JP2017211576A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017211576A5 JP2017211576A5 JP2016106058A JP2016106058A JP2017211576A5 JP 2017211576 A5 JP2017211576 A5 JP 2017211576A5 JP 2016106058 A JP2016106058 A JP 2016106058A JP 2016106058 A JP2016106058 A JP 2016106058A JP 2017211576 A5 JP2017211576 A5 JP 2017211576A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- mirror
- unit
- piezoelectric
- surface side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Description
この構成によれば、二軸式光偏向器において、非共振周波数での第1軸線の回りのミラー部の最大回動角を増大させつつ、第2軸線の回りのミラー部の共振周波数の増大を図ることができる。
本発明の別の光偏向器は、
光を反射するミラー部を含む回動部と、
前記回動部を支持する固定支持部と、
前記回動部を第1軸線の回りに往復回動させる第1圧電アクチュエータとを備え、
前記回動部は、前記ミラー部を支持する回動支持部と、前記ミラー部と前記回動支持部との間に介在し、前記ミラー部を第2軸線の回りに往復回動させる一対の第2圧電アクチュエータと、前記第2軸に沿って前記ミラー部の一方の側から突出する第1トーションバーと、前記第2軸に沿って前記ミラー部の他方の側から突出する第2トーションバーとを含み、
前記一対の第2圧電アクチュエータのそれぞれは、第2Si層とその表面側の第2圧電膜層とを有する第2カンチレバーを備え、
前記一対の第2圧電アクチュエータの2つの第2カンチレバーとしての一対の第2カンチレバーは、前記第1トーションバー及び前記第2トーションバーに、各々の端部において相互に結合し、全体では、前記ミラー部を包囲する環状枠として形成され、
前記回動支持部は、内外周が前記第2軸線方向に長い楕円輪郭の環状枠として形成され、内周側において前記一対の第2圧電アクチュエータを包囲することを特徴とする。
本発明のさらに別の光偏向器は、
光を反射するミラー部を含む回動部と、
前記回動部を支持する固定支持部と、
前記回動部を第1軸線の回りに往復回動させる第1圧電アクチュエータとを備え、
前記回動部は、前記ミラー部を支持する回動支持部と、前記ミラー部と前記回動支持部との間に介在し、前記ミラー部を第2軸線の回りに往復回動させる一対の第2圧電アクチュエータと、前記第2軸に沿って前記ミラー部の一方の側から突出する第1トーションバーと、前記第2軸に沿って前記ミラー部の他方の側から突出する第2トーションバーとを含み、
前記一対の第2圧電アクチュエータのそれぞれは、第2Si層とその表面側の第2圧電膜層とを有する第2カンチレバーを備え、
前記一対の第2圧電アクチュエータの2つの第2カンチレバーとしての一対の第2カンチレバーは、前記第1トーションバー及び前記第2トーションバーに、各々の端部において相互に結合し、全体では、前記ミラー部を包囲する前記第2軸線方向に長い楕円輪郭の環状枠として形成され、
前記第1トーションバー及び前記第2トーションバーは、各突出端において前記回動支持部の内周に結合することを特徴とする。
本発明の別の光偏向器は、
光を反射するミラー部を含む回動部と、
前記回動部を支持する固定支持部と、
前記回動部を第1軸線の回りに往復回動させる第1圧電アクチュエータとを備え、
前記回動部は、前記ミラー部を支持する回動支持部と、前記ミラー部と前記回動支持部との間に介在し、前記ミラー部を第2軸線の回りに往復回動させる一対の第2圧電アクチュエータと、前記第2軸に沿って前記ミラー部の一方の側から突出する第1トーションバーと、前記第2軸に沿って前記ミラー部の他方の側から突出する第2トーションバーとを含み、
前記一対の第2圧電アクチュエータのそれぞれは、第2Si層とその表面側の第2圧電膜層とを有する第2カンチレバーを備え、
前記一対の第2圧電アクチュエータの2つの第2カンチレバーとしての一対の第2カンチレバーは、前記第1トーションバー及び前記第2トーションバーに、各々の端部において相互に結合し、全体では、前記ミラー部を包囲する環状枠として形成され、
前記回動支持部は、内外周が前記第2軸線方向に長い楕円輪郭の環状枠として形成され、内周側において前記一対の第2圧電アクチュエータを包囲することを特徴とする。
本発明のさらに別の光偏向器は、
光を反射するミラー部を含む回動部と、
