JP2017224807A5 - - Google Patents

Description

本発明による装置の好ましい実施形態では、加熱アセンブリは、回転チャック上に保持されたウエハ形状の物品を片側のみからウエハ形状の物品に接触することなく加熱するように、回転チャックに対して設置される。

Claims (21)

1. ウエハ形状の物品を処理するための装置であって、
   所定の直径のウエハ形状の物品をその上に保持するように適合された回転チャックと、
   前記回転チャック上に設置されるときにウエハ形状の物品に面する加熱アセンブリであって、各々が前記回転チャックのより中央領域から前記回転チャックのより周辺領域に広がるそれぞれ異なる区域を占有する少なくとも５の個々に制御可能な群の間に分配された放射加熱素子のアレイを備える、加熱アセンブリと、
   ウエハ形状の物品の表面上に液体を吐出するように設置され、前記回転チャック上に設置されるときに前記加熱アセンブリから離れて面する液体ディスペンサであって、放出点を前記回転チャックのより中央領域から前記回転チャックのより周辺領域に移動させるように構成された１つ以上の分注口を備える、液体ディスペンサと、
   前記液体ディスペンサの前記放出点の位置に基づいて、前記少なくとも５の個々に制御可能な放射加熱素子群の各々に供給される電力を制御する制御装置と、
   を備える、装置。
2. 請求項１に記載の装置であって、
   前記少なくとも５の個々に制御可能な放射加熱素子群は、少なくとも１０の個々に制御可能な放射加熱素子群を備える、装置。
3. 請求項１に記載の装置であって、
   前記少なくとも５の個々に制御可能な放射加熱素子群は、少なくとも１５の個々に制御可能な放射加熱素子群を備える、装置。
4. 請求項１に記載の装置であって、
   前記少なくとも５の個々に制御可能な放射加熱素子群は、少なくとも２０の個々に制御可能な放射加熱素子群を備える、装置。
5. 請求項１に記載の装置であって、
   前記放射加熱素子は、ＬＥＤ加熱素子である、装置。
6. 請求項５に記載の装置であって、
   前記ＬＥＤ加熱素子は、３８０ｎｍから６５０ｎｍの波長範囲の最大強度を有する放射を放出する、装置。
7. 請求項５に記載の装置であって、
   前記ＬＥＤ加熱素子は、３８０ｎｍから６５０ｎｍの波長範囲の放射を放出する、装置。
8. 請求項１に記載の装置であって、
   前記加熱アセンブリは、前記回転チャック上に保持されたウエハ形状の物品を片側のみから前記ウエハ形状の物品に接触することなく加熱するように、前記回転チャックに対して設置される、装置。
9. 請求項１に記載の装置であって、
   前記加熱アセンブリは、前記回転チャックを覆い、前記回転チャックと、前記回転チャックに取り付けられるときに前記回転チャックに面するウエハ形状の物品の表面との間に設置される、装置。
10. 請求項９に記載の装置であって、
    前記液体ディスペンサは、前記回転チャックに対して前記回転チャックのより中央領域から前記回転チャックのより周辺領域に移動可能なアームを備える、装置。
11. 請求項１に記載の装置であって、さらに、
    前記放射加熱素子によって放出された放射に対して透過的な板を備え、
    前記板は、前記回転チャックとの回転のために取り付けられ、前記回転チャック上に設置されるときに前記加熱アセンブリとウエハ形状の物品との間に設置される、装置。
12. 請求項１１に記載の装置であって、
    前記板は、石英またはサファイア製である、装置。
13. 請求項１に記載の装置であって、
    前記少なくとも５の個々に制御可能な放射加熱素子群の各々は、前記回転チャック上に設置されるときに、少なくとも２Ｗ／ｃｍ²の電力強度をウエハ形状の物品に印加できる、装置。
14. 請求項１に記載の装置であって、
    前記少なくとも５の個々に制御可能な放射加熱素子群の各々は、前記回転チャック上に設置されるときに、少なくとも４Ｗ／ｃｍ²の電力強度をウエハ形状の物品に印加できる、装置。
15. 請求項１に記載の装置であって、
    前記少なくとも５の個々に制御可能な放射加熱素子群は、前記回転チャックの回転軸に対して同心円状に配置される、装置。
16. 請求項１に記載の装置であって、
    前記制御装置は、前記少なくとも５の個々に制御可能な群の１つと軸方向に並んでいる前記液体ディスペンサの前記放出点に応じて、全電力を前記少なくとも５の個々に制御可能な群の前記１つに供給するように構成される、装置。
17. 請求項１６に記載の装置であって、
    前記制御装置は、前記少なくとも５の個々に制御可能な群の前記１つと軸方向に並んでいる前記液体ディスペンサの前記放出点に応じて、前記少なくとも５の個々に制御可能な群の前記１つに隣接して半径方向内向きである前記少なくとも５の個々に制御可能な群の別の１つに、前記全電力より少ない内部中間電力を供給するように構成される、装置。
18. 請求項１６に記載の装置であって、
    前記制御装置は、前記少なくとも５の個々に制御可能な群の前記１つと軸方向に並んでいる前記液体ディスペンサの前記放出点に応じて、前記少なくとも５の個々に制御可能な群の前記１つに隣接して半径方向外向きである前記少なくとも５の個々に制御可能な群の別の１つに、前記全電力より少ない外部中間電力を供給するように構成される、装置。
19. 請求項１８に記載の装置であって、
    前記制御装置は、前記少なくとも５の個々に制御可能な群の前記１つと軸方向に並んでいる前記液体ディスペンサの前記放出点に応じて、前記少なくとも５の個々に制御可能な群の前記１つに隣接して半径方向内向きである前記少なくとも５の個々に制御可能な群のさらに別の１つに、前記全電力より少ない内部中間電力を供給するように構成され、
    前記外部中間電力は、前記内部中間電力より大きい、装置。
20. 請求項１に記載の装置であって、
    前記加熱アセンブリは、前記所定の直径のウエハ形状の物品と実質的に同一の広がりを持つ発光ダイオードのアレイを備える、装置。
21. 請求項１に記載の装置であって、
    前記回転チャックは、中央固定支柱を取り囲む回転可能なチャック本体を備え、
    前記加熱アセンブリは、前記中央固定支柱の上端に取り付けられる、装置。