JP2017210657A5 - - Google Patents
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- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 28
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 21
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016105178A JP6465075B2 (ja) | 2016-05-26 | 2016-05-26 | 蒸着マスク、フレーム付き蒸着マスク、有機半導体素子の製造方法、及びに有機ｅｌディスプレイの製造方法 |
| US16/302,302 US20190203338A1 (en) | 2016-05-26 | 2017-05-23 | Vapor deposition mask, frame-equipped vapor deposition mask, method for producing organic semiconductor element, and method for producing organic el display |
| KR1020187036874A KR102365037B1 (ko) | 2016-05-26 | 2017-05-23 | 증착 마스크, 프레임 구비 증착 마스크, 유기 반도체 소자의 제조 방법 및 유기 el 디스플레이의 제조 방법 |
| CN202210442665.2A CN114959565A (zh) | 2016-05-26 | 2017-05-23 | 蒸镀掩模、带框架的蒸镀掩模、有机半导体元件的制造方法及有机el显示器的制造方法 |
| CN201780030895.5A CN109154064A (zh) | 2016-05-26 | 2017-05-23 | 蒸镀掩模、带框架的蒸镀掩模、有机半导体元件的制造方法、及有机el显示器的制造方法 |
| PCT/JP2017/019130 WO2017204194A1 (ja) | 2016-05-26 | 2017-05-23 | 蒸着マスク、フレーム付き蒸着マスク、有機半導体素子の製造方法、及び有機ｅｌディスプレイの製造方法 |
| TW106117679A TWI747908B (zh) | 2016-05-26 | 2017-05-26 | 蒸鍍遮罩、附框架蒸鍍遮罩、有機半導體元件之製造方法、及有機電致發光顯示器之製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016105178A JP6465075B2 (ja) | 2016-05-26 | 2016-05-26 | 蒸着マスク、フレーム付き蒸着マスク、有機半導体素子の製造方法、及びに有機ｅｌディスプレイの製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018196821A Division JP6791226B2 (ja) | 2018-10-18 | 2018-10-18 | 蒸着マスク、フレーム付き蒸着マスク、有機半導体素子の製造方法、及び有機ｅｌディスプレイの製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2017210657A JP2017210657A (ja) | 2017-11-30 |
| JP2017210657A5 true JP2017210657A5 (cg-RX-API-DMAC7.html) | 2018-02-22 |
| JP6465075B2 JP6465075B2 (ja) | 2019-02-06 |
Family
ID=60411763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016105178A Active JP6465075B2 (ja) | 2016-05-26 | 2016-05-26 | 蒸着マスク、フレーム付き蒸着マスク、有機半導体素子の製造方法、及びに有機ｅｌディスプレイの製造方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20190203338A1 (cg-RX-API-DMAC7.html) |
| JP (1) | JP6465075B2 (cg-RX-API-DMAC7.html) |
| KR (1) | KR102365037B1 (cg-RX-API-DMAC7.html) |
| CN (2) | CN114959565A (cg-RX-API-DMAC7.html) |
| TW (1) | TWI747908B (cg-RX-API-DMAC7.html) |
| WO (1) | WO2017204194A1 (cg-RX-API-DMAC7.html) |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017138166A1 (ja) * | 2016-02-10 | 2017-08-17 | 鴻海精密工業股▲ふん▼有限公司 | 蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク、および有機半導体素子の製造方法 |
| TWI664876B (zh) * | 2018-01-17 | 2019-07-01 | 友達光電股份有限公司 | 遮罩、遮罩的製造方法及應用此遮罩之有機電激發光元件的蒸鍍方法 |
| WO2019180846A1 (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | シャープ株式会社 | 成膜用マスクおよびそれを用いた表示装置の製造方法 |
| CN116024523A (zh) * | 2018-03-30 | 2023-04-28 | 昆山国显光电有限公司 | 掩膜板及其制备方法 |
| JP7187883B2 (ja) * | 2018-08-09 | 2022-12-13 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクの製造方法 |
| WO2020044547A1 (ja) * | 2018-08-31 | 2020-03-05 | シャープ株式会社 | 蒸着マスク |
| KR102642138B1 (ko) * | 2018-09-04 | 2024-03-04 | 엘지이노텍 주식회사 | 증착용 마스크 및 이의 제조 방법 |
| JP6838693B2 (ja) * | 2019-01-31 | 2021-03-03 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスク群、電子デバイスの製造方法及び電子デバイス |
| CN110331377B (zh) * | 2019-07-24 | 2021-10-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩膜片及其制作方法、开口掩膜板及其使用方法、薄膜沉积设备 |
| WO2021036067A1 (zh) * | 2019-08-28 | 2021-03-04 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩模板及制备方法、精细金属掩模板、掩模装置及使用方法 |
| CN112501558B (zh) | 2019-08-28 | 2024-12-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩膜版、掩膜装置及掩膜版的设计优化方法 |
| JP2021066949A (ja) * | 2019-10-28 | 2021-04-30 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクおよび蒸着マスクの製造方法 |
