JP6666779B2 - 電子デバイス製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、可撓性を有する基材上に機能性を有する材料を積層して機能層を形成することにより電子デバイスを製造する電子デバイス製造装置に関する。

基材上にゲート層（Ｇ層）やゲート・インシュレータ層（ＧＩ層）やソース＆ドレイン層（ＳＤ層）等の機能層を積層した薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等のフレキシブルな電子デバイスは、例えば、下記特許文献１に記載されているように、圧胴に基材を保持させて当該圧胴を回転させることにより基材を搬送する一方、当該圧胴に対接可能なゴム胴上にインキ層を設け、当該ゴム胴に対接可能な版胴の版の凸部パターンを当該ゴム胴に対接させて、当該ゴム胴上のインキ層のうち凸部パターンと接触した部分のインキを除去して当該ゴム胴上にインキパターンを形成した後、上記圧胴に保持されている基材に対して、上記ゴム胴上の上記インキパターンを転写することにより、基材に複数の機能層を設けるようにした印刷法で製造することが知られている。

また、例えば下記特許文献２には、解像度の高い反転印刷法を用いて、薄膜トランジスタ等の基板上への導電材による電極パターンを形成するにあたり、導電材を基板の特定の箇所へ精度良く形成するようにした印刷法が記載されている。

特開２０１５−１５３７９６号公報 特開２００７−２６８７１５号公報 特開２０１３−２４１２７５号公報

ここで、ＴＦＴを印刷法で製造するためには同一の基材上へＧ層、ＧＩ層、ＳＤ層、半導体をそれぞれ高精度に重ねて印刷しなければならない。しかしながら、特許文献２の方法では各機能層を基材上へ高精度で印刷することはできるが、他の層を重ねて形成する場合には、基材をそれぞれの装置へ移動させ、精密な位置合わせ等の準備作業を行わなければならず、製造工数が増えることに加え、作業者の負担が増大するという問題があった。

このようなことから本発明は、ＴＦＴ等を印刷法で製造する際に必要となる各工程において、都度の位置合わせを容易に行い、少ない製造工数かつ高精度で電子デバイスを製造することができる電子デバイス製造装置を提供することを目的とする。

前述した課題を解決するための、本発明に係る電子デバイス製造装置は、
可撓性を有する基材に機能性を有する材料を積層して機能層を形成することにより電子デバイスを製造する電子デバイス製造装置であって、
基材を保持して回転する圧胴と、
前記圧胴に保持されている基材に機能性を有する材料からなる機能性インキを転写するインキ転写手段と、
前記圧胴に保持された基材の位置を検出する基材位置検知手段と、
前記インキ転写手段の前記圧胴の軸方向の位置を調整する左右位置調整手段と、
前記圧胴と前記インキ転写手段の基材搬送方向の転写位置を調整する天地位置調整手段と、
前記インキ転写手段により基材に機能性インキを転写する際に、前記基材位置検知手段によって取得した基材の位置に基づいて、前記左右位置調整手段及び前記天地位置調整手段を制御する制御手段と
を備えたことを特徴とする。

また、本発明に係る電子デバイス製造装置は、
前記インキ転写手段が転写胴であり、
前記圧胴及び前記転写胴をそれぞれ駆動する圧胴駆動装置及び転写胴駆動装置を備え、
前記天地位置調整手段が、前記圧胴駆動装置及び前記転写胴駆動装置の少なくとも一方から構成され、
前記制御手段が、前記圧胴駆動装置及び前記転写胴駆動装置の少なくとも一方を制御することによって前記圧胴に保持された基材の基材搬送方向の位置に対する前記転写胴の回転方向の位置を調整する
ことを特徴とする。

また、本発明に係る電子デバイス製造装置は、
前記インキ転写手段が転写胴であり、
前記転写胴を駆動する転写胴駆動装置を備え、
前記天地位置調整手段が、前記転写胴駆動装置から構成され、
前記制御手段が、前記転写胴駆動装置のみを制御することによって前記圧胴に保持された基材の基材搬送方向の位置に対する前記転写胴の回転方向の位置を調整する
ことを特徴とする。

本発明に係る電子デバイス製造装置によれば、ＴＦＴ等を印刷法で製造する際に必要となる各工程において、都度の位置合わせを容易に行い、少ない製造工数かつ高精度で電子デバイスを製造することができる。

