JP2017185794A - 基材処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】可撓性を有する基材を傷付けることなく排出することが確実にできる基材処理装置を提供する。【解決手段】シートに対して機能層を形成する圧胴１１０，版胴１３０，コータ胴１４０，インクジェット装置１９１，絶縁インキ供給装置１９２を備えた電子デバイス製造装置であって、圧胴１１０からシートの先端側を受け取ってシートを保持する回転可能な排出胴１５０と、排出胴１５０の接線方向に沿ってスライド移動できるように排出胴１５０に対向可能に配設された排出テーブル１６０と、排出テーブル１６０にシートを保持させるようにシートの少なくとも先端側を保持する保持手段１６１〜１６８と、排出胴１５０の周速度と同一の速度で排出テーブル１６０をスライド移動させるように制御する制御装置とを備えている。【選択図】図１

Description

本発明は、可撓性を有する基材に対して処理を施す処理部を備えた基材処理装置に関し、特に、機能性を有する材料を基材上に積層して機能層を形成することにより電子デバイスを製造する電子デバイス製造装置に適用すると有効なものである。

基材上にゲート層（Ｇ層）やゲート・インシュレータ層（ＧＩ層）やソース＆ドレイン層（ＳＤ層）等の機能層を積層した薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等のフレキシブルな電子デバイスは、例えば、下記特許文献１に記載されているように、圧胴に基材を保持させて当該圧胴を回転させることにより基材を搬送する一方、当該圧胴に対接可能なゴム胴上にインキ層を設け、当該ゴム胴に対接可能な版胴の版の凸部パターンを当該ゴム胴に対接させて、当該ゴム胴上のインキ層のうち凸部パターンと接触した部分のインキを除去して当該ゴム胴上にインキパターンを形成した後、上記圧胴に保持されている基材に対して、上記ゴム胴上の上記インキパターンを転写して、基材に複数の機能層を設けるようにした電子デバイス製造装置により製造することができる。

特開２０１５−１５３７９６号公報 特開２０１３−２４１２７５号公報 特開２００７−２６８７１５号公報

ところで、前記特許文献１に記載されている電子デバイス製造装置は、圧胴上で複数の機能層を設けられた基材の先端側（頭側）を当該圧胴から排出装置の走行チェーンの爪竿にくわえ替えするようにして基材を受け渡して搬送し、排出台上で爪竿のくわえ爪を解放することにより、基材を排出台上に積層するようにしている。

このため、前記特許文献１に記載されている電子デバイス製造装置においては、前記排出装置の前記爪竿で基材の先端側（頭側）をくわえながら前記走行チェーンを走行させることにより当該基材を搬送することから、当該基材の末端側（尻側）が搬送中にバタつきやすく、傷付いてしまうおそれがあった。

このような問題は、前述したような電子デバイス製造装置に限らず、可撓性を有する基材に処理を施す処理部を備えた基材処理装置であれば、前述した場合と同様にして生じ得ることである。

このようなことから、本発明は、可撓性を有する基材を傷付けることなく排出することが確実にできる基材処理装置を提供することを目的とする。

前述した課題を解決するための、本発明に係る基材処理装置は、可撓性を有する基材に対して処理を施す処理部を備えた基材処理装置であって、前記処理部から基材の先端側を受け取って当該基材を保持する回転可能な排出胴と、前記排出胴の接線方向に沿ってスライド移動できるように当該排出胴に対向可能に配設された排出テーブルと、前記排出テーブルに基材を保持させるように基材の少なくとも先端側を保持する保持手段と、前記排出胴の周速度と同一の速度で前記排出テーブルをスライド移動させるように制御する制御手段とを備えていることを特徴とする。

また、本発明に係る基材処理装置は、上述した基材処理装置において、前記排出テーブルが、前記排出胴の下方に位置するものであることを特徴とする。

また、本発明に係る基材処理装置は、上述した基材処理装置において、前記保持手段が、前記排出テーブルに基材を保持させるように基材の少なくとも先端側の空気を吸引できると共に、前記排出テーブルから基材を離脱させるように基材の少なくとも先端側へ空気を噴出できるものであることを特徴とする。

本発明に係る基材処理装置によれば、処理部から基材の先端側を排出胴が受け取り保持して、基材の先端側が排出テーブルに対向したときに、保持手段で基材の先端側を保持して基材を排出胴から排出テーブルに保持替えすると共に、排出胴の周速度と同一の速度で排出テーブルをスライド移動させると、排出胴から排出テーブル上に基材を全長にわたって移し替えることができるので、基材の末端側を搬送中にバタつかせることがなく、基材を傷付けることなく排出することが確実にできる。

本発明に係る基材処理装置を電子デバイス製造装置に適用した場合の第一番目の実施形態の要部概略構成図である。 図１の電子デバイス製造装置の要部の制御ブロック図である。 図１の電子デバイス製造装置による薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）の製造手順の説明図である。 図３Ａに続く製造手順の説明図である。 図３Ｂに続く製造手順の説明図である。 図３Ｃに続く製造手順の説明図である。 図３Ｄに続く製造手順の説明図である。 図３Ｅに続く製造手順の説明図である。 図３Ｆに続く製造手順の説明図である。 図３Ｇに続く製造手順の説明図である。 図３Ｈに続く製造手順の説明図である。 図３Ｉに続く製造手順の説明図である。 図３Ｊに続く製造手順の説明図である。 図３Ｋに続く製造手順の説明図である。 図３Ｌに続く製造手順の説明図である。 本発明に係る基材処理装置を電子デバイス製造装置に適用した場合の第二番目の実施形態の要部概略構成図である。 図４のV−V線断面矢線視図である。 図４，５の電子デバイス製造装置の要部の制御ブロック図である。 図４，５の電子デバイス製造装置による薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）の製造手順の説明図である。 図７Ａに続く製造手順の説明図である。 図７Ｂに続く製造手順の説明図である。 図７Ｃに続く製造手順の説明図である。 図７Ｄに続く製造手順の説明図である。 図７Ｅに続く製造手順の説明図である。

本発明に係る基材処理装置の実施形態を図面に基づいて説明するが、本発明は図面に基づいて説明する以下の実施形態のみに限定されるものではない。

〈第一番目の実施形態〉
本発明に係る基材処理装置を電子デバイス製造装置に適用した場合の第一番目の実施形態を図１，２及び図３Ａ〜３Ｍに基づいて以下に説明する。

図１において、１１０は圧胴、１２０は供給胴、１３０は版胴、１４０はコータ胴、１５０は排出胴、１６０は排出テーブル、１９１はインクジェット装置、１９２は絶縁インキ供給装置である。

前記圧胴１１０は、回転可能に支持されると共に、可撓性を有する基材であるシートを保持する保持面である有効面を外面の周方向へ六つ具備できる径サイズ（六倍径）をなしているものの、三つの有効面１１０ａ〜１１０ｃだけを周方向で等間隔で具備するいわゆるスケルトン型をなしている。

