JP2017534001A - プラズマ耐エッチング性が向上された工程部品及びそのプラズマ耐エッチング性の強化処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
下記の特許文献1及び特許文献2は、プラズマチャンバー用ドーム(dome)型容器の壁に150ないし450マイクロインチの粗さ平均を持つ粗い表面にプラズマ噴霧されたセラミックコーティング部が誘電体材料の粗い表面上に適用されて、プラズマ噴霧されたセラミックコーティング部に負の値である平均歪度(average skewness)の粗さを持つようテクスチャリングすることにより、部品表面の良好なパーティクル付着性が得られる技術がある。ただ、プラズマ噴霧されたコーティング部表面の谷とピークでプラズマに因るエッチングが急速に展開される問題があるので、結局パーティクルの発生が懸念されるという問題点がある。
本発明は、プラズマに晒される半導体またはディスプレイ製造装置の工程部品であって、谷(valley)とピーク(peak)の一部または全部が除去された工程部品本体の表面にセラミックコーティング膜が形成され、前記コーティング膜の表面から谷とピークを一部または全部を除去したことを特徴とするプラズマ耐エッチング性が向上された工程部品を提供する。
第一に、プラズマに晒される半導体またはディスプレイ製造装置の工程部品の
プラズマ耐エッチング性を向上させることができる。
第二に、プラズマ耐エッチング性が向上された工程部品を半導体及びディスプレイ製造装置に取り付けることによって工程部品の寿命延長及び製品の生産性と歩留まりを向上させることができる。
第三に、プラズマ耐エッチング性が向上された工程部品を半導体及びディスプレイ製造装置に取り付けることによってプラズマエッチングに因るパーティクルの発生を抑制して工程を連続的に維持することができる。
本発明の実施のための最善の形態は、以下の通りである。
1.プラズマ耐エッチング性が向上された工程部品
本発明に係るプラズマ耐エッチング性が向上された工程部品の最善の形態は、プラズマに晒される半導体またはディスプレイ製造装置の工程部品であって、表面粗さの測定区間内でピークと谷の面積が同一になる中心線(center line;mean line)と平行な任意の基準線(arbitrary datum line)から前記表面粗さの測定区間内の最も深い谷5つ(V1、V2、V3、V4、V5)までの距離値の平均((V1+ V2+ V3+ V4+ V5)/5)と最も高いピーク5つ(P1、P2、P3、P4、P5)までの距離値の平均の差に対する絶対値([(P1+P2+P3+P4+P5)/5−(V1+V2+V3+V4+V5)/5])と表現される表面粗さRz値が5.0μm未満になるように谷とピークを一部または全体を除去した状態の工程部品本体の表面にセラミックコーティング膜が形成され、前記コーティング膜表面に存在する谷とピークを一部または全部を除去したことを特徴とし、前記コーティング膜はY2O3(yttria)、YF3(yttrium fluoride)、YSZ(Y2O3 stabilized ZrO2)、Y4Al2O9(YAM)、Y3Al5O12(YAG)及びYAlO3(YAP)のうちいずれか一つ以上で組成され、気孔と亀裂が無く、表面粗さRz値が2.0μm未満であることを特徴とするプラズマ耐エッチング性が向上された工程部品である。
本発明に係る工程部品のプラズマ耐エッチング性の強化処理方法の最善の形態は、プラズマに晒される半導体またはディスプレイ製造装置の工程部品のプラズマ耐エッチング性を向上させる方法であって、(a)工程部品を準備するステップと、(b)表面粗さの測定区間内でピークと谷の面積が同一になる中心線(center line;mean line)と平行な任意の基準線(arbitrary datum line)から前記表面粗さの測定区間内の最も深い谷5つ(V1、V2、V3、V4、V5)までの距離値の平均((V1+ V2+ V3+ V4+ V5)/5)と最も高いピークの5つ(P1、P2、P3、P4、P5)までの距離値の平均の差に対する絶対値([(P1+P2+P3+P4+P5)/5−(V1+V2+V3+V4+V5)/5])と表現される表面粗さRz値が5.0μm未満になるように前記工程部品本体の表面から谷とピークを一部または全体を除去するステップと、(c)前記工程部品本体の表面にセラミックコーティング膜を形成させるステップと、及び(d)前記コーティング膜表面から谷とピークを一部または全部を除去するステップと、を含み、前記ステップ(c)は0〜60℃及び真空条件でY2O3(yttria)、YF3(yttrium fluoride)、YSZ(Y2O3 stabilized ZrO2)、Y4Al2O9(YAM)、Y3Al5O12(YAG)及びYAlO3(YAP)のうちいずれか一つまたは二つ以上が混合されたセラミックパウダーを噴射してコーティング膜を形成させることを特徴とし、前記ステップ(d)は前記コーティング膜の表面粗さRz値が2.0μm未満となるようにすることを特徴とする工程部品のプラズマ耐エッチング性の強化処理方法である。