本発明に係る電子デバイス製造装置の第一の実施形態の要部概略構成図である。 図１のII−II線断面矢線視図である。 図２の III−III 線矢線視図である。 図２の矢線IV方向から見た図である。 アライメントマークの一例を示す正面図である。 図１の電子デバイス製造装置の要部の制御ブロック図である。 図１の電子デバイス製造装置による薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）の製造手順の説明図である。 図７Ａに続く製造手順の説明図である。 図７Ｂに続く製造手順の説明図である。 図７Ｃに続く製造手順の説明図である。 図７Ｄに続く製造手順の説明図である。 図７Ｅに続く製造手順の説明図である。 図７Ｆに続く製造手順の説明図である。 図７Ｇに続く製造手順の説明図である。 図７Ｈに続く製造手順の説明図である。 図７Ｉに続く製造手順の説明図である。 本発明に係る電子デバイス製造装置の第二の実施形態におけるアライメントマークの一例を示す正面図である。

本発明に係る電子デバイス製造装置の実施形態を図面に基づいて説明するが、本発明は図面に基づいて説明する以下の実施形態のみに限定されるものではない。

〈第一の実施形態〉
本発明に係る電子デバイス製造装置で薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を製造する場合の第一の実施形態を図１〜６及び図７Ａ〜７Ｊに基づいて以下に説明する。

図１において、１００Ａはメインフレーム、１１０は圧胴、１２０は供給胴、１３０は版胴、１４０はコータ胴、１５０は排出胴、１９１はインクジェット装置、１９２は絶縁インキ供給装置、３０１はアライメントカメラである。

前記圧胴１１０は、回転可能に支持されると共に、可撓性を有する基材であるシートを保持する保持面である有効面を外面の周方向へ六つ具備できる径サイズ（六倍径）をなしているものの、三つの有効面１１０ａ〜１１０ｃだけを周方向で等間隔で具備するいわゆるスケルトン型をなしている。

そして、前記圧胴１１０は、各有効面１１０ａ〜１１０ｃにおいて、シートの搬送方向前方側（先端側）を着脱可能に把持するくわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃと、シートの搬送方向後方側（末端側）を着脱可能に吸引保持する吸引ヘッド１１２Ａ〜１１２Ｃ（例えば、前記特許文献２等参照）とをそれぞれ有している。前記吸引ヘッド１１２Ａ〜１１２Ｃは、それぞれバルブ２１８Ａ〜２１８Ｃを介して吸引ポンプ２１７に接続している（図５参照）。

基材供給手段である前記供給胴１２０は、前記圧胴１１０に対向するように回転可能に支持され、有効面を外面の周方向へ二つ具備できる径サイズ（二倍径）をなしているものの、一つの有効面１２０ａだけを具備すると共に、当該有効面１２０ａにおいて、シートの搬送方向前方側（先端側）を着脱可能に把持するくわえ爪装置１２１を有しており、回転する前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ〜１１０ｃに対して一つおきにシートを供給して保持させることができるようになっている。

基材排出手段である前記排出胴１５０は、前記圧胴１１０と前記供給胴１２０との対向位置、すなわち、当該圧胴１１０の、当該供給胴１２０からのシートを保持する保持位置よりも当該圧胴１１０の回転方向（シートの搬送方向）下流側で当該圧胴１１０に対向するように回転可能に支持され、有効面を外面の周方向へ二つ具備できる径サイズ（二倍径）をなしているものの、一つの有効面１５０ａだけを具備すると共に、当該有効面１５０ａにおいて、シートの搬送方向前方側（先端側）を着脱可能に把持するくわえ爪装置１５１を有している。

インキ転写手段としての転写胴である前記版胴１３０は、前記圧胴１１０と前記供給胴１２０との対向位置、すなわち、当該圧胴１１０の、当該供給胴１２０からのシートを保持する保持位置よりも当該圧胴１１０の回転方向（シートの搬送方向）下流側と、当該圧胴１１０と前記排出胴１５０との対向位置、すなわち、当該圧胴１１０の、当該排出胴１５０へシートを離脱させる離脱位置よりも当該圧胴１１０の回転方向（シートの搬送方向）上流側との間に回転可能に配設され、当該圧胴１１０に対接する作動位置と当該圧胴１１０から離反した退避位置との間を直線的にスライド移動できるように支持されている（詳細は後述する）。

