201 A JPH07154201 A JP H07154201A
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- acoustic wave
- wave filter
- ground electrode
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6489—Compensation of undesirable effects
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
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- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
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- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 弾性表面波共振子を多段接続することにより
構成した弾性表面波フィルタにおいて、充分な帯域外減
衰量を確保する。 【構成】 圧電体基板１上に複数個の弾性表面波共振子
２、３を形成し、前記弾性表面波共振子２、３を縦続接
続することにより弾性表面波フィルタを構成し、かつ前
記弾性表面波フィルタの入出力電極パッド４、５と信号
ライン７、８とが近接した弾性表面波フィルタにおい
て、前記入出力電極パッド４、５と前記信号ライン７、
８との間に接地電極パターン９を配した構成。
構成した弾性表面波フィルタにおいて、充分な帯域外減
衰量を確保する。 【構成】 圧電体基板１上に複数個の弾性表面波共振子
２、３を形成し、前記弾性表面波共振子２、３を縦続接
続することにより弾性表面波フィルタを構成し、かつ前
記弾性表面波フィルタの入出力電極パッド４、５と信号
ライン７、８とが近接した弾性表面波フィルタにおい
て、前記入出力電極パッド４、５と前記信号ライン７、
８との間に接地電極パターン９を配した構成。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、移動体通信機器等に利
用される弾性表面波フィルタ、特に、高帯域外減衰量を
有する弾性表面波フィルタに関する。
用される弾性表面波フィルタ、特に、高帯域外減衰量を
有する弾性表面波フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】移動体通信の発展にともない、各種移動
体通信機器の送受信の段間フィルタやアンテナフィルタ
などとして使用される弾性表面波フィルタの電気的特性
や小型軽量化などに対する要求がますます厳しくなって
きている。特に、帯域外減衰量に対する要求は厳しく、
受信用フィルタでは送信帯域において、また送信用フィ
ルタでは受信帯域において４０〜６０ｄＢの減衰量が要
求されるようになってきた。このように、高帯域外減衰
量を有する弾性表面波フィルタを実現することにより、
従来２個以上のフィルタを用いて構成していた移動体通
信機器の受信部または送信部回路を、１個の弾性表面波
フィルタで実現することが可能であり、機器の小型化、
低コスト化が可能となる。
体通信機器の送受信の段間フィルタやアンテナフィルタ
などとして使用される弾性表面波フィルタの電気的特性
や小型軽量化などに対する要求がますます厳しくなって
きている。特に、帯域外減衰量に対する要求は厳しく、
受信用フィルタでは送信帯域において、また送信用フィ
ルタでは受信帯域において４０〜６０ｄＢの減衰量が要
求されるようになってきた。このように、高帯域外減衰
量を有する弾性表面波フィルタを実現することにより、
従来２個以上のフィルタを用いて構成していた移動体通
信機器の受信部または送信部回路を、１個の弾性表面波
フィルタで実現することが可能であり、機器の小型化、
低コスト化が可能となる。
【０００３】以下に、従来の弾性表面波フィルタについ
て説明する。図７および図８は、従来の弾性表面波フィ
ルタの概略を示す上面図である。図７および図８におい
て、１は圧電体基板、２は直列腕弾性表面波共振子、３
は並列腕弾性表面波共振子、４は入力電極パッド、５は
出力電極パッド、６は接地電極パッド、７は直列腕信号
ライン、８は並列腕信号ラインである。
て説明する。図７および図８は、従来の弾性表面波フィ
ルタの概略を示す上面図である。図７および図８におい
て、１は圧電体基板、２は直列腕弾性表面波共振子、３
は並列腕弾性表面波共振子、４は入力電極パッド、５は
出力電極パッド、６は接地電極パッド、７は直列腕信号
ライン、８は並列腕信号ラインである。
【０００４】従来の弾性表面波フィルタでは、タンタル
酸リチウムやニオブ酸リチウムなどの圧電体基板１上に
複数個の直列腕弾性表面波共振子２および並列腕弾性表
面波共振子３を梯子型に縦続接続し弾性表面波フィルタ
を構成し、直列腕信号ライン７の延長上に入力電極パッ
ド４および出力電極パッド５を配していた。前記従来の
構成では、チップサイズの制約や、挿入損失や帯域内Ｖ
ＳＷＲ等の電気的特性に対する要求による電極設計上の
制約から、弾性表面波共振子の縦続接続段数に限界があ
り、その帯域外減衰量は３０ｄＢ程度が限界であった。
酸リチウムやニオブ酸リチウムなどの圧電体基板１上に
複数個の直列腕弾性表面波共振子２および並列腕弾性表
面波共振子３を梯子型に縦続接続し弾性表面波フィルタ
を構成し、直列腕信号ライン７の延長上に入力電極パッ
ド４および出力電極パッド５を配していた。前記従来の
構成では、チップサイズの制約や、挿入損失や帯域内Ｖ
ＳＷＲ等の電気的特性に対する要求による電極設計上の
制約から、弾性表面波共振子の縦続接続段数に限界があ
り、その帯域外減衰量は３０ｄＢ程度が限界であった。