1.プラズマ耐エッチング性が向上された工程部品
本発明は、プラズマに晒される半導体またはディスプレイ製造装置の工程部品であって、表面粗さの測定区間内でピークと谷の面積が同一になる中心線(center line;mean line)と平行な任意の基準線(arbitrary datum line)から前記表面粗さの測定区間内の最も深い谷5つ(V1、V2、V3、V4、V5)までの距離値の平均((V1+ V2+ V3+ V4+ V5)/5)と最も高いピーク5つ(P1、P2、P3、P4、P5)までの距離値の平均の差に対する絶対値([(P1+P2+P3+P4+P5)/5−(V1+V2+V3+V4+V5)/5])と表現される表面粗さRz値が5.0μm未満になるように谷とピークを一部または全体を除去した状態の工程部品本体の表面にセラミックコーティング膜が形成され、前記コーティング膜表面に存在する谷とピークを一部または全部を除去したことを特徴とするプラズマ耐エッチング性が向上された工程部品を提供する。
工程部品本体の表面にセラミックパウダーを噴射コーティングする前、工程部品本体の表面に存在する谷とピークは、セラミックコーティング膜を形成させた後にもプラズマエッチング発生の原因として作用する。これにより、前記工程部品本体の表面の谷とピークを一部または全部を除去することによってプラズマエッチング率を下げることができる。また、工程部品本体の表面に前記セラミックパウダーの噴射コーティングで形成されたコーティング膜を形成させたコーティング膜の表面に存在する谷とピークもまたプラズマエッチング発生の原因として作用する。これにより、前記コーティング膜表面の谷とピークもまたその一部または全部を除去することによってプラズマエッチング率をさらに下げることができる。谷とピークが除去された後のコーティング膜厚は、2.0〜15μmに形成することができる。前記谷とピークが除去された後、コーティング膜の表面粗さRzを2.0μm未満に形成させるためにコーティング後のコーティング膜の最初厚を3.0〜20μmに形成させ、前記コーティング膜の谷とピークを除去してコーティング膜厚を2.0〜15μmに維持することによって、プラズマ耐エッチング性を向上させることができる。
表面粗さRzを基準にする場合、工程部品本体の表面粗さRzが5.0μm未満である時にプラズマ耐エッチング性の向上に役に立つ。例えば、セラミック工程部品は、一般的に焼結(sintering)で形成され、このような焼結製品の表面粗さRzは5.0μm以上に形成されており、前記焼結製品表面の谷とピークを除去すると、焼結製品の表面粗さRzが5.0μm未満に減少することになり、谷とピークで展開されるプラズマエッチングを減少させることができる。上記のようなメカニズムは石英においても同様に現れる。アルミニウムなどの金属材料の工程部品の表面は一般的に一定のパターンまたは不規則な紋様で形成されて、表面粗さRzが5.0μm以上に形成されており、このような工程部品表面の谷とピーク(パターンまたは紋様)を除去すると工程部品の表面粗さRzが5.0μm未満に減少される。
従って、切削(cutting)、グラインディング(grinding)、ブラシング(brushing)、研磨(polishing)、ラッピング(lapping)、化学的研磨などの手段で工程部品本体の表面またはコーティング膜表面から谷とピークを除去する時、Rz5.0μm(コーティング前の工程部品本体表面の表面粗さ)及びRz2.0μm(コーティング膜の表面粗さ)を基準に表面処理作業の進行有無を決めることができる。
2.工程部品のプラズマ耐エッチング性の強化処理方法
本発明は、表面粗さ測定区間内でピークと谷の面積が同一になる中心線(center line;mean line)と平行な任意の基準線(arbitrary datum line)から前記表面粗さの測定区間内の最も深い谷5つ(V1、V2、V3、V4、V5)までの距離値の平均((V1+ V2+ V3+ V4+ V5)/5)と最も高いピーク5つ(P1、P2、P3、P4、P5)までの距離値の平均の差に対する絶対値([(P1+P2+P3+P4+P5)/5−(V1+V2+V3+V4+V5)/5])と表現される表面粗さRz値が5.0μm未満になるように前記工程部品本体の表面から谷とピークを一部または全体を除去するステップを提供する。
