JP2017191801A - 電子デバイス製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ＴＦＴ等を印刷で製造する際に必要となる各工程において、都度位置合わせ等の調整を行う必要がなく、少ない製造工数且つ高精度でＴＦＴ等の電子デバイスを製造することができる電子デバイス製造装置を提供する。【解決手段】シートに機能性インキを印刷する版胴１３０が周囲に配置されている圧胴１１０と、シートを保持して搬送する検査胴１２０Ｂ、検査胴１２０Ｂで搬送されているシートの胴に対する曲がり量を検知する曲がり量検知手段３０１，及び曲がり量補正手段を具備し検査胴１２０Ｂから受け取ったシートを圧胴１１０へ渡す渡胴１２０Ａと、曲がり量検知手段３０１によって取得したシートの曲がり量に基づいて曲がり量補正手段を制御する制御装置とを備える構成とした。【選択図】図１

Description

本発明は、可撓性を有する基材上に機能性を有する材料を積層して機能層を形成することにより電子デバイスを製造する電子デバイス製造装置に関する。

基材上にゲート層（Ｇ層）やゲート・インシュレータ層（ＧＩ層）やソース＆ドレイン層（ＳＤ層）等の機能層を積層した薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等のフレキシブルな電子デバイスは、例えば、下記特許文献１に記載されているように、ブランケット上にインキ層を設け、凸部パターンを有する凸版を当該ブランケットに接触させて、当該ブランケット上のインキ層のうち凸部パターンと接触した部分のインキを除去して当該ブランケット上にインキパターンを形成した後、非インキパターン部に撥インキパターンを備えた基材に上記ブランケット上の上記インキパターンを接触させて転写して、当該撥インキパターンを当該インキパターンから差し引いたパターンを基材上に形成する印刷法により製造することが一般的である。

そして特許文献２には、解像度の高い反転印刷法を用いて、ＴＦＴ等の基材上へ導電材による電極パターンを形成するにあたり、導電材を基材の特定の箇所へ精度良く形成する方法が開示されている。

特開２０１５−１５３７９６号公報 特開２００７−２６８７１５号公報 特開２０１３−２４１２７５号公報

ここで、ＴＦＴを印刷法で製造するためには同一の基材上へＧ層、ＧＩ層、ＳＤ層、半導体をそれぞれ高精度に重ねて印刷しなければならない。しかしながら、特許文献２の方法では各機能層を基材上へ高精度で印刷することはできるが、他の層を重ねて形成する場合には、基材をそれぞれの装置へ移動させ、精密な位置合わせ等の準備作業を行わなければならず、製造工数が増えることに加え、作業者の負担が増大するという問題があった。

このようなことから本発明は、ＴＦＴ等を印刷で製造する際に必要となる各工程において、都度位置合わせ等の調整を行う必要がなく、少ない製造工数且つ高精度でＴＦＴ等の電子デバイスを製造することができる電子デバイス製造装置を提供することを目的とする。

前述した課題を解決するための、本発明に係る電子デバイス製造装置は、
可撓性を有する基材に機能性を有する材料を積層して機能層を形成することにより電子デバイスを製造する電子デバイス製造装置であって、
基材を保持して搬送し搬送されている基材に機能性を有する材料からなる機能性インキを印刷する印刷装置が周囲に配置されている圧胴と、
基材を保持して搬送する検査胴、前記検査胴で搬送されている基材の胴に対する曲がり量を検知する曲がり量検知手段、及び、曲がり量補正手段を具備し前記検査胴及び前記圧胴の間に配設されている渡胴を有する基材供給手段と、
前記曲がり量検知手段によって取得した基材の曲がり量に基づいて前記曲がり量補正手段を制御する制御手段と
を備えたことを特徴とする。

また、本発明に係る電子デバイス製造装置は、
前記検査胴で搬送されている基材の前記曲がり量検知手段の搬送方向上流側で基材の浮きを抑制する押さえ手段を備えている
ことを特徴とする。

また、本発明に係る電子デバイス製造装置は、
前記渡胴が軸方向一端側に当該渡胴を保持する偏心軸受を備え、
前記曲がり量補正手段が前記偏心軸受と当該偏心軸受を回動させる偏心軸受回動手段とからなり、
前記制御手段が、前記曲がり量検知手段によって取得した基材の曲がり量に基づいて前記偏心軸受回動手段を制御して前記偏心軸受の回転量を調整する
ことを特徴とする。

本発明に係る電子デバイス製造装置によれば、ＴＦＴ等を印刷法で製造する際に必要となる各工程において、都度の位置合わせを容易に行い、少ない製造工数かつ高精度で電子デバイスを製造することができる。

本発明に係る電子デバイス製造装置の主な実施形態の要部概略構成図である。 図１の要部拡大図である。 図１の電子デバイス製造装置の要部の制御ブロック図である。 図４（ａ）は検査胴によって搬送される基板の例を示す説明図、図４（ｂ）は供給胴によって曲がり量を修正された基板の例を示す説明図である。 図１の電子デバイス製造装置による薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）の製造手順の説明図である。 図５Ａに続く製造手順の説明図である。 図５Ｂに続く製造手順の説明図である。 図５Ｃに続く製造手順の説明図である。 図５Ｄに続く製造手順の説明図である。 図５Ｅに続く製造手順の説明図である。 図５Ｆに続く製造手順の説明図である。 図５Ｇに続く製造手順の説明図である。 図５Ｈに続く製造手順の説明図である。 図５Ｉに続く製造手順の説明図である。 図５Ｊに続く製造手順の説明図である。

本発明に係る電子デバイス製造装置の実施形態を図面に基づいて説明するが、本発明は図面に基づいて説明する以下の実施形態のみに限定されるものではない。

〈主な実施形態〉
本発明に係る電子デバイス製造装置で薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を製造する場合の主な実施形態を図１〜４及び図５Ａ〜５Ｋに基づいて以下に説明する。本実施形態は、焼成の必要があるＰＥ基板のように、機能層等が形成された可撓性を有する基材であるシートを一度電子デバイス製造装置から排出した後で当該シートを再度当該電子デバイス製造装置に供給して更に機能層等を形成する、いわゆる二度刷りを行う際に、都度の位置合わせを容易に行い、少ない製造工数かつ高精度で電子デバイスを製造することができるようにするものである。

図１において、１１０は圧胴、１２０Ａは供給胴（渡胴）、１２０Ｂは検査胴、１２０Ｃは渡胴、１３０は版胴（転写胴）、１４０はコータ胴、１５０は排出胴、１９１はインクジェット装置、１９２は絶縁インキ供給装置、３０１はアライメントカメラである。

前記圧胴１１０は、回転可能に支持されると共に、シートを保持する保持面である有効面を外面の周方向へ六つ具備できる径サイズ（六倍径）をなしているものの、三つの有効面１１０ａ〜１１０ｃだけを周方向で等間隔で具備するいわゆるスケルトン型をなしている。