【０００５】また、前記従来の弾性表面波フィルタと同
一のチップサイズで、弾性表面波共振子の縦続接続段数
を多くして、大きい帯域外減衰量を確保しようとした場
合には、図８に示すように、直列腕および並列腕弾性表
面波共振子２、３、や入力電極パッド４および出力電極
パッド５、直列腕および並列腕信号ライン７、８等が互
いに隣接した構成となっていた。
一のチップサイズで、弾性表面波共振子の縦続接続段数
を多くして、大きい帯域外減衰量を確保しようとした場
合には、図８に示すように、直列腕および並列腕弾性表
面波共振子２、３、や入力電極パッド４および出力電極
パッド５、直列腕および並列腕信号ライン７、８等が互
いに隣接した構成となっていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、弾性表
面波共振子や入力電極パッド、出力電極パッド、信号ラ
インが互いに隣接した構成では、前記入力電極パッドあ
るいは前記出力電極パッドから前記線号ラインへ、ある
いは直列腕信号ラインから並列腕信号ラインへ等の直達
波のレベルが無視できなくなり、弾性表面波共振子を多
段接続したにもかかわらず、帯域外減衰量を充分確保で
きないという問題があった。
面波共振子や入力電極パッド、出力電極パッド、信号ラ
インが互いに隣接した構成では、前記入力電極パッドあ
るいは前記出力電極パッドから前記線号ラインへ、ある
いは直列腕信号ラインから並列腕信号ラインへ等の直達
波のレベルが無視できなくなり、弾性表面波共振子を多
段接続したにもかかわらず、帯域外減衰量を充分確保で
きないという問題があった。
【０００７】本発明は、前記従来の問題点を解決するも
のであり、前記直達波のレベルを軽減し、充分な帯域外
減衰量を確保することを目的とする。
のであり、前記直達波のレベルを軽減し、充分な帯域外
減衰量を確保することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の弾性表面波フィルタは、圧電体基板上に複
数個の弾性表面波共振子を形成し、前記弾性表面波共振
子を縦続接続することにより弾性表面波フィルタを構成
し、かつ前記弾性表面波フィルタの入力電極パッドある
いは出力電極パッドと、信号ラインとが近接した弾性表
面波フィルタにおいて、前記入力電極パッドあるいは前
記出力電極パッドと、前記信号ラインとの間に接地電極
パターンを配した構成を有している。
に、本発明の弾性表面波フィルタは、圧電体基板上に複
数個の弾性表面波共振子を形成し、前記弾性表面波共振
子を縦続接続することにより弾性表面波フィルタを構成
し、かつ前記弾性表面波フィルタの入力電極パッドある
いは出力電極パッドと、信号ラインとが近接した弾性表
面波フィルタにおいて、前記入力電極パッドあるいは前
記出力電極パッドと、前記信号ラインとの間に接地電極
パターンを配した構成を有している。
【０００９】
【作用】前記弾性表面波フィルタの構成により、入力電
極パッドあるいは出力電極パッドと信号ライン間での直
達波のレベルを軽減し、弾性表面波共振子の多段縦続接
続に見合う充分な帯域外減衰量を確保することができる
とともに、高減衰弾性表面波フィルタの実現により移動
体通信機器等の部品点数を削減し、機器の小型化、低コ
スト化をも可能とする。
極パッドあるいは出力電極パッドと信号ライン間での直
達波のレベルを軽減し、弾性表面波共振子の多段縦続接
続に見合う充分な帯域外減衰量を確保することができる
とともに、高減衰弾性表面波フィルタの実現により移動
体通信機器等の部品点数を削減し、機器の小型化、低コ
スト化をも可能とする。
【００１０】また、従来の弾性表面波フィルタの構成に
おいても、入出力電極パッドを信号ラインや弾性表面波
共振子に近接して配置することができるので、チップサ
イズの小型化を図ることも可能である。
おいても、入出力電極パッドを信号ラインや弾性表面波
共振子に近接して配置することができるので、チップサ
イズの小型化を図ることも可能である。
【００１１】
【実施例】（実施例１）以下、本発明の第１の実施例に
ついて、図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、
本発明の第１の実施例における弾性表面波フィルタの構
成の概略を示す上面図である。図１において、１は圧電
体基板、２は直列腕弾性表面波共振子、３は並列腕弾性
表面波共振子、４は入力電極パッド、５は出力電極パッ
ド、６は接地電極パッド、７は直列腕信号ライン、８は
並列腕信号ライン、９は接地電極パターンである。
ついて、図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、
本発明の第１の実施例における弾性表面波フィルタの構
成の概略を示す上面図である。図１において、１は圧電
体基板、２は直列腕弾性表面波共振子、３は並列腕弾性
表面波共振子、４は入力電極パッド、５は出力電極パッ
ド、６は接地電極パッド、７は直列腕信号ライン、８は
並列腕信号ライン、９は接地電極パターンである。
【００１２】本実施例では、圧電体基板１として３６゜
ＹカットＸ伝搬のタンタル酸リチウムを用い、２個の直
列腕共振子２と１個の並列腕共振子３とをＴ型に縦続接
続したものを基本単位として、Ｔ型３段の弾性表面波フ
ィルタを形成した。入力電極パッド４および出力電極パ
ッド５と信号ライン７、８の間には、シールド電極とし
て接地電極パターン９が形成されており、接地電極パッ
ド６と同様にボンディングワイヤによりパッケージに形
成された接地端子と接続した。本実施例では、電極材料
としてアルミニウム薄膜を用いた。本実施例による弾性
表面波フィルタの周波数特性を図２（ａ）に、従来の構
成によるＴ型３段の弾性表面波フィルタの周波数特性を
図２（ｂ）に示す。本実施例による弾性表面波フィルタ
は、中心周波数が８７２．５ＭＨｚの携帯電話用の受信
