JP2017189928A - 電子デバイス製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基材へのインキの欠落等による断線を抑制して歩留まりを向上できる電子デバイス製造装置を提供する。【解決手段】シートＳを保持する圧胴１１０と、パターンを形成された版Ｐｓを具えると共に圧胴１１０に保持されたシートＳに対して機能性インキを前記パターンで転写する版胴１２０と、版胴１２０の版Ｐｓへ機能性インキを供給するインクジェット装置１３０と、胴１１０，１２０をそれぞれ回転駆動するモータ１５１，１５２と、胴１１０，１２０の位相をそれぞれ検知するロータリエンコーダ１５５，１５６と、圧胴１１０に保持されたシートＳに対して、版胴１２０の版Ｐｓへ供給された機能性インキを複数回重ね合わせて積層させるように、ロータリエンコーダ１５５，１５６からの情報に基づいて、インクジェット装置１３０、モータ１５１，１５２の作動をそれぞれ制御する制御装置１５０とを備える電子デバイス製造装置１００とした。【選択図】図１

Description

本発明は、可撓性を有する基材に機能性を有する材料を積層して機能層を形成することにより電子デバイスを製造する電子デバイス製造装置に関する。

機能性を有する材料を基材上に積層して機能層を形成した薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等のフレキシブルな電子デバイスは、例えば、下記特許文献１に記載されているように、圧胴に基材を保持させて当該圧胴を回転させることにより基材を搬送する一方、当該圧胴に対接可能なゴム胴上にインキ層を設け、当該ゴム胴に対接可能な版胴の版の凸部パターンを当該ゴム胴に対接させて、当該ゴム胴上のインキ層のうち凸部パターンと接触した部分のインキを除去して当該ゴム胴上にインキパターンを形成した後、上記圧胴に保持されている基材に対して、上記ゴム胴上の上記インキパターンを転写することにより、基材に複数の機能層を設けるようにした印刷法で製造することが知られている。

特開２０１５−１５３７９６号公報 特開２０１３−２４１２７５号公報 特開２００７−２６８７１５号公報

上述したような印刷法によりＴＦＴ等の電子デバイスを製造するに際しては、基材へのインキの欠落等による断線を抑制して、歩留まりを向上させることが強く求められている。

前述した課題を解決するための、本発明に係る電子デバイス製造装置は、可撓性を有する基材に機能性を有する材料を積層して機能層を形成することにより電子デバイスを製造する電子デバイス製造装置であって、回転可能に支持されて、基材を保持する圧胴と、回転可能に支持されて、機能層に対応するパターンを形成された版面を有する版を具えると共に、前記圧胴に保持された基材に対して、機能性を有する材料からなる機能性インキを前記パターンで転写する版胴と、前記版面へ機能性インキを供給する機能性インキ供給手段と、前記圧胴を回転駆動する圧胴回転駆動手段と、前記版胴を回転駆動する版胴回転駆動手段と、前記圧胴の位相を検知する圧胴位相検知手段と、前記版胴の位相を検知する版胴位相検知手段と、前記圧胴に保持された基材に対して、前記版面へ供給された機能性インキを複数回重ね合わせて積層させるように、前記圧胴位相検知手段及び前記版胴位相検知手段からの情報に基づいて、前記機能性インキ供給手段、前記圧胴回転駆動手段、前記版胴回転駆動手段の作動をそれぞれ制御する制御手段とを備えていることを特徴とする。

また、本発明に係る電子デバイス製造装置は、上述した電子デバイス製造装置において、前記版の前記版面が、前記パターンを形成されたものだけであることを特徴とする。

また、本発明に係る電子デバイス製造装置は、上述した電子デバイス製造装置において、前記版が、前記パターンを形成された第一の版面と当該パターンの一部のみを形成された第二の版面とを有するものであり、前記制御手段が、前記圧胴に保持された基材に対して、前記版胴の前記版の前記第一の版面へ供給された機能性インキと前記第二の版面へ供給された機能性インキとを重ね合わせて積層させるように、前記圧胴位相検知手段及び前記版胴位相検知手段からの情報に基づいて、前記機能性インキ供給手段、前記圧胴回転駆動手段、前記版胴回転駆動手段の作動をそれぞれ制御するものであることを特徴とする。