そして、前記圧胴１１０は、各有効面１１０ａ〜１１０ｃにおいて、シートの搬送方向前方側（先端側）を着脱可能に把持するくわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃと、シートの搬送方向後方側（末端側）を着脱可能に吸引保持する吸引ヘッド１１２Ａ〜１１２Ｃ（例えば、前記特許文献２等参照）とをそれぞれ有している。前記吸引ヘッド１１２Ａ〜１１２Ｃは、それぞれバルブ２１８Ａ〜２１８Ｃを介して吸引ポンプ２１７に接続している（図２参照）。

基材供給手段である前記供給胴１２０は、前記圧胴１１０に対接するように回転可能に支持され、有効面を外面の周方向へ二つ具備できる径サイズ（二倍径）をなしているものの、一つの有効面１２０ａだけを具備すると共に、当該有効面１２０ａにおいて、シートの搬送方向前方側（先端側）を着脱可能に把持するくわえ爪装置１２１を有しており、回転する前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ〜１１０ｃに対して一つおきにシートを供給して保持させることができるようになっている。

基材排出手段である前記排出胴１５０は、前記圧胴１１０と前記供給胴１２０との対接位置、すなわち、当該圧胴１１０の、当該供給胴１２０からのシートを保持する保持位置よりも当該圧胴１１０の回転方向（シートの搬送方向）下流側で当該圧胴１１０に対接するように回転可能に支持され、有効面を外面の周方向へ二つ具備できる径サイズ（二倍径）をなしているものの、一つの有効面１５０ａだけを具備すると共に、当該有効面１５０ａにおいて、シートの搬送方向前方側（先端側）を着脱可能に把持するくわえ爪装置１５１を有している。

前記版胴１３０は、前記圧胴１１０と前記供給胴１２０との対接位置、すなわち、当該圧胴１１０の、当該供給胴１２０からのシートを保持する保持位置よりも当該圧胴１１０の回転方向（シートの搬送方向）下流側と、当該圧胴１１０と前記排出胴１５０との対接位置、すなわち、当該圧胴１１０の、当該排出胴１５０へシートを離脱させる離脱位置よりも当該圧胴１１０の回転方向（シートの搬送方向）上流側との間に回転可能に配設され、当該圧胴１１０に対接する作動位置と当該圧胴１１０から離反した退避位置との間を直線的にスライド移動できるようにガイドレール（図示省略）を介して支持されている。

そして、前記版胴１３０は、第一の機能層であるゲート層（Ｇ層）に対応するパターンを形成された第一の版面であるＧ層用の版面Ｐｇと、第三の機能層であるソース＆ドレイン層（ＳＤ層）に対応するパターンを形成された第二の版面であるＳＤ層用の版面Ｐｓｄとを周方向へ並べるように形成した二倍サイズの版Ｐを保持する保持面である有効面１３０ａを外面に具備する径サイズ（二倍径）をなすと共に、当該版Ｐの一端側（先端側）と他端側（末端側）とを着脱可能に保持する版保持装置１３１を有している。

第一の機能性インキ供給手段である前記インクジェット装置１９１は、前記退避位置に位置する前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄに対して、Ｇ層及びＳＤ層をなす材料からなる第一の機能性インキである導電インキを噴射して供給することができるようになっている。

前記コータ胴１４０は、前記圧胴１１０と前記版胴１３０との対接位置よりも当該圧胴１１０の回転方向（シートの搬送方向）下流側と、当該圧胴１１０と前記排出胴１５０との対接位置、すなわち、当該圧胴１１０の、当該排出胴１５０へシートを離脱させる離脱位置よりも当該圧胴１１０の回転方向（シートの搬送方向）上流側との間に回転可能に配設され、シートのサイズに対応するサイズのシリコン樹脂製のブランケットＢを外周に巻き付けられると共に（一倍径）、当該圧胴１１０に対接する作動位置と当該圧胴１１０から離反した退避位置との間を直線的にスライド移動できるようにガイドレール（図示省略）を介して支持されている。

第二の機能性インキ供給手段である前記絶縁インキ供給装置１９２は、前記退避位置に位置する前記コータ胴１４０の前記ブランケットＢ上に、第二の機能層であるゲート・インシュレータ層（ＧＩ層）をなす材料からなる第二の機能性インキである絶縁インキを送出して供給することができるようになっている。

前記排出テーブル１６０は、シートのサイズよりも大きいサイズをなして前記排出胴１５０の下方に配設され、先端側（図１中、右側）が当該排出胴１５０に対向する受取位置と当該排出胴１５０の接線方向で水平方向に沿って離反した離脱位置との間を直線的にスライド移動できるようにガイドレール（図示省略）を介して支持されている。

前記排出テーブル１６０の先端側（図１中、右側）には、当該排出テーブル１６０の表面側（上面側）と裏面側（下面側）とを連通する連通孔１６０ａが複数形成されている。前記排出テーブル１６０の裏面（下面）の先端側（図１中、右端側）には、サクションボックス１６１が前記連通孔１６０ａを覆うように取り付けられている。

他方、エアコンプレッサ１６２の送出口は、二つの開閉バルブ１６３，１６４の一方の口１６３ａ，１６４ａに分岐してそれぞれに接続している。一方の前記開閉バルブ１６３の他方の口１６３ｂは、三方バルブ１６５の一つの口１６５ａに接続している。前記三方バルブ１６５の残りの一つの口１６５ｂは、伸縮性及び可撓性を有するフレキシブルホース１６６を介して前記サクションボックス１６１の下部に連結されている。

他方の前記開閉バルブ１６４の他方の口１６４ｂは、エゼクタ１６７の受入口１６７ａに接続している。前記エゼクタ１６７の吸引口１６７ｃは、前記三方バルブ１６５の残りの他方の口１６５ｃに接続している。前記エゼクタ１６７の送出口１６７ｂは、サイレンサ１６８を介して系外へ連絡している。

つまり、前記エアコンプレッサ１６２を作動させると共に、前記開閉バルブ１６３を閉鎖し、前記開閉バルブ１６４を開放し、前記三方バルブ１６５の前記口１６５ｂ，１６５ｃのみを連通させるように当該三方バルブ１６５を切り換えると、上記エアコンプレッサ１６２で圧縮された空気１が、上記開閉バルブ１６４を介して前記エゼクタ１６７の前記受入口１６７ａから前記送出口１６７ｂを流通して前記サイレンサ１６８を介して系外へ放出されることにより、当該エゼクタ１６７の前記吸引口１６７ｃから前記三方バルブ１６５を介して前記サクションボックス１６１の内部を吸引して、前記連通孔１６０ａを介して前記排出テーブル１６０の先端側の表面（上面）を吸引する（図３Ｊ参照）ことができる一方、前記開閉バルブ１６３を開放し、前記開閉バルブ１６４を閉鎖し、前記三方バルブ１６５の前記口１６５ａ，１６５ｂのみを連通させるように当該三方バルブ１６５を切り換えると、上記エアコンプレッサ１６２で圧縮された空気１が、上記開閉バルブ１６３及び上記三方バルブ１６５を介して前記サクションボックス１６１の内部に送給され、前記連通孔１６０ａを介して前記排出テーブル１６０の先端側の表面（上面）に空気１を噴出する（図３Ｌ参照）ことができるようになっているのである。

