JP7444314B2 - 計測装置 - Google Patents

Description

本発明は、計測装置に関する。

眼底などの撮像装置として、波長掃引光源を用いた光干渉断層装置が知られている。しかしながら、波長掃引光源は複雑な構成であった。

特開２０１１－８９８８７号公報

本開示の技術の計測装置は、ブロードバンド光を発する光源と、前記ブロードバンド光を測定光と参照光とに分割し、物体で反射した測定光と、前記参照光との干渉光を発生させる干渉部と、前記干渉光を、波長掃引する掃引部と、前記掃引部から出力された干渉光を検出する検出部と、を備える。

第１の実施の形態の計測装置のブロック図である。 波長掃引部の第１の例を示す図である。 波長掃引部の第２の例を示す図である。 波長掃引部の第３の例を示す図である。 波長掃引部の第４の例を示す図である。 波長掃引部の第５の例を示す図である。 波長掃引部の第６の例を示す図である。 波長掃引部の第７の例を示す図である。 第２の実施の形態の計測装置のブロック図を示す図である。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。

［第１の実施の形態］
以下、本開示の技術の第１の実施形態に係る計測装置について図面を参照して説明する。計測装置は、物体の断層画像を取得する光干渉断層計（ＯＣＴ、Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｏｈｅｒｅｎｃｅ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）である。
図１には、第１の実施の形態の計測装置のブロック図が示されている。図１に示すように、計測装置は、複数の異なる波長のコヒーレント光（ブロードバンド光）を同時に発生させるブロードバンド光源１２を備えている。

計測装置は、干渉計１４と参照光学系２０とを備えている。干渉計１４は、ブロードバンド光源１２からの光を測定光と参照光とに分割し、測定光を、被検眼６０側に射出し、参照光を参照光学系２０側に射出する。

参照光学系２０は、可動するミラーなどから構成されミラーを駆動することにより参照光の光路長を変えることができる。
ミラーで反射した参照光は干渉計１４に戻る。

計測装置は、測定光を、被検眼６０において、水平方向に走査する第１光学スキャナ１６と、測定光を、被検眼６０において、垂直方向に走査する第２光学スキャナ１８と、を備えている。

第１光学スキャナ１６及び第２光学スキャナ１８により被検眼６０において走査された測定光は、被検眼６０の眼底で反射し、第２光学スキャナ１８及び第１光学スキャナ１６を介して、干渉計１４に戻る。

干渉計１４は、参照光学系２０からの参照光と、被検眼６０の眼底で反射した測定光とを干渉させ、干渉光として射出する。

計測装置は、検出部２２と、制御部２４とを備えている。検出部２２は、第３光学スキャナ４２及びバンドパスフィルタ４４を有し、干渉光を、掃引する波長掃引部３２と、掃引された干渉光を検出する検出器３４と、を備えている。波長掃引部３２は、ブロードバンド光である干渉光を波長掃引し、時間ごとに異なる波長の干渉光を出力する。

制御部２４は、第１光学スキャナ１６、第２光学スキャナ１８、および第３光学スキャナ４２の動作を制御する動作制御装置５２を備えている。制御部２４は、動作制御装置５２による第３光学スキャナ４２の動作のタイミングを示す信号が入力され、入力された信号を基に、検出器３４により検出された、掃引された干渉光の強度に基づいて、被検眼６０の断層画像を生成する画像処理装置５４を備えている。

波長掃引部３２の第３光学スキャナ４２は、干渉光を、バンドパスフィルタ４４の入射面に向けて走査する。

バンドパスフィルタ４４には、第３光学スキャナ４２により干渉光がバンドパスフィルタ４４の平面である入射面において走査される。よって、干渉光は該入射面において時間毎に入射角が異なるように干渉光が照射される。バンドパスフィルタ４４は、入射角度によって通過させる波長が異なる。つまり、第３光学スキャナ４２の走査タイミングと同期して、バンドパスフィルタ４４は、時間毎に異なる波長の光を出力する。

バンドパスフィルタ４４は、干渉光が照射され通過する領域（第３光学スキャナ４２により走査される領域）が一様の構造の多層膜で構成されている。例えば、バンドパスフィルタ４４は誘電体多層膜で構成され、各膜は、干渉光が照射され通過する領域の各部分においては同じ膜質かつ同じ厚さで構成されている。