用フィルタであり、高周波数側帯域外（送信帯域）での
減衰量は６０ｄＢを確保しており、本実施例で用いたセ
ラミックパッケージ（３．８ｍｍ×３．８ｍｍ×１．５
ｍｍ）のアイソレーションのほぼ限界まで抑圧すること
が可能であった。従来の構成の弾性表面波フィルタの場
合では、高周波数側のストップバンドにおける減衰量は
本実施例の場合とほぼ同等であるが、周波数が高くなる
につれて減衰量が小さくなっており、要求特性を満たす
ことができなかった。このように、４０〜６０ｄＢ程度
の減衰量を前記従来の構成で実現する場合には、直達波
のレベルが無視できなくなり、弾性表面波共振子の接続
段数にみあった減衰量を確保できない。
ＹカットＸ伝搬のタンタル酸リチウムを用い、２個の直
列腕共振子２と１個の並列腕共振子３とをＴ型に縦続接
続したものを基本単位として、Ｔ型３段の弾性表面波フ
ィルタを形成した。入力電極パッド４および出力電極パ
ッド５と信号ライン７、８の間には、シールド電極とし
て接地電極パターン９が形成されており、接地電極パッ
ド６と同様にボンディングワイヤによりパッケージに形
成された接地端子と接続した。本実施例では、電極材料
としてアルミニウム薄膜を用いた。本実施例による弾性
表面波フィルタの周波数特性を図２（ａ）に、従来の構
成によるＴ型３段の弾性表面波フィルタの周波数特性を
図２（ｂ）に示す。本実施例による弾性表面波フィルタ
は、中心周波数が８７２．５ＭＨｚの携帯電話用の受信
用フィルタであり、高周波数側帯域外（送信帯域）での
減衰量は６０ｄＢを確保しており、本実施例で用いたセ
ラミックパッケージ（３．８ｍｍ×３．８ｍｍ×１．５
ｍｍ）のアイソレーションのほぼ限界まで抑圧すること
が可能であった。従来の構成の弾性表面波フィルタの場
合では、高周波数側のストップバンドにおける減衰量は
本実施例の場合とほぼ同等であるが、周波数が高くなる
につれて減衰量が小さくなっており、要求特性を満たす
ことができなかった。このように、４０〜６０ｄＢ程度
の減衰量を前記従来の構成で実現する場合には、直達波
のレベルが無視できなくなり、弾性表面波共振子の接続
段数にみあった減衰量を確保できない。
【００１３】なお、本実施例では圧電体基板１として、
３６゜ＹカットＸ伝搬のタンタル酸リチウムを用いた
が、他の圧電体基板または圧電体薄膜を利用した基板の
場合でも同様の効果が得られることは明白である。
３６゜ＹカットＸ伝搬のタンタル酸リチウムを用いた
が、他の圧電体基板または圧電体薄膜を利用した基板の
場合でも同様の効果が得られることは明白である。
【００１４】以上のように、圧電体基板上に複数個の弾
性表面波共振子を形成し、前記弾性表面波共振子を縦続
接続することにより弾性表面波フィルタを構成し、かつ
前記弾性表面波フィルタの入力電極パッドあるいは出力
電極パッドと、信号ラインとが近接した弾性表面波フィ
ルタにおいて、前記入力電極パッドあるいは前記出力電
極パッドと、前記信号ラインとの間に接地電極パターン
を配した構成により、弾性表面波共振子の縦続接続段数
にみあった充分な帯域外減衰量を確保することができ
る。
性表面波共振子を形成し、前記弾性表面波共振子を縦続
接続することにより弾性表面波フィルタを構成し、かつ
前記弾性表面波フィルタの入力電極パッドあるいは出力
電極パッドと、信号ラインとが近接した弾性表面波フィ
ルタにおいて、前記入力電極パッドあるいは前記出力電
極パッドと、前記信号ラインとの間に接地電極パターン
を配した構成により、弾性表面波共振子の縦続接続段数
にみあった充分な帯域外減衰量を確保することができ
る。
【００１５】（実施例２）以下、本発明の第２の実施例
について、図面を参照しながら詳細に説明する。図３
は、本発明の第２の実施例における弾性表面波フィルタ
の構成の概略を示す上面図である。図３において、１は
圧電体基板、２は直列腕弾性表面波共振子、３は並列腕
弾性表面波共振子、４は入力電極パッド、５は出力電極
パッド、６は接地電極パッド、７は直列腕信号ライン、
８は並列腕信号ライン、９は接地電極パターンである。
について、図面を参照しながら詳細に説明する。図３
は、本発明の第２の実施例における弾性表面波フィルタ
の構成の概略を示す上面図である。図３において、１は
圧電体基板、２は直列腕弾性表面波共振子、３は並列腕
弾性表面波共振子、４は入力電極パッド、５は出力電極
パッド、６は接地電極パッド、７は直列腕信号ライン、
８は並列腕信号ライン、９は接地電極パターンである。
【００１６】本実施例においても、第１の実施例と同
様、圧電体基板１として３６゜ＹカットＸ伝搬のタンタ
ル酸リチウムを用いた。構成としては、２個の直列腕共
振子２と１個の並列腕共振子３とをＴ型に縦続接続した
ものを基本単位として、Ｔ型２段の弾性表面波フィルタ
を形成した。また、直列腕に連続して接続された弾性表
面波共振子２の間には、シールド電極として接地電極パ
ターン９が形成されており、接地電極パッド６と同様に
ボンディングワイヤによりパッケージに形成された接地
端子と接続した。また、本実施例においても、電極材料
としてアルミニウム薄膜を用いた。本実施例の構成によ
って、連続して直列腕に接続された弾性表面波共振子２
間での直達波のレベルを軽減することができ、従来の構
成に比べて、帯域外減衰量で１〜２ｄＢの改善効果があ
った。
様、圧電体基板１として３６゜ＹカットＸ伝搬のタンタ
ル酸リチウムを用いた。構成としては、２個の直列腕共
振子２と１個の並列腕共振子３とをＴ型に縦続接続した
ものを基本単位として、Ｔ型２段の弾性表面波フィルタ
を形成した。また、直列腕に連続して接続された弾性表
面波共振子２の間には、シールド電極として接地電極パ
ターン９が形成されており、接地電極パッド６と同様に
ボンディングワイヤによりパッケージに形成された接地
端子と接続した。また、本実施例においても、電極材料
としてアルミニウム薄膜を用いた。本実施例の構成によ