前記回動部を支持する固定支持部と、
前記回動部を第1軸線の回りに往復回動させる第1圧電アクチュエータとを備え、
前記回動部は、前記ミラー部を支持する回動支持部と、前記ミラー部と前記回動支持部との間に介在し、前記ミラー部を第2軸線の回りに往復回動させる一対の第2圧電アクチュエータと、前記第2軸に沿って前記ミラー部の一方の側から突出する第1トーションバーと、前記第2軸に沿って前記ミラー部の他方の側から突出する第2トーションバーとを含み、
前記一対の第2圧電アクチュエータのそれぞれは、第2Si層とその表面側の第2圧電膜層とを有する第2カンチレバーを備え、
前記一対の第2圧電アクチュエータの2つの第2カンチレバーとしての一対の第2カンチレバーは、前記第1トーションバー及び前記第2トーションバーに、各々の端部において相互に結合し、全体では、前記ミラー部を包囲する前記第2軸線方向に長い楕円輪郭の環状枠として形成され、
前記第1トーションバー及び前記第2トーションバーは、各突出端において前記回動支持部の内周に結合することを特徴とする。
Claims (10)
- 光を反射するミラー部を含む回動部と、
前記回動部を支持する固定支持部と、
前記回動部を第1軸線の回りに往復回動させる第1圧電アクチュエータとを備え、
前記第1圧電アクチュエータは、第1Si層と、前記光が入射する面側を表面側として、該第1Si層の表面側に積層されて、印加電圧に応じて面方向に伸縮して前記第1Si層を厚み方向に変形させる第1圧電膜層とを有する第1カンチレバーを備え、
前記回動部は、第2Si層と、該第2Si層の表面側に積層される表面構造層とを備え、
前記第1Si層は前記第2Si層より薄いことを特徴とする光偏向器。 - 請求項1記載の光偏向器において、
前記回動部は、前記ミラー部を支持する回動支持部と、前記ミラー部と前記回動支持部との間に介在し、前記ミラー部を第2軸線の回りに往復回動させる第2圧電アクチュエータとを備え、
前記第2圧電アクチュエータは、前記第2Si層と、第2圧電膜層を含む前記表面構造層とを有する第2カンチレバーを備え、
前記第1Si層の裏面と前記第2Si層の裏面とは前記厚み方向に同一位置にあり、
前記第1圧電膜層及び前記第2圧電膜層は、等しい厚みでそれぞれ前記第1Si層及び前記第2Si層の表面側に形成されていることを特徴とする光偏向器。 - 請求項2記載の光偏向器において、
前記第2圧電アクチュエータは、前記第2軸線の回りに前記ミラー部をその共振周波数で往復回動させ、
前記第1圧電アクチュエータは、前記第1軸線の回りに前記回動部をその非共振周波数で往復回動させることを特徴とする光偏向器。 - 光を反射するミラー部を含む回動部と、
前記回動部を支持する固定支持部と、
前記回動部を第1軸線の回りに往復回動させる第1圧電アクチュエータとを備え、
前記回動部は、前記ミラー部を支持する回動支持部と、前記ミラー部と前記回動支持部との間に介在し、前記ミラー部を第2軸線の回りに往復回動させる一対の第2圧電アクチュエータと、前記第2軸に沿って前記ミラー部の一方の側から突出する第1トーションバーと、前記第2軸に沿って前記ミラー部の他方の側から突出する第2トーションバーとを含み、
前記一対の第2圧電アクチュエータのそれぞれは、第2Si層とその表面側の第2圧電膜層とを有する第2カンチレバーを備え、
前記一対の第2圧電アクチュエータの2つの第2カンチレバーとしての一対の第2カンチレバーは、前記第1トーションバー及び前記第2トーションバーに、各々の端部において相互に結合し、全体では、前記ミラー部を包囲する環状枠として形成され、
前記回動支持部は、内外周が前記第2軸線方向に長い楕円輪郭の環状枠として形成され、内周側において前記一対の第2圧電アクチュエータを包囲することを特徴とする光偏向器。 - 請求項4記載の光偏向器において、
前記第1トーションバー及び前記第2トーションバーは、各突出端において前記回動支持部の内周に結合することを特徴とする光偏向器。 - 請求項4又は5に記載の光偏向器において、
前記第1圧電アクチュエータは、第1Si層と、前記光が入射する面側を表面側として、該第1Si層の表面側に積層されて、印加電圧に応じて面方向に伸縮して前記第1Si層を厚み方向に変形させる第1圧電膜層とを有する第1カンチレバーを備え、
前記第1Si層は前記第2Si層より薄いことを特徴とする光偏向器。 - 光を反射するミラー部を含む回動部と、
前記回動部を支持する固定支持部と、
前記回動部を第1軸線の回りに往復回動させる第1圧電アクチュエータとを備え、
前記回動部は、前記ミラー部を支持する回動支持部と、前記ミラー部と前記回動支持部との間に介在し、前記ミラー部を第2軸線の回りに往復回動させる一対の第2圧電アクチュエータと、前記第2軸に沿って前記ミラー部の一方の側から突出する第1トーションバーと、前記第2軸に沿って前記ミラー部の他方の側から突出する第2トーションバーとを含み、