このように、バンドパスフィルタ４４は、干渉光が照射され通過する領域が一様の構造の多層膜で構成されているため、干渉光の入射角度によってバンドパスフィルタ４４を干渉光が通過する距離が変わり、通過する干渉光の波長が異なる。

バンドパスフィルタ４４は、入射角度によって通過する干渉光の波長が異なるように、構成されているので、第３光学スキャナ４２の走査周期と同期して干渉光が波長掃引される。

なお、バンドパスフィルタ４４として、例えば、Ｅｄｍｏｎｄ Ｏｐｔｉｃｓ社製のＴＳレーザークリーンナップフィルタ（型番：＃６８－８５５）を用いていることができる。なお、多層膜の材料及び構造（各層の層厚や組成など）を調整することにより掃引する波長の範囲を調整することができる。

また、第１光学スキャナ１６、第２光学スキャナ１８、及び第３光学スキャナ４２として、ポリゴンミラー、ガルバノミラー、レゾナントスキャナ、ＭＥＭＳスキャナ等を採用することができる。第３光学スキャナ４２により干渉光が走査される周波数は、第１光学スキャナ１６及び第２光学スキャナ１８が照射光を走査する周波数より高い。例えば、第１光学スキャナ１６は照射光を１０Ｈｚ、第２光学スキャナ１８は照射光を１００Ｈｚ、第３光学スキャナ４２は５０，０００Ｈｚ（５０ｋＨｚ）で走査するように設定される。なお、第１光学スキャナと第２光学スキャナは同一の周波数で駆動される（１０Ｈｚや１００Ｈｚなど）ようにしてもよい。 第３光学スキャナ４２として、ガルバノミラーやＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ）スキャナを採用する場合には、第３光学スキャナ４２は、干渉光を走査する範囲を変更可能である。具体的には、第３光学スキャナ４２の振り幅を変えることで走査範囲が変更される。より詳細に説明すると、振り幅を変えるとバンドパスフィルタ４４に入射する干渉光の角度範囲が変わるので、波長走査範囲が変わる。この場合、振り幅が大きくなると、波長走査範囲が拡大し、逆に、振り幅が小さくなると、波長走査範囲が縮小する。

波長掃引部３２は、例えば、ファブリ・ペロー分光器、ＡＯＴＦ（音響光学可変波長フィルタ：Ａｃｏｕｓｔｏ－Ｏｐｔｉｃ Ｔｕｎａｂｌｅ Ｆｉｌｔｅｒ）などの時間的に取り出す波長を変化させるものであれば、特にその構成は問われない。

次に、図２Ａを参照して、波長掃引部３２の第１の例を説明する。図２Ａに示す第１の例の波長掃引部３２では、第３光学スキャナ４２としてポリゴンミラーが用いられている。第３光学スキャナ４２により干渉光がバンドパスフィルタ４４Ａの入射面において走査されると、走査された干渉光は、時間毎に異なる入射角度でバンドパスフィルタ４４Ａに入射され、入射角度に応じて異なる波長の干渉光がバンドパスフィルタ４４Ａから射出する。

波長掃引部３２は、バンドパスフィルタ４４Ａを通過した干渉光を、検出器３４の検出部の１点に導く光学系４６を備えている。

このようにバンドパスフィルタ４４Ａを通過した干渉光は、光学系４６により検出器３４の検出部の１点に導かれるので、検出器３４は、干渉光を、点で検出する方式の検出器を採用することができる。例えば、ポイントディテクタ（フォトダイオード等（ポイントセンサー））を用いることができる。

なお、本開示の技術では、光学系４６を省略してもよい。こ場合、検出器３４は、干渉光を、線又は面で検出する方式の検出器を採用することができる。

次に、第１の実施の形態の計測装置の動作を説明する。

ブロードバンド光源１２は、複数の異なる波長のコヒーレント光を同時に発生させる。ブロードバンド光源１２により発生した光は、干渉計１４により、照射光と参照光とに分割される。