加えて、前記版胴１３０は、第一の機能層であるゲート層（Ｇ層）に対応するパターンを形成された第一の版面であるＧ層用の版面Ｐｇと、第三の機能層であるソース＆ドレイン層（ＳＤ層）に対応するパターンを形成された第二の版面であるＳＤ層用の版面Ｐｓｄとを周方向へ並べるように形成した二倍サイズの版Ｐを保持する保持面である有効面１３０ａを外面に具備する径サイズ（二倍径）をなすと共に、当該版Ｐの一端側（先端側）と他端側（末端側）とを着脱可能に保持する版保持装置１３１を有している。

第一の機能性インキ供給手段である前記インクジェット装置１９１は、前記退避位置に位置する前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄに対して、Ｇ層及びＳＤ層をなす材料からなる第一の機能性インキである導電インキを噴射して供給することができるようになっている。

前記アライメントカメラ３０１は、圧胴１１０によって搬送されるシートに付されたアライメントマークｍ（図６参照）を撮像するための撮像装置である。図６に示すように、アライメントマークｍは例えばシートＳ（Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，…）の搬送方向の上流側（図６に示す例では、左右方向の右側）であってシートＳの前記圧胴の軸方向（搬送方向に直交しシートＳに沿う方向）の両側部に一箇所ずつ付されている。本実施形態では、これらのアライメントマークｍを撮像するため、二台の前記アライメントカメラ３０１を前記検査胴１２０Ｂの軸方向両側にそれぞれ対向配置している。前記各アライメントカメラ３０１によって撮像した画像の情報は、画像処理装置３０２（図５参照）に入力される。

転写胴である前記コータ胴１４０は、前記圧胴１１０と前記版胴１３０との対接位置よりも当該圧胴１１０の回転方向（シートの搬送方向）下流側と、当該圧胴１１０と前記排出胴１５０との対向位置、すなわち、当該圧胴１１０の、当該排出胴１５０へシートを離脱させる離脱位置よりも当該圧胴１１０の回転方向（シートの搬送方向）上流側との間に回転可能に配設され、シートのサイズに対応するサイズのシリコン樹脂製のブランケットＢを外周に巻き付けられると共に（一倍径）、当該圧胴１１０に対接する作動位置と当該圧胴１１０から離反した退避位置との間を直線的にスライド移動できるように前記版胴１３０と同様な機構により支持されている。

第二の機能性インキ供給手段である前記絶縁インキ供給装置１９２は、前記退避位置に位置する前記コータ胴１４０の前記ブランケットＢ上に、第二の機能層であるゲート・インシュレータ層（ＧＩ層）をなす材料からなる第二の機能性インキである絶縁インキを送出して供給することができるようになっている。

そして、図２に示すように、前記版胴１３０の軸方向両側には、前記メインフレーム１００Ａ，１００Ｂが対をなすようにしてそれぞれ配設されており、当該版胴１３０は、その両方の端部側が、当該メインフレーム１００Ａ，１００Ｂをそれぞれ貫通している。前記版胴１３０の両端側には、軸受１６１が同軸をなしてそれぞれ嵌合している。前記軸受１６１の外周には、スリーブ１６２が同軸をなしてそれぞれ嵌合している。

また、図２，３に示すように、前記メインフレーム１００Ａの、前記版胴１３０の軸方向外側面上には、当該版胴１３０を間に挟んで対をなす直線形のガイドレール１６３が前記圧胴１１０の軸心と当該版胴１３０の軸心とを結ぶ方向と平行な方向へ長手方向を向けるようにして配設されている。前記ガイドレール１６３の、前記版胴１３０の軸方向外側には、当該ガイドレール１６３の長手方向に沿ってスライド移動可能なスライダ１６４がそれぞれ取り付けられている。

前記スライダ１６４の、前記版胴１３０の軸方向外側には、サブフレーム１６５が、対をなす前記ガイドレール１６３の間を覆うようにして取り付けられており、当該サブフレーム１６５は、前記スリーブ１６２を当該版胴１３０の軸方向へ摺動移動可能に保持している。

他方、図２に示すように、前記メインフレーム１００Ｂの、前記版胴１３０の軸方向外側にも、前記メインフレーム１００Ａの場合と同様にして、ガイドレール１６３，スライダ１６４，サブフレーム１６５が設けられている。