そして、前記圧胴１１０は、各有効面１１０ａ〜１１０ｃにおいて、シートの搬送方向前方側（先端側）を着脱可能に把持するくわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃと、シートの搬送方向後方側（末端側）を着脱可能に吸引保持する吸引ヘッド１１２Ａ〜１１２Ｃ（例えば、前記特許文献２等参照）とをそれぞれ有している。前記吸引ヘッド１１２Ａ〜１１２Ｃは、それぞれバルブ２１８Ａ〜２１８Ｃを介して吸引ポンプ２１７に接続している（図２参照）。

前記供給胴１２０Ａは、基材供給手段を構成する胴であり、前記圧胴１１０に対接するように回転可能に支持され、有効面を外面の周方向へ二つ具備できる径サイズ（二倍径）をなしているものの、一つの有効面１２０Ａａだけを具備すると共に、当該有効面１２０Ａａにおいて、シートの搬送方向前方側（先端側）を着脱可能に把持するくわえ爪装置１２１Ａを有しており、回転する前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ〜１１０ｃに対して一つおきにシートを供給して保持させることができるようになっている。

また、図２に示すように、前記供給胴１２０Ａの軸方向一端側には偏心軸受１２２が設けられ、当該偏心軸受１２２は、駆動レバー３１１，ギアボックス３１２，サーボモータ３１３等からなる曲がり量補正装置３１０によって回転量を調整されるように構成されている。すなわち、前記偏心軸受１２２には駆動レバー３１１の一端が取り付けられている。当該駆動レバー３１１の他端にはギアボックス３１２を介してサーボモータ３１３が連結されており、サーボモータ３１３の作動により前記駆動レバー３１１が長手方向に沿って進退移動することで、前記偏心軸受１２２を回転させることができるようになっている。

なお、図２中、２２６は、前記駆動レバー３１１にその進退方向に沿って取り付けられたリニアスケール２２６ａを、メインフレーム（図示せず）に取り付けられたセンサ２２６ｂで読み取ることにより、前記偏心軸受１２２の回転量を検知する回転量検出器である。

前記検査胴１２０Ｂは、前記供給胴１２０Ａと共に基材供給手段を構成する胴であり、前記供給胴１２０Ａに対接するように回転可能に支持され、有効面を外面の周方向へ二つ具備できる径サイズ（二倍径）をなしているものの、一つの有効面１２０Ｂａだけを具備すると共に、当該有効面１２０Ｂａにおいて、シートの搬送方向前方側（先端側）を着脱可能に把持するくわえ爪装置１２１Ｂを有しており、回転する前記供給胴１２０Ａの前記有効面１２０Ａａに対してシートを供給して保持させることができるようになっている。

アライメントカメラ３０１は、前記検査胴１２０Ｂによって搬送されるシートＳ（Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，…）に印刷されたアライメントマークｍ（図４参照）を撮像する撮像装置である。

図４に示すように、アライメントマークｍは例えばシートＳの軸方向両側部であって回転方向（シートの搬送方向）下流側に一箇所ずつ付されている。本実施形態では、これらのアライメントマークｍを撮像するため、二台のアライメントカメラ３０１を前記検査胴１２０Ｂの軸方向両側にそれぞれ対向配置している。前記各アライメントカメラ３０１によって撮像したアライメントマークｍの画像の情報は、画像処理装置３０２（図３参照）に入力される。なお、図４中、ＬはシートＳ上に形成された機能層である。
また、前記検査胴１２０Ｂのアライメントカメラ３０１よりも回転方向（シートの搬送方向）上流側には、シートの浮きを抑制する押さえロール１２３が設けられている。

前記渡胴１２０Ｃは、前記供給胴１２０Ａ，前記検査胴１２０Ｂと共に基材供給手段を構成する胴であり、前記検査胴１２０Ｂに対接するように回転可能に支持され、有効面を外面の周方向へ二つ具備できる径サイズ（二倍径）をなしているものの、一つの有効面１２０Ｃａだけを具備すると共に、当該有効面１２０Ｃａにおいて、シートの搬送方向前方側（先端側）を着脱可能に把持するくわえ爪装置１２１Ｃを有しており、回転する前記検査胴１２０Ｂの前記有効面１２０Ｂａに対してシートを供給して保持させることができるようになっている。

基材排出手段である前記排出胴１５０は、前記圧胴１１０と前記供給胴１２０Ａとの対接位置、すなわち、当該圧胴１１０の、当該供給胴１２０Ａからのシートを保持する保持位置よりも当該圧胴１１０の回転方向（シートの搬送方向）下流側で当該圧胴１１０に対接するように回転可能に支持され、有効面を外面の周方向へ二つ具備できる径サイズ（二倍径）をなしているものの、一つの有効面１５０ａだけを具備すると共に、当該有効面１５０ａにおいて、シートの搬送方向前方側（先端側）を着脱可能に把持するくわえ爪装置１５１を有している。

前記版胴１３０は、前記圧胴１１０と前記供給胴１２０Ａとの対接位置、すなわち、当該圧胴１１０の、当該供給胴１２０Ａからのシートを保持する保持位置よりも当該圧胴１１０の回転方向（シートの搬送方向）下流側と、当該圧胴１１０と前記排出胴１５０との対接位置、すなわち、当該圧胴１１０の、当該排出胴１５０へシートを離脱させる離脱位置よりも当該圧胴１１０の回転方向（シートの搬送方向）上流側との間に回転可能に配設され、当該圧胴１１０に対接する作動位置と当該圧胴１１０から離反した退避位置との間を直線的にスライド移動できるようにガイドレール（図示省略）を介して支持されている。

そして、前記版胴１３０は、第一の機能層であるゲート層（Ｇ層）に対応するパターンを形成された第一の版面であるＧ層用の版面Ｐｇと、第三の機能層であるソース＆ドレイン層（ＳＤ層）に対応するパターンを形成された第二の版面であるＳＤ層用の版面Ｐｓｄとを周方向へ並べるように形成した二倍サイズの版Ｐを保持する保持面である有効面１３０ａを外面に具備する径サイズ（二倍径）をなすと共に、当該版Ｐの一端側（先端側）と他端側（末端側）とを着脱可能に保持する版保持装置１３１を有している。

第一の機能性インキ供給手段である前記インクジェット装置１９１は、前記退避位置に位置する前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄに対して、Ｇ層及びＳＤ層をなす材料からなる第一の機能性インキである導電インキを噴射して供給することができるようになっている。

前記コータ胴１４０は、前記圧胴１１０と前記版胴１３０との対接位置よりも当該圧胴１１０の回転方向（シートの搬送方向）下流側と、当該圧胴１１０と前記排出胴１５０との対接位置、すなわち、当該圧胴１１０の、当該排出胴１５０へシートを離脱させる離脱位置よりも当該圧胴１１０の回転方向（シートの搬送方向）上流側との間に回転可能に配設され、シートのサイズに対応するサイズのシリコン樹脂製のブランケットＢを外周に巻き付けられると共に（一倍径）、当該圧胴１１０に対接する作動位置と当該圧胴１１０から離反した退避位置との間を直線的にスライド移動できるようにガイドレール（図示省略）を介して支持されている。

