JP2017511953A5

JP2017511953A5 -

Info

Publication number: JP2017511953A5
Application number: JP2016541311A
Authority: JP
Filing date: 2014-11-18
Publication date: 2018-01-25
Anticipated expiration: 2034-11-18

Description

本開示の実施形態は概して、急速熱処理（ＲＴＰ）チャンバ内で熱放射源として使用されるランプ向けの、改良型アダプタに関する。本開示の一実施形態では、ランプアセンブリが提供される。ランプアセンブリは、フィラメントが内部に配置されたカプセルと、カプセルから延びるプレスシールと、プレスシールの少なくとも一部分を受容するよう成形されたレセプタクルを有するアダプタとを含み、プレスシールは、アダプタに取外し可能に係合される。

アダプタ３０６は、ランプが正常に挿入された場合に本体の断面外周の一部がランプヘッドの断面外周に合致する、概して管状又は円筒形の本体、或いは細長い本体を有しうる。アダプタ３０６は、第１端部３０４と、第１端部３０４の反対側の第２端部３１４とを有する。アダプタ３０６の第１端部３０４は、ランプ素子３０２の下側の部分、例えばプレスシール３１２を受容するよう成形された、レセプタクル３２４を有する。ランプ素子３０２は通常、フィラメント３１０を包含する光透過性カプセル３０８と、光透過性カプセル３０８から延びるプレスシール３１２とを含む。フィラメント３１０は、フィラメントリード３１６ａ、３１６によってそれぞれ、プレスシール３１２の内部に配置された金属箔３１８ａ、３１８ｂに電気的に接続する。プレスシール３１２は、金属箔３１８ａ、３１８ｂを封入し、それらの周囲に気密シールを作り出す。金属箔３１８ａ、３１８ｂは、プレスシール３１２の外部に延びうる。金属箔３１８ａ、３１８ｂは、アダプタ３０６を通って延びる導電性のワイヤ又はリード３２２ａ、３２２ｂを介して、オプションの電気コネクタ３２０ａ、３２０ｂと電気的につながっている。アダプタ３０６は、導電性のワイヤ又はリード３２２ａ、３２２ｂの通過を可能にするよう構成された、チャネル３３２ａ、３３２ｂを有する。チャネル３３２ａ、３３２ｂは、アダプタの長手方向軸３０３に沿った方向に、レセプタクル３２４から延びうる。導電体が十分に絶縁されており追加冷却を必要としない、一部の事例では、チャネル３３２ａ及び３３２ｂは、接続されて１つのチャネルを形成しうる。

図５は、ＲＴＰチャンバ１００のようなＲＴＰチャンバ内で使用するための、本開示の実施形態による例示的なランプアセンブリ５００の概略的な前面断面図である。ランプアセンブリ５００は、図１に示すランプアセンブリ２０の代わりに使用されうる。ランプアセンブリ５００は通常、ランプ素子５０１及びアダプタ５１３を含む。ランプ素子５０１は、単純なカプセル／ヒューズ様式でありうる。すなわち、アダプタ５１３はヒューズを包含せず、ヒューズはランプ素子５０１の外に作製される。ランプ素子５０１は、フィラメント５０４を収納するカプセル５０２と、カプセル５０２に連結しているか又はカプセル５０２から延びるプレスシール５１２とを含む。カプセル５０２は、チューブ状、円錐、球形、及び複数円弧の形状を含むが、それらだけに限定されるわけではない、多種多様な形状を有しうる。プレスシール５１２は、カプセル５０２の形状に対応する形状を有しうるか、又は、フィラメント５０４から金属箔５０８ａ、５０８ｂへのフィラメントリード５０６ａ、５０６ｂの伸長を可能にする、任意の形状でありうる。一実施形態では、プレスシール５１２は、実質的に四角形の細長いものである。金属リード５１０ａ、５１０ｂは、金属箔５０８ａ、５０８ｂに取り付けられ（例えば溶接され）、金属箔５０８ａ、５０８ｂから、プレスシール５１２を通ってその外部に延びる。プレスシール５１２は、金属箔５０８ａ、５０８ｂを封入し、それらの周囲に気密シールを作り出す。