って、連続して直列腕に接続された弾性表面波共振子２
間での直達波のレベルを軽減することができ、従来の構
成に比べて、帯域外減衰量で１〜２ｄＢの改善効果があ
った。
【００１７】以上のように、圧電体基板上に複数個の弾
性表面波共振子を形成し、前記弾性表面波共振子を縦続
接続することにより弾性表面波フィルタを構成し、かつ
少なくとも２つ以上の弾性表面波共振子が、連続して直
列腕に接続された弾性表面波フィルタにおいて、前記連
続して直列腕に接続された弾性表面波共振子間に、接地
電極パターンを配することにより、直列共振子間の直達
波レベルを軽減し、帯域外減衰量を改善することができ
る。また前記構成により、直列腕に連続して接続された
弾性表面波共振子間の距離を小さくすることができ、チ
ップサイズの小型化にも寄与する。
性表面波共振子を形成し、前記弾性表面波共振子を縦続
接続することにより弾性表面波フィルタを構成し、かつ
少なくとも２つ以上の弾性表面波共振子が、連続して直
列腕に接続された弾性表面波フィルタにおいて、前記連
続して直列腕に接続された弾性表面波共振子間に、接地
電極パターンを配することにより、直列共振子間の直達
波レベルを軽減し、帯域外減衰量を改善することができ
る。また前記構成により、直列腕に連続して接続された
弾性表面波共振子間の距離を小さくすることができ、チ
ップサイズの小型化にも寄与する。
【００１８】（実施例３）以下、本発明の第３の実施例
について、図面を参照しながら詳細に説明する。図４
は、本発明の第３の実施例における弾性表面波フィルタ
の構成の概略を示す上面図である。図４において、１は
圧電体基板、２は直列腕弾性表面波共振子、３は並列腕
弾性表面波共振子、４は入力電極パッド、５は出力電極
パッド、６は接地電極パッド、７は直列腕信号ライン、
８は並列腕信号ライン、９は接地電極パターンである。
について、図面を参照しながら詳細に説明する。図４
は、本発明の第３の実施例における弾性表面波フィルタ
の構成の概略を示す上面図である。図４において、１は
圧電体基板、２は直列腕弾性表面波共振子、３は並列腕
弾性表面波共振子、４は入力電極パッド、５は出力電極
パッド、６は接地電極パッド、７は直列腕信号ライン、
８は並列腕信号ライン、９は接地電極パターンである。
【００１９】本実施例では、第２の実施例と同様、圧電
体基板１として３６゜ＹカットＸ伝搬のタンタル酸リチ
ウムを用い、２個の直列腕共振子２と１個の並列腕共振
子３とをＴ型に縦続接続したものを基本単位として、Ｔ
型２段の弾性表面波フィルタを形成した。また、並列腕
信号ライン８とそれと隣接するもう一方の並列腕信号ラ
イン８の間には、シールド電極として接地電極パターン
９が形成されており、接地電極パッド６と同様にボンデ
ィングワイヤによりパッケージに形成された接地端子と
接続した。本実施例においても、電極材料としてアルミ
ニウム薄膜を用いた。本実施例の構成によって、並列腕
信号ライン間相互での直達波のレベルを軽減することが
でき、従来の構成に比べて、帯域外減衰量を改善するこ
とが可能であった。また、本実施例では並列腕信号ライ
ン８間のみに接地電極パターンを配したが、直列腕信号
ライン７と並列腕信号ライン８間にも接地電極パターン
を配することにより、信号ライン間での直達波レベルを
軽減し、さらに信頼性の高い弾性表面波フィルタを得る
ことができる。
体基板１として３６゜ＹカットＸ伝搬のタンタル酸リチ
ウムを用い、２個の直列腕共振子２と１個の並列腕共振
子３とをＴ型に縦続接続したものを基本単位として、Ｔ
型２段の弾性表面波フィルタを形成した。また、並列腕
信号ライン８とそれと隣接するもう一方の並列腕信号ラ
イン８の間には、シールド電極として接地電極パターン
９が形成されており、接地電極パッド６と同様にボンデ
ィングワイヤによりパッケージに形成された接地端子と
接続した。本実施例においても、電極材料としてアルミ
ニウム薄膜を用いた。本実施例の構成によって、並列腕
信号ライン間相互での直達波のレベルを軽減することが
でき、従来の構成に比べて、帯域外減衰量を改善するこ
とが可能であった。また、本実施例では並列腕信号ライ
ン８間のみに接地電極パターンを配したが、直列腕信号
ライン７と並列腕信号ライン８間にも接地電極パターン
を配することにより、信号ライン間での直達波レベルを
軽減し、さらに信頼性の高い弾性表面波フィルタを得る
ことができる。
【００２０】なお、以上はＴ型２段構成の弾性表面波フ
ィルタについて示したが、Ｔ型３段構成、あるいは通常
の梯子型接続のフィルタの場合についても同様の効果が
得られることは言うまでもない。
ィルタについて示したが、Ｔ型３段構成、あるいは通常
の梯子型接続のフィルタの場合についても同様の効果が
得られることは言うまでもない。
【００２１】以上のように、圧電体基板上に複数個の弾
性表面波共振子を形成し、前記弾性表面波共振子を縦続
接続することにより構成した弾性表面波フィルタにおい
て、直列腕信号ラインと、並列腕信号ラインとの間に、
あるいは並列腕信号ラインと、それと近接した並列腕信
号ラインとの間に、接地電極パターンを配することによ
り、直列腕または並列腕信号ライン間相互での直達波レ
ベルを軽減し、帯域外減衰量を改善することができる。
また前記構成により、直列腕および並列腕信号ラインの
距離を縮小することができ、チップサイズの小型化にも
寄与する。
性表面波共振子を形成し、前記弾性表面波共振子を縦続
接続することにより構成した弾性表面波フィルタにおい
て、直列腕信号ラインと、並列腕信号ラインとの間に、
あるいは並列腕信号ラインと、それと近接した並列腕信
号ラインとの間に、接地電極パターンを配することによ
り、直列腕または並列腕信号ライン間相互での直達波レ
ベルを軽減し、帯域外減衰量を改善することができる。
また前記構成により、直列腕および並列腕信号ラインの
距離を縮小することができ、チップサイズの小型化にも
寄与する。