本発明に係る電子デバイス製造装置によれば、基材に対して、版胴の版の版面のパターンに対応した機能性インキを複数回重ね合わせるように転写することができるので、万が一、ある一回の転写のときに、機能性インキのパターンの一部に欠落を生じてしまったとしても、他の回の転写のときに、一部の欠落したパターンに機能性インキを補充するように積層することができる。このため、基材に対して、版胴の版の版面に対応するパターンで機能性インキを欠落なく転写して機能層を形成することができるので、基材への機能性インキの欠落による断線を大きく抑制することができ、電子デバイスの歩留まりを大きく向上させることができると共に、基材に対して、機能性インキの機能層を厚く設けることができるので、導電性等の機能性を大きく向上させることができる。

本発明に係る電子デバイス製造装置の第一番目の実施形態の要部概略構成図である。 図１の電子デバイス製造装置の要部の制御ブロック図である。 図１の電子デバイス製造装置を使用した電子デバイスの製造方法の手順説明図である。 図１の電子デバイス製造装置を使用して製造された電子デバイスの要部の概略説明図である。 本発明に係る電子デバイス製造装置の第二番目の実施形態の要部概略構成図である。 図４の電子デバイス製造装置の版胴の版の概略構成図である。 図４の電子デバイス製造装置の要部の制御ブロック図である。 図４の電子デバイス製造装置を使用した電子デバイスの製造方法の手順説明図である。 図４の電子デバイス製造装置を使用して製造された電子デバイスの要部の概略説明図である。

本発明に係る電子デバイス製造装置の実施形態を図面に基づいて説明するが、本発明は図面に基づいて説明する以下の実施形態のみに限定されるものではない。

〈第一番目の実施形態〉
本発明に係る電子デバイス製造装置の第一番目の実施形態を図１〜４に基づいて以下に説明する。

図１において、１１０は圧胴、１２０は版胴、１３０はインクジェット装置である。

前記圧胴１１０は、回転可能に支持されると共に、可撓性を有する基材であるシートＳを保持する保持面である有効面１１０ａを一つ具備する一倍径サイズをなしている。そして、前記圧胴１１０は、シートＳの搬送方向前方側（先端側）を着脱可能に把持するくわえ爪装置１１１と、シートＳの搬送方向後方側（末端側）を着脱可能に吸引保持する吸引ヘッド１１２（例えば、前記特許文献２等参照）とをそれぞれ有している。前記吸引ヘッド１１２は、吸引ポンプ１５４に接続している（図２参照）。

前記版胴１２０は、回転可能に配設され、前記圧胴１１０に対接する作動位置と前記圧胴１１０から離反した退避位置との間を直線的にスライド移動できるようにガイドレール（図示省略）を介して支持されている。そして、前記版胴１２０は、機能層に対応するパターンを形成された版面を有する版Ｐｓを保持する保持面である有効面１２０ａを一つ具備する一倍径サイズをなすと共に、当該版Ｐｓの一端側（先端側）と他端側（末端側）とを着脱可能に保持する版保持装置１２１を有している。なお、前記版Ｐｓの前記版面は、前記パターンを形成されたものだけとなっている。

機能性インキ供給手段である前記インクジェット装置１３０は、前記退避位置に位置する前記版胴１２０の前記版Ｐｓの版面に対して、導電性等の機能性を有する材料からなる機能性インキを噴射して供給することができるようになっている。

図２に示すように、前記圧胴１１０を独立して回転駆動させる圧胴回転駆動手段であるモータ１５１と、前記版胴１２０を独立して回転駆動させる版胴回転駆動手段であるモータ１５２とは、制御手段である制御装置１５０の出力部にそれぞれ電気的に接続している。前記制御装置１５０の出力部は、前記インクジェット装置１３０へ電気的に接続している。

また、前記制御装置１５０の出力部は、前記版胴１２０を前記ガイドレールに沿ってスライド移動させるアクチュエータ１５３と、前記吸引ポンプ１５４とにそれぞれ電気的に接続している。

他方、前記制御装置１５０の入力部には、前記圧胴１１０の回転位相を検知する圧胴位相検知手段であるロータリエンコーダ１５５と、前記版胴１２０の回転位相を検知する版胴位相検知手段であるロータリエンコーダ１５６とがそれぞれ電気的に接続されている。

つまり、前記制御装置１５０は、前記ロータリエンコーダ１５５，１５６からの情報に基づいて、前記モータ１５１，１５２の回転作動、前記アクチュエータ１５３の伸縮作動、前記インクジェット装置１３０の作動等をそれぞれ制御することができるようになっている（詳細は後述する）。

