JP2018003143A - 基板処理装置及びアライメント方法 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 基板に対して処理を施すための複数の処理室と、前記複数の処理室の各々に設けられた基板載置部と、前記基板載置部に前記基板を搬送する搬送手段とを備えた基板処理装置であって、搬送経路毎にグループ化された移動情報を有する記憶手段と、前記移動情報に基づいて前記基板を移動制御する制御手段とを備えることを特徴とする基板処理装置。
- 前記移動情報は、前記基板を前記基板載置部に載置した際の位置情報と、前記基板の載置後に、前記基板をアライメントした後の位置情報との差分情報を有することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 基板に対して処理を施すための複数の処理室と、前記複数の処理室の各々に設けられた基板載置部と、前記基板載置部に前記基板を搬送する搬送手段とを備えた基板処理装置であって、前記処理室と前記搬送手段とに夫々基づいた移動情報を有する記憶手段と、前記基板が搬送された前記処理室と搬送経路との前記移動情報に基づいて前記基板を移動制御する制御手段とを備えることを特徴とする基板処理装置。
- 前記制御手段は、前記移動情報に基づいた前記基板の移動制御に前記搬送手段を用いることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記制御手段は、前記移動情報に基づいた前記基板の移動制御に前記基板載置部を用いることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記制御手段は、前記移動情報に基づいた前記基板の移動と反対方向に同量だけ、前記基板載置部を、前記基板の前記移動情報に基づく移動の前に移動させるように構成されていることを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。
- 基板に対して処理を施すための複数の処理室と、前記複数の処理室の各々に設けられた基板載置部と、前記基板載置部に前記基板を搬送する搬送手段とを備え、前記基板が載置された前記基板載置部を移動させてこの基板と前記処理室に備えられた対象物とのアライメントを行うアライメント方法であって、
前記搬送手段により前記処理室に前記基板が搬送される工程と、
搬送経路毎にグループ化された移動情報に基づいて前記基板を移動させる工程と、
前記基板と前記対象物とのアライメントを行うアライメント工程とを有することを特徴とするアライメント方法。 - 前記移動情報は、前記基板を前記基板載置部に載置した際の位置情報と、前記基板の前記アライメント工程後の位置情報との差分情報を有することを特徴とする請求項7に記載の基板処理装置。
- 基板に対して処理を施すための複数の処理室と、前記複数の処理室の各々に設けられた基板載置部と、前記基板載置部に前記基板を搬送する搬送手段とを備えた成膜装置において、前記基板が載置された前記基板載置部を移動させてこの基板と前記処理室に備えられた対象物とのアライメントを行うアライメント方法であって、
前記搬送手段により前記処理室のうちの一つに前記基板が搬送される工程と、
前記基板が搬送された前記処理室と搬送経路との移動情報に基づいて前記基板を移動させる工程と、
前記基板と前記対象物とのアライメントを行うアライメント工程とを有することを特徴とするアライメント方法。 - 前記移動情報に基づいた前記基板の移動は、前記搬送手段により行うことを特徴とする請求項7〜9のいずれか1項に記載のアライメント方法。
- 前記移動情報に基づいた前記基板の移動は、前記基板載置部により行うことを特徴とする請求項7〜9のいずれか1項に記載のアライメント方法。
- 前記移動情報に基づいた前記基板の移動と反対方向に同量だけ、前記基板載置部を、前記基板の前記移動情報に基づく移動の前に移動させる工程を有することを特徴とする請求項11に記載のアライメント方法。
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