図２に示すように、前記圧胴１１０を独立回転駆動させるモータ２０１と、前記供給胴１２０を独立回転駆動させるモータ２０２と、前記版胴１３０を独立回転駆動させるモータ２０３と、前記コータ胴１４０を独立回転駆動させるモータ２０４と、前記排出胴１５０を独立回転駆動させるモータ２０５とは、制御手段である制御装置２００の出力部にそれぞれ電気的に接続している。前記制御装置２００の出力部は、前記インクジェット装置１９１及び前記絶縁インキ供給装置１９２へ電気的に接続している。

また、前記制御装置２００の出力部は、前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃと前記供給胴１２０の前記くわえ爪装置１２１との対向の際、当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃの開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃを開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ２１１と、当該供給胴１２０の当該くわえ爪装置１２１の開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置１２１を開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ２１２とに対して、それぞれ電気的に接続している（カム軌道切換機構に関しては、前記特許文献２に記載の「印刷胴」及び「給紙側渡胴」のカム軌道切換機構（特に図５）参照）。

また、前記制御装置２００の出力部は、前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃと前記排出胴１５０の前記くわえ爪装置１５１との対向の際、当該くわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃの開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃを開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ２１３と、当該くわえ爪装置１５１の開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置１５１を開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ２１４とに対して、それぞれ電気的に接続している（カム軌道切換機構に関しては、前記特許文献２に記載の「第２の排紙側渡胴」及び「紙取胴」のカム軌道切換機構（特に図４）参照）。

また、前記制御装置２００の出力部は、前記吸引ポンプ２１７と前記バルブ２１８Ａ〜２１８Ｃとに対して、それぞれ電気的に接続すると共に、前記版胴１３０を前記ガイドレールに沿ってスライド移動させるアクチュエータ２１５と、前記コータ胴１４０を前記ガイドレールに沿ってスライド移動させるアクチュエータ２１６とに対して、それぞれ電気的に接続している。

また、前記制御装置２００の出力部は、前記エアコンプレッサ１６２と、前記開閉バルブ１６３，１６４と、前記三方バルブ１６５とに対して、それぞれ電気的に接続している。

他方、前記制御装置２００の入力部には、前記圧胴１１０の回転位相を検出するロータリエンコーダ２２１と、前記供給胴１２０の回転位相を検出するロータリエンコーダ２２２と、前記版胴１３０の回転位相を検出するロータリエンコーダ２２３と、前記コータ胴１４０の回転位相を検出するロータリエンコーダ２２４と、前記排出胴１５０の回転位相を検出するロータリエンコーダ２２５とがそれぞれ電気的に接続されている。

また、前記制御装置２００の入力部には、前記離脱位置に位置した前記排出テーブル１６０上のシートの有無を検知するシート検知センサ２２６が電気的に接続されている。

つまり、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１〜２２５及び前記シート検知センサ２２６からの情報に基づいて、前記モータ２０１〜２０５の回転作動、前記インクジェット装置１９１及び前記絶縁インキ供給装置１９２の作動、前記アクチュエータ２１１〜２１６，２１９の伸縮作動、前記バルブ１６３〜１６５，２１８Ａ〜２１８Ｃの開閉作動等をそれぞれ制御することができるようになっている（詳細は後述する）。

なお、本実施形態においては、前記圧胴１１０、前記版胴１３０、前記コータ胴１４０、前記インクジェット装置１９１、前記絶縁インキ供給装置１９２等により、シートに対して処理を施す処理部を構成し、前記サクションボックス１６１、前記エアコンプレッサ１６２、前記開閉バルブ１６３，１６４、前記三方バルブ１６５、前記フレキシブルホース１６６、前記エゼクタ１６７、前記サイレンサ１６８等により、保持手段を構成している。

このような本実施形態に係る電子デバイス製造装置によるＴＦＴの製造方法を図３Ａ〜３Ｍに基づいて次に説明する。

当初、前記版胴１３０及び前記コータ胴１４０は、前記圧胴１１０から離反する前記退避位置に位置し、前記排出テーブル１６０は、先端側が前記排出胴１５０に対接する前記受取位置に位置すると共に、前記バルブ１６３〜１６５，２１８Ａ〜２１８Ｃは、閉鎖状態となっている。

そして、前記制御装置２００を作動させると、当該制御装置２００は、前記エアコンプレッサ１６２及び前記吸引ポンプ２１７を作動させると共に、前記胴１１０，１２０，１３０，１４０を所定の周期で回転させるように、前記ロータリエンコーダ２２１〜２２５からの情報に基づいて、前記モータ２０１〜２０５の作動を制御する。

前記供給胴１２０の前記くわえ爪装置１２１に一枚目のシートＳ１の先端側をくわえさせて当該供給胴１２０の前記有効面１２０ａ上にシートＳ１を保持させて搬送させると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２からの情報に基づいて、当該供給胴１２０の当該くわえ爪装置１２１が前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ａと対向するときに、当該供給胴１２０の当該くわえ爪装置１２１から当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１ＡへシートＳ１の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ２１１，２１２の作動を制御する（図３Ａ参照）と共に、当該圧胴１１０の前記吸引ヘッド１１２Ａが当該供給胴１２０の当該有効面１２０ａと対向するときに、当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ａに先端側をくわえられたシートＳ１の末端側を当該吸引ヘッド１１２Ａに吸引保持させるように、前記バルブ２１８Ａを開放制御する。これにより、シートＳ１は、前記供給胴１２０の前記有効面１２０ａから前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上に供給されて密着保持される。

また、これと併せて、前記制御装置２００は、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇに導電インキＩｃを供給するように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３からの情報に基づいて、前記インクジェット装置１９１を作動制御する。

続いて、前記制御装置２００は、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇに供給された導電インキＩｃを前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳ１に転写させるように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３からの情報に基づいて、前記アクチュエータ２１５の作動を制御して、当該版胴１３０を前記作動位置に移動させる。これにより、シートＳ１上には、Ｇ層が形成される（図３Ｂ参照）。

このとき、前記供給胴１２０は、前記くわえ爪装置１２１がシートをくわえることなく空の状態で前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ｂと対向するため、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２からの情報に基づいて、当該胴１１０，１２０でシートを受け渡すことなく当該くわえ爪装置１２１，１１１Ｂを干渉させないように前記アクチュエータ２１１，２１２の作動を制御すると共に、前記バルブ２１８Ａの閉鎖状態をそのまま維持するように当該バルブ２１８Ａの作動を制御する。

そして、前記版胴１３０が、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳ１に導電インキＩｃを転写し終えると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３からの情報に基づいて、当該版胴１３０を前記退避位置に移動させるように前記アクチュエータ２１５の作動を制御する。

また、これと併せて、前記制御装置２００は、前記コータ胴１４０の前記ブランケットＢに絶縁インキＩｉを供給するように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２４からの情報に基づいて、前記絶縁インキ供給装置１９２を作動制御する。

続いて、前記制御装置２００は、前記コータ胴１４０の前記ブランケットＢに供給された絶縁インキＩｉを前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳ１に転写させるように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２４からの情報に基づいて、前記アクチュエータ２１６の作動を制御して、当該コータ胴１４０を前記作動位置に移動させる。これにより、シートＳ１のＧ層上には、ＧＩ層が形成される（図３Ｃ参照）。