参照光は、参照光学系２０により光路長が変えられて、干渉計１４に戻る。

照射光は、被検眼６０の眼底において、各々動作制御装置５２により制御された第１光学スキャナ１６及び第２光学スキャナ１８によりそれぞれ水平方向及び垂直方向に走査される。

被検眼６０の眼底で反射した反射光は、第２光学スキャナ１８及び第１光学スキャナ１６を介して、干渉計１４に戻る。

参照光学系２０からの参照光と、被検眼６０の眼底で反射した反射光とが、干渉計１４において、合波され、干渉光として、検出部２２の波長掃引部３２に射出される。

波長掃引部３２の第３光学スキャナ４２（ポリゴンミラー（図２Ａ参照））は、動作制御装置５２により制御され、干渉光を、バンドパスフィルタ４４Ａの入射面において走査する。

第３光学スキャナ４２により干渉光がバンドパスフィルタ４４Ａの入射面において走査されことにより、バンドパスフィルタ４４Ａには、時間毎に入射角が異なるように干渉光が照射され、バンドパスフィルタ４４Ａからは、時間毎に異なる波長の干渉光が射出される。

バンドパスフィルタ４４Ａを通過した時間毎に異なる波長の干渉光は、光学系４６により検出器３４に導かれる。

上記のように、第３光学スキャナ４２により干渉光を走査する周波数は、第１光学スキャナ１６及び第２光学スキャナ１８が照射光を、被検眼６０において、垂直方向に走査する周波数より高い。よって、第１光学スキャナ１６及び第２光学スキャナ１８により走査される被検眼６０の眼底の網膜の各点の厚さ方向の情報を取得することができる。

上記のように、波長掃引部３２の第３光学スキャナ４２は、動作制御装置５２により制御される。動作制御装置５２から画像処理装置５４には、第１光学スキャナ１６および第２光学スキャナ１８から取得した時間ごとの観察位置の情報と、第３光学スキャナ４２の動作のタイミングを示す信号とが入力される。

よって、画像処理装置５４は、第３光学スキャナ４２の動作のタイミングを示す信号に基づいて、第３光学スキャナ４２のポリゴンミラーの時間毎の回転角、ポリゴンミラーの反射ミラーの時間毎の角度、反射ミラーにより走査される干渉光の時間毎の入射角度が分かる。従って、画像処理装置５４は、検出器３４により検出される干渉光の時間毎の波長が分かり、検出器３４により検出される干渉光の強度がどの波長の強度かが分かる。

具体的には、図２Ａに示すように、ポリゴンミラーの回転に伴って干渉光のバンドパスフィルタ４４への入射角度が変化することになる。波長掃引光源（ｓｗｅｐｔ ｓｏｕｒｃｅ、以下ＳＳ光源）では時間ごとの波長変化量は一定である。しかし、検出器３４の出力では、時間ごとの波長変化量は一定にはならない。これは、干渉光がポリゴンミラーの反射面からバンドパスフィルタ４４介して検出器までの光路長が、ポリゴンミラーの回転に伴うバンドパスフィルタ４４への入射角度が変化することによる。 よって、画像処理装置５４は、時間ごとの波長変化量が一定ではない検出器３４の出力が、時間ごとの波長変化量が一定となるように遅延フィルタなどを用いた信号処理を行う。そして、時間ごとの波長変化量が一定となるように処理された信号をフーリエ変換することにより、被検眼６０の断層画像を生成する。断層画像は、Ｂ－ＳＣＡＮによる前眼部や後眼部の断面を示す画像や、Ｃ－ＳＣＡＮによる前眼部や後眼部の３Ｄ画像を含む。

以上説明したように、第１の実施の形態では、異なる波長の光を同時に発生させるブロードバンド光源を用いて、干渉光の波長を掃引する方式の計測装置が得られる。検出器側に分光機能を設けたので、波長掃引光源（ＳＳ光源）に比べて安価であり、構成が簡略であるブロードバンド光源を用いることができる。

第１の実施の形態では、第１光学スキャナ１６及び第２光学スキャナ１８を備え、測定光を走査するので、眼底の断層画像を２次元的に取得できる。

第１の実施の形態では、バンドパスフィルタ４４（４４Ａ）を通過した光を検出器３４に導く光学系４６を備えるので、ポイントディテクタ（フォトダイオード等）を使用することができる。よって、第１の実施の形態では、計測装置を、安価にすると共に、その構成を簡略化することができる。