前記一対の第2圧電アクチュエータのそれぞれは、第2Si層とその表面側の第2圧電膜層とを有する第2カンチレバーを備え、
前記一対の第2圧電アクチュエータの2つの第2カンチレバーとしての一対の第2カンチレバーは、前記第1トーションバー及び前記第2トーションバーに、各々の端部において相互に結合し、全体では、前記ミラー部を包囲する前記第2軸線方向に長い楕円輪郭の環状枠として形成され、
前記第1トーションバー及び前記第2トーションバーは、各突出端において前記回動支持部の内周に結合することを特徴とする光偏向器。 - 請求項7記載の光偏向器において、
前記第1圧電アクチュエータは、第1Si層と、前記光が入射する面側を表面側として、該第1Si層の表面側に積層されて、印加電圧に応じて面方向に伸縮して前記第1Si層を厚み方向に変形させる第1圧電膜層とを有する第1カンチレバーを備え、
前記第1Si層は前記第2Si層より薄いことを特徴とする光偏向器。 - 光を反射するミラー部を含む回動部と、
前記ミラー部を支持する固定支持部と、
前記回動部を第1軸線の回りに往復回動させる第1圧電アクチュエータとを備える光偏向器の製造方法において、
表面側から裏面側の方へ順番に表面Si層、SiO2層及び裏面Si層を有するSOI基板に対し、表面側より前記表面Si層の前記第1圧電アクチュエータの形成領域を所定量、エッチングする第1工程と、
前記第1工程により製造された第1製造板に対し、その表面側の全面に圧電膜を成膜する第2工程と、
前記第2工程により製造された第2製造板に対し、表面側から前記圧電膜をエッチングすることにより前記第1圧電アクチュエータの圧電構造を形成する第3工程と、
前記第3工程により製造された第3製造板に対し、裏面側からの前記裏面Si層及び前記SiO2層のエッチングより前記回動部、前記第1圧電アクチュエータ及び前記固定支持部の側面輪郭及び裏面輪郭を形成する第4工程とを備えることを特徴とする製造方法。 - 請求項9記載の製造方法において、
前記回動部は、前記ミラー部を支持する回動支持部と、前記ミラー部と前記回動支持部との間に介在し、前記ミラー部を第2軸線の回りに往復回動させる第2圧電アクチュエータとを備え、
前記第3工程において、前記第2製造板に対し、表面側から前記圧電膜をエッチングすることにより前記第1圧電アクチュエータの圧電構造と前記第2圧電アクチュエータの圧電構造とを形成することを特徴とする製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016106058A JP6506212B2 (ja) | 2016-05-27 | 2016-05-27 | 光偏向器及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016106058A JP6506212B2 (ja) | 2016-05-27 | 2016-05-27 | 光偏向器及び製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017211576A JP2017211576A (ja) | 2017-11-30 |
JP2017211576A5 true JP2017211576A5 (ja) | 2018-04-05 |
JP6506212B2 JP6506212B2 (ja) | 2019-04-24 |
Family
ID=60474781
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016106058A Active JP6506212B2 (ja) | 2016-05-27 | 2016-05-27 | 光偏向器及び製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6506212B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019109448A (ja) * | 2017-12-20 | 2019-07-04 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器の製造方法 |
JP7386625B2 (ja) | 2019-06-17 | 2023-11-27 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器の製造方法及び光偏向器 |
JP7375471B2 (ja) | 2019-10-30 | 2023-11-08 | 株式会社リコー | 可動装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置、及び車両 |