そして、前記コータ胴１４０が、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳ１に絶縁インキＩｉを転写し終えると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２４からの情報に基づいて、当該コータ胴１４０を前記退避位置に移動させるように前記アクチュエータ２１６の作動を制御する。

このようにして前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上でＧ層及びＧＩ層を形成されたシートＳ１の先端側をくわえる前記くわえ爪装置１１１Ａが前記排出胴１５０の前記くわえ爪装置１５１と対向するとき、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２５からの情報に基づいて、当該排出胴１５０の当該くわえ爪装置１５１を当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ａに干渉させることなく当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ａから当該排出胴１５０の当該くわえ爪装置１５１へシートＳ１の先端側をくわえ替えさせずに当該圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上にシートＳ１を保持したまま通過させるように、前記アクチュエータ２１１，２１４の作動を制御すると共に、前記バルブ２１８Ａの開放状態をそのまま維持するように当該バルブ２１８Ａの作動を制御する。

このとき、前記供給胴１２０は、前記くわえ爪装置１２１が次のシートＳ２の先端側をくわえて前記有効面１２０ａに保持した状態でシートＳ２を搬送してくることから、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２からの情報に基づいて、当該供給胴１２０の当該くわえ爪装置１２１が前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ｃと対向するときに、当該供給胴１２０の当該くわえ爪装置１２１から当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１ＣへシートＳ２の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ２１１，２１２の作動を制御する（図３Ｄ参照）と共に、当該圧胴１１０の前記吸引ヘッド１１２Ｃが当該供給胴１２０の当該有効面１２０ａと対向するときに、当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ｃに先端側をくわえられたシートＳ２の末端側を当該吸引ヘッド１１２Ｃに吸引保持させるように、前記バルブ２１８Ｃを開放制御する。これにより、シートＳ２は、前記供給胴１２０の前記有効面１２０ａから前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上に供給されて密着保持される。

また、これと併せて、前記制御装置２００は、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇに導電インキＩｃを供給するように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３からの情報に基づいて、前記インクジェット装置１９１を作動制御する。

続いて、前記制御装置２００は、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇに供給された導電インキＩｃを前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上のシートＳ２に転写させるように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３からの情報に基づいて、前記アクチュエータ２１５の作動を制御して、当該版胴１３０を前記作動位置に移動させる。これにより、シートＳ２上には、Ｇ層が形成される（図３Ｅ参照）。

また、これと併せて、前記制御装置２００は、前記コータ胴１４０の前記ブランケットＢに絶縁インキＩｉを供給するように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２４からの情報に基づいて、前記絶縁インキ供給装置１９２を作動制御する。

このとき、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａにシートＳ１を保持させている前記くわえ爪装置１１１Ａが、シートを保持していない前記供給胴１２０の前記くわえ爪装置１２１と対向するため、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２からの情報に基づいて、当該胴１１０，１２０でシートを受け渡すことなく当該くわえ爪装置１２１，１１１Ａを干渉させないように前記アクチュエータ２１１，２１２の作動を制御すると共に、前記バルブ２１８Ａの開放状態をそのまま維持するように当該バルブ２１８Ａの作動を制御する。

そして、前記版胴１３０が、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上のシートＳ２に導電インキＩｃを転写し終えると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３からの情報に基づいて、当該版胴１３０を前記退避位置に移動させるように前記アクチュエータ２１５の作動を制御すると共に、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｓｄに導電インキＩｃを供給するように、前記インクジェット装置１９１を作動制御する（図３Ｆ参照）。

続いて、前記制御装置２００は、前記コータ胴１４０の前記ブランケットＢに供給された絶縁インキＩｉを前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上のシートＳ２に転写させるように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２４からの情報に基づいて、前記アクチュエータ２１６の作動を制御して、当該コータ胴１４０を前記作動位置に移動させる。これにより、シートＳ２のＧ層上には、ＧＩ層が形成される。

そして、前記コータ胴１４０が、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上のシートＳ２に絶縁インキＩｉを転写し終えると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２４からの情報に基づいて、当該コータ胴１４０を前記退避位置に移動させるように前記アクチュエータ２１６の作動を制御する（図３Ｇ参照）。

また、これと併せて、前記制御装置２００は、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｓｄに供給された導電インキＩｃを前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳ１に転写させるように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３からの情報に基づいて、前記アクチュエータ２１５の作動を制御して、当該版胴１３０を前記作動位置に移動させる。これにより、シートＳ１のＧＩ層上には、ＳＤ層が形成される。

そして、前記版胴１３０が、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳ１に導電インキＩｃを転写し終えると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３からの情報に基づいて、当該版胴１３０を前記退避位置に移動させるように前記アクチュエータ２１５の作動を制御する（図３Ｈ参照）。

このとき、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上でＧ層及びＧＩ層を形成されたシートＳ２の先端側をくわえる前記くわえ爪装置１１１Ｃが前記排出胴１５０の前記くわえ爪装置１５１と対向するとき、前記制御装置２００は、前述したシートＳ１の場合と同様に、前記ロータリエンコーダ２２１，２２５からの情報に基づいて、当該排出胴１５０の当該くわえ爪装置１５１を当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ｃに干渉させることなく当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ｃから当該排出胴１５０の当該くわえ爪装置１５１へシートＳ２の先端側をくわえ替えさせずに当該圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上にシートＳ２を保持したまま通過させるように、前記アクチュエータ２１１，２１４の作動を制御すると共に、前記バルブ２１８Ｃの開放状態をそのまま維持する。

くわえて、前記供給胴１２０は、前記くわえ爪装置１２１が更に次のシートＳ３の先端側をくわえて前記有効面１２０ａに保持した状態でシートＳ３を搬送してくることから、
前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２からの情報に基づいて、当該供給胴１２０の当該くわえ爪装置１２１が前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ｂと対向するときに、当該供給胴１２０の当該くわえ爪装置１２１から当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１ＢへシートＳ３の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ２１１，２１２の作動を制御すると共に、当該圧胴１１０の前記吸引ヘッド１１２Ｂが当該供給胴１２０の当該有効面１２０ａと対向するときに、当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ｂに先端側をくわえられたシートＳ３の末端側を当該吸引ヘッド１１２Ｂに吸引保持させるように、前記バルブ２１８Ｂを開放制御する。これにより、シートＳ３は、前記供給胴１２０の前記有効面１２０ａから前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｂ上に供給されて密着保持される。

他方、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上でＧ層，ＧＩ層，ＳＤ層をそれぞれ形成されたシートＳ１は、前記コータ胴１４０から絶縁インキＩｉを転写されることなくそのまま通過する。