第１の実施の形態では、一様な（膜）構造の、簡易な構造のバンドパスフィルタを使用することができる。

ブロードバンド光源１２、干渉計１４、波長掃引部３２、及び検出器３４は、本開示の技術の「光源」、「干渉部」、「掃引部」、及び「検出部」の一例であり、第１光学スキャナ１６及び第２光学スキャナ１８は、本開示の技術の「測定光走査部」の一例である。第３光学スキャナ４２は、本開示の技術の「掃引走査部」の一例である。

次に、図２Ｂを参照して、波長掃引部３２の第２の例を説明する。波長掃引部３２の第２の例は、図２Ａに示した波長掃引部３２の第１の例と略同様の構成であるので、同一部分には同一の符号を付してその説明を省略し、異なる部分のみを説明する。図２Ｂに示すように、波長掃引部３２は、バンドパスフィルタ４４Ａに代えて、第３光学スキャナ４２側に配置されたロングパスフィルタ４４Ｂ１と、検出器３４側に配置されたショートパスフィルタ４４Ｂ２とを備えている。なお、第３光学スキャナ４２側にショートパスフィルタ４４Ｂ２を配置し、検出器３４側にロングパスフィルタ４４Ｂ１を配置してもよい。

ここで、ロングパスフィルタ４４Ｂ１及びショートパスフィルタ４４Ｂ２の各々は、干渉光が照射され通過する領域が一様の構造の多層膜で構成されており、入射角度によって通過する干渉光の波長が異なる。

ロングパスフィルタ４４Ｂ１は、全体としては、第１の範囲の波長の干渉光が通過し、ショートパスフィルタ４４Ｂ２は、全体としては、第１の範囲より短い波長側の第２の範囲の波長の干渉光が通過する。ロングパスフィルタ４４Ｂ１及びショートパスフィルタ４４Ｂ２は、全体としては、図２Ａに示すバンドパスフィルタ４４Ａが全体として通過する干渉光の波長の上記所定範囲の波長の干渉光が通過する。つまり、第１の範囲と第２の範囲の重なる範囲が上記所定範囲である。
第３光学スキャナ４２により干渉光が走査され、図２Ｂの紙面の上から下に、干渉光が位置する毎に、λｋ以上（ｋ＝１、２、３、・・・、ｎ）の干渉光がロングパスフィルタ４４Ｂ１を通過する。次に、ショートパスフィルタ４４Ｂ２で、図２Ｂの紙面の上から下に、ロングパスフィルタ４４Ｂ１を通過した干渉光が位置する毎に、λｋ以下の干渉光がショートパスフィルタ４４Ｂ２を通過し、結果、ロングパスフィルタ４４Ｂ１における図２Ｂの紙面の上から下の各位置において、λｋのみの光が通過する。なお、λｋの全体の波長の範囲は、上記所定範囲である。

次に、図２Ｃを参照して、波長掃引部３２の第３の例を説明する。波長掃引部３２の第３の例は、図２Ａに示した波長掃引部３２の第１の例と略同様の構成であるので、同一部分には同一の符号を付してその説明を省略し、異なる部分のみを説明する。図２Ｃに示すように、波長掃引部３２は、バンドパスフィルタ４４Ａに代えて、バンドパスフィルタ４４Ｃを備えている。バンドパスフィルタ４４Ｃは、入射角度が同じであっても、光が通過する異なる位置毎に、通過する光の波長が異なるように、構成されている。バンドパスフィルタ４４Ｃは、全体としては、上記所定範囲の波長の干渉光が通過する。

次に、図３Ａを参照して、波長掃引部３２の第４の例を説明する。第４の例の波長掃引部３２は、干渉光を２つに分割し、一方の干渉光を第３光学スキャナ４２に反射し、他方の干渉光を通過するビームスプリッタ４５Ａと、ビームスプリッタ４５Ａを通過した他方の干渉光を第３光学スキャナ４２に反射するミラー４５Ｂとを備えている。

