JP6431073B2 - 交換可能ランプ向けのアダプタ - Google Patents
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Description
図1は、本開示の実施形態が中で使用されるRTPチャンバ100の概略断面図である。RTPチャンバ100は、例えば熱アニール、熱洗浄、熱化学気相堆積、熱酸化、及び熱窒化のようなプロセスのために基板164を加熱する、制御された熱サイクルを提供することが可能である。本開示の実施形態は、底部、上部又はその両方から加熱されるエピタキシャル堆積チャンバ内、及び、底部加熱が使用される他のRTPチャンバ内でも、使用されうることが想定される。RTPチャンバ100は、プロセスゾーン138を囲むチャンバ壁136を含む。例えば、プロセスゾーン138を囲むチャンバ壁136は、本体152によって形成された側壁140及び底部壁144と、本体152の上に置かれたウインドウ156によって形成された上部壁148とを備えうる。本体152はステンレス鋼で作製されうるが、アルミニウム及び他の好適な材料も使用されうる。ウインドウ156は、透明な溶融シリカ石英のような、赤外光を通過させる材料で作製される。
図3は、RTPチャンバ100のようなRTPチャンバ内で使用するための、本開示の実施形態によるランプアセンブリ300の概略断面図である。ランプアセンブリ300は、図1に示すランプアセンブリ20の代わりに使用されうる。図3に記載の概念及び特徴は、この開示に記述されている様々な実施形態に等しく適用可能であることに、留意すべきである。通常、ランプアセンブリ300はランプ素子302及びアダプタ306を含む。アダプタ306は、ランプ素子302に取り外し可能に係合するよう構成される。ランプアセンブリ20のアレイ196の中の各ランプアセンブリ20(図1)におけるランプ素子302及びアダプタ306は、個別に交換可能である。電球部が機能しなくなると、ランプアセンブリ全体を交換するのではなく、不具合のある電球部を包含するランプアセンブリのランプ素子のみが交換される。従って、アダプタは再使用されうる。アダプタ及びランプ素子を、互いから取り外し可能に、かつランプアセンブリ内で取り換え可能にすることにより、アダプタを一度購入すれば、ランプ交換のコストが削減される。
図4A−4Fは、本開示の実施形態によるアダプタ306に係合するために使用されうる、例示的なランプ素子設計の概略図である。これらの図の各々に描かれたランプ素子400は概して、タングステンフィラメント404を収納する石英カプセル402を含む。タングステンリード406a、406bが、フィラメント404から延びており、その各々がモリブデン箔408a、408bに取り付けられ(例えば溶接され)る。モリブデンリード410a、410bは、モリブデン箔408a、408bに取り付けられ(例えば溶接され)、モリブデン箔408a、408bから延びる。石英プレスシール412は、モリブデン箔408a、408bを封入し、それらの周囲に気密シールを作り出す。モリブデンリード410a、410bは、プレスシール412の外部に延びる。
Claims (16)
- フィラメントが内部に配置されたカプセルと、
前記カプセルと連結しているプレスシールであって、第1係合特徴部を有するプレスシールと、
前記プレスシールから延びる第1導電リードと、
前記プレスシールから延びる第2導電リードと
を備える、ランプ素子であって、前記第1導電リードの第1端部と前記第2導電リードの第1端部とが前記フィラメントに電気的につながっている、ランプ素子と、
前記プレスシールの少なくとも一部分と取外し可能に係合されるアダプタであって、前記プレスシールの少なくとも一部分を受容するよう成形されたレセプタクルを有する第1端部と、前記第1端部の反対側の第2端部とを有し、さらに、
前記第1端部から前記第2端部へと前記アダプタを通って延びる第1チャネルであって、前記第1導電リードが当該第1チャネルを通過できるようサイズ調整されている第1チャネルと、
前記第1端部から前記第2端部へと前記アダプタを通って延びる第2チャネルであって、前記第2導電リードが当該第2チャネルを通過できるようサイズ調整されている第2チャネルと
を備え、前記プレスシールの前記第1係合特徴部に係合するか又はそれから係合解除するように操作可能な第2係合特徴部を有する、アダプタと、
前記第1導電リードの第2端部に取り付けられ、前記第1チャネルを通って延びる第1導電ピンと、
前記第2導電リードの第2端部に取り付けられた第1端部と、第2導電ピンに取り付けられた第2端部とを有する絶縁スリーブであって、前記第2チャネルを通って延び、金属層で覆われた内表面を有し、前記金属層が前記第2導電リードと前記第2導電ピンと電気的につながっている、絶縁スリーブと