つまり、前記版胴１３０は、前記サブフレーム１６５に対して、前記スリーブ１６２及び前記軸受１６１を介して回転可能に支持されると共に、当該スリーブ１６２が軸方向へ摺動移動することにより、当該軸受１６１を介して軸方向へスライド移動することができ、さらに、当該サブフレーム１６５を前記ガイドレール１６３に沿ってスライド移動させることにより、前記圧胴１１０に対して一直線で接近離反移動することができるようになっているのである。

なお、図３中、１６６は、前記メインフレーム１００Ａに設けられて前記版胴１３０を前記退避位置に位置付けできるように前記サブフレーム１６５の移動を規制するストッパであり、当該メインフレーム１００Ａだけでなく、前記メインフレーム１００Ｂにも同様にして設けられている。

図３に示すように、前記メインフレーム１００Ａの、前記版胴１３０の軸方向外側面上には、サーボモータ２１５が、駆動軸２１５ａの軸方向を前記ガイドレール１６３の長手方向に沿って向けるように配向されて取り付けられている。前記サーボモータ２１５の前記駆動軸２１５ａの先端には、ねじ軸１６７の一端が同軸をなして連結固定されている。前記ねじ軸１６７の他端側は、前記メインフレーム１００Ａの、前記版胴１３０の軸方向外側面上に設けられた支持部材１６９に回転可能に支持されている。

前記ねじ軸１６７には、ナットブロック１６８が螺合している。前記ナットブロック１６８には、ブラケット１６８ａが設けられている。前記ブラケット１６８ａは、前記サブフレーム１６５に設けられたブラケット１６５ａに連結されている。

他方、前記メインフレーム１００Ｂの、前記版胴１３０の軸方向外側にも、前記メインフレーム１００Ａの場合と同様にして、前記ブラケット１６５ａ，１６８ａ，前記ねじ軸１６７，前記ナットブロック１６８，前記支持部材１６９，前記サーボモータ２１５等が設けられている。

つまり、前記サーボモータ２１５を作動させて前記駆動軸２１５ａを駆動回転させると、前記支持部材１６９に支持された前記ねじ軸１６７が回転することにより、当該ねじ軸１６７の軸方向に沿って前記ナットブロック１６８を移動させることができ、前記ブラケット１６８ａ，１６５ａを介して前記サブフレーム１６５を前記ガイドレール１６３の長手方向に沿って移動させることができるようになっているのである。

なお、図２，３中、２２６は、左右の前記ガイドレール１６３の長手方向に沿って前記サブフレーム１６５にそれぞれ取り付けられたリニアスケール２２６ａを、前記メインフレーム１００Ａ、前記メインフレーム１００Ｂにそれぞれ取り付けられたセンサ２２６ｂで読み取ることにより、前記圧胴１１０に対する前記版胴１３０の径方向の位置を検知する位置検出器である。
また、図２，３中、２２８は、前記スリーブ１６２に、前記版胴１３０の軸方向に沿って取り付けられたリニアスケール２２８ａを、前記サブフレーム１６５に取り付けられたセンサ２２８ｂで読み取ることにより、前記圧胴１１０に対する前記版胴１３０の軸方向の位置を検知する位置検出器である。

図２に示すように、前記版胴１３０の一端側（図２中、右端側）には、転写胴駆動装置としてのダイレクトドライブ（ＤＤ）方式のモータ２０３がブラケット１８９を介して同軸をなして設けられており、当該モータ２０３は、ブラケット１８８を介して前記スリーブ１６２に支持されている。

つまり、前記モータ２０３は、前記ブラケット１８９を介して前記版胴１３０を独立して回転駆動させることができると共に、前記ブラケット１８８を介して前記スリーブ１６２，前記軸受１６１と併せて当該版胴１３０と一体的に軸方向へ移動することができるようになっているのである。

また、前記版胴１３０の他端側（図２中、左端側）には、伝達筒１７１の基端側（図２中、左端側）が同軸をなして嵌合している。前記伝達筒１７１の先端側（図２中、左端側）には、環状をなす回転板１７２の外周側が同軸をなして一体的に取り付けられている。前記回転板１７２の軸方向両面には、当該回転板１７２を挟んで対をなすスラスト軸受１７３が当該回転板１７２の穴部と同軸をなすようにしてそれぞれ配設されている。