DE102021134310A1 (de) | 2021-12-22 | 2023-06-22 | Tdk Electronics Ag | Piezoelektrisches Spiegelbauelement, Verfahren zum Betrieb des piezoelektrischen Spiegelbauelements und Projektionsvorrichtung mit dem piezoelektrischen Spiegelbauelement |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006011692A1 (en) * | 2004-07-26 | 2006-02-02 | M2N, Inc. | Optical switching device using a micro piezoelectric actuator and method for fabricating same |
EP2407812A4 (en) * | 2009-04-21 | 2014-05-21 | Panasonic Corp | OPTICALLY REFLECTIVE ELEMENT |
JP5569236B2 (ja) * | 2009-10-08 | 2014-08-13 | 株式会社リコー | 光走査装置、画像形成装置および画像投影装置 |
JP5976132B2 (ja) * | 2013-02-08 | 2016-08-23 | パイオニア株式会社 | アクチュエータ |
JP6055700B2 (ja) * | 2013-03-13 | 2016-12-27 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向モジュール |
JP2014232176A (ja) * | 2013-05-28 | 2014-12-11 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器の製造方法及び光偏向器 |
-
2016
- 2016-05-27 JP JP2016106058A patent/JP6506212B2/ja active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2017211576A5 (ja) | ||
US9575313B2 (en) | Optical deflector including mirror with extended reinforcement rib coupled to protruded portions of torsion bar | |
JP5168659B2 (ja) | 可動板構造体及び光走査装置 | |
NL2007886C2 (en) | Mems scanning micromirror. | |
JP6205587B2 (ja) | 光学反射素子 | |
JP4984117B2 (ja) | 2次元光スキャナ、それを用いた光学装置および2次元光スキャナの製造方法 | |
US20110170157A1 (en) | Moving structure and micro-mirror device using the same | |
US20100103492A1 (en) | MEMS-scanning mirror device and method for manufacturing the same | |
CN104011583A (zh) | 微镜 | |
JP5899440B2 (ja) | ミアンダ型振動子および光学反射素子 | |
US20160062109A1 (en) | Optical scanning device | |
JP2014006418A (ja) | アクチュエータ | |
JP6506212B2 (ja) | 光偏向器及び製造方法 | |
JP2020201308A5 (ja) | ||
JP7395001B2 (ja) | マイクロミラーデバイス及び光走査装置 | |
JP2007304411A (ja) | 形状可変ミラー | |
WO2013146094A1 (ja) | 光スキャナ | |
JP2011242522A (ja) | マイクロミラー装置 | |
US9952403B2 (en) | Method for manufacturing a mirror | |
JP7193719B2 (ja) | 光走査装置 | |
WO2019176907A1 (ja) | アクチュエータ | |
JP2012113194A (ja) | 波長可変干渉フィルターの製造方法 | |
WO2017149946A1 (ja) | 可変焦点ミラーおよび光走査装置 | |
JP6187405B2 (ja) | 光偏向器 | |
JP6390522B2 (ja) | 光走査装置 |