図６Ａは、本開示の実施形態による、例示的なランプアセンブリ６００の概略断面図を示している。図６Ｂは、図６Ａの概略斜視図である。アダプタ６１３が、アダプタ６１３の側部又は底部から交換されうるヒューズを提供するよう構成されていることを除けば、図６Ａは概して、図３及び図５に概念的に類似している。ランプアセンブリ６００は通常、ランプ素子６０１及びアダプタ６１３を含む。ランプ素子６０１は、単純なカプセル様式でありうる。すなわち、ランプ素子６０１はヒューズを包含せず、ヒューズはアダプタ６１３によって提供される。ランプ素子６０１は、フィラメント６０４を収納するカプセル６０２と、カプセル６０２に連結しているか又はカプセル５０２から延びるプレスシール６１２とを含む。プレスシール６１２は、フィラメント６０４から金属箔６０８ａ、６０８ｂへのフィラメントリード６０６ａ、６０６ｂの伸長を可能にする、任意の形状でありうる。一実施形態では、プレスシール６１２は、実質的に四角形の細長いものである（図６Ｂでよりはっきりと視認できる）。金属リード６１０ａ、６１０ｂは、金属箔６０８ａ、６０８ｂに取り付けられ（例えば溶接され）、金属箔６０８ａ、６０８ｂから、プレスシール６１２を通ってその外部に延びる。プレスシール６１２は、金属箔６０８ａ、６０８ｂを封入し、それらの周囲に気密シールを作り出す。