前記回転板１７２の穴部及び前記スラスト軸受１７３の内側には、軸方向中程と基端寄り（図２中、左端寄り）との間にねじ山を有するねじ軸１７４の先端側（図２中、右端側）が遊嵌している。前記ねじ軸１７４の先端側（図２中、右端側）には、前記回転板１７２及び前記スラスト軸受１７３を軸方向で挟持する環状をなす一対のフランジ板１７５が同軸をなしてそれぞれ嵌合している。

前記ねじ軸１７４の軸方向中程及び基端寄り（図２中、左端寄り）には、ナットブロック１７６が螺合している。前記ナットブロック１７６は、前記サブフレーム１６５に支持ステー１７７ａを介して支持された支持板１７７を貫通するようにして当該支持板１７７に固定支持されている。

つまり、前記ねじ軸１７４を回転させると、前記ナットブロック１７６に対して当該ねじ軸１７４が軸方向へ移動して、前記フランジ板１７５，前記スラスト軸受１７３，前記回転板１７２，前記伝達筒１７１を介して前記版胴１３０を軸方向に移動させることができると共に、当該版胴１３０が回転すると、前記伝達筒１７１及び前記回転板１７２が回転するものの、前記スラスト軸受１７３を介することにより、前記ねじ軸１７４に回転力が伝達しないようになっているのである。

図２，４に示すように、前記ねじ軸１７４の基端側（図２中、左端側）には、歯車１７８が同軸をなして取り付けられている。前記歯車１７８には、歯車１７９が噛み合っている。前記歯車１７９は、前記支持板１７７に基端側を回転可能に支持された回転軸１８０の先端面に同軸をなして固定されている。前記回転軸１８０の先端側（図２中、左端側）には、ウォームホイール１８１が同軸をなして取り付けられている。

前記ウォームホイール１８１には、ウォーム軸１８２が噛み合っている。前記ウォーム軸１８２は、その両端側が、前記支持板１７７に対して支持部材１８３を介して回転可能に支持されている。前記ウォーム軸１８２の一端側（図４中、右端側）には、前記支持板１７７に支持されたサーボモータ２１９の駆動軸が同軸をなして連結されている。

つまり、前記サーボモータ２１９を作動させて前記ウォーム軸１８２を回転させると、前記ウォームホイール１８１，前記回転軸１８０，前記歯車１７８，１７９を介して前記ねじ軸１７４を前記ナットブロック１７６に対して回転させて軸方向へ移動させることができるようになっているのである。

図５に示すように、前記圧胴１１０を独立回転駆動させる圧胴駆動装置としてのモータ２０１と、前記供給胴１２０を独立回転駆動させるモータ２０２と、前記版胴１３０を独立回転駆動させるモータ２０３と、前記コータ胴１４０を独立回転駆動させるモータ２０４と、前記排出胴１５０を独立回転駆動させるモータ２０５とは、制御手段である制御装置２００の出力部にそれぞれ電気的に接続している。前記制御装置２００の出力部は、前記インクジェット装置１９１及び前記絶縁インキ供給装置１９２へ電気的に接続している。

また、前記制御装置２００の出力部は、前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃと前記供給胴１２０の前記くわえ爪装置１２１との対向の際、当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃの開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃを開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ２１１と、当該供給胴１２０の当該くわえ爪装置１２１の開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置１２を開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ２１２とに対して、それぞれ電気的に接続している（カム軌道切換機構に関しては、前記特許文献２に記載の「印刷胴」及び「給紙側渡胴」のカム軌道切換機構（特に図５）参照）。

また、前記制御装置２００の出力部は、前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃと前記排出胴１５０の前記くわえ爪装置１５１との対向の際、当該くわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃの開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃを開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ２１３と、当該くわえ爪装置１５１の開閉を切り換えるように、当該くわえ爪装置１５１を開閉させるカムフォロア用のカムの軌道を切り換えるアクチュエータ２１４とに対して、それぞれ電気的に接続している（カム軌道切換機構に関しては、前記特許文献２に記載の「第２の排紙側渡胴」及び「紙取胴」のカム軌道切換機構（特に図４）参照）。

また、前記制御装置２００の出力部は、前記吸引ポンプ２１７と前記バルブ２１８Ａ〜２１８Ｃとに対して、それぞれ電気的に接続しており、当該バルブ２１８Ａ〜２１８Ｃは、当該圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ａ〜１１１Ｃが前記供給胴１２０の前記くわえ爪装置１２１及び前記排出胴１５０の前記くわえ爪装置１５１と対向する際、開放状態となると、前記吸引ポンプ２１７による前記吸引ヘッド１１２Ａ〜１１２Ｃからの吸引を開始し、閉鎖状態となると、前記吸引ポンプ２１７による前記吸引ヘッド１１２Ａ〜１１２Ｃからの吸引を停止することができるようになっている。