このような本実施形態に係る電子デバイス製造装置１００においては、当初、前記版胴１２０が、前記圧胴１１０から離反する前記退避位置に位置している。そして、前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１がシートＳの先端側（頭側）をくわえると共に、前記吸引ポンプ１５４が作動して前記吸引ヘッド１１２でシートＳの末端側（尻側）を吸引することにより、当該圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上にシートＳが保持される。

前記制御装置１５０は、前記版胴１２０の前記版Ｐｓの版面に機能性インキを供給するように、前記ロータリエンコーダ１５６からの情報に基づいて、前記モータ１５２を作動させて当該版胴１２０を回転させると共に、前記インクジェット装置１３０を作動させて当該インクジェット装置１３０から機能性インキを噴射させる。

前記版胴１２０の前記版Ｐｓの版面に機能性インキが供給されると、前記制御装置１５０は、前記ロータリエンコーダ１５５，１５６からの情報に基づいて、前記圧胴１１０と前記版胴１２０との位相を合致させながら当該胴１１０，１２０を回転させるように前記モータ１５１，１５２を作動させると共に、当該版胴１２０を当該圧胴１１０に対接させるように前記アクチュエータ１５３を作動させて、前記退避位置に位置する当該版胴１２０を前記作動位置にまでスライド移動させる。これにより、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上に保持されたシートＳの規定の位置に、前記版胴１２０の前記版Ｐｓの版面のパターンに対応した機能性インキが転写されて、第一層Ｉ１が形成される（図３Ａ参照）。

このようにしてシートＳの規定の位置に機能性インキの第一層Ｉ１を形成すると、前記制御装置１５０は、前記ロータリエンコーダ１５５，１５６からの情報に基づいて、前記作動位置に位置する前記版胴１２０を前記退避位置にまで戻すように前記アクチュエータ１５３を作動させた後、当該版胴１２０の前記版Ｐｓの版面に機能性インキを再び供給するように、前記ロータリエンコーダ１５６からの情報に基づいて、前記インクジェット装置１３０を作動させて当該インクジェット装置１３０から機能性インキを再び噴射させる。

前記版胴１２０の前記版Ｐｓの版面の全体にわたって機能性インキが再び供給されると、前記制御装置１５０は、前記ロータリエンコーダ１５５，１５６からの情報に基づいて、前記圧胴１１０と前記版胴１２０との位相を合致させながら当該胴１１０，１２０を回転させるように前記モータ１５１，１５２を作動させると共に、当該版胴１２０を当該圧胴１１０に再び対接させるように前記アクチュエータ１５３を作動させて、前記退避位置に位置する当該版胴１２０を前記作動位置にまで再びスライド移動させる。これにより、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳの第一層Ｉ１上に、前記版胴１２０の前記版Ｐｓの版面のパターンに対応した機能性インキが重ね合わせられるように転写されて、第二層Ｉ２が形成される（図３Ｂ参照）。

以下、上述した作動を繰り返すことにより（例えば、さらに２回）、シートＳの前記第二層Ｉ２上に第三層Ｉ３及び第四層Ｉ４がさらに積層される（図３Ｃ，３Ｄ参照）。

ここで、シートＳに対して、前記版Ｐｓの版面のパターンに対応した機能性インキを複数回（本実施形態では４回）重ね合わせるように転写していることから、万が一、ある一回の転写のときに、機能性インキのパターンの一部に欠落を生じてしまったとしても、他の回の転写のときに、一部の欠落したパターンに機能性インキが補充されるように積層される（図４参照）。

このため、本実施形態に係る電子デバイス製造装置１００においては、上記シートＳに対して、前記版Ｐｓの版面に対応するパターンで機能性インキを欠落なく転写して機能層を形成することができる。

したがって、本実施形態に係る電子デバイス製造装置１００によれば、シートＳへの機能性インキの欠落による断線を大きく抑制することができ、電子デバイスの歩留まりを大きく向上させることができる。

また、前記版Ｐｓの版面のパターンに対応した機能性インキを複数回（本実施形態では４回）転写して第一層Ｉ１〜第四層Ｉ４を重ね合わせて積層するようにしたことから、シートＳに対して、機能性インキの機能層を厚く設けることができるので、導電性等の機能性を大きく向上させることができる。

〈第二番目の実施形態〉
本発明に係る電子デバイス製造装置の第二番目の実施形態を図５〜９に基づいて以下に説明する。ただし、前述した実施形態と同様な部分については、前述した実施形態の説明で用いた符号と同様な符号を用いることにより、前述した実施形態での説明と重複する説明を省略する。