第二の機能性インキ供給手段である前記絶縁インキ供給装置１９２は、前記退避位置に位置する前記コータ胴１４０の前記ブランケットＢ上に、第二の機能層であるゲート・インシュレータ層（ＧＩ層）をなす材料からなる第二の機能性インキである絶縁インキを送出して供給することができるようになっている。

そして、図３に示すように、前記圧胴１１０を回転駆動させるモータ２０１と、前記供給胴１２０Ａを回転駆動させるモータ２０２Ａと、前記検査胴１２０Ｂを回転駆動させるモータ２０２Ｂと、前記渡胴１２０Ｃを回転駆動させるモータ２０２Ｃと、前記版胴１３０を回転駆動させるモータ２０３と、前記コータ胴１４０を回転駆動させるモータ２０４と、前記排出胴１５０を回転駆動させるモータ２０５とは、制御手段である制御装置２００の出力部にそれぞれ電気的に接続している。
また、前記制御装置２００の出力部は、前記インクジェット装置１９１及び前記絶縁インキ供給装置１９２へ電気的に接続している。また、前記制御装置２００の出力部は、前記サーボモータ２０６が電気的に接続している。

また、前記制御装置２００の出力部は、前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃと前記供給胴１２０Ａの前記くわえ爪装置１２１Ａとの対向の際、当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃの開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃを開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ２１１と、当該供給胴１２０Ａの当該くわえ爪装置１２１Ａの開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置１２１を開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ２１２Ａとに対して、それぞれ電気的に接続している（カム軌道切換機構に関しては、前記特許文献３に記載の「印刷胴」及び「給紙側渡胴」のカム軌道切換機構（特に図５）参照）。

また、前記制御装置２００の出力部は、前記検査胴１２０Ｂの前記くわえ爪装置１２１Ｂの開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置１２１Ｂを開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ２１２Ｂと、前記渡胴１２０Ｃの前記くわえ爪装置１２１Ｃの開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置１２１Ｃを開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ２１２Ｃとに対して、それぞれ電気的に接続している。

また、前記制御装置２００の出力部は、前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃと前記排出胴１５０の前記くわえ爪装置１５１との対向の際、当該くわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃの開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃを開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ２１３と、当該くわえ爪装置１５１の開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置１５１を開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ２１４とに対して、それぞれ電気的に接続している（カム軌道切換機構に関しては、前記特許文献３に記載の「第２の排紙側渡胴」及び「紙取胴」のカム軌道切換機構（特に図４）参照）。

また、前記制御装置２００の出力部は、前記吸引ポンプ２１７と前記バルブ２１８Ａ〜２１８Ｃとに対して、それぞれ電気的に接続すると共に、前記版胴１３０を前記ガイドレールに沿ってスライド移動させるアクチュエータ２１５と、前記コータ胴１４０を前記ガイドレールに沿ってスライド移動させるアクチュエータ２１６とに対して、それぞれ電気的に接続している。

他方、前記制御装置２００の入力部には、前記圧胴１１０の回転位相を検出するロータリエンコーダ２２１と、前記供給胴１２０Ａの回転位相を検出するロータリエンコーダ２２２Ａと、前記検査胴１２０Ｂの回転位相を検出するロータリエンコーダ２２２Ｂと、前記渡胴１２０Ｃの回転位相を検出するロータリエンコーダ２２２Ｃと、前記版胴１３０の回転位相を検出するロータリエンコーダ２２３と、前記コータ胴１４０の回転位相を検出するロータリエンコーダ２２４と、前記排出胴１５０の回転位相を検出するロータリエンコーダ２２５とがそれぞれ電気的に接続されている。
また、前記制御装置２００の入力部には、前記偏心軸受１２２の回転量を検出する回転量検出器２２６と、前記アライメントカメラ３０１によって撮像した画像に基づいてシートの曲がり量を検出する画像処理装置３０２とがそれぞれ電気的に接続されている。

つまり、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１〜２２５、前記回転量検出器２２６及び前記画像処理装置３０２からの情報に基づいて、前記モータ２０１〜２０５の回転作動、前記サーボモータ２０６の回転作動、前記インクジェット装置１９１及び前記絶縁インキ供給装置１９２の作動、前記アクチュエータ２１１〜２１６の伸縮作動、前記バルブ２１８Ａ〜２１８Ｃの開閉作動等をそれぞれ制御することができるようになっている（詳細は後述する）。

なお、本実施形態においては、前記版胴１３０等により印刷装置を構成し、前記供給胴１２０Ａ，前記検査胴１２０Ｂ，前記渡胴１２０Ｃ等により基材供給手段を構成し、前記アライメントカメラ３０１，前記画像処理装置３０２等により曲がり量検知手段を構成し、前記偏心軸受１２２，曲がり量補正装置３１０（前記駆動レバー３１１，前記ギアボックス３１２，前記サーボモータ３１３）等により曲がり量補正手段を構成し、前記押さえロール１２３等により押さえ手段を構成している。

このような本実施形態に係る電子デバイス製造装置によるＴＦＴの製造方法を図５Ａ〜５Ｋに基づいて次に説明する。

当初、前記版胴１３０及び前記コータ胴１４０は、前記圧胴１１０から離反する前記退避位置に位置すると共に、前記バルブ２１８Ａ〜２１８Ｃは、前記閉鎖状態となっている。そして、前記制御装置２００を作動させると、当該制御装置２００は、前記吸引ポンプ２１７を作動させると共に、前記胴１１０，１２０Ａ，１２０Ｂ，１２０Ｃ，１３０，１４０，１５０を所定の周期で回転させるように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２Ａ，２２２Ｂ，２２２Ｃ，２２３，２２４，２２５からの情報に基づいて、前記モータ２０１，２０２Ａ，２０２Ｂ，２０２Ｃ，２０３，２０４，２０５の作動を制御する。

そして、前記渡胴１２０Ｃの前記くわえ爪装置１２１Ｃに一枚目のシートＳ１の先端側をくわえさせて当該渡胴１２０Ｃの前記有効面１２０Ｃａ上にシートＳ１を保持させて搬送させると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２２Ｂ，２２２Ｃからの情報に基づいて、当該渡胴１２０Ｃの当該くわえ爪装置１２１Ｃが前記検査胴１２０Ｂの前記くわえ爪装置１２１Ｂと対向するときに、当該渡胴１２０Ｃの当該くわえ爪装置１２１Ｃから当該検査胴１２０Ｂの当該くわえ爪装置１２１ＢへシートＳ１の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ２１２Ｂ，２１２Ｃの作動を制御する。これにより、シートＳ１は、前記渡胴１２０Ｃの前記有効面１２０Ｃａから前記検査胴１２０Ｂの前記有効面１２０Ｂａ上に供給されて保持される。