また、前記制御装置２００の出力部は、前記版胴１３０を前記ガイドレール１６３に沿ってスライド移動させる前記サーボモータ２１５と、前記コータ胴１４０を前記版胴１３０と同様にしてガイドレールに沿ってスライド移動させるサーボモータ２１６と、前記版胴１３０を軸方向に沿って移動させる前記サーボモータ２１９とに対して、それぞれ電気的に接続している。

他方、前記制御装置２００の入力部には、前記圧胴１１０の回転位相を検出するロータリエンコーダ２２１と、前記供給胴１２０の回転位相を検出するロータリエンコーダ２２２と、前記版胴１３０の回転位相を検出するロータリエンコーダ２２３と、前記コータ胴１４０の回転位相を検出するロータリエンコーダ２２４と、前記排出胴１５０の回転位相を検出するロータリエンコーダ２２５とがそれぞれ電気的に接続されている。

また、前記制御装置２００の入力部には、前記圧胴１１０に対する前記版胴１３０の径方向の位置を検出する前記位置検出器２２６と、前記圧胴１１０に対する前記コータ胴１４０の位置を検出する位置検出器２２７と、前記圧胴に対する前記版胴１３０の軸方向の位置を検出する前記位置検出器２２８とがそれぞれ電気的に接続されている。

また、前記制御装置２００の入力部には、前記アライメントカメラ３０１によって撮像した画像の情報及び前記ロータリエンコーダ２２１によって検出した前記圧胴１１０の回転位相から、前記圧胴１１０によって搬送されるシートＳ上のアライメントマークｍの基準位置に対する回転方向（シートの搬送方向）及び前記圧胴の軸方向（搬送方向に直交しシートに沿う方向）の位置ずれ量を求める前記画像処理装置３０２が電気的に接続されている。

つまり、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１〜２２５、前記位置検出器２２６，２２７，２２８及び前記画像処理装置３０２からの情報に基づいて、前記モータ２０１〜２０５の回転作動、前記インクジェット装置１９１及び前記絶縁インキ供給装置１９２の作動、前記アクチュエータ２１１〜２１４の伸縮作動、前記サーボモータ２１５，２１６の回転作動、前記バルブ２１８Ａ〜２１８Ｃの開閉作動、前記サーボモータ２１９の作動等をそれぞれ制御することができるようになっている（詳細は後述する）。

なお、本実施形態においては、前記アライメントカメラ３０１及び前記画像処理装置３０２等により基材位置検知手段を構成し、前記伝達筒１７１、前記回転板１７２、前記スラスト軸受１７３、前記ねじ軸１７４、前記フランジ板１７５、前記ナットブロック１７６、前記支持板１７７、前記歯車１７８，１７９、前記回転軸１８０、前記ウォームホイール１８１、前記ウォーム軸１８２、前記支持部材１８３、前記サーボモータ２１９等により左右位置調整手段を構成し、前記ブラケット１８８，１８９、前記モータ２０３等により天地位置調整手段を構成している。

このような本実施形態に係る電子デバイス製造装置によるＴＦＴの製造方法を図７Ａ〜７Ｊに基づいて次に説明する。

当初、前記版胴１３０及び前記コータ胴１４０は、前記圧胴１１０から離反する前記退避位置に位置すると共に、前記バルブ２１８Ａ〜２１８Ｃは、前記閉鎖状態となっている。まず、前記版胴１３０の前記版Ｐやシートや機能層等の厚さ等の各種製造条件に基づいて予め規定されている前記圧胴１１０と前記版胴１３０及び前記コータ胴１４０との間の長さ（間隔）を前記制御装置２００にそれぞれ入力すると、当該制御装置２００は、当該間隔となる当該版胴１３０及び当該コータ胴１４０の位置を前記作動位置として設定する。また、これと併せて、前記版胴１３０の前記版Ｐの幅方向の見当を調整するように、前記制御装置２００を作動させて前記サーボモータ２１９を作動させる。