第４の例の波長掃引部３２では、ビームスプリッタ４５Ａとミラー４５Ｂとが、干渉光を第３光学スキャナ４２の異なる２つの面に別々に入射する。

波長掃引部３２は、ビームスプリッタ４５Ａで反射した一方の干渉光が第３光学スキャナ４２により走査される位置に、バンドパスフィルタ４４ＡＡと、ミラー４５Ｂで反射した他方の干渉光が第３光学スキャナ４２により走査される位置に、バンドパスフィルタ４４ＡＢとを備えている。

波長掃引部３２は、バンドパスフィルタ４４ＡＡを通過した干渉光を検出する検出器３４Ａと、バンドパスフィルタ４４ＡＢを通過した干渉光を検出する検出器３４Ｂとを備えている。

波長掃引部３２は、バンドパスフィルタ４４ＡＡを通過した干渉光を検出器３４Ａに導く光学系４６Ａと、バンドパスフィルタ４４ＡＢを通過した干渉光を検出器３４Ｂに導く光学系４６Ｂと、を備えている。

バンドパスフィルタ４４ＡＡとバンドパスフィルタ４４ＡＢとは、入射角度によって通過する干渉光の波長が異なるが、全体として通過する干渉光の波長の範囲は、互いに異なるように、構成されている。例えば、バンドパスフィルタ４４ＡＡが全体として通過する干渉光の波長の範囲は、上記所定範囲の中央から短波長側の範囲であり、バンドパスフィルタ４４ＡＢが全体として通過する干渉光の波長の範囲は、上記所定範囲の中央から長波長側の範囲である。

このように第３光学スキャナ４２によって、通過する干渉光の波長の範囲が異なるバンドパスフィルタ４４ＡＡとバンドパスフィルタ４４ＡＢとに時間的に角度を変えながら干渉光が入射され、入射角度に応じた波長の干渉光のみが通過する。この通過した干渉光をそれぞれ異なる検出器３４Ａ、３４Ｂで検出することで、波長ごとの強度情報を得る。第４の構成によって掃引する波長範囲を拡張し、波長掃引に要する時間を短縮することができる。

なお、第４の例では、干渉光を２つに分割すると共に、各々を、通過する干渉光の波長の範囲が異なる２つのバンドパスフィルタ４４ＡＡとバンドパスフィルタ４４ＡＢに入射させている。しかし、本開示の技術は、これに限定されず、干渉光を３つ以上に分割すると共に、各々を、通過する干渉光の波長の範囲が異なる３つ以上のバンドパスフィルタに入射させるようにしてもよい。

次に、図３Ｂを参照して、波長掃引部３２の第５の例を説明する。第５の例の波長掃引部３２は、第４の例と同様の構成部分があるので、同一部分には同一の符号を付してその説明を省略し、異なる部分のみを説明する。

波長掃引部３２は、干渉光を２つに分割し、一方の干渉光を反射し、他方の干渉光を通過するビームスプリッタ４５Ｎ１と、反射された一方の干渉光を反射するミラー４５Ｎ３と、通過した他方の干渉光を反射するミラー４５Ｎ２と、回動可能に配置されたミラー４５Ｎ４とを備えている。ミラー４５Ｎ３は、一方の干渉光をミラー４５Ｎ４の一方の反射面に反射し、ミラー４５Ｎ２は、他方の干渉光をミラー４５Ｎ４の他方の反射面に反射する。ミラー４５Ｎ４が回動すると、一方の反射面により一方の干渉光が走査され、他方の反射面により他方の干渉光が走査される。一方の干渉光が走査される側に、バンドパスフィルタ４４ＡＡが配置され、他方の干渉光が走査される側に、バンドパスフィルタ４４ＡＢが配置されている。バンドパスフィルタ４４ＡＡを通過した一方の干渉光は、光学系４６ＡＡにより検出器３４Ａに導かれ、検出される。バンドパスフィルタ４４ＡＢを通過した他方の干渉光は、光学系４６Ｂにより検出器３４Ｂに導かれ、検出される。

