JP2017529559A - 少なくとも2つの波長範囲を区別する高解像度走査型顕微鏡検査法 - Google Patents
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Abstract
Description
2次元検出器に空間解像度が提供され、これは画像拡大という意味において回折像をオーバサンプリングし、それゆえ、回折像の回折構造を解像する。
実領域の積により、フーリエ領域内の以下の畳み込みが得られる。
Claims (17)
- 試料(2)の高解像度走査型顕微鏡検査のための方法であって、
− 前記試料(2)は、照明放射(5)によって励起されて蛍光放射を発し、前記照明放射は、前記試料(2)の中又は表面上のある点で合焦して回折限界照明スポット(14)を形成し、
− 前記点は、空間解像度を有する2次元検出器(19)上に回折像(17)として回折限界様式で結像され、前記2次元検出器(19)は、前記回折像(17)の回折構造(30−33)を解像する空間解像度を有し、
− 前記点は、前記試料(2)に関して、前記照明スポット(14)の直径の半分より小さい増分で異なる走査位置に移動され、
− 前記2次元検出器(19)が読み取られ、該2次元検出器(19)のデータ及びそれらのデータに割り当てられた走査位置から、前記試料(2)の画像が結像の解像限界を超えて高められた解像度で生成される、
方法において、
− 前記試料(2)の前記蛍光放射における少なくとも2つの所定の波長範囲を区別するために、前記少なくとも2つの所定の波長範囲に対応する数の多数のエアリーディスク(30−33)が、前記2次元検出器(19)上に波長選択要素(15)によって生成され、これらのエアリーディスクは、前記回折像(17)が前記相互にずれたエアリーディスク(30−33)から成るように外側方向に相互にずらされ、前記エアリーディスク(30−33)は、完全に前記2次元検出器(19)上にあり、
− 前記エアリーディスク(30−33)は、前記試料(2)の画像を生成する際に評価されることを特徴とする、試料(2)の高解像度走査型顕微鏡検査のための方法。 - 前記エアリーディスク(30−33)は、重複するが相互を完全にはカバーしないことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記波長選択要素(15)は、前記2次元検出器(19)上で前記エアリーディスク(30−33)を、各エアリーディスク(30−33)の中心が他のエアリーディスク(30−33)の外側にあるように分離することを特徴とする、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記波長選択要素(15)は、前記相互にずれたエアリーディスク(30−33)が同じ大きさとなるように色補正されることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記波長選択要素(15)は、前記照明スポット(14)が外側方向に相互にずらされた照明エアリーディスク(34、35)から成るように、照明だけを変更することを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記波長選択要素(15)は、結像にのみ影響を与え、特に前記2次元検出器(19)の上流に配置されることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記点は、前記試料(2)に関して異なる走査位置に移動され、それゆえ前記試料(2)がシフトされることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 外側方向に相互にずらされた前記エアリーディスク(30−33)が、共通の結像面内にあることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 高解像度走査型顕微鏡検査のための顕微鏡であって、
− 励起されて蛍光放射を発することのできる試料(2)を受けるための試料空間と、
− 前記試料空間内にある焦点面(29)及び解像限界を含むレンズシステム(11−13)と、
− 照明放射(5)を受けるための入力部(6)を含み、前記試料空間を前記照明放射(5)によって前記レンズシステム(11−13)を介して照明するための照明装置(3)であって、前記レンズシステム(11−13)は、前記照明放射(5)を前記焦点面(29)内のある点における回折限界照明スポット(14)に合焦させる、照明装置(3)と、
− 前記焦点面(29)内の前記点を、前記レンズシステム(11−13)を通じて、前記焦点面(29)と共役である検出器平面(18)内にある空間解像度を有する2次元検出器(19)上に、回折像(30−33)として回折限界様式で結像するための結像装置(4)であって、前記2次元検出器(19)は、前記回折像(30−33)の回折構造を解像する空間解像度を有する、結像装置(4)と、
− 前記点を、前記照明スポット(14)の直径より小さい増分で異なる走査位置に移動させる走査装置(10)と、
− 前記2次元検出器(19)を読み取り、該2次元検出器(19)のデータ及それらのデータに割り当てられた走査位置から、前記回折像(30−33)の前記回折構造を評価して、前記試料(2)の画像を前記解像限界を超えて高められた解像度で生成するための評価装置(C)と
を含む顕微鏡において、
− 前記試料(2)の前記蛍光放射内の少なくとも2つの所定の波長範囲を区別するために、前記顕微鏡(1)は、前記少なくとも2つの所定の波長範囲に対応する多数のエアリーディスク(30−33)を前記2次元検出器(19)上に生成する波長選択要素(15)を含み、これらのエアリーディスクは、外側方向に相互にずらされて前記回折像(17)が該相互にずれたエアリーディスク(30−33)から成るようになっており、
− 前記2次元検出器(19)及び前記波長選択要素(15)は、前記エアリーディスク(30−33)が完全に前記2次元検出器上にあるように形成され、
− 前記評価装置(C)は、前記試料(2)の画像を生成する際に、前記エアリーディスク(30−33)を分析することを特徴とする、高解像度走査型顕微鏡検査のための顕微鏡。 - 前記エアリーディスク(30−33)は、重複するが相互を完全にはカバーしないことを特徴とする、請求項9に記載の顕微鏡。
- 前記波長選択要素(15)は、前記2次元検出器(19)上で前記エアリーディスク(30−33)を、各エアリーディスク(30−33)の中心が他のエアリーディスク(30−33)の外側にあるように分離することを特徴とする、請求項9又は10に記載の顕微鏡。
- 前記波長選択要素(15)は、前記相互にずれたエアリーディスク(30−33)が同じ大きさとなるように色補正されることを特徴とする、請求項9〜11のいずれか一項に記載の方法。
- 前記波長選択要素(15)は、前記照明装置(3)の中に配置され、結像のためにも機能する前記レンズシステム(11−13)の中には配置されず、その結果、前記照明スポット(14)は、外側方向に相互にずれた照明エアリーディスク(34、35)から成ることを特徴とする、請求項9〜12のいずれか一項に記載の顕微鏡。
- 前記波長選択要素(15)は、前記結像装置(4)の中に配置され、照明のためにも機能する前記レンズシステム(11−13)の中には配置されないことを特徴とする、請求項9〜12のいずれか一項に記載の顕微鏡。
- 前記走査装置は、前記試料空間内で前記試料をシフトさせるためのサンプルステージであることを特徴とする、請求項9〜14のいずれか一項に記載の顕微鏡。
- 前記波長選択要素(15)は、格子、プリズム、ウェッジプレート及び/又はダブレットレンズを含むことを特徴とする、請求項9〜15のいずれか一項に記載の顕微鏡。
- 前記エアリーディスク(30−33)は、共通の結像面内で外側方向に相互にずれていることを特徴とする、請求項9〜16のいずれか一項に記載の顕微鏡。
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