そして、前記制御装置２００は、前記吸引ポンプ２１７を作動させると共に、前記胴１１０，１２０，１３０，１４０を所定の周期で回転させるように、前記ロータリエンコーダ２２１〜２２５からの情報に基づいて、前記モータ２０１〜２０５の作動を制御する。

前記供給胴１２０の前記くわえ爪装置１２１に一枚目のシートＳ１の先端側をくわえさせて当該供給胴１２０の前記有効面１２０ａ上にシートＳ１を保持させて搬送し、当該供給胴１２０の当該くわえ爪装置１２１が前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ａと対向するときに、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２からの情報に基づいて、当該供給胴１２０の当該くわえ爪装置１２１から当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１ＡへシートＳ１の先端側をくわえ替えさせて当該供給胴１２０の当該有効面１２０ａから当該圧胴１１０の前記有効面１１０ａにシートＳ１を保持させるように、前記アクチュエータ２１１，２１２の作動を制御する（図７Ａ参照）と共に、当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ａに先端側をくわえられたシートＳ１の末端側を前記吸引ヘッド１１２Ａに吸引保持させるように、前記バルブ２１８Ａを開放制御する。これにより、シートＳ１は、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上に密着保持される。

また、これと併せて、前記制御装置２００は、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇに導電インキＩｃを供給するように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３からの情報に基づいて、前記インクジェット装置１９１を作動制御する。

続いて、前記制御装置２００は、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇに供給された導電インキＩｃを前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳ１に転写させるように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３及び前記位置検出器２２６からの情報に基づいて、前記サーボモータ２１５の作動を制御して、当該版胴１３０を前記作動位置に移動させる。これにより、シートＳ１上には、Ｇ層が形成される（図７Ｂ参照）。

このとき、シートＳ１の軸方向両側部には図６に示し上述したアライメントマークｍが同時に転写される。また、前記供給胴１２０は、前記くわえ爪装置１２１がシートをくわえることなく空の状態で前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ｂと対向するため、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２からの情報に基づいて、当該胴１１０，１２０でシートを受け渡すことなく当該くわえ爪装置１２１，１１１Ｂを干渉させないように前記アクチュエータ２１１，２１２の作動を制御すると共に、前記バルブ２１８Ａの閉鎖状態をそのまま維持するように当該バルブ２１８Ａの作動を制御する。

そして、前記版胴１３０が、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳ１に導電インキＩｃを転写し終えると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３及び前記位置検出器２２６からの情報に基づいて、当該版胴１３０を前記退避位置に移動させるように前記サーボモータ２１５の作動を制御する。

また、これと併せて、前記制御装置２００は、前記コータ胴１４０の前記ブランケットＢに絶縁インキＩｉを供給するように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２４からの情報に基づいて、前記絶縁インキ供給装置１９２を作動制御する。

続いて、前記制御装置２００は、前記コータ胴１４０の前記ブランケットＢに供給された絶縁インキＩｉを前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳ１に転写させるように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２４及び前記位置検出器２２７からの情報に基づいて、前記サーボモータ２１６の作動を制御して、当該コータ胴１４０を前記作動位置に移動させる。これにより、シートＳ１のＧ層上には、ＧＩ層が形成される（図７Ｃ参照）。

そして、前記コータ胴１４０が、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳ１に絶縁インキＩｉを転写し終えると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２４及び前記位置検出器２２７からの情報に基づいて、当該コータ胴１４０を前記退避位置に移動させるように前記サーボモータ２１６の作動を制御する。

このようにして前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上でＧ層及びＧＩ層を形成されたシートＳ１の先端側をくわえる前記くわえ爪装置１１１Ａが前記排出胴１５０の前記くわえ爪装置１５１と対向するとき、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２５からの情報に基づいて、当該排出胴１５０の当該くわえ爪装置１５１を当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ａに干渉させることなく当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ａから当該排出胴１５０の当該くわえ爪装置１５１へシートＳ１の先端側をくわえ替えさせずに当該圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上にシートＳ１を保持したまま通過させるように、前記アクチュエータ２１１，２１４の作動を制御すると共に、前記バルブ２１８Ａの開放状態をそのまま維持するように当該バルブ２１８Ａの作動を制御する。