そして、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上に保持されたシートＳ１の先端側をくわえる前記くわえ爪装置１１１Ａが前記排出胴１５０の前記くわえ爪装置１５１と対向すると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２５からの情報に基づいて、当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ａから当該排出胴１５０の当該くわえ爪装置１５１へシートＳ１の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ２１１，２１４の作動を制御すると共に（図３Ｉ参照）、当該圧胴１１０の前記吸引ヘッド１１２Ａが当該排出胴１５０の当該有効面１５０ａと対向するときに吸引を停止するように、前記バルブ２１８Ａを閉鎖制御する。これにより、Ｇ層、ＧＩ層、ＳＤ層をそれぞれ形成されたシートＳ１は、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａから離脱され、前記排出胴１５０に受け渡される。

このとき、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃにシートＳ２を保持させている前記くわえ爪装置１１１Ｃが、シートを保持していない前記供給胴１２０の前記くわえ爪装置１２１と対向するため、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２からの情報に基づいて、シートＳ１の場合と同様に、当該胴１１０，１２０でシートを受け渡すことなく当該くわえ爪装置１２１，１１１Ｃを干渉させないように前記アクチュエータ２１１，２１２の作動を制御すると共に、前記バルブ２１８Ｃの開放状態をそのまま維持するように当該バルブ２１８Ｃの作動を制御する。

また、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｂに保持されたシートＳ３は、前記有効面１１０ａ，１１０ｃに保持されたシートＳ１，Ｓ２の場合と同様にして、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇから導電インキＩｃが転写される。

そして、前記排出胴１５０にシートＳ１が受け渡されると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２５からの情報に基づいて、前記開閉バルブ１６３を閉鎖制御し、前記開閉バルブ１６４を開放制御し、前記三方バルブ１６５の前記口１６５ｂ，１６５ｃのみを連通させるように当該三方バルブ１６５の作動を制御する。これにより、前記エアコンプレッサ１６２で圧縮された空気１が、前記開閉バルブ１６４を介して前記エゼクタ１６７の前記受入口１６７ａから前記送出口１６７ｂを流通して前記サイレンサ１６８を介して系外へ放出され、当該エゼクタ１６７の前記吸引口１６７ｃから前記三方バルブ１６５を介して前記サクションボックス１６１の内部が吸引され、前記連通孔１６０ａを介して前記排出テーブル１６０の表面（上面）の先端側が吸引される（図３Ｊ参照）。

続いて、前記排出胴１５０の前記くわえ爪装置１５１が前記排出テーブル１６０と対向して、当該くわえ爪装置１５１が開放されると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２５からの情報に基づいて、当該排出テーブル１６０を当該排出胴１５０の周速度と同一速度で前記受取位置から前記離脱位置へ向けてスライド移動させるように前記アクチュエータ２１９の作動を制御する。これにより、シートＳ１は、先端側を前記排出テーブル１６０に吸引保持されて前記排出胴１５０から当該排出テーブル１６０上に保持替えされ、当該排出テーブル１６０上に移し替えられる（図３Ｋ参照）。

このようにして前記排出テーブル１６０が前記離脱位置へ移動すると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２５からの情報に基づいて、当該排出テーブル１６０を当該離脱位置に位置付けるように前記アクチュエータ２１９の作動を制御すると共に、前記開閉バルブ１６３を開放制御し、前記開閉バルブ１６４を閉鎖制御し、前記三方バルブ１６５の前記口１６５ａ，１６５ｂのみを連通させるように当該三方バルブ１６５の作動を制御する。これにより、前記エアコンプレッサ１６２で圧縮された空気１が、前記開閉バルブ１６３及び前記三方バルブ１６５を介して前記サクションボックス１６１の内部に送給され、前記連通孔１６０ａを介して前記排出テーブル１６０の表面（上面）の先端側から噴出し、当該排出テーブル１６０上に移載されたシートＳ１の先端側を吸引保持から開放すると共に浮き上がらせて、当該排出テーブル１６０上からシートＳ１を離脱させ、系外へ搬出する（図３Ｌ参照）。

前記排出テーブル１６０上からシートＳ１が取り除かれると、前記制御装置２００は、前記シート検知センサ２２６からの情報に基づいて、前記排出テーブル１６０の前記連通孔１６０ａでの空気１の流出入を停止させるように、前記バルブ１６３〜１６５を閉鎖制御すると共に、前記排出テーブル１６０を前記受取位置に戻すように、前記アクチュエータ２１９の作動を制御する。

他方、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｂに保持されたシートＳ３は、前記有効面１１０ａ，１１０ｃに保持されたシートＳ１，Ｓ２の場合と同様にして、前記コータ胴１４０の前記ブランケットＢから絶縁インキＩｉが転写されることにより、Ｇ層上にＧＩ層が形成され、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃに保持されたシートＳ２は、前記有効面１１０ａに保持されたシートＳ１の場合と同様にして、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｓｄから導電インキＩｃが転写されることにより、ＧＩ層上にＳＤ層が形成される（図３Ｍ参照）。

くわえて、前記供給胴１２０は、前記くわえ爪装置１２１が更に次のシートＳ４の先端側をくわえて前記有効面１２０ａに保持した状態でシートＳ４を搬送してくることから、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２からの情報に基づいて、当該供給胴１２０の当該くわえ爪装置１２１が前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ａと対向するときに、当該供給胴１２０の当該くわえ爪装置１２１から当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１ＡへシートＳ４の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ２１１，２１２の作動を制御すると共に、当該圧胴１１０の前記吸引ヘッド１１２Ａが当該供給胴１２０の当該有効面１２０ａと対向するときに、当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ａに先端側をくわえられたシートＳ４の末端側を当該吸引ヘッド１１２Ａに吸引保持させるように、前記バルブ２１８Ａを開放制御する。これにより、シートＳ４は、前記供給胴１２０の前記有効面１２０ａから前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上に供給されて密着保持される。

以下、上述した作動を繰り返すことにより、シートにＧ層，ＧＩ層，ＳＤ層を順次積層したＴＦＴを連続して製造することができる。

つまり、本実施形態に係る電子デバイス製造装置では、前記排出胴１５０に保持されたシートの先端側を前記排出テーブル１６０の表面（上面）の先端側に吸引保持させるように当該排出胴１５０から当該排出テーブル１６０上に受け渡すと共に、当該排出胴１５０の周速度と同一の速度で当該排出テーブル１６０をスライド移動させることにより、当該排出テーブル１６０の上面にシートを末端側まで全長にわたって載せ替えできるようにしたのである。

したがって、本実施形態に係る電子デバイス製造装置によれば、シートの末端側（尻側）を搬送中にバタつかせることがないので、シートを傷付けることなく排出することが確実にできる。

また、前記排出テーブル１６０が前記離脱位置に位置したときに、前記エアコンプレッサ１６２で圧縮した空気１を当該排出テーブル１６０の表面（上面）の先端側から噴出させるようにしたので、当該排出テーブル１６０上に移載されたシートの先端側を吸引保持から開放すると共に浮き上がらせることができ、当該排出テーブル１６０上からシートを容易に離脱させて系外へ迅速に搬出することができる。

また、回転可能な前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ〜１１０ｃに保持したシートに対して前記装置１９１，１９２により前記インキＩｃ，Ｉｉを転写して各層を積層するようにしたので、シートに各層を形成する都度の高精度な位置合わせを容易に行うことができる。

