JP2017506763A - 光学フィルタおよび分光計 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (34)
- 上流側横方向可変バンドパス光学フィルタと、
下流側横方向可変バンドパス光学フィルタと、を備える光学フィルタにおいて、
前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタの下流に、光学ビームの光路に沿って距離Lだけ離間して順次設けられ、
前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは、それぞれ、前記光路に垂直な共通の第1の方向に沿って、相互に連係して漸次変化するバンドパス中心波長を有し、
前記光学ビームの光平行性に対する前記光学フィルタの分光選択性の依存度は、前記光学ビームの光平行性に対する前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの分光選択性の対応する依存度と比べて小さい、光学フィルタ。 - 前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの前記中心波長は前記第1の方向に単調増加する、請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの前記中心波長は前記第1の方向に非線形に増加する、請求項2に記載の光学フィルタ。
- 前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの前記中心波長は、その前記バンドパス中心波長の前記第1の方向に沿ったx座標に対する依存度が実質的に等しい、請求項2に記載の光学フィルタ。
- 前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタの帯域幅に相当する、前記第1の方向に沿った横方向距離Δx1は、前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの帯域幅に相当する、前記第1の方向に沿った横方向距離Δx2よりも大きい、請求項2に記載の光学フィルタ。
- 前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタと前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタとの間に、屈折率nを有する透明媒体をさらに備える、請求項2に記載の光学フィルタ。
- L/nは0.2mmよりも大きい、請求項6に記載の光学フィルタ。
- L/nは15mmよりも小さい、請求項7に記載の光学フィルタ。
- L/n=Δx1/θであり、式中、Δx1は前記第1の方向に沿った横方向の距離であり、これは、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタの帯域幅に相当し、θは、前記光学フィルタの受光角である、請求項6に記載の光学フィルタ。
- 前記媒体は透明基板を含み、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは該基板の両側に配置される、請求項6に記載の光学フィルタ。
- 前記屈折率nは前記第1の方向に沿って変化する、請求項6に記載の光学フィルタ。
- 前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの前記バンドパス中心波長は互いに位置合わせされ、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの同一のバンドパス中心波長に対応する位置同士を結ぶ線が、前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの法線に対して45度未満の角度をなす、請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記角度は前記第1の方向に沿って変化する、請求項12に記載の光学フィルタ。
- 前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタを互いに傾斜して設け、前記距離Lが前記第1の方向に沿って変化するようにした、請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記光路中に設けた開口をさらに備え、該開口の幅は前記第1の方向に沿って変化する、請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記光路中に設けたスペクトル反応平坦化フィルタをさらに備え、前記光学フィルタのスペクトル反応を平坦化する、請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記スペクトル反応平坦化フィルタは、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタまたは前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタ上、またはその間に設けられる、請求項16に記載の光学フィルタ。
- 前記光路中に、付加的な横方向可変バンドパス光学フィルタをさらに備え、前記付加的なフィルタのバンドパス中心波長は、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの前記バンドパス中心波長と連係して変化する、請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは、それぞれ、中心波長、および対応する前記中心波長の10%と同程度の3dBパスバンドを含む、請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの少なくとも一方は、3つ以上の異なる材料を含む薄膜層を備える、請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの少なくとも一方は、薄膜積層、準波長格子、または二色性ポリマーを含む、請求項1に記載の光学フィルタ。
- 上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび下流側横方向可変バンドパス光学フィルタを備えた光学フィルタと、
前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタ下流の光路中に設けた光学センサと、を備える、光学分光計において、
前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタの下流に、光学ビームの光路に沿って距離Lだけ離間して順次設けられ、
前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは、それぞれ、前記光路に垂直な共通の第1の方向に沿って、相互に連係して漸次変化するバンドパス中心波長を有し、
前記光学ビームの光平行性に対する前記光学フィルタの分光選択性の依存度は、前記光学ビームの光平行性に対する前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの分光選択性の対応する依存度と比べて小さい、光学分光計。 - 前記光学ビームを提供する光源をさらに備え、前記光学ビームは集束光線または拡散光線を含む、請求項22に記載の光学分光計。
- 前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタ上流の前記光路中に設けた散光器をさらに備え、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタ上の前記光学ビームの強度分布がより均一になるようにした、請求項22に記載の光学分光計。
- 前記光学センサは、前記第1の方向に沿って配置した画素を有する光検出器アレイを含む、請求項22に記載の光学分光計。
- 前記光検出器アレイは、前記光学ビームが単色のときスペクトル線が前記光検出器アレイ上に形成されるように配置した画素の二次元アレイを含み、該スペクトル線は、前記光検出器アレイの列に対して鋭角をなす、請求項25に記載の光学分光計。
- 前記光検出器アレイは画素の二次元アレイを備え、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは、それぞれ、前記第1の方向に直交する第2の方向に並んで配置した複数のセグメントを含み、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタの各セグメントは、前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの1つのセグメントに対応し、専用の波長域において動作する、請求項25に記載の光学分光計。
- 前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタと前記光検出器アレイとの間に設けた集束素子をさらに備え、前記光検出器アレイ上に前記光学ビームを集束する、請求項25に記載の光学分光計。
- 前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは前記光検出器アレイと接触している、請求項25に記載の光学分光計。
- 前記光路中に窓を設けて前記光学ビームを入射させるようにした筐体をさらに備え、該窓は前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタを含み、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは空隙により離間される、請求項22に記載の光学分光計。
- 光路に沿って伝播する光学ビームのスペクトルを得る方法であって、
上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび下流側横方向可変バンドパス光学フィルタを備える光学フィルタで前記光学ビームをフィルタリングするステップと、
前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの下流において第1の方向に沿った光パワー分布を検出するステップと、を含み、
前記フィルタリングするステップにおいて、
前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタの下流に、光学ビームの光路に沿って距離Lだけ離間して順次設けられ、
前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタのバンドパス中心波長は、それぞれ、前記光路に垂直な共通の方向である前記第1の方向に沿って相互に連係して漸次変化し、
前記光学ビームの光平行性に対する前記光学フィルタの分光選択性の依存度は、前記光学ビームの光平行性に対する前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの分光選択性の対応する依存度と比べて小さい、方法。 - 前記光パワー分布は、光検出器アレイを用いて検出する、請求項31に記載の方法。
- 前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタを前記光検出器アレイ上に堆積するステップをさらに含む、請求項32に記載の方法。
- 前記光検出器アレイを注封材料で注封し、前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの開口部を覆うことなく、前記光検出器アレイを絶縁するステップをさらに含む、請求項33に記載の方法。
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