JP2017216259A - 配線基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
3 ソルダーレジスト
3P ソルダーレジスト用の感光性樹脂
6 帯状配線導体
7 半導体素子接続パッド
9 ソルダーレジスト層の開口部
Claims (2)
- 絶縁基板上に、一部に半導体素子接続パッドとなる領域を有する複数の帯状配線導体を並設する工程と、次に前記帯状配線導体の上面および側面を粗化面とする工程と、次に前記絶縁基板上および前記帯状配線導体上をソルダーレジスト用の感光性樹脂で被覆する工程と、次に前記感光性樹脂を、前記帯状配線導体の前記一部およびその周囲の前記絶縁基板の一部に対応する部分が未露光部として残るように露光する工程と、次に感光性樹脂を、前記未露光部が現像液により除去され、各前記帯状配線導体の前記一部が、半導体素子接続パッドとして周囲の前記絶縁基板の一部とともに個別に露出される開口部を有するように現像する工程と、次に前記未露光部が除去された前記感光性樹脂を硬化させて前記開口部を有するソルダーレジストとする工程と、前記開口部内に露出する前記半導体素子接続パッドの表面をマイクロエッチングする工程とを含み、前記現像する工程において、前記上面に前記感光性樹脂が残らず、前記両側面に前記感光性樹脂の膜が残るように現像し、前記マイクロエッチングする工程において、前記半導体素子接続パッドの上面のみをマイクロエッチングすることを特徴とする配線基板の製造方法。
- 前記粗化面とする工程において、前記帯状配線導体の上面および側面を算術平均粗さRaが0.3〜0.5μmの粗化面とすることを特徴とする請求項1記載の配線基板の製造方法。
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