前記工程部品本体の表面とコーティング膜表面から谷とピークを除去する方法としては、 切削(cutting)、グラインディング(grinding)、ブラシング(brushing)、研磨(polishing)、ラッピング(lapping)、化学的研磨のうちいずれか一つを適用するか、或いは二つ以上の方法を組み合わせて適用することができる。
前記工程部品本体の表面(コーティング膜を形成する前)及びコーティング膜表面から谷とピークを除去した作業進行の有無、作業量などは表面粗さRzまたは光学顕微鏡写真分析によって決めることができる。
この場合は、前記ステップ(b)で前記工程部品本体の表面粗さRzが5.0μm未満になるようにし、前記ステップ(d)では前記コーティング膜の表面粗さRzが2.0μm未満になるように谷とピークを除去する作業を行なう。
即ち、前記ステップ(b)では、工程部品本体の表面粗さRzを確認して、前記工程部品本体の表面粗さRzが5.0μm以上であれば、その表面粗さRzが5.0μm未満になるように工程部品本体の表面の谷とピークを除去する作業を行う。また、前記ステップ(d)では、前記セラミックコーティング膜表面の表面粗さRzが2.0μm未満になるように工程部品セラミックコーティング膜表面の谷とピークを除去する。
例えば、図7に示すように本発明によりコーティング前の工程部品本体の表面及びコーティング後の工程部品コーティング膜の谷とピークが除去された工程部品コーティング膜のプラズマ耐エッチング性が、上述した特許文献5及び特許文献6によりコーティング前の工程部品表面の谷とピークが除去されていない状態でイットリアコーティング膜が形成されたコーティング膜のプラズマ耐エッチング性よりも50%以上良いという意味である。即ち、特許文献6による工程部品がプラズマに晒されて6,000時間を使用することができれば、本発明に係る工程部品は12,000時間以上プラズマに晒されて使用できるという意味である。
表面粗さRzの確認によるステップ進行と対比される方法として、図11は光学顕微鏡写真分析によるステップ進行を図式的に示したものである。
この場合には、前記ステップ(b)で前記工程部品本体表面の光学顕微鏡写真を相対的明るさに応じて明部と暗部とに区分して、前記暗部の面積(X)を基準に明部の面積(Y)が10%以上になるようにし、前記ステップ(d)では前記コーティング膜表面の光学顕微鏡写真を相対的明るさに応じて明部と暗部とに区分して、前記暗部の面積を基準に明部の面積が10%以上になるようにする。
ここで、前記工程部品本体の表面Y/Xが10%以上であれば、前記ステップ(b)を省略し、次のステップに進むことができる。
また、表面粗さRzが0.097〜0.135μmに分布する石英表面(図14の(a))にY2O3セラミックパウダーを噴射コーティングしてコーティング膜を形成すれば、前記コーティング膜の表面粗さRzは、2.103〜2.311μm(図14の(b))でRz値が2.0μm以上に分布するが、前記Rz値が2.0μm以上のコーティング膜表面の谷とピークを除去することによってコーティング膜の表面粗さRz値を2.0μm未満に調節(図14の(c)は表面粗さRzが0.254〜0.389μm)すれば、工程部品のセラミックコーティング膜のプラズマ耐エッチング性を向上させることができる。
20:倍率1,200倍の光学顕微鏡写真に示されたアルミナ(Al2O3)セラミック表面のピーク部分が除去された部分(写真には明るい部分で表示される)
30:倍率1,200倍の光学顕微鏡写真に示されたアルミナ(Al2O3)セラミック表面に形成されたY2O3コーティング膜の谷部分(写真には暗い部分で表示される)
40:倍率1,200倍の光学顕微鏡写真に示されたアルミナ(Al2O3)セラミック表面に形成されたY2O3コーティング膜のピークが除去された部分(写真には明るい部分で表示される)
Claims (12)
- プラズマに晒される半導体またはディスプレイ製造装置の工程部品であって、
表面粗さの測定区間内でピーク(Peak)と谷(valley)の面積が同一になる中心線(center line;mean line)と平行な任意の基準線(arbitrary datum line)から前記表面粗さの測定区間内の最も深い谷5つ(V1、V2、V3、V4、V5)までの距離値の平均((V1+ V2+ V3+ V4+ V5)/5)と最も高いピーク5つ(P1、P2、P3、P4、P5)までの距離値の平均の差に対する絶対値([(P1+P2+P3+P4+P5)/5−(V1+V2+V3+V4+V5)/5])と表現される表面粗さRz値が5.0μm未満になるように谷とピークを一部または全体を除去した状態の工程部品本体の表面にセラミックコーティング膜が形成され、前記コーティング膜表面に存在する谷とピークを一部または全部を除去した