そして、シートＳ１が前記検査胴１２０Ｂに保持されているときに、前記アライメントカメラ３０１によりシートＳ１に付されたアライメントマークｍを撮像し、画像処理装置３０２によりシートＳ１の曲がり量（左右のアライメントマークｍの相対位置関係から得られる基準位置からのひねり方向のずれ、あるいは基準位置に対する角度のずれ）を検出する。このとき前記アライメントカメラ３０１で撮像される位置に臨むシートＳ１は、前記押さえロール１２３を通過する際に浮きやしわなどが伸ばされ、且つ当該押さえロール１２３により前記アライメントカメラ３０１で撮像される位置に対し回転方向（シートの搬送方向）上流側を押さえられた状態で、前記アライメントカメラ３０１によりアライメントマークｍを撮像される。

続いて、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２２Ａ，２２２Ｂからの情報に基づいて、前記検査胴１２０Ｂの当該くわえ爪装置１２１Ｂが前記供給胴１２０Ａの前記くわえ爪装置１２１Ａと対向するときに、当該検査胴１２０Ｂの当該くわえ爪装置１２１Ｂから当該供給胴１２０Ａの当該くわえ爪装置１２１ＡへシートＳ１の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ２１２Ａ，２１２Ｂの作動を制御する（図５Ａ参照）。これにより、シートＳ１は、前記検査胴１２０Ｂの前記有効面１２０Ｂａから前記供給胴１２０Ａの前記有効面１２０Ａａ上に供給されて保持される。

さらに、シートＳ１が前記供給胴１２０Ａによって搬送されている間に、前記制御装置２００は、画像処理装置３０２により検出したシートＳ１の曲がり量及び前記回転量検出器２２６により検出した前記偏心軸受１２２の回転量に基づいてサーボモータ２０６の作動を制御し、前記圧胴１１０に対して前記供給胴１２０Ａのひねりを調整してコッキングを行い、曲がり量を修正する。

さらに、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２Ａからの情報に基づいて、当該供給胴１２０Ａの当該くわえ爪装置１２１Ａが前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ａと対向するときに、当該供給胴１２０Ａの当該くわえ爪装置１２１Ａから当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１ＡへシートＳ１の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ２１１，２１２Ａの作動を制御する（図５Ｂ参照）と共に、当該圧胴１１０の前記吸引ヘッド１１２Ａが当該供給胴１２０Ａの当該有効面１２０Ａａと対向するときに、当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ａに先端側をくわえられたシートＳ１の末端側を当該吸引ヘッド１１２Ａに吸引保持させるように、前記バルブ２１８Ａを開放制御する。これにより、シートＳ１は、前記供給胴１２０Ａの前記有効面１２０Ａａから前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上に曲がり量を修正された状態で供給されて密着保持される。すなわち、図４（ａ）に示すように曲がりを有した状態で前記検査胴１２０Ｂに保持されていたシートＳ１が、図４（ｂ）に示すように曲がり量を修正された状態で前記圧胴１１０に保持されることとなる。

また、これと併せて、前記制御装置２００は、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇに導電インキＩｃを供給するように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３からの情報に基づいて、前記インクジェット装置１９１を作動制御する。また、前記制御装置２００は、シートＳ１が前記供給胴１２０Ａから前記圧胴１１０にくわえ替えされた後、前記回転量検出器２２６により検出した前記偏心軸受１２２の回転量に基づいてサーボモータ２０６の作動を制御して前記偏心軸受１２２を基準の位置に戻す制御を行う。

続いて、前記制御装置２００は、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇに供給された導電インキＩｃを前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳ１に転写させるように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３からの情報に基づいて、前記アクチュエータ２１５の作動を制御して、当該版胴１３０を前記作動位置に移動させる。これにより、シートＳ１上には、Ｇ層が形成される（図５Ｃ参照）。

このとき、前記供給胴１２０Ａは、前記くわえ爪装置１２１がシートをくわえることなく空の状態で前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ｂと対向するため、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２からの情報に基づいて、当該胴１１０，１２０でシートを受け渡すことなく当該くわえ爪装置１２１，１１１Ｂを干渉させないように前記アクチュエータ２１１，２１２の作動を制御すると共に、前記バルブ２１８Ａの閉鎖状態をそのまま維持するように当該バルブ２１８Ａの作動を制御する。

そして、前記版胴１３０が、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳ１に導電インキＩｃを転写し終えると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３からの情報に基づいて、当該版胴１３０を前記退避位置に移動させるように前記アクチュエータ２１５の作動を制御する。

また、これと併せて、前記制御装置２００は、前記コータ胴１４０の前記ブランケットＢに絶縁インキＩｉを供給するように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２４からの情報に基づいて、前記絶縁インキ供給装置１９２を作動制御する。

続いて、前記制御装置２００は、前記コータ胴１４０の前記ブランケットＢに供給された絶縁インキＩｉを前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳ１に転写させるように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２４からの情報に基づいて、前記アクチュエータ２１６の作動を制御して、当該コータ胴１４０を前記作動位置に移動させる。これにより、シートＳ１のＧ層上には、ＧＩ層が形成される（図５Ｄ参照）。

そして、前記コータ胴１４０が、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳ１に絶縁インキＩｉを転写し終えると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２４からの情報に基づいて、当該コータ胴１４０を前記退避位置に移動させるように前記アクチュエータ２１６の作動を制御する。

前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上でＧ層及びＧＩ層を形成されたシートＳ１の先端側をくわえる前記くわえ爪装置１１１Ａが前記排出胴１５０の前記くわえ爪装置１５１と対向するまでに、図５Ａに示し上述した一枚目のシートＳ１と同様に、前記渡胴１２０Ｃの前記くわえ爪装置１２１Ｃに二枚目のシートＳ２の先端側をくわえさせて当該渡胴１２０Ｃの前記有効面１２０Ｃａ上にシートＳ２を保持させて搬送させると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２２Ｂ，２２２Ｃからの情報に基づいて、当該渡胴１２０Ｃの当該くわえ爪装置１２１Ｃが前記検査胴１２０Ｂの前記くわえ爪装置１２１Ｂと対向するときに、当該渡胴１２０Ｃの当該くわえ爪装置１２１Ｃから当該検査胴１２０Ｂの当該くわえ爪装置１２１ＢへシートＳ２の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ２１２Ｂ，２１２Ｃの作動を制御する。これにより、シートＳ２は、前記渡胴１２０Ｃの前記有効面１２０Ｃａから前記検査胴１２０Ｂの前記有効面１２０Ｂａ上に供給されて保持される。

そして、シートＳ２が前記検査胴１２０Ｂに保持されているときに、前記アライメントカメラ３０１によりシートＳ２に付されたアライメントマークｍを撮像し、画像処理装置３０２によりシートＳ２の曲がり量を検出する。このとき前記アライメントカメラ３０１で撮像される位置に臨むシートＳ２は、前記押さえロール１２３を通過する際に浮きやしわなどが伸ばされ、且つ当該押さえロール１２３により前記アライメントカメラ３０１で撮像される位置に対し回転方向（シートの搬送方向）上流側を押さえられた状態で、前記アライメントカメラ３０１によりアライメントマークｍを撮像される。