第５の例によっても掃引する波長範囲を拡張し、波長掃引に要する時間を短縮することができる。

なお、第５の例でも、例えば、ミラー４５Ｎ３と、ミラー４５Ｎ２とをビームスプリッタに置換し、干渉光を更に分割し、当該ビームスプリッタを通過した干渉光を、回動可能に配置されたミラーにより、更に別のバンドパスフィルタにおいて走査し、当該別のバンドパスフィルタを通過した干渉光を、光学系により更に別の検出器に導いて検出するようにしてもよい。

次に、図４Ａを参照して、波長掃引部３２の第６の例を説明する。第６の例の波長掃引部３２は、第１の例と同様の構成部分があるので、同一部分には同一の符号を付してその説明を省略し、異なる部分のみを説明する。図４Ａに示すように、波長掃引部３２のバンドパスフィルタ４４Ａは、干渉光の入射角が時間的に変化するように、回転可能に配置されている。波長掃引部３２は、干渉光の入射角が時間的に変化するように、バンドパスフィルタ４４Ａを回転させる回転機構４８を備えている。検出器３４は、バンドパスフィルタ４４Ａを通過する先に配置されている。

次に図４Ｂを参照して、波長掃引部３２の第７の例を説明する。第７の例の波長掃引部３２は、第１の例及び第６の例と同様の構成部分があるので、異なる部分を説明する。図４Ｂに示すように、第７の例では、第６の例におけるバンドパスフィルタ４４Ａに代えて、ロングパスフィルタ４４Ｂ１及びショートパスフィルタ４４Ｂ２が回転機構４８により、干渉光の入射角が時間的に変化するように回転する。

第６の例及び第７の波長掃引部３２は、干渉光を走査しないので、光学系４６を用いなくとも、バンドパスフィルタ４４Ａ、又は、ロングパスフィルタ４４Ｂ１及びショートパスフィルタ４４Ｂ２を通過した干渉光は検出器３４の検出部の１点に到達する。よって、第６の例及び第７の波長掃引部３２は、光学系４６を用いずに、検出器３４として、ポイントディテクタ（フォトダイオードなど）を使用することができる。

上記波長掃引部３２の第２の例（図２Ｂ）及び第７の例（図４Ｂ）では、ロングパスフィルタ４４Ｂ１とショートパスフィルタ４４Ｂ２とを備えている。本開示の技術はこれに限定されない。例えば、ロングパスフィルタ４４Ｂ１とショートパスフィルタ４４Ｂ２とに代えて、第１面と第１面に対向する第２面とを有する１枚の（ガラス）基板の第１面及び第２面の一方の面にロングパスフィルタ膜を、他方の面にショートパスフィルタ膜を成膜した構成でもよい。

[第２の実施の形態］
次に、本開示の技術の第２の実施の形態を説明する。第２の実施の形態の構成は、第１の実施の形態の構成と同様の部分があるので、同一部分には同一の符号を付してその説明を省略し、異なる部分のみを説明する。

図５には、第２の実施の形態の計測装置のブロック図が示されている。図５に示すように、第２の実施の形態の計測装置は、被検眼６０の眼底の所定領域（１点ではない）を一括で撮影するＯＣＴ（フルフィールドＯＣＴ）に対応する。

第２の実施の形態の計測装置のブロードバンド光源１２は、複数の波長のコヒーレント光含む光束を発生させる。なお、ブロードバンド光源１２としてＬＥＤを用いることができる。干渉計１４は、所定の光束の光を、測定光束と参照光束とに分割する。干渉計１４は、ビームスプリッタなどが用いられる。

本計測装置は、第１光学スキャナ１６及び第２光学スキャナ１８に代えて、測定光束を、被検眼６０の眼底の計測領域に導く投影光学系７２を備えている。このように、第２の実施の形態では、計測する物体の計測領域が測定光束により一括で照射される。投影光学系に含まれる図示せぬスキャナなどにより測定光束の照射位置を移動させ、計測領域を移動させることができる。

本計測装置の検出部７４は、干渉光の波長を、時間毎に掃引するチューナブル波長フィルタ８２と、エリア検出器８４とを備えている。チューナブル波長フィルタ８２としては、例えば、ファブリ・ペロー分光器、ＡＯＴＦ（音響光学可変波長フィルタ：Ａｃｏｕｓｔｏ－Ｏｐｔｉｃ Ｔｕｎａｂｌｅ Ｆｉｌｔｅｒ）などの時間的に取り出す波長を変化させるものであればよい。エリア検出器８４は、被検眼６０の眼底の網膜と共役となるように配置されている。