| CN110993790A (zh) * | 2019-11-14 | 2020-04-10 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 金属掩模板及柔性oled面板 |
| CN110777328A (zh) * | 2019-11-21 | 2020-02-11 | 昆山国显光电有限公司 | 一种掩膜版、蒸镀系统及掩膜版的制备方法 |
| CN110838565B (zh) * | 2019-11-26 | 2022-07-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 金属掩模版、显示面板和显示装置 |
| CN110911466B (zh) | 2019-11-29 | 2022-08-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板及其制备方法、母板的制备方法、掩膜版和蒸镀装置 |
| KR20210091382A (ko) | 2020-01-13 | 2021-07-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 마스크, 이의 제조 방법, 및 표시 패널 제조 방법 |
| KR20220078007A (ko) * | 2020-12-02 | 2022-06-10 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 |
| JP7788084B2 (ja) * | 2020-12-28 | 2025-12-18 | 大日本印刷株式会社 | 有機デバイス、マスク群、マスク、及び有機デバイスの製造方法 |
| TWI825405B (zh) * | 2021-03-31 | 2023-12-11 | 達運精密工業股份有限公司 | 金屬遮罩檢測方法 |
| US11939658B2 (en) * | 2021-04-09 | 2024-03-26 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Deposition mask, deposition mask apparatus, deposition apparatus, and manufacturing method for organic device |
| KR20230026586A (ko) * | 2021-08-17 | 2023-02-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 마스크 조립체 |
| CN114540787B (zh) * | 2021-11-23 | 2024-08-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种掩膜板、其制作方法及显示面板 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101117645B1 (ko) * | 2009-02-05 | 2012-03-05 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치 |
| US8691016B2 (en) * | 2010-02-03 | 2014-04-08 | Sharp Kabushiki Kaisha | Deposition apparatus, and deposition method |
| TWI498434B (zh) * | 2012-01-12 | 2015-09-01 | Dainippon Printing Co Ltd | A method of manufacturing a vapor deposition mask, a method for producing a vapor deposition mask, and a method of manufacturing the organic semiconductor device |
| JP5825139B2 (ja) * | 2012-02-21 | 2015-12-02 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクの製造方法 |
| JP5976527B2 (ja) * | 2012-12-27 | 2016-08-23 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 蒸着マスク及びその製造方法 |
| CN109554663B (zh) * | 2013-03-26 | 2020-03-17 | 大日本印刷株式会社 | 蒸镀掩模、带框架的蒸镀掩模、及它们的制造方法 |
| US10597766B2 (en) * | 2013-03-26 | 2020-03-24 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Vapor deposition mask, vapor deposition mask preparation body, method for producing vapor deposition mask, and method for producing organic semiconductor element |
| JP2014194062A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-09 | Sony Corp | マスクフレームユニット、マスク装置及び処理方法 |
| CN105143497B (zh) * | 2013-04-12 | 2017-10-24 | 大日本印刷株式会社 | 蒸镀掩模、蒸镀掩模准备体、蒸镀掩模的制造方法、及有机半导体元件的制造方法 |
| JP6197423B2 (ja) * | 2013-07-11 | 2017-09-20 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法、及び有機半導体素子の製造方法 |
| JP6394877B2 (ja) * | 2013-09-30 | 2018-09-26 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク準備体、フレーム付き蒸着マスク、及び有機半導体素子の製造方法 |
| JP2015074826A (ja) | 2013-10-11 | 2015-04-20 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 成膜マスク及びその製造方法 |
| JP6409701B2 (ja) * | 2013-11-14 | 2018-10-24 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスク、フレーム付き蒸着マスク、及び有機半導体素子の製造方法 |
-
2016
- 2016-05-26 JP JP2016105178A patent/JP6465075B2/ja active Active
-
2017
- 2017-05-23 US US16/302,302 patent/US20190203338A1/en not_active Abandoned
- 2017-05-23 CN CN202210442665.2A patent/CN114959565A/zh active Pending
- 2017-05-23 KR KR1020187036874A patent/KR102365037B1/ko active Active
- 2017-05-23 WO PCT/JP2017/019130 patent/WO2017204194A1/ja not_active Ceased
- 2017-05-23 CN CN201780030895.5A patent/CN109154064A/zh active Pending
- 2017-05-26 TW TW106117679A patent/TWI747908B/zh active