続いて、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２２Ａ，２２２Ｂからの情報に基づいて、前記検査胴１２０Ｂの当該くわえ爪装置１２１Ｂが前記供給胴１２０Ａの前記くわえ爪装置１２１Ａと対向するときに、当該検査胴１２０Ｂの当該くわえ爪装置１２１Ｂから当該供給胴１２０Ａの当該くわえ爪装置１２１ＡへシートＳ２の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ２１２Ａ，２１２Ｂの作動を制御する（図５Ｅ参照）。これにより、シートＳ２は、前記検査胴１２０Ｂの前記有効面１２０Ｂａから前記供給胴１２０Ａの前記有効面１２０Ａａ上に供給されて保持される。

さらに、シートＳ２が前記供給胴１２０Ａによって搬送されている間に、前記制御装置２００は、画像処理装置３０２により検出したシートＳ２の曲がり量及び前記回転量検出器２２６により検出した前記偏心軸受１２２の回転量に基づいてサーボモータ２０６の作動を制御し、前記圧胴１１０に対して前記供給胴１２０Ａのひねりを調整するコッキングを行い、曲がり量を修正する。

そして前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上でＧ層及びＧＩ層を形成されたシートＳ１の先端側をくわえる前記くわえ爪装置１１１Ａが前記排出胴１５０の前記くわえ爪装置１５１と対向するとき、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２５からの情報に基づいて、当該排出胴１５０の当該くわえ爪装置１５１を当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ａに干渉させることなく当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ａから当該排出胴１５０の当該くわえ爪装置１５１へシートＳ１の先端側をくわえ替えさせずに当該圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上にシートＳ１を保持したまま通過させるように、前記アクチュエータ２１１，２１４の作動を制御すると共に、前記バルブ２１８Ａの開放状態をそのまま維持するように当該バルブ２１８Ａの作動を制御する。

またこのとき、前記供給胴１２０Ａは、前記くわえ爪装置１２１Ａが次のシートＳ２の先端側をくわえて前記有効面１２０Ａａに保持した状態でシートＳ２を搬送してくることから、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２Ａからの情報に基づいて、当該供給胴１２０Ａの当該くわえ爪装置１２１Ａが前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ｃと対向するときに、当該供給胴１２０Ａの当該くわえ爪装置１２１Ａから当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１ＣへシートＳ２の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ２１１，２１２Ａの作動を制御する（図５Ｅ参照）と共に、当該圧胴１１０の前記吸着ヘッド１１２Ｃが当該供給胴１２０Ａの当該有効面１２０Ａａと対向するときに、当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ｃに先端側をくわえられたシートＳ２の末端側を当該吸引ヘッド１１２Ｃに吸引保持させるように、前記バルブ２１８Ｃを開放制御する。これにより、シートＳ２は、前記供給胴１２０Ａの前記有効面１２０Ａａから前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上に曲がり量を修正された状態で供給されて密着保持される。

また、これと併せて、前記制御装置２００は、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇに導電インキＩｃを供給するように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３からの情報に基づいて、前記インクジェット装置１９１を作動制御する。また、前記制御装置２００は、シートＳ２が前記供給胴１２０Ａから前記圧胴１１０にくわえ替えされた後、前記回転量検出器２２６により検出した前記偏心軸受１２２の回転量に基づいてサーボモータ２０６の作動を制御して前記偏心軸受１２２を基準の位置に戻す制御を行う。

続いて、前記制御装置２００は、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇに供給された導電インキＩｃを前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上のシートＳ２に転写させるように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３からの情報に基づいて、前記アクチュエータ２１５の作動を制御して、当該版胴１３０を前記作動位置に移動させる。これにより、シートＳ２上には、Ｇ層が形成される（図５Ｆ参照）。

また、これと併せて、前記制御装置２００は、前記コータ胴１４０の前記ブランケットＢに絶縁インキＩｉを供給するように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２４からの情報に基づいて、前記絶縁インキ供給装置１９２を作動制御する。

このとき、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａにシートＳ１を保持させている前記くわえ爪装置１１１Ａが、シートを保持していない前記供給胴１２０Ａの前記くわえ爪装置１２１Ａと対向するため、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２Ａからの情報に基づいて、当該胴１１０，１２０Ａでシートを受け渡すことなく当該くわえ爪装置１２１Ａ，１１１Ａを干渉させないように前記アクチュエータ２１１，２１２Ａの作動を制御すると共に、前記バルブ２１８Ａの開放状態をそのまま維持するように当該バルブ２１８Ａの作動を制御する。

そして、前記版胴１３０が、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上のシートＳ２に導電インキＩｃを転写し終えると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３からの情報に基づいて、当該版胴１３０を前記退避位置に移動させるように前記アクチュエータ２１５の作動を制御すると共に、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｓｄに導電インキＩｃを供給するように、前記インクジェット装置１９１を作動制御する（図５Ｇ参照）。

続いて、前記制御装置２００は、前記コータ胴１４０の前記ブランケットＢに供給された絶縁インキＩｉを前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上のシートＳ２に転写させるように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２４からの情報に基づいて、前記アクチュエータ２１６の作動を制御して、当該コータ胴１４０を前記作動位置に移動させる。これにより、シートＳ２のＧ層上には、ＧＩ層が形成される。

そして、前記コータ胴１４０が、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上のシートＳ２に絶縁インキＩｉを転写し終えると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２４からの情報に基づいて、当該コータ胴１４０を前記退避位置に移動させるように前記アクチュエータ２１６の作動を制御する（図５Ｈ参照）。

また、これと併せて、前記制御装置２００は、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｓｄに供給された導電インキＩｃを前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳ１に転写させるように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３からの情報に基づいて、前記アクチュエータ２１５の作動を制御して、当該版胴１３０を前記作動位置に移動させる。これにより、シートＳ１のＧＩ層上には、ＳＤ層が形成される。

そして、前記版胴１３０が、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳ１に導電インキＩｃを転写し終えると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３からの情報に基づいて、当該版胴１３０を前記退避位置に移動させるように前記アクチュエータ２１５の作動を制御する（図５Ｉ参照）。

前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上でＧ層及びＧＩ層を形成されたシートＳ２の先端側をくわえる前記くわえ爪装置１１１Ａが前記排出胴１５０の前記くわえ爪装置１５１と対向するまでに、図５Ａに示し上述した一枚目のシートＳ１と同様に、前記渡胴１２０Ｃの前記くわえ爪装置１２１Ｃに三枚目のシートＳ３の先端側をくわえさせて当該渡胴１２０Ｃの前記有効面１２０Ｃａ上にシートＳ３を保持させて搬送させると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２２Ｂ，２２２Ｃからの情報に基づいて、当該渡胴１２０Ｃの当該くわえ爪装置１２１Ｃが前記検査胴１２０Ｂの前記くわえ爪装置１２１Ｂと対向するときに、当該渡胴１２０Ｃの当該くわえ爪装置１２１Ｃから当該検査胴１２０Ｂの当該くわえ爪装置１２１ＢへシートＳ３の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ２１２Ｂ，２１２Ｃの作動を制御する。これにより、シートＳ３は、前記渡胴１２０Ｃの前記有効面１２０Ｃａから前記検査胴１２０Ｂの前記有効面１２０Ｂａ上に供給されて保持される。