ことを特徴とするプラズマ耐エッチング性が向上された工程部品。 - 前記コーティング膜は、Y2O3(yttria)、YF3(yttrium fluoride)、YSZ(Y2O3 stabilized ZrO2)、Y4Al2O9(YAM)、Y3Al5O12(YAG)及びYAlO3(YAP)のうちいずれか一つ以上で組成された
請求項1に記載のプラズマ耐エッチング性が向上された工程部品。 - 前記コーティング膜は、気孔と割れがない
請求項1に記載のププラズマ耐エッチング性が向上された工程部品。 - 前記コーティング膜の表面粗さRz値が2.0μm未満である
請求項1に記載のプラズマ耐エッチング性が向上された工程部品。 - 前記コーティング膜表面に対する光学顕微鏡写真を相対的明るさに応じて明部と暗部とに区分する時、前記暗部の面積を基準に明部の面積が10%以上になるように構成される
請求項1に記載のプラズマ耐エッチング性が向上された工程部品。 - 前記本体表面に対する光学顕微鏡写真を相対的明るさに応じて明部と暗部とに区分する時、前記暗部の面積を基準に明部の面積が10%以上になるように構成される
請求項5に記載のプラズマ耐エッチング性が向上された工程部品。 - 前記工程部品はセラミック、石英(quartz)、金属材料、ポリマー(polymer)のうちいずれか一つ以上から成る
請求項1ないし6のいずれかに記載のプラズマ耐エッチング性が向上された工程部品。 - プラズマに晒される半導体またはディスプレイ製造装置の工程部品のプラズマ耐エッチング性を向上させる方法であって、
(a)工程部品を準備するステップと、
(b)表面粗さの測定区間内でピークと谷の面積に同一になる中心線(center line;mean line)と平行な任意の基準線(arbitrary datum line)から前記表面粗さの測定区間内の最も深い谷5つ(V1、V2、V3、V4、V5)までの距離値の平均((V1+ V2+ V3+ V4+ V5)/5)と最も高いピーク5つ(P1、P2、P3、P4、P5)までの距離値の平均の差に対する絶対値([(P1+P2+P3+P4+P5)/5−(V1+V2+V3+V4+V5)/5])と表現される表面粗さRz値が5.0μm未満になるように前記部品本体の表面から谷とピークを一部または全体を除去するステップと、
(c)前記工程部品本体の表面にセラミックコーティング膜を形成させるステップと、及び
(d)前記コーティング膜表面から谷とピークを一部または全部を除去するステップと、を含む
ことを特徴とする工程部品のプラズマ耐エッチング性の強化処理方法。 - 前記ステップ(d)は、前記コーティング膜の表面粗さRzの値が2.0μm未満になるようにする
請求項8に記載の工程部品のプラズマ耐エッチング性の強化処理方法。 - 前記ステップ(b)は、前記工程部品本体表面の光学顕微鏡写真を相対的明るさに応じて明部とに暗部とに区分して、前記暗部の面積を基準に明部の面積が10%以上になるようにし、
前記ステップ(d)は、前記コーティング膜表面の光学顕微鏡写真を相対的明るさに応じて明部と暗部とに区分して、前記暗部の面積を基準に明部の面積が10%以上になるようにする
請求項8に記載の工程部品のプラズマ耐エッチング性の強化処理方法。 - 前記工程部品本体の表面とコーティング膜表面から谷とピークを除去する方法として、切削(cutting)、グラインディング(grinding)、ブラシング(brushing)、研磨(polishing)、ラッピング(lapping)、化学的研磨のうちいずれか一つ以上の方法を適用する
請求項8ないし10のいずれかに記載の工程部品のプラズマ耐エッチング性の強化処理方法。 - 前記ステップ(c)は、0〜60℃及び真空条件でY2O3(yttria)、YF3(yttrium fluoride)、YSZ(Y2O3 stabilized ZrO2)、Y4Al2O9(YAM)、Y3Al5O12(YAG)及びYAlO3(YAP)のうちいずれか一つ以上が混合されたセラミックパウダーを噴射してコーティング膜を形成させる
請求項8に記載の工程部品のプラズマ耐エッチング性の強化処理方法。
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