【００２２】（実施例４）以下、本発明の第４の実施例
について、図面を参照しながら詳細に説明する。図５
は、本発明の第４の実施例における弾性表面波フィルタ
の構成の概略を示す上面図である。図５において、１は
圧電体基板、２は直列腕弾性表面波共振子、３は並列腕
弾性表面波共振子、４は入力電極パッド、５は出力電極
パッド、６は接地電極パッド、７は直列腕信号ライン、
８は並列腕信号ライン、９は接地電極パターンである。
について、図面を参照しながら詳細に説明する。図５
は、本発明の第４の実施例における弾性表面波フィルタ
の構成の概略を示す上面図である。図５において、１は
圧電体基板、２は直列腕弾性表面波共振子、３は並列腕
弾性表面波共振子、４は入力電極パッド、５は出力電極
パッド、６は接地電極パッド、７は直列腕信号ライン、
８は並列腕信号ライン、９は接地電極パターンである。
【００２３】本実施例では、第１の実施例と同様、圧電
体基板１として３６゜ＹカットＸ伝搬のタンタル酸リチ
ウムを用い、２個の直列腕共振子２と１個の並列腕共振
子３とをＴ型に縦続接続したものを基本単位として、Ｔ
型３段の弾性表面波フィルタを形成した。また、直列腕
弾性表面波共振子２と、並列腕弾性表面波共振子３が、
弾性表面波の伝搬方向、すなわち本実施例における圧電
体基板のＸ軸方向と平行に隣あって配置された箇所に、
シールド電極として接地電極パターン９が形成されてお
り、接地電極パッド６と同様にボンディングワイヤによ
りパッケージに形成された接地端子と接続した。本実施
例においても、電極材料としてアルミニウム薄膜を用い
た。本実施例の構成によって、直列腕弾性表面波共振子
２と、並列腕弾性表面波共振子３の相互での直達波のレ
ベルを軽減するとともに、弾性表面波の不要な結合を防
止することができ、従来の構成に比べて、帯域外減衰量
を改善し、不要スプリアスを除去することが可能であ
る。本実施例の弾性表面波フィルタでは、弾性表面波共
振子にすべて反射器を有した構成をとなっているが、部
分的に反射器を有さない共振子を設けた場合には、前記
構成はスプリアス除去の面で特に有効である。また、前
記構成によれば、直列腕弾性表面波共振子および並列腕
弾性表面波共振子間の距離を縮小することができ、チッ
プサイズの小型化にも寄与する。
体基板１として３６゜ＹカットＸ伝搬のタンタル酸リチ
ウムを用い、２個の直列腕共振子２と１個の並列腕共振
子３とをＴ型に縦続接続したものを基本単位として、Ｔ
型３段の弾性表面波フィルタを形成した。また、直列腕
弾性表面波共振子２と、並列腕弾性表面波共振子３が、
弾性表面波の伝搬方向、すなわち本実施例における圧電
体基板のＸ軸方向と平行に隣あって配置された箇所に、
シールド電極として接地電極パターン９が形成されてお
り、接地電極パッド６と同様にボンディングワイヤによ
りパッケージに形成された接地端子と接続した。本実施
例においても、電極材料としてアルミニウム薄膜を用い
た。本実施例の構成によって、直列腕弾性表面波共振子
２と、並列腕弾性表面波共振子３の相互での直達波のレ
ベルを軽減するとともに、弾性表面波の不要な結合を防
止することができ、従来の構成に比べて、帯域外減衰量
を改善し、不要スプリアスを除去することが可能であ
る。本実施例の弾性表面波フィルタでは、弾性表面波共
振子にすべて反射器を有した構成をとなっているが、部
分的に反射器を有さない共振子を設けた場合には、前記
構成はスプリアス除去の面で特に有効である。また、前
記構成によれば、直列腕弾性表面波共振子および並列腕
弾性表面波共振子間の距離を縮小することができ、チッ
プサイズの小型化にも寄与する。
【００２４】以上のように、圧電体基板上に複数個の弾
性表面波共振子を形成し、前記弾性表面波共振子を縦続
接続することにより弾性表面波フィルタを構成し、かつ
少なくとも１組以上の直列腕に接続された弾性表面波共
振子と、並列腕に接続された弾性表面波共振子とが、そ
れぞれの弾性表面波の伝搬方向と平行に、隣あって配置
された弾性表面波フィルタにおいて、前記直列腕に接続
された弾性表面波共振子と、前記並列腕に接続された弾
性表面波共振子との間に、接地電極パターンを配するこ
とにより、直列腕弾性表面波共振子と並列腕弾性表面波
共振子の相互での直達波レベルを軽減し、帯域外減衰量
を改善するとともに不要スプリアスを軽減することがで
きる。
性表面波共振子を形成し、前記弾性表面波共振子を縦続
接続することにより弾性表面波フィルタを構成し、かつ
少なくとも１組以上の直列腕に接続された弾性表面波共
振子と、並列腕に接続された弾性表面波共振子とが、そ
れぞれの弾性表面波の伝搬方向と平行に、隣あって配置
された弾性表面波フィルタにおいて、前記直列腕に接続
された弾性表面波共振子と、前記並列腕に接続された弾
性表面波共振子との間に、接地電極パターンを配するこ
とにより、直列腕弾性表面波共振子と並列腕弾性表面波
共振子の相互での直達波レベルを軽減し、帯域外減衰量
を改善するとともに不要スプリアスを軽減することがで
きる。
【００２５】（実施例５）以下、本発明の第５の実施例
について詳細に説明する。本実施例では、第１の実施例
で示した弾性表面波フィルタの接地電極パターン９を、
弾性表面波共振子２、３等を構成する導電性膜よりも、
膜厚を厚く形成した構成となっている。具体的な製法と
しては、まず弾性表面波共振子２、３等を形成するのに
適当な膜厚（本実施例では約４３００Å）のアルミニウ
ム膜をスパッタ法により成膜する。通常のフォトリソグ
ラフィー手法により前記弾性表面波共振子や接地電極パ
ターン等を形成する。次に、接地電極パターンのみのマ
スクを用いてリフトオフ手法により、さらに約４０００
Åの接地電極パターンを形成した。このようにして、弾
性表面波共振子を形成する導電性膜の約２倍の厚さを有
する接地電極パターンを得た。前記構成により、接地電
極パターンのシート抵抗を小さくするとともにシールド