また、二つの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄを有する前記版Ｐを一つの前記版胴１３０に装着したことから、一つの前記インクジェット装置１９１で二つの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄに導電インキＩｃを供給することができるので、非常に高価な当該インクジェット装置１９１の設置数を削減することができ、低コスト化及び省スペース化を図ることができる。

また、三つの前記有効面１１０ａ〜１１０ｃを有する前記圧胴１１０に対して、前記供給胴１２０が一つおきにシートを供給して保持させることから、当該供給胴１２０から次々に供給するシートに対して各層を順次形成することが効率よくでき、ＴＦＴを同時に複数製造することが省スペースで非常に効率よくできる。

〈第二番目の実施形態〉
本発明に係る基材処理装置を電子デバイス製造装置に適用した場合の第二番目の実施形態を図４〜６及び図７Ａ〜７Ｆに基づいて以下に説明する。ただし、前述した実施形態と同様な部分については、前述した実施形態の説明で用いた符号と同様な符号を用いることにより、重複する説明を省略する。

図４，５に示すように、前記排出テーブル１６０の前記離脱位置の上方には、当該排出テーブル１６０の移動方向（図４中、左右方向，図５中、紙面垂直方向）と直交する水平方向（図４中、紙面垂直方向，図５中、左右方向）に沿って長手方向を向けるように配設された一対のガイドレール１７１の先端寄り（図５中、左端寄り）が位置している。前記ガイドレール１７１には、当該ガイドレール１７１の長手方向に沿ってスライド移動可能なスライダ１７２がそれぞれ設けられている。

前記スライダ１７２の下部には、軸方向に伸縮可能なアクチュエータ１７３の基端側（図４，５中、上端側）がそれぞれ取り付けられている。前記アクチュエータ１７３の先端側（図４，５中、下端側）は、一枚の支持板１７４の上面に各々連結されており、当該支持板１７４は、当該アクチュエータ１７３の伸縮により、昇降移動することができるようになっている。前記支持板１７４の下面の四隅近傍には、吸引ヘッド１７５がそれぞれ取り付けられている。

前記ガイドレール１７１の基端寄り（図５中、右端寄り）の下方位置には、脚部１０ａを有するパレット１０を介してシート（基材）を積載する基材積載手段であるシート積載装置１８０が配設されている。

前記シート積載装置１８０は、スプロケット１８１と、エンドレスチェーン１８２と、支持ブラケット１８３と、受取テーブル１８４と、繰出テーブル１８５と、アクチュエータ１８６とを主に備えている。

前記スプロケット１８１は、前記ガイドレール１７１の基端寄り（図５中、右端寄り）に前記支持板１７４が位置したときの当該支持板１７４の四隅の下方位置において、当該ガイドレール１７１の長手方向に沿って軸方向を向けると共に上下一対となるようにそれぞれ配設されている。

前記エンドレスチェーン１８２は、上下一対の前記スプロケット１８１間に掛け渡されるようにしてそれぞれ配設されている。

前記支持ブラケット１８３は、前記ガイドレール１７１の長手方向で対をなす前記エンドレスチェーン１８２間を連結するように当該ガイドレール１７１の長手方向に沿って長手方向を向けて配設されると共に、当該エンドレスチェーン１８２の走行方向に沿って一定の間隔で当該エンドレスチェーン１８２に複数取り付けられており、前記排出テーブル１６０の移動方向（図４中、左右方向）で対向する組同士により、パレット１０の端部寄りの下面を支承することができるようになっている。

前記受取テーブル１８４は、下方に位置する前記スプロケット１８１よりも下方に配設されて基端側（図５中、右端側）を上下方向へ移動できるように支持体１８９の一方側（図５中、左側）に支持されている。

前記繰出テーブル１８５は、前記支持体１８９の他方側（図５中、右側）に基端側（図５中、左端側）を上下方向へ移動できるように支承されている。

前記アクチュエータ１８６は、前記繰出テーブル１８５の先端側（図５中、右側）に先端（図５中、左端）を位置させるように前記ガイドレール１７１の長手方向に沿って軸方向を向けて配設され、最上段で水平方向へ配向された前記支持ブラケット１８３の高さ位置に対応する高さ位置に位置付けられている。

また、図６に示すように、制御手段である制御装置３００の出力部には、前述した実施形態の場合と同様に、前記部材１６２〜１６５，１９１，１９２，２０１〜２０５，２１１〜２１９が電気的に接続されると共に、前記アクチュエータ１７３，１８６と、前記スプロケット１８１を回転させるモータ３０１と、前記受取テーブル１８４を昇降移動させるモータ３０２と、前記繰出テーブル１８５を昇降移動させるモータ３０３と、前記ガイドレール１７１に沿って前記スライダ１７２をスライド移動させるアクチュエータ３１１と、前記吸引ヘッド１７５へ接続された吸引ポンプ３１２と、前記吸引ヘッド１７５と前記吸引ポンプ３１２との間を断接するバルブ３１３とが電気的に接続されている。

他方、前記制御装置３００の入力部には、前述した実施形態の場合と同様に、前記ロータリエンコーダ２２１〜２２６が電気的に接続されると共に、前記モータ３０１〜３０３の回転位相を検出するロータリエンコーダ３２１〜３２３と、最上段の前記支持ブラケット１８３上のパレット１０の有無を検知する最上段パレット検知センサ３２４と、最上段の下方の次の段（二段目）の前記支持ブラケット１８３上のパレット１０の有無を検知する二段目パレット検知センサ３２５と、最上段の前記支持ブラケット１８３上のパレット１０上のシートＳの有無を検知するシート検知センサ３２６と、前記受取テーブル１８４上の最上段のパレット１０の位置を検知するパレット受取位置検知センサ３２７と、前記繰出テーブル１８５上の最上段のパレット１０の位置を検知するパレット繰出位置検知センサ３２８とが電気的に接続されている。

なお、本実施形態においては、前記ガイドレール１７１、前記スライダ１７２、前記アクチュエータ１７３、前記支持板１７４、前記吸引ヘッド１７５、前記アクチュエータ３１１、前記吸引ポンプ３１２、前記バルブ３１３等により、基材移載手段であるシート移載装置１７０を構成している。

このような本実施形態に係る電子デバイス製造装置によるＴＦＴの製造方法を図７Ａ〜７Ｆに基づいて次に説明する。

前述した実施形態の場合と同様にして、Ｇ層，ＧＩ層，ＳＤ層を形成されたシートＳ１を上面に載せた前記排出テーブル１６０が前記離脱位置へ移動すると、前記制御装置３００は、前述した実施形態の場合と同様に、当該排出テーブル１６０の表面から空気１を噴出させて、シートＳ１の吸引保持を解除すると共にシートＳ１の先端側を浮き上らせる一方、さらに、前記シート検知センサ２２６からの情報をトリガとして、シートＳ１を当該排出テーブル１６０からパレット１０上へ移載する移載作業を開始する。

