JP6666780B2 - 電子デバイス製造装置 - Google Patents
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Description
可撓性を有する基材に機能性を有する材料を積層して機能層を形成することによりフレキシブル電子デバイスを製造するフレキシブル電子デバイス製造装置であって、
基材を保持して回転する圧胴と、
機能層に対応するパターンが形成された版面を有する版が取り付けられた版胴と、
前記版面に機能性を有する材料からなる機能性インキを供給するインキ供給手段と、
前記圧胴及び前記版胴をそれぞれ駆動する圧胴駆動装置及び版胴駆動装置と、
前記版胴に取り付けられた前記版の絵柄の周方向の変形量を検知する版変形検知手段と、
前記版胴が前記インキ供給手段から供給された機能性インキを基材に転写する際に、前記版変形検知手段によって取得した前記版の絵柄の周方向の変形量に基づいて前記圧胴駆動装置及び前記版胴駆動装置のうちの少なくとも一方の回転速度を制御し、前記圧胴に保持されている基材の表面周速と前記版胴の表面周速との相対差を調整する制御手段と
を備えたことを特徴とする。
本発明に係る電子デバイス製造装置で薄膜トランジスタ(TFT)を製造する場合の主な実施形態を図1〜4及び図5A〜5Jに基づいて以下に説明する。
図3(a)及び図3(b)に示すように、前記版Pの表面には、軸方向一端側の余白部に周方向に沿って一定距離間隔dで区間距離マークMが設けられている。
前記制御装置200は、前記ロータリエンコーダ221,222からの情報に基づいて、当該供給胴120の当該くわえ爪装置121が前記圧胴110の前記くわえ爪装置111Bと対向するときに、当該供給胴120の当該くわえ爪装置121から当該圧胴110の当該くわえ爪装置111BへシートS3の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ211,212の作動を制御すると共に、当該圧胴110の前記吸着ヘッド112Bが当該供給胴120の当該有効面120aと対向するときに、当該圧胴110の当該くわえ爪装置111Bに先端側をくわえられたシートS3の末端側を当該吸引ヘッド112Bに吸引保持させるように、前記バルブ218Bを開放制御する。これにより、シートS3は、前記供給胴120の前記有効面120aから前記圧胴110の前記有効面110b上に供給されて密着保持される。
なお、前述した実施形態においては、前記画像処理装置302により求めた版伸び量に基づいて前記圧胴110の前記有効面110c上のシートの表面周速に対する前記版胴130の表面周速を制御する例を示したが、他の実施形態として、前記画像処理装置302により求めた版伸び量に基づいて前記版胴130の表面周速に対する前記圧胴110の前記有効面110c上のシートの表面周速を制御する、又は、前記画像処理装置302により求めた版伸び量に基づいて前記版胴130の表面周速及び前記圧胴110の前記有効面110c上のシートの表面周速を制御することも可能である。
110a〜110c 有効面
111A〜111C くわえ爪装置
112A〜112C 吸引ヘッド
120 供給胴
120a 有効面
121 くわえ爪装置
130 版胴
130a 有効面
131 版保持装置
140 コータ胴
150 排出胴
150a 有効面
151 くわえ爪装置
191,193 インクジェット装置
192 絶縁インキ供給装置
200 制御装置
201〜205 モータ
211〜216 アクチュエータ
217 吸引ポンプ
218A〜218C バルブ
221〜225 ロータリエンコーダ
301 検査カメラ
302 画像処理装置
P 版
Pg,Psd 版面
Ic 導電インキ
Ii 絶縁インキ
S1〜S4 シート
M 区間距離マーク
Claims (1)
- 可撓性を有する基材に機能性を有する材料を積層して機能層を形成することによりフレキシブル電子デバイスを製造するフレキシブル電子デバイス製造装置であって、
基材を保持して回転する圧胴と、
機能層に対応するパターンが形成された版面を有する版が取り付けられた版胴と、
前記版面に機能性を有する材料からなる機能性インキを供給するインキ供給手段と、
前記圧胴及び前記版胴をそれぞれ駆動する圧胴駆動装置及び版胴駆動装置と、
前記版胴に取り付けられた前記版の絵柄の周方向の変形量を検知する版変形検知手段と、
前記版胴が前記インキ供給手段から供給された機能性インキを基材に転写する際に、前記版変形検知手段によって取得した前記版の絵柄の周方向の変形量に基づいて前記圧胴駆動装置及び前記版胴駆動装置のうちの少なくとも一方の回転速度を制御し、前記圧胴に保持されている基材の表面周速と前記版胴の表面周速との相対差を調整する制御手段と
を備えたことを特徴とする電子デバイス製造装置。
Priority Applications (1)
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JP2016078611A JP6666780B2 (ja) | 2016-04-11 | 2016-04-11 | 電子デバイス製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016078611A JP6666780B2 (ja) | 2016-04-11 | 2016-04-11 | 電子デバイス製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017191803A JP2017191803A (ja) | 2017-10-19 |
JP6666780B2 true JP6666780B2 (ja) | 2020-03-18 |
Family
ID=60085389
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2016078611A Active JP6666780B2 (ja) | 2016-04-11 | 2016-04-11 | 電子デバイス製造装置 |
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2016
- 2016-04-11 JP JP2016078611A patent/JP6666780B2/ja active Active
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