そして、シートＳ３が前記検査胴１２０Ｂに保持されているときに、前記アライメントカメラ３０１によりシートＳ３に付されたアライメントマークｍを撮像し、画像処理装置３０２によりシートＳ３の曲がり量を検出する。このとき前記アライメントカメラ３０１で撮像される位置に臨むシートＳ３は、前記押さえロール１２３を通過する際に浮きやしわなどが伸ばされ、且つ当該押さえロール１２３により前記アライメントカメラ３０１で撮像される位置に対し回転方向（シートの搬送方向）上流側を押さえられた状態で、前記アライメントカメラ３０１によりアライメントマークｍを撮像される。

続いて、前記制御装置２００は、前記検査胴１２０Ｂの当該くわえ爪装置１２１Ｂが前記供給胴１２０Ａの前記くわえ爪装置１２１Ａと対向するときに、当該検査胴１２０Ｂの当該くわえ爪装置１２１Ｂから当該供給胴１２０Ａの当該くわえ爪装置１２１ＡへシートＳ２の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ２１２Ａ，２１２Ｂの作動を制御する（図５Ｉ参照）。これにより、シートＳ３は、前記検査胴１２０Ｂの前記有効面１２０Ｂａから前記供給胴１２０Ａの前記有効面１２０Ａａ上に供給されて保持される。

さらに、シートＳ３が前記供給胴１２０Ａによって搬送されている間に、前記制御装置２００は、画像処理装置３０２により検出したシートＳ３の曲がり量及び前記回転量検出器２２６により検出した前記偏心軸受１２２の回転量に基づいてサーボモータ２０６の作動を制御し、前記圧胴１１０に対して前記供給胴１２０Ａのひねりを調整するコッキングを行い、曲がり量を修正する。

このとき、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上でＧ層及びＧＩ層を形成されたシートＳ２の先端側をくわえる前記くわえ爪装置１１１Ｃが前記排出胴１５０の前記くわえ爪装置１５１と対向するため、前記制御装置２００は、前述したシートＳ１の場合と同様に、前記ロータリエンコーダ２２１，２２５からの情報に基づいて、当該排出胴１５０の当該くわえ爪装置１５１を当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ｃに干渉させることなく当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ｃから当該排出胴１５０の当該くわえ爪装置１５１へシートＳ２の先端側をくわえ替えさせずに当該圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上にシートＳ２を保持したまま通過させるように、前記アクチュエータ２１１，２１４の作動を制御すると共に、前記バルブ２１８Ｃの開放状態をそのまま維持する。

くわえて、前記供給胴１２０Ａは、前記くわえ爪装置１２１Ａが更に次のシートＳ３の先端側をくわえて前記有効面１２０Ａａに保持した状態でシートＳ３を搬送してくることから、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２Ａからの情報に基づいて、当該供給胴１２０Ａの当該くわえ爪装置１２１Ａが前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ｂと対向するときに、当該供給胴１２０Ａの当該くわえ爪装置１２１Ａから当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１ＢへシートＳ３の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ２１１，２１２Ａの作動を制御すると共に、当該圧胴１１０の前記吸着ヘッド１１２Ｂが当該供給胴１２０Ａの当該有効面１２０Ａａと対向するときに、当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ｂに先端側をくわえられたシートＳ３の末端側を当該吸引ヘッド１１２Ｂに吸引保持させるように、前記バルブ２１８Ｂを開放制御する。これにより、シートＳ３は、前記供給胴１２０Ａの前記有効面１２０Ａａから前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｂ上に曲がり量を修正された状態で供給されて密着保持される。前記制御装置２００は、シートＳ３が前記供給胴１２０Ａから前記圧胴１１０にくわえ替えされた後、前記偏心軸受１２２を基準の位置に戻す。

他方、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上でＧ層，ＧＩ層，ＳＤ層をそれぞれ形成されたシートＳ１は、前記コータ胴１４０から絶縁インキＩｉを転写されることなくそのまま通過する。

そして、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上に保持されたシートＳ１の先端側をくわえる前記くわえ爪装置１１１Ａが前記排出胴１５０の前記くわえ爪装置１５１と対向すると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２５からの情報に基づいて、当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ａから当該排出胴１５０の当該くわえ爪装置１５１へシートＳ１の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ２１１，２１４の作動を制御すると共に（図５Ｊ参照）、当該圧胴１１０の前記吸引ヘッド１１２Ａが当該排出胴１５０の当該有効面１５０ａと対向するときに吸引を停止するように、前記バルブ２１８Ａを閉鎖制御する。これにより、Ｇ層、ＧＩ層、ＳＤ層をそれぞれ形成されたシートＳ１は、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａから離脱され、前記排出胴１５０を介して系外へ排出される。

このとき、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃにシートＳ２を保持させている前記くわえ爪装置１１１Ｃが、シートを保持していない前記供給胴１２０Ａの前記くわえ爪装置１２１Ａと対向するため、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２Ａからの情報に基づいて、シートＳ１の場合と同様に、当該胴１１０，１２０Ａでシートを受け渡すことなく当該くわえ爪装置１２１Ａ，１１１Ｃを干渉させないように前記アクチュエータ２１１，２１２Ａの作動を制御すると共に、前記バルブ２１８Ｃの開放状態をそのまま維持するように当該バルブ２１８Ｃの作動を制御する。

また、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｂに保持されたシートＳ３は、前記有効面１１０ａ，１１０ｃに保持されたシートＳ１，Ｓ２の場合と同様にして、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇから導電インキＩｃが転写される。

そして、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｂに保持されたシートＳ３は、前記有効面１１０ａ，１１０ｃに保持されたシートＳ１，Ｓ２の場合と同様にして、前記コータ胴１４０の前記ブランケットＢから絶縁インキＩｉが転写されることにより、Ｇ層上にＧＩ層が形成され、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃに保持されたシートＳ２は、前記有効面１１０ａに保持されたシートＳ１の場合と同様にして、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｓｄから導電インキＩｃが転写されることにより、ＧＩ層上にＳＤ層が形成される（図５Ｋ参照）。

前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上でＧ層及びＧＩ層を形成されたシートＳ３の先端側をくわえる前記くわえ爪装置１１１Ａが前記排出胴１５０の前記くわえ爪装置１５１と対向するまでに、図５Ａに示し上述した一枚目のシートＳ１と同様に、前記渡胴１２０Ｃの前記くわえ爪装置１２１Ｃに四枚目のシートＳ４の先端側をくわえさせて当該渡胴１２０Ｃの前記有効面１２０Ｃａ上にシートＳ４を保持させて搬送させると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２２Ｂ，２２２Ｃからの情報に基づいて、当該渡胴１２０Ｃの当該くわえ爪装置１２１Ｃが前記検査胴１２０Ｂの前記くわえ爪装置１２１Ｂと対向するときに、当該渡胴１２０Ｃの当該くわえ爪装置１２１Ｃから当該検査胴１２０Ｂの当該くわえ爪装置１２１ＢへシートＳ４の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ２１２Ｂ，２１２Ｃの作動を制御する。これにより、シートＳ４は、前記渡胴１２０Ｃの前記有効面１２０Ｃａから前記検査胴１２０Ｂの前記有効面１２０Ｂａ上に供給されて保持される。