図５において、１１０は圧胴、２２０は版胴、１３０はインクジェット装置である。

前記版胴２２０は、回転可能に配設され、前述した実施形態の場合と同様に、前記作動位置と前記退避位置との間を直線的にスライド移動できるようにガイドレール（図示省略）を介して支持されている。そして、前記版胴２２０は、第一の版面Ｐｄ１と第二の版面Ｐｄ２とを周方向へ並べるように形成された二倍サイズの版Ｐｄを保持する保持面である有効面２２０ａを外周面に具備する径サイズ（二倍径）をなすと共に、当該版Ｐｄの一端側（先端側）と他端側（末端側）とを着脱可能に保持する版保持装置１２１を有している。

図６に示すように、前記版Ｐｄは、前記第一の版面Ｐｄ１に第一のパターンが形成され、前記第二の版面Ｐｄ２に第二のパターンが形成されており、当該第一のパターンと当該第二のパターンとは、その一部がまったく同一となるように形成され（例えば、図６中、版面の左右部分）、その残りが第一の版面Ｐｄ１のみに形成されている（例えば、図６中、版面の中央部分）。

図７に示すように、制御手段である制御装置２５０の出力部は、前記モータ１５１，１５２と、前記アクチュエータ１５３と、前記吸引ポンプ１５４と、前記インクジェット装置１３０とへそれぞれ電気的に接続している。他方、前記制御装置２５０の入力部には、前記ロータリエンコーダ１５５，１５６がそれぞれ電気的に接続されている。

つまり、前記制御装置２５０は、前記ロータリエンコーダ１５５，１５６からの情報に基づいて、前記モータ１５１，１５２の回転作動、前記アクチュエータ１５３の伸縮作動、前記インクジェット装置１３０の作動等をそれぞれ制御することができるようになっている（詳細は後述する）。

このような本実施形態に係る電子デバイス製造装置２００においては、前述した実施形態の場合と同様に、当初、前記版胴２２０が、前記圧胴１１０から離反する前記退避位置に位置している。そして、前述した実施形態の場合と同様に、前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１がシートＳの先端側（頭側）をくわえると共に、前記吸引ポンプ１５４が作動して前記吸引ヘッド１１２でシートＳの末端側（尻側）を吸引することにより、当該圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上にシートＳが保持される。

前記制御装置２５０は、前記版胴２２０の前記版Ｐｄの前記第一の版面Ｐｄ１に機能性インキを供給するように、前記ロータリエンコーダ１５６からの情報に基づいて、前記モータ１５２を作動させて当該版胴２２０を回転させると共に、前記インクジェット装置１３０を作動させて当該インクジェット装置１３０から機能性インキを噴射させる。

前記版胴２２０の前記版Ｐｄの前記第一の版面Ｐｄ１に機能性インキが供給されると、前記制御装置２５０は、前記ロータリエンコーダ１５５，１５６からの情報に基づいて、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上に保持されたシートＳに対する前記版胴２２０の前記版Ｐｄの前記第一の版面Ｐｄ１の位相を合致させつつ当該胴１１０，２２０を回動させるように前記モータ１５１，１５２を作動させると共に、当該版胴２２０を当該圧胴１１０に対接させるように前記アクチュエータ１５３を作動させて、前記退避位置に位置する当該版胴２２０を前記作動位置にまでスライド移動させる。これにより、前記圧胴１１０に保持されたシートＳの規定の位置に、前記版胴２２０の前記版Ｐｄの前記第一の版面Ｐｄ１のパターンに対応した機能性インキが転写されて、第一層Ｉ１が形成される（図８Ａ参照）。

このようにしてシートＳの規定の位置に機能性インキの第一層Ｉ１を形成すると、前記制御装置２５０は、前記ロータリエンコーダ１５５，１５６からの情報に基づいて、前記作動位置に位置する前記版胴２２０を前記退避位置にまで戻すように前記アクチュエータ１５３を作動させた後、当該版胴２２０の前記版Ｐｄの前記第二の版面Ｐｄ２に機能性インキを供給するように、前記ロータリエンコーダ１５６からの情報に基づいて、前記インクジェット装置１３０を作動させて当該インクジェット装置１３０から機能性インキを噴射させる。