干渉計１４は、被検眼６０の眼底で反射した測定光束と、参照光束とを合波し、干渉光束として、検出部７４のチューナブル波長フィルタ８２に射出する。

チューナブル波長フィルタ８２により干渉光束が時間毎に波長掃引される。チューナブル波長フィルタ８２を通過した干渉光束はエリア検出器８４により検出される。

チューナブル波長フィルタ８２により時間毎に掃引される波長は予め定められている。よって、エリア検出器８４から画像処理装置５４には、予め定められた波長の順で、干渉光の強度情報が出力される。画像処理装置５４は、各波長の強度情報をフーリエ変換することにより、被検眼６０の眼底の上記計測領域の断層画像を生成する。
よって、分光波長掃引することでフルフィールドＯＣＴを簡単な構成で実現できる。

第２の実施の形態においては次の技術が提案される。

ブロードバンド光を発する光源と、
前記光源により発せられた光を測定光と参照光とに分割し、前記測定光が物体に一括で照射され、前記物体で反射した反射光と、前記参照光との干渉光を発生させる干渉部と、
前記干渉光を、時間毎に異なる波長の光に掃引する掃引部と、
前記時間毎に異なる波長の光に掃引された干渉光を検出する検出部と、
を備える計測装置であって、
前記掃引部は、前記所定の光束の干渉光を、時間毎に異なる波長の光に掃引する波長可変フィルタを備える、
計測装置。

以上説明した第１の実施の形態および第２の実施の形態では、被検眼６０の眼底（後眼部）の断層画像を取得する対象としているが、本開示の技術はこれに限定されない。例えば、被検眼６０の前眼部の断層画像の取得にも応用できる。さらに、断層画像を取得する対象は、物体は、歯、食道や気管支、大腸等生体内の各所でもよい。さらに、生体だけでなく鉱物や部品などの断層画像撮影にも応用可能である。 簡易な構成のブロードバンド光源を用いて、波長掃引型のＯＣＴ（ＳＳ－ＯＣＴ）と同様な速度での画像取得、高感度での画像取得を行うことができる。

１２ ブロードバンド光源
１４ 干渉計
１６ 第１光学スキャナ
１８ 第２光学スキャナ
２０ 参照光学系
２２ 検出部
２４ 制御部
３２ 波長掃引部
３４、３４Ａ、３４Ｂ 検出器
４２ 第３光学スキャナ
４４、４４Ａ、４４ＡＡ、４４ＡＢ、４４Ｃ バンドパスフィルタ
４４Ｂ１ ロングパスフィルタ
４４Ｂ２ ショートパスフィルタ
４５Ａ ビームスプリッタ
４５Ｂ ミラー
４５Ｎ１ ビームスプリッタ
４５Ｎ２、４５Ｎ３、４５Ｎ４ ミラー
４６、４６Ａ、４６Ｂ 光学系
４８ 回転機構
５２ 動作制御装置
５４ 画像処理装置
６０ 被検眼
７２ 投影光学系
７４ 検出部
８２ チューナブル波長フィルタ
８４ エリア検出器

Claims (10)