効果を高めることができる。また、接地電極パターンの
面積を縮小することが可能となるので、チップサイズの
小型化にも寄与する。
について詳細に説明する。本実施例では、第１の実施例
で示した弾性表面波フィルタの接地電極パターン９を、
弾性表面波共振子２、３等を構成する導電性膜よりも、
膜厚を厚く形成した構成となっている。具体的な製法と
しては、まず弾性表面波共振子２、３等を形成するのに
適当な膜厚（本実施例では約４３００Å）のアルミニウ
ム膜をスパッタ法により成膜する。通常のフォトリソグ
ラフィー手法により前記弾性表面波共振子や接地電極パ
ターン等を形成する。次に、接地電極パターンのみのマ
スクを用いてリフトオフ手法により、さらに約４０００
Åの接地電極パターンを形成した。このようにして、弾
性表面波共振子を形成する導電性膜の約２倍の厚さを有
する接地電極パターンを得た。前記構成により、接地電
極パターンのシート抵抗を小さくするとともにシールド
効果を高めることができる。また、接地電極パターンの
面積を縮小することが可能となるので、チップサイズの
小型化にも寄与する。
【００２６】以上のように、接地電極パターンの膜厚
が、弾性表面波共振子を形成している導電性膜の膜厚よ
りも厚くすることにより、直達波レベルの軽減効果を高
め、帯域外減衰量を充分確保することができる。
が、弾性表面波共振子を形成している導電性膜の膜厚よ
りも厚くすることにより、直達波レベルの軽減効果を高
め、帯域外減衰量を充分確保することができる。
【００２７】なお、接地電極パターンの製法として、特
に本実施例で示した前記製法による必要はない。
に本実施例で示した前記製法による必要はない。
【００２８】（実施例６）以下、本発明の第６の実施例
について、詳細に説明する。本実施例では、第１の実施
例で示した弾性表面波フィルタの接地電極パターン９
を、弾性表面波共振子２、３等を構成する導電性膜（ア
ルミニウム薄膜）よりも、導電率が高く、比重の大きい
金属として金（約３０００Å）を用いた。前記構成によ
り、シールド効果を高めるとともに、第４の実施例で示
した弾性表面波共振子間の不要な結合の阻止効果も高め
ることができる。
について、詳細に説明する。本実施例では、第１の実施
例で示した弾性表面波フィルタの接地電極パターン９
を、弾性表面波共振子２、３等を構成する導電性膜（ア
ルミニウム薄膜）よりも、導電率が高く、比重の大きい
金属として金（約３０００Å）を用いた。前記構成によ
り、シールド効果を高めるとともに、第４の実施例で示
した弾性表面波共振子間の不要な結合の阻止効果も高め
ることができる。
【００２９】本実施例では、接地電極パターンとして金
電極を用いたが、パラジウム等を含む金合金や他の高導
電率を有する合金を用いても差し支えない。
電極を用いたが、パラジウム等を含む金合金や他の高導
電率を有する合金を用いても差し支えない。
【００３０】以上のように、接地電極パターンを形成し
ている導電性膜の比重および導電率が、弾性表面波共振
子を形成している導電性膜の比重よりも大きく、かつ導
電率が高い材料により形成することにより、直達波レベ
ルの軽減効果を高め、帯域外減衰量を充分確保すること
ができる。
ている導電性膜の比重および導電率が、弾性表面波共振
子を形成している導電性膜の比重よりも大きく、かつ導
電率が高い材料により形成することにより、直達波レベ
ルの軽減効果を高め、帯域外減衰量を充分確保すること
ができる。
【００３１】（実施例７）以下、本発明の第７の実施例
について、詳細に説明する。本実施例では、第１の実施
例で示した弾性表面波フィルタのアルミニウムからなる
接地電極パターン９上に、下地金属膜としてクロムを５
００Å、さらに金を３０００Å形成し、３層からなる接
地電極パターン９を有した構成となっている。前記構成
により、接地電極パターンのシート抵抗を小さくするこ
とができ、シールド効果を高めるとともに、第４の実施
例で示した弾性表面波共振子間の不要な結合の阻止効果
も高めることができる。また、実施例６で示した場合に
比べ、接地電極パターンと基板との密着力を高めること
ができ、信頼性の高い弾性表面波フィルタを得ることが
できる。
について、詳細に説明する。本実施例では、第１の実施
例で示した弾性表面波フィルタのアルミニウムからなる
接地電極パターン９上に、下地金属膜としてクロムを５
００Å、さらに金を３０００Å形成し、３層からなる接
地電極パターン９を有した構成となっている。前記構成
により、接地電極パターンのシート抵抗を小さくするこ
とができ、シールド効果を高めるとともに、第４の実施
例で示した弾性表面波共振子間の不要な結合の阻止効果
も高めることができる。また、実施例６で示した場合に
比べ、接地電極パターンと基板との密着力を高めること
ができ、信頼性の高い弾性表面波フィルタを得ることが
できる。
【００３２】本実施例においても、接地電極パターンの
最上層に金電極を用いたが、パラジウム等を含む金合金
や他の高導電率を有する導電性材料を用いても差し支え
ない。
最上層に金電極を用いたが、パラジウム等を含む金合金
や他の高導電率を有する導電性材料を用いても差し支え
ない。
【００３３】以上のように、接地電極パターンを、２層
以上の異なる材料からなる導電性膜により形成すること
により、直達波レベルの軽減効果を高め、帯域外減衰量
を充分確保することができるとともに信頼性の高い弾性
表面波フィルタを得ることができる。
以上の異なる材料からなる導電性膜により形成すること
により、直達波レベルの軽減効果を高め、帯域外減衰量
を充分確保することができるとともに信頼性の高い弾性
表面波フィルタを得ることができる。
【００３４】（実施例８）以下、本発明の第８の実施例
について、図面を参照しながら詳細に説明する。図６
は、本発明の第８の実施例における弾性表面波フィルタ
の構成の概略を示す上面図である。図６において、１は