前記版胴２２０の前記版Ｐｄの前記第二の版面Ｐｄ２に機能性インキが供給されると、前記制御装置２５０は、前記ロータリエンコーダ１５５，１５６からの情報に基づいて、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上に保持されたシートＳに対する前記版胴２２０の前記版Ｐｄの前記第二の版面Ｐｄ２の位相を合致させつつ当該胴１１０，２２０を回動させるように前記モータ１５１，１５２を作動させると共に、当該版胴２２０を当該圧胴１１０に再び対接させるように前記アクチュエータ１５３を作動させて、前記退避位置に位置する当該版胴２２０を前記作動位置にまで再びスライド移動させる。これにより、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳの第一層Ｉ１上の一部（図８中、左右部分）のみに、前記版胴２２０の前記版Ｐｄの前記第二の版面Ｐｄ２のパターンに対応した機能性インキが重ね合わせられるように転写されて、第一層Ｉ１上の一部（図８中、左右部分）のみに第二層Ｉ２が積層される（図８Ｂ参照）。

このようにしてシートＳの第一層Ｉ１上の一部のみに第二層Ｉ２を積層すると、前記制御装置２５０は、上述と同様に、前記ロータリエンコーダ１５５，１５６からの情報に基づいて、前記作動位置に位置する前記版胴２２０を前記退避位置にまで戻すように前記アクチュエータ１５３を作動させた後、当該版胴２２０の前記版Ｐｄの前記第二の版面Ｐｄ２に機能性インキを再び供給するように、前記ロータリエンコーダ１５６からの情報に基づいて、前記インクジェット装置１３０を作動させて当該インクジェット装置１３０から機能性インキを再び噴射させる。

前記版胴２２０の前記版Ｐｄの前記第二の版面Ｐｄ２に機能性インキが供給されると、前記制御装置２５０は、上述と同様に、前記ロータリエンコーダ１５５，１５６からの情報に基づいて、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上に保持されたシートＳに対する前記版胴２２０の前記版Ｐｄの前記第二の版面Ｐｄ２の位相を合致させつつ当該胴１１０，２２０を回動させるように前記モータ１５１，１５２を作動させると共に、当該版胴２２０を当該圧胴１１０に再び対接させるように前記アクチュエータ１５３を作動させて、前記退避位置に位置する当該版胴２２０を前記作動位置にまで再びスライド移動させる。これにより、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳの第二層Ｉ２上に、前記版胴２２０の前記版Ｐｄの前記第二の版面Ｐｄ２のパターンに対応した機能性インキが重ね合わせられるように転写されて、第二層Ｉ１上に第三層Ｉ３が積層される（図８Ｃ参照）。

以下、上述した作動を繰り返すことにより（例えば、さらに１回）、シートＳの前記第三層Ｉ３上に第四層Ｉ４がさらに積層される（図８Ｄ参照）。

つまり、前述した実施形態においては、シートＳ上に形成したすべての第一層Ｉ１上に第二〜四層Ｉ２〜Ｉ４を積層するようにしたが、本実施形態においては、シートＳ上に形成した一部の第一層Ｉ１上のみに第二〜四層Ｉ２〜Ｉ４を積層するようにしたのである。

このため、シートＳに転写する機能性インキのパターンにおいて、デザイン上、例えば、一部の位置（図９中、左右位置）で欠落を生じやすいものの、その他の位置（図９中、中央位置）で欠落をほとんど生じ得ないときに、その欠落を生じやすい一部の位置のみに機能性インキを補充することができる（図９参照）。

したがって、本実施形態に係る電子デバイス製造装置２００によれば、前述した実施形態の場合と同様に、シートＳへの機能性インキの欠落による断線を大きく抑制することができ、電子デバイスの歩留まりを大きく向上させることができるのはもちろんのこと、欠落を生じやすいパターンの位置のみに第二〜四層Ｉ２〜Ｉ４を形成することができるので、前述した実施形態よりも、機能性インキを有効に利用することができる。

また、シートＳ上に形成した一部の第一層Ｉ１上のみに第二〜四層Ｉ２〜Ｉ４を積層できるようにしたことから、シートＳに対して、機能性インキの機能層の一部のみを厚く設けることができるので、例えば、シートＳの中央部分に機能性インキの薄い機能層を設けながらも、シートＳの周辺部分に機能性インキの厚い機能層を設けることができ、同一のシートＳ上で機能性インキの機能層の厚さを異ならせた電子デバイスを容易に製造することができる。

〈他の実施形態〉
なお、前述した実施形態においては、前記版胴１２０，２２０の前記版Ｐｓ，Ｐｄに前記インクジェット装置１３０により機能性インキを供給するようにしたが、他の実施形態として、例えば、インキ壺から移しローラ等を介してインキを版胴に供給するインキ装置や、インキ皿からインキを版胴に直接供給するインキ装置や、インキ皿からファニシャローラやインキ出しローラやインキ着けローラ等を介してインキを版胴に間接的に供給するインキ装置等を適用することも可能である。