1. 複数の異なる波長の光を発する光源と、
   前記複数の異なる波長の光を測定光と参照光とに分割し、前記測定光が物体に照射されて前記物体から反射した測定光と、前記参照光との干渉光を発生させる干渉部と、
   前記干渉光を第１干渉光および第２干渉光に分割する干渉光分割部と、
   前記第１干渉光を第１走査面に向けて走査する第１走査部と、
   前記第２干渉光を第２走査面に向けて走査する第２走査部と、
   前記第１走査面を有し、前記第１走査部によって走査される第１波長範囲の前記第１干渉光を通過させる第１バンドパスフィルタと、
   前記第２走査面を有し、前記第２走査部によって走査される前記第１波長範囲とは異なる第２波長範囲の前記第２干渉光を通過させる第２バンドパスフィルタと、
   前記第１バンドパスフィルタを通過した前記第１干渉光を検出する第１検出部と、
   前記第２バンドパスフィルタを通過した前記第２干渉光を検出する第２検出部と、
   を備え、
   前記第１バンドパスフィルタおよび前記第２バンドパスフィルタは、前記第１干渉光および前記第２干渉光の入射角度に応じて異なる波長の光を通過する、
   計測装置。
2. 複数の異なる波長の光を発する光源と、
   前記複数の異なる波長の光を測定光と参照光とに分割し、前記測定光が物体に照射されて前記物体から反射した測定光と、前記参照光との干渉光を発生させる干渉部と、
   前記干渉光を第１干渉光および第２干渉光に分割する干渉光分割部と、
   前記第１干渉光を第１走査面に向けて走査する第１走査部と、
   前記第２干渉光を第２走査面に向けて走査する第２走査部と、
   前記第１走査面を有し、前記第１走査部によって走査される第１波長範囲の前記第１干渉光を通過させる第１バンドパスフィルタと、
   前記第２走査面を有し、前記第２走査部によって走査される前記第１波長範囲とは異なる第２波長範囲の前記第２干渉光を通過させる第２バンドパスフィルタと、
   前記第１バンドパスフィルタを通過した前記第１干渉光を検出する第１検出部と、
   前記第２バンドパスフィルタを通過した前記第２干渉光を検出する第２検出部と、
   を備え、
   前記第１バンドパスフィルタおよび前記第２バンドパスフィルタは、前記第１干渉光および前記第２干渉光の入射位置に応じて異なる波長の光を通過する、
   計測装置。
3. 複数の異なる波長の光を発する光源と、
   前記複数の異なる波長の光を測定光と参照光とに分割し、前記測定光が物体に照射されて前記物体から反射した測定光と、前記参照光との干渉光を発生させる干渉部と、
   前記干渉光を第１干渉光および第２干渉光に分割する干渉光分割部と、
   前記第１干渉光を第１走査面に向けて走査する第１走査部と、
   前記第２干渉光を第２走査面に向けて走査する第２走査部と、
   前記第１走査面を有し、前記第１走査部によって走査される第１波長範囲の前記第１干渉光を通過させる第１バンドパスフィルタと、
   前記第２走査面を有し、前記第２走査部によって走査される前記第１波長範囲とは異なる第２波長範囲の前記第２干渉光を通過させる第２バンドパスフィルタと、
   前記第１バンドパスフィルタを通過した前記第１干渉光を検出する第１検出部と、
   前記第２バンドパスフィルタを通過した前記第２干渉光を検出する第２検出部と、
   を備え、
   前記第１バンドパスフィルタおよび前記第２バンドパスフィルタは、前記第１干渉光および前記第２干渉光の入射角度および入射位置に応じて異なる波長の光を通過する、
   計測装置。
4. 前記第１バンドパスフィルタと前記第１検出部の間に、前記第１バンドパスフィルタを通過した干渉光を前記第１検出部に集光させる第１集光光学系と、
   前記第２バンドパスフィルタと前記第２検出部の間に、前記第２バンドパスフィルタを通過した干渉光を前記第２検出部に集光させる第２集光光学系と、
   を有する、請求項１から３の何れか１項に記載の計測装置。
5. 前記第１検出部および第２検出部は、それぞれ第１波長範囲および第２波長範囲の光を受光するポイントセンサーである、
   請求項１から４の何れか１項に記載の計測装置。
6. 前記測定光を、前記物体において走査する測定光走査部を備え、
   前記第１走査部および前記第２走査部は、第１周波数で駆動され、前記測定光走査部は前記第１周波数より低い第２周波数で駆動する、
   請求項１から５の何れか１項に記載の計測装置。
7. 前記第１走査部および前記第２走査部は、ポリゴンミラーである、
   請求項１から６の何れか１項に記載の計測装置。
8. 前記第１走査部および前記第２走査部は、ミラーである、
   請求項１から６の何れか１項に記載の計測装置。
9. 前記第１検出部および前記第２検出部の検出信号に基づいて、前記物体の断層画像を生成する画像生成部を備える、
   請求項１から８の何れか１項に記載の計測装置。
10. 前記物体は、被検眼の前眼部あるいは後眼部である、
    請求項１から９の何れか１項に記載の計測装置。

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