圧電体基板、２は直列腕弾性表面波共振子、３は並列腕
弾性表面波共振子、４は入力電極パッド、５は出力電極
パッド、６は接地電極パッド、７は直列腕信号ライン、
８は並列腕信号ライン、９は接地電極パターンである。
について、図面を参照しながら詳細に説明する。図６
は、本発明の第８の実施例における弾性表面波フィルタ
の構成の概略を示す上面図である。図６において、１は
圧電体基板、２は直列腕弾性表面波共振子、３は並列腕
弾性表面波共振子、４は入力電極パッド、５は出力電極
パッド、６は接地電極パッド、７は直列腕信号ライン、
８は並列腕信号ライン、９は接地電極パターンである。
【００３５】本実施例では、圧電体基板１として３６゜
ＹカットＸ伝搬のタンタル酸リチウムを用い、２個の直
列腕共振子２と１個の並列腕共振子３とをＴ型に縦続接
続したものを基本単位として、Ｔ型３段の弾性表面波フ
ィルタを形成した。なお、本実施例では、直列腕弾性表
面波共振子２として、反射器を有さない構成のものを用
いた。さらに、第４の実施例で示した弾性表面波フィル
タの接地電極パターン９を、弾性表面波の伝搬方向と４
５゜の角度をもたせた構成となっている。前記構成によ
り、反射器より漏れてきた弾性表面波を外部に反射する
ことができ不要スプリアスを軽減することができる。前
記構成は、本実施例のように反射器を有さない弾性表面
波共振子を用いた弾性表面波フィルタに対して、特に有
効であることは言うまでもない。また、接地電極パター
ンの膜厚を弾性表面波共振子等の膜厚よりも厚くした
り、金等の高比重、高導電率を有する導電性膜で形成し
た場合にはより一層の改善効果がみられる。
ＹカットＸ伝搬のタンタル酸リチウムを用い、２個の直
列腕共振子２と１個の並列腕共振子３とをＴ型に縦続接
続したものを基本単位として、Ｔ型３段の弾性表面波フ
ィルタを形成した。なお、本実施例では、直列腕弾性表
面波共振子２として、反射器を有さない構成のものを用
いた。さらに、第４の実施例で示した弾性表面波フィル
タの接地電極パターン９を、弾性表面波の伝搬方向と４
５゜の角度をもたせた構成となっている。前記構成によ
り、反射器より漏れてきた弾性表面波を外部に反射する
ことができ不要スプリアスを軽減することができる。前
記構成は、本実施例のように反射器を有さない弾性表面
波共振子を用いた弾性表面波フィルタに対して、特に有
効であることは言うまでもない。また、接地電極パター
ンの膜厚を弾性表面波共振子等の膜厚よりも厚くした
り、金等の高比重、高導電率を有する導電性膜で形成し
た場合にはより一層の改善効果がみられる。
【００３６】以上のように、接地電極パターンの、弾性
表面波共振子に近接した辺が、弾性表面波の伝搬方向
と、一定の角度をなすように形成することにより、不要
スプリアスを除去し特性の優れた弾性表面波フィルタを
得ることができる。
表面波共振子に近接した辺が、弾性表面波の伝搬方向
と、一定の角度をなすように形成することにより、不要
スプリアスを除去し特性の優れた弾性表面波フィルタを
得ることができる。
【００３７】
【発明の効果】以上のように本発明は、圧電体基板上に
複数個の弾性表面波共振子を形成し、前記弾性表面波共
振子を縦続接続することにより弾性表面波フィルタを構
成し、かつ前記弾性表面波フィルタの入出力電極パッド
と信号ラインとが近接した弾性表面波フィルタにおい
て、前記入出力電極パッドと前記信号ラインとの間に接
地電極パターンを配した構成を有することにより、充分
な帯域外減衰量を得ることができる。また、高帯域外減
衰量を有する弾性表面波フィルタの実現により、移動体
通信機器の部品点数の削減が可能であり、機器の小型
化、低コスト化に寄与する。
複数個の弾性表面波共振子を形成し、前記弾性表面波共
振子を縦続接続することにより弾性表面波フィルタを構
成し、かつ前記弾性表面波フィルタの入出力電極パッド
と信号ラインとが近接した弾性表面波フィルタにおい
て、前記入出力電極パッドと前記信号ラインとの間に接
地電極パターンを配した構成を有することにより、充分
な帯域外減衰量を得ることができる。また、高帯域外減
衰量を有する弾性表面波フィルタの実現により、移動体
通信機器の部品点数の削減が可能であり、機器の小型
化、低コスト化に寄与する。
【図１】本発明の第１の実施例における弾性表面波フィ
ルタの構成を示す上面図
ルタの構成を示す上面図
【図２】（ａ）本発明の第１の実施例による弾性表面波
フィルタの周波数特性図 （ｂ）従来の構成による弾性表面波フィルタの周波数特
性図
フィルタの周波数特性図 （ｂ）従来の構成による弾性表面波フィルタの周波数特
性図
【図３】本発明の第２の実施例における弾性表面波フィ
ルタの構成を示す上面図
ルタの構成を示す上面図
【図４】本発明の第３の実施例における弾性表面波フィ
ルタの構成を示す上面図
ルタの構成を示す上面図
【図５】本発明の第４の実施例における弾性表面波フィ
ルタの構成を示す上面図
ルタの構成を示す上面図
【図６】本発明の第８の実施例における弾性表面波フィ
ルタの構成を示す上面図
ルタの構成を示す上面図
【図７】従来の弾性表面波フィルタの第１の構成を示す
上面図
上面図
【図８】従来の弾性表面波フィルタの第２の構成を示す
上面図
上面図
１ 圧電体基板 ２ 直列腕弾性表面波共振子 ３ 並列腕弾性表面波共振子 ４ 入力電極パッド ５ 出力電極パッド ６ 接地電極パッド ７ 直列腕信号ライン ８ 並列腕信号ライン ９ 接地電極パターン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 関 俊一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (10)
- 【請求項１】圧電体基板上に複数個の弾性表面波共振子
を形成し、前記弾性表面波共振子を縦続接続することに
より弾性表面波フィルタを構成し、かつ前記弾性表面波
フィルタの入力電極パッドあるいは出力電極パッドと、