そして、シートＳ４が前記検査胴１２０Ｂに保持されているときに、前記アライメントカメラ３０１によりシートＳ４に付されたアライメントマークｍを撮像し、画像処理装置３０２によりシートＳ４の曲がり量を検出する。このとき前記アライメントカメラ３０１で撮像される位置に臨むシートＳ４は、前記押さえロール１２３を通過する際に浮きやしわなどが伸ばされ、且つ当該押さえロール１２３により前記アライメントカメラ３０１で撮像される位置に対し回転方向（シートの搬送方向）上流側を押さえられた状態で、前記アライメントカメラ３０１によりアライメントマークｍを撮像される。

続いて、前記制御装置２００は、前記検査胴１２０Ｂの当該くわえ爪装置１２１Ｂが前記供給胴１２０Ａの前記くわえ爪装置１２１Ａと対向するときに、当該検査胴１２０Ｂの当該くわえ爪装置１２１Ｂから当該供給胴１２０Ａの当該くわえ爪装置１２１ＡへシートＳ４の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ２１２Ａ，２１２Ｂの作動を制御する（図５Ｋ参照）。これにより、シートＳ４は、前記検査胴１２０Ｂの前記有効面１２０Ｂａから前記供給胴１２０Ａの前記有効面１２０Ａａ上に供給されて保持される。

さらに、シートＳ４が前記供給胴１２０Ａによって搬送されている間に、前記制御装置２００は、画像処理装置３０２により検出したシートＳ４の曲がり量及び前記回転量検出器２２６により検出した前記偏心軸受１２２の回転量に基づいてサーボモータ２０６の作動を制御し、前記圧胴１１０に対して前記供給胴１２０Ａのひねりを調整するコッキングを行い、曲がり量を修正する。

続いて、前記供給胴１２０Ａは、前記くわえ爪装置１２１が更に次のシートＳ４の先端側をくわえて前記有効面１２０Ａａに保持した状態でシートＳ４を搬送してくることから、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２Ａからの情報に基づいて、当該供給胴１２０Ａの当該くわえ爪装置１２１Ａが前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ａと対向するときに、当該供給胴１２０Ａの当該くわえ爪装置１２１Ａから当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１ＡへシートＳ４の先端側をくわえ替えさせるように、前記アクチュエータ２１１，２１２Ａの作動を制御すると共に、当該圧胴１１０の前記吸引ヘッド１１２Ａが当該供給胴１２０Ａの当該有効面１２０Ａａと対向するときに、当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ａに先端側をくわえられたシートＳ４の末端側を当該吸引ヘッド１１２Ａに吸引保持させるように、前記バルブ２１８Ａを開放制御する。これにより、シートＳ４は、前記供給胴１２０Ａの前記有効面１２０Ａａから前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上に曲がり量を修正された状態で供給されて密着保持される。前記制御装置２００は、シートＳ４が前記供給胴１２０Ａから前記圧胴１１０にくわえ替えされた後、前記偏心軸受１２２を基準の位置に戻す。

以下、上述した作動を繰り返すことにより、シートにＧ層，ＧＩ層，ＳＤ層を順次積層したＴＦＴを連続して製造することができる。

つまり、本実施形態に係る電子デバイス製造装置では、一度機能層等が形成され排出されたシートを再度供給する二度刷りを行う場合に、シートを前記渡胴１２０Ｃへ供給する際に生じるシートの曲がりを検知して、検知したシートの曲がり量を修正するように前記供給胴１２０Ａのコッキングを行うものである。このように構成される本実施形態に係る電子デバイス製造装置によれば、二度刷りを行う際の都度の高精度な位置合わせを容易に行うことが可能となる。

また、本実施形態に係る電子デバイス製造装置では、前記検査胴１２０Ｂの前記アライメントカメラ３０１よりも回転方向（シートの搬送方向）上流側に押さえロール１２３を設け、シートが前記検査胴１２０Ｂに保持され前記アライメントカメラ３０１によりアライメントマークｍを撮像する際、前記アライメントカメラ３０１で撮像される位置に臨むシートが、前記押さえロール１２３を通過する際に浮きやしわなどが伸ばされるとともに、前記アライメントカメラ３０１で撮像される位置の回転方向（シートの搬送方向）上流側では前記押さえロール１２３により押さえられた状態となるので、シートＳ１を安定させた状態で前記アライメントカメラ３０１によりアライメントマークｍを撮像することができ、これによりアライメントマークｍの位置を正確に検出することが可能となり、二度刷りを行う際の都度の位置合わせを高精度に行うことができる。

また、本実施形態に係る電子デバイス製造装置では、前記版胴１３０を回転可能且つ軸方向へ移動可能に支持すると共に前記圧胴１１０に対して直線的に対接離反移動可能に支持する支持手段を当該圧胴１１０に対して対接離反移動させる駆動手段を設け、当該版胴１３０を回転させる駆動手段を当該版胴１３０と一体的に移動できるように上記支持手段に設けるだけでなく、当該版胴１３０を軸方向へ移動させる駆動手段も当該版胴１３０と一体的に移動できるように上記支持手段に設けるようにしたことから、前記版胴１３０の前記版Ｐやシートや機能層等の厚さが大きくても、前記圧胴１３０と前記版胴１３０及び前記コータ胴１４０との間の長さ（間隔）を必要十分に調整することが容易にできる。

また、二つの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄを有する前記版Ｐを一つの前記版胴１３０に装着したことから、一つの前記インクジェット装置１９１で二つの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄに導電インキＩｃを供給することができるので、非常に高価な当該インクジェット装置１９１の設置数を削減することができ、低コスト化及び省スペース化を図ることができる。

また、三つの前記有効面１１０ａ〜１１０ｃを有する前記圧胴１１０に対して、前記供給胴１２０Ａが一つおきにシートを供給して保持させることから、当該供給胴１２０Ａから次々に供給するシートに対して各層を順次形成することが効率よくでき、ＴＦＴを同時に複数製造することが省スペースで非常に効率よくできる。

〈他の実施形態〉
なお、前述した実施形態においては、前記偏心軸受１２２の回転量を検知する構成として前記駆動レバー３１１にリニアスケール２２６ａを取り付けて当該リニアスケール２２６ａをセンサ２２６ｂで読み取る回転量検出器２２６を適用した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、前記偏心軸受１２２の回転量を検知することができる他のセンサを設けてもよい。

また、前述した実施形態においては、前記検査胴１２０Ｂの基板浮き防止構成として押さえロール１２３を適用した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、負圧による吸着構成またはシリコンゴム等による粘着構成としてもよい。