具体的には、前記制御装置３００は、前記吸引ポンプ３１２を作動させる一方、前記吸引ヘッド１７５を前記離脱位置の前記排出テーブル１６０上に位置させるように、前記アクチュエータ３１１の作動を制御して、当該吸引ヘッド１７５を当該排出テーブル１６０上のシートＳ１に当接させるように、前記アクチュエータ１７３を伸長制御した後、当該吸引ヘッド１７５内に空気１を吸い込ませるように、前記バルブ３１３の作動を制御する（図７Ａ参照）。これにより、前記排出テーブル１６０上のシートＳ１は、前記吸引ヘッド１７５に吸引保持される。

そして、前記制御装置３００は、シートＳ１を前記排出テーブル１６０上から引き上げるように、前記アクチュエータ１７３を収縮制御して、前記吸引ヘッド１７５を当初位置、すなわち、前記支持ブラケット１８３上に支持されているパレット１０の上方に位置させるように、前記アクチュエータ３１１の作動を制御し、上記シートＳ１を上記パレット１０上に位置させるように、上記アクチュエータ１７３を伸長制御してから、当該吸引ヘッド１７５内への空気１の吸い込みを停止させるように、前記バルブ３１３の作動を制御した後、当該吸引ヘッド１７５を当初位置に戻すように、すなわち、シートＳ１から引き離すように、前記アクチュエータ１７３を収縮制御する（図７Ｂ参照）。これにより、シートＳ１は、前記排出テーブル１６０上からパレット１０上に移載される。

なお、前記排出テーブル１６０上からパレット１０上へのシートＳ１の移載中、これと並行して、前記制御装置３００は、前述した実施形態の場合と同様にして、前記シート検知センサ２２６からの情報に基づいて、前記排出テーブル１６０の表面からの空気１の噴出を停止させると共に、当該排出テーブル１６０を前記受取位置に戻す。

このようにしてパレット１０上にシートＳ１が移載されると、前記制御装置３００は、前記シート検知センサ３２６からの情報をトリガとして、シートＳ１の積載作業を開始する。

具体的には、前記制御装置３００は、上記シートＳ１を載置された最上段のパレット１０を下方の次の段（二段目）に移動させるように、前記ロータリエンコーダ３２１からの情報に基づいて、前記モータ３０１の作動を制御し、前記二段目パレット検知センサ３２５で二段目にパレット１０が位置したことを検知すると共に、前記最上段パレット検知センサ３２４で最上段にパレット１０がないことを検知すると、当該パレット検知センサ３２４，３２５からの情報に基づいて、前記繰出テーブル１８５上に積載されている最上段のパレット１０を、最上段の前記支持ブラケット１８３上に配設するように、前記アクチュエータ１８６を伸長制御する（図７Ｃ参照）。

続いて、前記制御装置３００は、前記最上段パレット検知センサ３２４で最上段にパレット１０が位置したことを検知すると、前記アクチュエータ１８６を当初の状態に戻すように収縮制御する。そして、前記制御装置３００は、前記繰出テーブル１８５上で当初最上段に位置していたパレット１０の位置にパレット１０がないことを前記パレット繰出位置検知センサ３２８で検知すると、当該繰出テーブル１８５上で最上段になった当初二段目のパレット１０を、当初最上段に位置していたパレット１０の位置に位置させるように、前記ロータリエンコーダ３２３からの情報に基づいて、前記モータ３０３を作動制御する。

その後、前記制御装置３００は、上述したシートＳ１の場合と同様に作動することにより、前記排出テーブル１６０上のシートＳ２を最上段のパレット１０上に移載する（図７Ｄ参照）。

そして、上述した作動を繰り返していくと、最下段に位置する前記支持ブラケット１８３に支持されたパレット１０が受取テーブル１８４上に移載される（図７Ｅ参照）。上記受取テーブル１８４上にパレット１０が移載されて、前記パレット受取位置検知センサ３２７がパレット１０を検知すると、前記制御装置３００は、一つのパレット１０の高さ分だけ当該受取テーブル１８４を下方へ移動させるように、前記ロータリエンコーダ３２２からの情報に基づいて、前記モータ３０２を作動制御する。

これを繰り返していくことにより、前記受取テーブル１８４上にパレット１０が複数積載される（図７Ｆ参照）。そして、前記受取テーブル１８４上にパレット１０が所定数積載されたら、これらパレット１０を当該受取テーブル１８４上から搬出し、当該受取テーブル１８４を当初の位置に戻すように、前記モータ３０２を作動制御する。

また、前記繰出テーブル１８５上のパレット１０をすべて繰り出したことを前記パレット繰出位置検知センサ３２８が検知すると、前記制御装置３００は、前記ロータリエンコーダ３２３からの情報に基づいて、当該繰出テーブル１８５を当初の下方位置へ戻すように、前記モータ３０３を作動制御する。そして、上記繰出テーブル１８５上に新たなパレット１０を所定数積載する。

したがって、本実施形態に係る電子デバイス製造装置においては、前述した実施形態の場合と同様な効果と併せて、ＴＦＴを連続的に製造しながら積載することが自動的にできる。

〈他の実施形態〉
なお、前述した実施形態においては、前記離脱位置に位置した前記排出テーブル１６０上からシートが取り除かれると、前記シート検知センサ２２６からの情報に基づいて、前記制御装置２００が、前記バルブ１６３〜１６５の閉鎖制御及び前記アクチュエータ２１９の作動制御を実施するようにしたが、他の実施形態として、例えば、第一番目の実施形態において、前記シート検知センサ２２６に代えて、戻りスイッチを設け、作業者が、前記離脱位置に位置した前記排出テーブル１６０上からシートを取り除いた後に、当該戻りスイッチを操作することにより、前記制御装置２００が、前記バルブ１６３〜１６５の閉鎖制御及び前記アクチュエータ２１９の作動制御を実施するようにすることも可能である。

また、前述した実施形態においては、シートの先端側を着脱可能に把持する前記くわえ爪装置１５１を前記排出胴１５０に設けるようにしたが、当該くわえ爪装置１５１に代えて、他の実施形態として、例えば、シートの先端側を着脱可能に吸引保持する吸引保持手段を排出胴に設けるようにすることも可能である。

このとき、前記排出テーブル１６０に排出胴からシートを受け渡すにあたって、当該排出胴の上記吸引保持手段の吸引力を当該排出テーブル１６０の前記保持手段の吸引力よりも小さくなるように制御するとよい。

また、前述した実施形態においては、前記排出テーブル１６０に表面側（上面側）と裏面側（下面側）とを連通する連通孔１６０ａを複数形成し、当該排出テーブル１６０の裏面（下面）に前記サクションボックス１６１を取り付けるようにしたが、他の実施形態として、例えば、排出テーブルに表面側（上面側）と側面側や先端面側（前面側）や末端面側（後面側）等とを連通する連通孔を複数形成し、当該排出テーブルの側面や先端面（前面）や末端面（後面側）等にサクションボックスを取り付けるようにすることも可能である。