を備える、ランプアセンブリ。 - 前記レセプタクルの内表面は光反射材料でコーティングされる、請求項1に記載のランプアセンブリ。
- 更に、
前記プレスシールと前記レセプタクルとの間に提供された、熱伝導性化合物の層を備える、請求項1に記載のランプアセンブリ。 - 熱処理チャンバ内で使用するためのランプアセンブリであって、
フィラメントが内部に配置されたカプセルと、前記カプセルから延び且つ第1係合特徴部を有するプレスシールと、
前記フィラメントを、前記プレスシールの内部に配置された第1金属箔及び第2金属箔へとそれぞれ接続する、第1フィラメントリード及び第2フィラメントリードと、
前記第1金属箔及び前記第2金属箔を、前記ランプアセンブリの外に位置付けられたプリント回路基板構造体に形成されたそれぞれの導電性レセプタクルに電気的に接続する、第1導電リード及び第2導電リードと、
前記第1導電リード及び前記第2導電リードのうちの少なくとも一方に電気的に結合されたヒューズと、
第1端部及び第2端部に開口を有するアダプタであって、前記アダプタの前記第1端部は、前記プレスシールの少なくとも一部分を受容するよう成形されたレセプタクルを有し、前記第1端部の前記開口は、前記プレスシールの前記第1係合特徴部に係合するか又はそれから係合解除するように操作可能な第2係合特徴部を有する、アダプタと
を備える、ランプアセンブリ。 - 前記アダプタは更に、
前記第1端部から前記第2端部へと前記アダプタを通って延びる第1チャネルであって、前記第1導電リードが当該第1チャネルを通過できるようサイズ調整されている、第1チャネルと、
前記第1端部から前記第2端部へと前記アダプタを通って延びる第2チャネルであって、前記第2導電リードが当該第2チャネルを通過できるようサイズ調整されている第2チャネルと
を備える、請求項4に記載のランプアセンブリ。 - 前記レセプタクルは、光反射材料でコーティングされた内表面を有する、請求項5に記載のランプアセンブリ。
- 更に、
前記プレスシールと前記レセプタクルとの間に提供された、熱伝導性化合物の層を備える、請求項4に記載のランプアセンブリ。 - 第1係合特徴部を備えるランプ要素と、
前記ランプ要素から延びる第1導電リードと、
前記ランプ要素から延びる第2導電リードと、
前記第1係合特徴部に係合するか又はそれから係合解除するように操作可能な第2係合特徴部を備えるアダプタであって、前記ランプ要素の少なくとも一部分を受容するよう成形されたレセプタクルを有し、さらに、
前記アダプタを通って延びる第1チャネルであって、前記第1導電リードが当該第1チャネルを通過できるようサイズ調整されている第1チャネルと、
前記アダプタを通って延びる第2チャネルであって、前記第2導電リードが当該第2チャネルを通過できるようサイズ調整されている第2チャネルと
を備える、アダプタと、
前記第1導電リードに取り付けられた第1端部と、第1導電ピンに取り付けられた第2端部とを有する第1絶縁スリーブであって、前記第1チャネルを通って延び、前記第1絶縁スリーブの内表面の第1側部に沿って配置された第1金属製トレースを有する、第1絶縁スリーブと
を備える、ランプアセンブリ。 - 前記第2導電リードに取り付けられた第1端部と、第2導電ピンに取り付けられた第2端部とを有する第2絶縁スリーブであって、前記第2絶縁スリーブは、前記第2チャネルを通って延び、前記第2絶縁スリーブの内表面の第1側部に沿って配置された第2金属製トレースを有する、第2絶縁スリーブをさらに備える、請求項8に記載のランプアセンブリ。
- 前記第1絶縁スリーブの前記内表面の第2側部に沿って配置された第3金属製トレースをさらに備える、請求項9に記載のランプアセンブリ。
- 前記第2絶縁スリーブの前記内表面の第2側部に沿って配置された第4金属製トレースをさらに備える、請求項10に記載のランプアセンブリ。
- 前記第1導電リードおよび第2導電リードと電気的につながっているフィラメントが内部に配置されたカプセルと、
前記カプセルから延びるプレスシールと
を備える、請求項7に記載のランプアセンブリ。 - 前記第1係合特徴部は前記プレスシール上に配置されている、請求項12に記載のランプアセンブリ。
- 前記レセプタクルは、光反射材料でコーティングされた内表面を有する、請求項12に記載のランプアセンブリ。
- 前記プレスシールと前記レセプタクルの前記内表面との間に設けられたガス間隙をさらに備える、請求項14に記載のランプアセンブリ。
- 前記第1絶縁スリーブと第2絶縁スリーブが、低融点ガラスビード又は絶縁粒子満たされている、請求項9に記載のランプアセンブリ。
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