また、前述した実施形態においては、撮像手段として、二台のアライメントカメラ３０１を前記検査胴１２０Ｂの軸方向両側に対向配置する場合について説明したが、他の実施形態として、一台のラインカメラによって二箇所のアライメントマークｍを一度に撮像することも可能である。

また、前述した実施形態においては、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄに前記インクジェット装置１９１により導電インキＩｃを供給するようにしたが、他の実施形態として、例えば、インキ壺から移しローラ等を介してインキを版胴に供給するインキ装置や、インキ皿からインキを版胴に直接供給するインキ装置や、インキ皿からファニシャローラやインキ出しローラやインキ着けローラ等を介してインキを版胴に間接的に供給するインキ装置等を適用することも可能である。

また、前述した実施形態においては、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ〜１１０ｃに保持されたシートに対して、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄに供給された導電インキＩｃを直接的に転写するようにしたが、他の実施形態として、例えば、前記圧胴１１０及び前記版胴１３０に対して対接離反移動できるように当該圧胴１１０と当該版胴１３０との間にブランケット胴を回転可能に配設することにより、当該版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄに供給された導電インキＩｃを当該ブランケット胴に一旦転写してから上記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ〜１１０ｃに保持されたシートに転写するオフセット方式とすることも可能である。

また、前述した実施形態においては、二つの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄを形成した二倍サイズの前記版Ｐを保持する前記有効面１３０ａを具備する径サイズ（二倍径）の前記版胴１３０を適用した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、必要に応じて、例えば、三つの版面を形成した三倍サイズの版を保持する有効面を具備する径サイズ（三倍径）の版胴を適用することも可能である。

また、前述した実施形態においては、前記吸引ポンプ２１７に接続した前記吸引ヘッド１１２Ａ〜１１２Ｃを前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ〜１１０ｃに設けることにより、シートの搬送方向後方側（末端側）を当該有効面１１０ａ〜１１０ｃに着脱可能に吸引保持するようにしたが、他の実施形態として、例えば、上記吸引ヘッド１１２Ａ〜１１２Ｃ等に代えて、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ〜１１０ｃ上にシリコンゴム等からなるラバーシートを取り付けておくことにより、シートの搬送方向後方側（末端側）を当該有効面１１０ａ〜１１０ｃに対して着脱可能に密着保持できるようにしても、前述した実施形態と同様な作用効果を得ることができる。

また、前述した実施形態においては、三つの前記有効面１１０ａ〜１１０ｃを有する前記圧胴１１０を適用した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、三つ以上の奇数個（例えば、五つや七つ）の有効面（保持面）を有する圧胴であれば、前述した実施形態の場合と同様にして適用可能である。しかしながら、前述した実施形態のように、三つの前記有効面１１０ａ〜１１０ｃを有する前記圧胴１１０であれば、最も省スペース化を図ることができるので、非常に好ましい。

また、前述した実施形態においては、印刷装置として前記版胴（転写胴）１３０を適用する例を示したが、印刷装置としては転写胴に限らず、例えばインク滴をシートに吐出するインクジェットヘッド等を適用することも可能である。

また、前述した実施形態においては、ＴＦＴを製造する場合について説明したが、本発明はこれに限らず、可塑性を有する基材上に機能性を有する材料を積層して機能層を形成することにより電子デバイスを製造する場合であれば、前述した実施形態の場合と同様にして適用することができる。

また、前述した実施形態においては、シートは前記供給胴１２０から前記圧胴１１０へ搬送されるが、他の実施形態として、供給胴と圧胴の間に搬送胴が構成されていてもよい。

また、前述した実施形態においては、ＴＦＴを製造する場合について説明したが、本発明はこれに限らず、可撓性を有するシート上に機能性を有する材料を積層して機能層を形成することにより電子デバイスを製造する場合であれば、前述した実施形態の場合と同様にして適用することができる。

本発明に係る電子デバイス製造装置は、二度刷りを行う際であっても、基材に各層を形成する都度の高精度な位置合わせを容易に行うことができるので、産業上、極めて有益に利用することができる。

１１０ 圧胴
１１０ａ〜１１０ｃ 有効面
１１１Ａ〜１１１Ｃ くわえ爪装置
１１２Ａ〜１１２Ｃ 吸引ヘッド
１２０Ａ 供給胴（渡胴）
１２０Ｂ 検査胴
１２０Ｃ 渡胴
１２０Ａａ，１２０Ｂａ，１２０Ｃａ 有効面
１２１Ａ，１２１Ｂ，１２１Ｃ くわえ爪装置
１２２ 偏心軸受
１２３ 押さえロール
１３０ 版胴
１３０ａ 有効面
１３１ 版保持装置
１４０ コータ胴
１５０ 排出胴
１５０ａ 有効面
１５１ くわえ爪装置
１９１，１９３ インクジェット装置
１９２ 絶縁インキ供給装置
２００ 制御装置
２０１〜２０５ モータ
２１１〜２１６ アクチュエータ
２１７ 吸引ポンプ
２１８Ａ〜２１８Ｃ バルブ
２２１〜２２５ ロータリエンコーダ
２２６ 回転量検出器
２２６ａ リニアスケール
２２６ｂ センサ
３０１ アライメントカメラ
３０２ 画像処理装置
３１０ 曲がり補正装置
３１１ 駆動レバー
３１２ ギアボックス
３１３ サーボモータ
Ｐ 版
Ｐｇ，Ｐｓｄ 版面
Ｉｃ 導電インキ
Ｉｉ 絶縁インキ
Ｓ１〜Ｓ４ シート
ｍ アライメントマーク

Claims (3)

1. 可撓性を有する基材に機能性を有する材料を積層して機能層を形成することにより電子デバイスを製造する電子デバイス製造装置であって、
   基材を保持して搬送し搬送されている基材に機能性を有する材料からなる機能性インキを印刷する印刷装置が周囲に配置されている圧胴と、
   基材を保持して搬送する検査胴、前記検査胴で搬送されている基材の胴に対する曲がり量を検知する曲がり量検知手段、及び、曲がり量補正手段を具備し前記検査胴及び前記圧胴の間に配設されている渡胴を有する基材供給手段と、
   前記曲がり量検知手段によって取得した基材の曲がり量に基づいて前記曲がり量補正手段を制御する制御手段と
   を備えたことを特徴とする電子デバイス製造装置。
2. 請求項１に記載の電子デバイス製造装置であって、
   前記検査胴で搬送されている基材の前記曲がり量検知手段の搬送方向上流側で基材の浮きを抑制する押さえ手段を備えている
   ことを特徴とする電子デバイス製造装置。
3. 請求項１又は請求項２に記載の電子デバイス製造装置であって、
   前記渡胴が軸方向一端側に当該渡胴を保持する偏心軸受を備え、
   前記曲がり量補正手段が前記偏心軸受と当該偏心軸受を回動させる偏心軸受回動手段とからなり、
   前記制御手段が、前記曲がり量検知手段によって取得した基材の曲がり量に基づいて前記偏心軸受回動手段を制御して前記偏心軸受の回転量を調整する
   ことを特徴とする電子デバイス製造装置。

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