Claims

フィラメントが内部に配置されたカプセルと、
前記カプセルと連結しているプレスシールであって、第１係合特徴部を有するプレスシールと、
前記プレスシールから延びる第１導電リードと、
前記プレスシールから延びる第２導電リードと
を備える、ランプ素子であって、前記第１導電リードの第１端部と前記第２導電リードの第１端部とが前記フィラメントに電気的につながっている、ランプ素子と、
前記プレスシールの少なくとも一部分と取外し可能に係合されるアダプタであって、前記プレスシールの少なくとも一部分を受容するよう成形されたレセプタクルを有する第１端部と、前記第１端部の反対側の第２端部とを有し、さらに、
前記第１端部から前記第２端部へと前記アダプタを通って延びる第１チャネルであって、前記第１導電リードが当該第１チャネルを通過できるようサイズ調整されている第１チャネルと、
前記第１端部から前記第２端部へと前記アダプタを通って延びる第２チャネルであって、前記第２導電リードが当該第２チャネルを通過できるようサイズ調整されている第２チャネルと
を備え、前記プレスシールの前記第１係合特徴部に係合するか又はそれから係合解除するように操作可能な第２係合特徴部を有する、アダプタと、
前記第１導電リードの第２端部に取り付けられ、前記第１チャネルを通って延びる第１導電ピンと、
前記第２導電リードの第２端部に取り付けられた第１端部と、第２導電ピンに取り付けられた第２端部とを有する絶縁スリーブであって、前記第２チャネルを通って延び、金属層で覆われた内表面を有し、前記金属層が前記第２導電リードと前記第２導電ピンと電気的につながっている、絶縁スリーブと
を備える、ランプアセンブリ。
前記レセプタクルの内表面は光反射材料でコーティングされる、請求項１に記載のランプアセンブリ。
更に、
前記プレスシールと前記レセプタクルとの間に提供された、熱伝導性化合物の層を備える、請求項１に記載のランプアセンブリ。
熱処理チャンバ内で使用するためのランプアセンブリであって、
フィラメントが内部に配置されたカプセルと、前記カプセルから延び且つ第１係合特徴部を有するプレスシールと、
前記フィラメントを、前記プレスシールの内部に配置された第１金属箔及び第２金属箔へとそれぞれ接続する、第１フィラメントリード及び第２フィラメントリードと、
前記第１金属箔及び前記第２金属箔を、前記ランプアセンブリの外に位置付けられたプリント回路基板構造体に形成されたそれぞれの導電性レセプタクルに電気的に接続する、第１導電リード及び第２導電リードと、
前記第１導電リード及び前記第２導電リードのうちの少なくとも一方に電気的に結合されたヒューズと、
第１端部及び第２端部に開口を有するアダプタであって、前記アダプタの前記第１端部は、前記プレスシールの少なくとも一部分を受容するよう成形されたレセプタクルを有し、前記第１端部の前記開口は、前記プレスシールの前記第１係合特徴部に係合するか又はそれから係合解除するように操作可能な第２係合特徴部を有する、アダプタと
を備える、ランプアセンブリ。
前記アダプタは更に、
前記第１端部から前記第２端部へと前記アダプタを通って延びる第１チャネルであって、前記第１導電リードが当該第１チャネルを通過できるようサイズ調整されている、第１チャネルと、
前記第１端部から前記第２端部へと前記アダプタを通って延びる第２チャネルであって、前記第２導電リードが当該第２チャネルを通過できるようサイズ調整されている第２チャネルと
を備える、請求項４に記載のランプアセンブリ。
前記レセプタクルは、光反射材料でコーティングされた内表面を有する、請求項５に記載のランプアセンブリ。
更に、
前記プレスシールと前記レセプタクルとの間に提供された、熱伝導性化合物の層を備える、請求項４に記載のランプアセンブリ。
第１係合特徴部を備えるランプ要素と、
前記ランプ要素から延びる第１導電リードと、
前記ランプ要素から延びる第２導電リードと、
前記第１係合特徴部に係合するか又はそれから係合解除するように操作可能な第２係合特徴部を備えるアダプタであって、前記ランプ要素の少なくとも一部分を受容するよう成形されたレセプタクルを有し、さらに、
前記アダプタを通って延びる第１チャネルであって、前記第１導電リードが当該第１チャネルを通過できるようサイズ調整されている第１チャネルと、
前記アダプタを通って延びる第２チャネルであって、前記第２導電リードが当該第２チャネルを通過できるようサイズ調整されている第２チャネルと
を備える、アダプタと、
前記第１導電リードに取り付けられた第１端部と、第１導電ピンに取り付けられた第２端部とを有する第１絶縁スリーブであって、前記第１チャネルを通って延び、前記第１絶縁スリーブの内表面の第１側部に沿って配置された第１金属製トレースを有する、第１絶縁スリーブと
を備える、ランプアセンブリ。
前記第２導電リードに取り付けられた第１端部と、第２導電ピンに取り付けられた第２端部とを有する第２絶縁スリーブであって、前記第２絶縁スリーブは、前記第２チャネルを通って延び、前記第２絶縁スリーブの内表面の第１側部に沿って配置された第２金属製トレースを有する、第２絶縁スリーブをさらに備える、請求項８に記載のランプアセンブリ。
前記第１絶縁スリーブの前記内表面の第２側部に沿って配置された第３金属製トレースをさらに備える、請求項９に記載のランプアセンブリ。
前記第２絶縁スリーブの前記内表面の第２側部に沿って配置された第４金属製トレースをさらに備える、請求項１０に記載のランプアセンブリ。
前記第１導電リードおよび第２導電リードと電気的につながっているフィラメントが内部に配置されたカプセルと、
前記カプセルから延びるプレスシールと
を備える、請求項７に記載のランプアセンブリ。
前記第１係合特徴部は前記プレスシール上に配置されている、請求項１２に記載のランプアセンブリ。
前記レセプタクルは、光反射材料でコーティングされた内表面を有する、請求項１２に記載のランプアセンブリ。
前記プレスシールと前記レセプタクルの前記内表面との間に設けられたガス間隙をさらに備える、請求項１４に記載のランプアセンブリ。
前記第１絶縁スリーブと第２絶縁スリーブが、低融点ガラスビード又は絶縁粒子満たされている、請求項９に記載のランプアセンブリ。