また、前述した実施形態においては、前記排出テーブル１６０の先端側のみに前記連通孔１６０ａを複数形成することにより、シートの先端側のみを吸引して当該排出テーブル１６０上に吸引保持するようにしたが、他の実施形態として、例えば、前記排出テーブル１６０の表面全体にわたって前記連通孔１６０ａを複数形成することにより、シートを前面にわたって吸引して当該排出テーブル１６０上に吸引保持するようにすることも可能であり、シートの少なくとも先端側を吸引して排出テーブル上に吸引保持するようにすれば、排出胴から排出テーブル上にシートを受け渡した直後からシートを排出テーブル上にしっかりと保持することができ、排出テーブルでシートを搬送するときのシートの乱れを防ぐことができる。

また、前述した実施形態においては、前記排出テーブル１６０に形成された前記連通孔１６０ａから空気１を吸引して、当該排出テーブル１６０上にシートを吸引保持するようにしたが、他の実施形態として、例えば、排出テーブルの先端側にくわえ爪装置を設けることにより、排出テーブル上でシートの先端側をくわえ保持（把持）するようにすることも可能である。

また、前述した実施形態においては、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄに前記インクジェット装置１９１により導電インキＩｃを供給するようにしたが、他の実施形態として、例えば、インキ壺から移しローラ等を介してインキを版胴に供給するインキ装置や、インキ皿からインキを版胴に直接供給するインキ装置や、インキ皿からファニシャローラやインキ出しローラやインキ着けローラ等を介してインキを版胴に間接的に供給するインキ装置等を適用することも可能である。

また、前述した実施形態においては、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ〜１１０ｃに保持されたシートに対して、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄに供給された導電インキＩｃを直接的に転写するようにしたが、他の実施形態として、例えば、前記圧胴１１０及び前記版胴１３０に対して対接離反移動できるように当該圧胴１１０と当該版胴１３０との間にブランケット胴を回転可能に配設することにより、当該版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄに供給された導電インキＩｃを当該ブランケット胴に一旦転写してから上記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ〜１１０ｃに保持されたシートに転写するオフセット方式とすることも可能である。

また、前述した実施形態においては、二つの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄを形成した二倍サイズの前記版Ｐを保持する前記有効面１３０ａを具備する径サイズ（二倍径）の前記版胴１３０を適用した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、必要に応じて、例えば、三つの版面を形成した三倍サイズの版を保持する有効面を具備する径サイズ（三倍径）の版胴を適用することも可能である。

また、前述した実施形態においては、前記吸引ポンプ２１７に接続した前記吸引ヘッド１１２Ａ〜１１２Ｃを前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ〜１１０ｃに設けることにより、シートの搬送方向後方側（末端側）を当該有効面１１０ａ〜１１０ｃに着脱可能に吸引保持するようにしたが、他の実施形態として、例えば、上記吸引ヘッド１１２Ａ〜１１２Ｃ等に代えて、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ〜１１０ｃ上にシリコンゴム等からなるラバーシートを取り付けておくことにより、シートの搬送方向後方側（末端側）を当該有効面１１０ａ〜１１０ｃに対して着脱可能に密着保持できるようにしても、前述した実施形態と同様な作用効果を得ることができる。

また、前述した実施形態においては、三つの前記有効面１１０ａ〜１１０ｃを有する前記圧胴１１０を適用した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、三つ以上の奇数個（例えば、五つや七つ）の有効面（保持面）を有する圧胴であれば、前述した実施形態の場合と同様にして適用可能である。しかしながら、前述した実施形態のように、三つの前記有効面１１０ａ〜１１０ｃを有する前記圧胴１１０であれば、最も省スペース化を図ることができるので、非常に好ましい。

また、前述した実施形態においては、ＴＦＴ等を製造する電子デバイス製造装置に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、可撓性を有する基材に処理を施す処理部を備えた基材処理装置であれば、前述した実施形態の場合と同様な作用効果を得ることができる。

本発明に係る基材処理装置は、基材の末端側を搬送中にバタつかせることがなく、基材を傷付けることなく排出することが確実にできるので、産業上、極めて有益に利用することができる。

１１０ 圧胴
１１０ａ〜１１０ｃ 有効面
１１１Ａ〜１１１Ｃ くわえ爪装置
１１２Ａ〜１１２Ｃ 吸引ヘッド
１２０ 供給胴
１２０ａ 有効面
１２１ くわえ爪装置
１３０ 版胴
１３０ａ 有効面
１３１ 版保持装置
１４０ コータ胴
１５０ 排出胴
１５０ａ 有効面
１５１ くわえ爪装置
１６０ 排出テーブル
１６０ａ 連通孔
１６１ サクションボックス
１６２ エアコンプレッサ
１６３，１６４ 開閉バルブ
１６３ａ，１６３ｂ，１６４ａ，１６４ｂ 口
１６５ 三方バルブ
１６５ａ〜１６５ｃ 口
１６６ フレキシブルホース
１６７ エゼクタ
１６７ａ 受入口
１６７ｂ 送出口
１６７ｃ 吸引口
１６８ サイレンサ
１７０ シート移載装置
１７１ ガイドレール
１７２ スライダ
１７３ アクチュエータ
１７４ 支持板
１７５ 吸引ヘッド
１８０ シート積載装置
１８１ スプロケット
１８２ エンドレスチェーン
１８３ 支持ブラケット
１８４ 受取テーブル
１８５ 繰出テーブル
１８６ アクチュエータ
１８９ 支持体
１９１ インクジェット装置
１９２ 絶縁インキ供給装置
２００ 制御装置
２０１〜２０５ モータ
２１１〜２１６，２１９ アクチュエータ
２１７ 吸引ポンプ
２１８Ａ〜２１８Ｃ バルブ
２２１〜２２５ ロータリエンコーダ
２２６ シート検知センサ
３００ 制御装置
３０１〜３０３ モータ
３１１ アクチュエータ
３１２ 吸引ポンプ
３１３ バルブ
３２１〜３２３ ロータリエンコーダ
３２４ 最上段パレット検知センサ
３２５ 二段目パレット検知センサ
３２６ シート検知センサ
３２７ パレット受取位置検知センサ
３２８ パレット繰出位置検知センサ
Ｐ 版
Ｐｇ，Ｐｓｄ 版面
Ｉｃ 導電インキ
Ｉｉ 絶縁インキ
Ｓ，Ｓ１〜Ｓ４ シート

Claims (3)

1. 可撓性を有する基材に対して処理を施す処理部を備えた基材処理装置であって、
   前記処理部から基材の先端側を受け取って当該基材を保持する回転可能な排出胴と、
   前記排出胴の接線方向に沿ってスライド移動できるように当該排出胴に対向可能に配設された排出テーブルと、
   前記排出テーブルに基材を保持させるように基材の少なくとも先端側を保持する保持手段と、
   前記排出胴の周速度と同一の速度で前記排出テーブルをスライド移動させるように制御する制御手段と
   を備えていることを特徴とする基材処理装置。
2. 請求項１に記載の基材処理装置において、
   前記排出テーブルが、前記排出胴の下方に位置するものである
   ことを特徴とする基材処理装置。
3. 請求項１又は請求項２に記載の基材処理装置において、
   前記保持手段が、前記排出テーブルに基材を保持させるように基材の少なくとも先端側の空気を吸引できると共に、前記排出テーブルから基材を離脱させるように基材の少なくとも先端側へ空気を噴出できるものである
   ことを特徴とする基材処理装置。

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