信号ラインとが近接した弾性表面波フィルタにおいて、
前記入力電極パッドあるいは前記出力電極パッドと、前
記信号ラインとの間に、接地電極パターンを配したこと
を特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項２】圧電体基板上に複数個の弾性表面波共振子
を形成し、前記弾性表面波共振子を縦続接続することに
より弾性表面波フィルタを構成し、かつ少なくとも２つ
以上の弾性表面波共振子が、連続して直列腕に接続され
た弾性表面波フィルタにおいて、前記連続して直列腕に
接続された弾性表面波共振子間に、接地電極パターンを
配したことを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項３】圧電体基板上に複数個の弾性表面波共振子
を形成し、前記弾性表面波共振子を縦続接続することに
より構成した弾性表面波フィルタにおいて、直列腕信号
ラインと、並列腕信号ラインとの間に、あるいは並列腕
信号ラインと、それと近接した並列腕信号ラインとの間
に、接地電極パターンを配したことを特徴とする弾性表
面波フィルタ。 - 【請求項４】圧電体基板上に複数個の弾性表面波共振子
を形成し、前記弾性表面波共振子を縦続接続することに
より弾性表面波フィルタを構成し、かつ少なくとも１組
以上の直列腕に接続された弾性表面波共振子と、並列腕
に接続された弾性表面波共振子とが、それぞれの弾性表
面波の伝搬方向と平行に、隣あって配置された弾性表面
波フィルタにおいて、前記直列腕に接続された弾性表面
波共振子と、前記並列腕に接続された弾性表面波共振子
との間に、接地電極パターンを配したことを特徴とする
弾性表面波フィルタ。 - 【請求項５】接地電極パターンの膜厚が、弾性表面波共
振子を形成している導電性膜の膜厚よりも厚いことを特
徴とする請求項１ないし４記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項６】接地電極パターンを形成している導電性膜
の比重および導電率が、弾性表面波共振子を形成してい
る導電性膜の比重よりも大きく、かつ導電率が高い材料
により形成されたことを特徴とする請求項１ないし４記
載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項７】弾性表面波共振子をアルミニウム合金膜、
接地電極パターンを金合金膜により形成したことを特徴
とする請求項６記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項８】接地電極パターンが、２層以上の異なる材
料からなる導電性膜により形成されたことを特徴とする
請求項１ないし４記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項９】第１層を弾性表面波共振子と同時に形成さ
れたアルミニウム合金膜とし、第２層をクロムあるいは
ニッケルを主成分とする合金膜、第３層を金合金膜とし
たことを特徴とする請求項８記載の弾性表面波フィル
タ。 - 【請求項１０】接地電極パターンの、弾性表面波共振子
に近接した辺が、弾性表面波の伝搬方向と、一定の角度
をなすように形成されたことを特徴とする請求項３ない
し４記載の弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29957393A JPH07154201A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29957393A JPH07154201A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07154201A true JPH07154201A (ja) | 1995-06-16 |
Family
ID=17874384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29957393A Pending JPH07154201A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07154201A (ja) |
Cited By (11)
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|---|---|---|---|---|
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| US6445261B1 (en) * | 1998-05-19 | 2002-09-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Saw filter antenna sharing device using the same, and mobile communication terminal using the same |
| US6943649B2 (en) | 2002-08-29 | 2005-09-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter with a ground pattern partially surrounding a signal pad and communication device using same |
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-
1993
- 1993-11-30 JP JP29957393A patent/JPH07154201A/ja active Pending
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