また、前述した実施形態においては、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａに保持されたシートＳに対して、前記版胴１２０，２２０の前記版Ｐｓ，Ｐｄに供給された機能性インキを直接的に転写するようにしたが、他の実施形態として、例えば、前記圧胴１１０及び前記版胴１２０，２２０に対して対接離反移動できるように当該圧胴１１０と当該版胴１２０，２２０との間にブランケット胴を回転可能に配設することにより、当該版胴１２０，２２０の前記版Ｐに供給された機能性インキを当該ブランケット胴に一旦転写してから上記圧胴１１０の前記有効面１１０ａに保持されたシートＳに転写するオフセット方式とすることも可能である。

また、前述した実施形態においては、前記吸引ポンプ１５４に接続した前記吸引ヘッド１１２を前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａに設けることにより、シートＳの搬送方向後方側（末端側）を当該有効面１１０ａに着脱可能に吸引保持するようにしたが、他の実施形態として、例えば、上記吸引ヘッド１１２等に代えて、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上にシリコンゴム等からなるラバーシートを取り付けておくことにより、シートの搬送方向後方側（末端側）を当該有効面１１０ａに対して着脱可能に密着保持できるようにしても、前述した実施形態と同様な作用効果を得ることができる。

本発明に係る電子デバイス製造装置は、基材への機能性インキの欠落による断線を大きく抑制することができ、電子デバイスの歩留まりを大きく向上させることができると共に、基材に対して、機能性インキの機能層を厚く設けることができ、導電性等の機能性を大きく向上させることができるので、産業上、極めて有益に利用することができる。

１００，２００ 電子デバイス製造装置
１１０ 圧胴
１１０ａ 有効面
１１１ くわえ爪装置
１１２ 吸引ヘッド
１２０，２２０ 版胴
１２０ａ，２２０ａ 有効面
１２１ くわえ爪装置
１３０ インクジェット装置
１５０，２５０ 制御装置
１５１，１５２ モータ
１５３ アクチュエータ
１５４ 吸引ポンプ
１５５，１５６ ロータリエンコーダ
Ｐｓ，Ｐｄ 版
Ｐｄ１ 第一の版面
Ｐｄ２ 第二の版面
Ｓ シート

Claims (3)

1. 可撓性を有する基材に機能性を有する材料を積層して機能層を形成することにより電子デバイスを製造する電子デバイス製造装置であって、
   回転可能に支持されて、基材を保持する圧胴と、
   回転可能に支持されて、機能層に対応するパターンを形成された版面を有する版を具えると共に、前記圧胴に保持された基材に対して、機能性を有する材料からなる機能性インキを前記パターンで転写する版胴と、
   前記版面へ機能性インキを供給する機能性インキ供給手段と、
   前記圧胴を回転駆動する圧胴回転駆動手段と、
   前記版胴を回転駆動する版胴回転駆動手段と、
   前記圧胴の位相を検知する圧胴位相検知手段と、
   前記版胴の位相を検知する版胴位相検知手段と、
   前記圧胴に保持された基材に対して、前記版面へ供給された機能性インキを複数回重ね合わせて積層させるように、前記圧胴位相検知手段及び前記版胴位相検知手段からの情報に基づいて、前記機能性インキ供給手段、前記圧胴回転駆動手段、前記版胴回転駆動手段の作動をそれぞれ制御する制御手段と
   を備えていることを特徴とする電子デバイス製造装置。
2. 請求項１に記載の電子デバイス製造装置において、
   前記版の前記版面が、前記パターンを形成されたものだけである
   ことを特徴とする電子デバイス製造装置。
3. 請求項１に記載の電子デバイス製造装置において、
   前記版が、前記パターンを形成された第一の版面と当該パターンの一部のみを形成された第二の版面とを有するものであり、
   前記制御手段が、前記圧胴に保持された基材に対して、前記版胴の前記版の前記第一の版面へ供給された機能性インキと前記第二の版面へ供給された機能性インキとを重ね合わせて積層させるように、前記圧胴位相検知手段及び前記版胴位相検知手段からの情報に基づいて、前記機能性インキ供給手段、前記圧胴回転駆動手段、前記版胴回転駆動手段の作動をそれぞれ制御するものである
   ことを特徴とする電子デバイス製造装置。

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