このとき、前記供給胴１２０は、前記くわえ爪装置１２１が次のシートＳ２の先端側をくわえて前記有効面１２０ａに保持した状態で前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ｃと対向することから、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２からの情報に基づいて、当該供給胴１２０の当該くわえ爪装置１２１から当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１ＣにシートＳ２の先端側をくわえ替えして当該供給胴１２０の当該有効面１２０ａから当該圧胴１１０の前記有効面１１０ｃにシートＳ２を保持させるように前記アクチュエータ２１１，２１２の作動を制御する（図７Ｄ参照）と共に、当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ｃに先端側をくわえられたシートＳ２の末端側を前記吸引ヘッド１１２Ｃに吸引保持させるように、前記バルブ２１８Ｃを開放制御する。これにより、シートＳ２は、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上に密着保持される。

また、これと併せて、前記制御装置２００は、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇに導電インキＩｃを供給するように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３からの情報に基づいて、前記インクジェット装置１９１を作動制御する。

続いて、前記制御装置２００は、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇに供給された導電インキＩｃを前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上のシートＳ２に転写させるように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３及び前記位置検出器２２６からの情報に基づいて、前記サーボモータ２１５の作動を制御して、当該版胴１３０を前記作動位置に移動させる。これにより、シートＳ２上には、Ｇ層が形成される（図７Ｅ参照）。またこのとき、シートＳ２の軸方向両側部には図６に示し上述したアライメントマークｍが同時に転写される。

また、これと併せて、前記制御装置２００は、前記コータ胴１４０の前記ブランケットＢに絶縁インキＩｉを供給するように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２４からの情報に基づいて、前記絶縁インキ供給装置１９２を作動制御する。

このとき、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａにシートＳ１を保持させている前記くわえ爪装置１１１Ａが、シートを保持していない前記供給胴１２０の前記くわえ爪装置１２１と対向するため、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２からの情報に基づいて、当該胴１１０，１２０でシートを受け渡すことなく当該くわえ爪装置１２１，１１１Ａを干渉させないように前記アクチュエータ２１１，２１２の作動を制御すると共に、前記バルブ２１８Ａの開放状態をそのまま維持するように当該バルブ２１８Ａの作動を制御する。

そして、前記版胴１３０が、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上のシートＳ２に導電インキＩｃを転写し終えると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３及び前記位置検出器２２６からの情報に基づいて、当該版胴１３０を前記退避位置に移動させるように前記サーボモータ２１６の作動を制御すると共に、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｓｄに導電インキＩｃを供給するように、前記インクジェット装置１９１を作動制御する（図７Ｆ参照）。またこのとき、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａに保持されたシートＳ１に付されたアライメントマークｍが前記アライメントカメラ３０１により撮像され、前記画像処理装置３０２によりアライメントマークｍの基準位置に対する位置ずれ量が算出される。

続いて、前記制御装置２００は、前記コータ胴１４０の前記ブランケットＢに供給された絶縁インキＩｉを前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上のシートＳ２に転写させるように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２４及び前記位置検出器２２７からの情報に基づいて、前記サーボモータ２１６の作動を制御して、当該コータ胴１４０を前記作動位置に移動させる。これにより、シートＳ２のＧ層上には、ＧＩ層が形成される。

そして、前記コータ胴１４０が、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上のシートＳ２に絶縁インキＩｉを転写し終えると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２４及び前記位置検出器２２７からの情報に基づいて、当該コータ胴１４０を前記退避位置に移動させるように前記サーボモータ２１６の作動を制御する（図７Ｇ参照）。

また、これと併せて、前記制御装置２００は、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｓｄに供給された導電インキＩｃを前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳ１に転写させるように、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３及び前記位置検出器２２６からの情報に基づいて、前記サーボモータ２１５の作動を制御して、当該版胴１３０を前記作動位置に移動させる。

このとき、前記制御装置２００は、前記位置検出器２２８により検出した前記版胴１３０の前記圧胴１１０に対する軸方向の位置、前記ロータリエンコーダ２２３によって検出した前記版胴１３０の回転位相、及び前記画像処理装置３０２により検出したシートＳ１の基準位置に対する位置ずれ量に基づいて、前記サーボモータ２１９の作動を制御して前記圧胴１１０に対する前記版胴１３０の軸方向の位置を調整すると共に、前記モータ２０３の作動を制御して前記圧胴１１０の回転位相に対する前記版胴１３０の回転位相を調整することにより、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｓｄと前記圧胴１１０によって搬送されるシートＳ１上に形成されたＧ層との軸方向及び回転方向の位置関係（軸方向の位置及びシートの搬送方向の転写位置）を高精度に一致させる。これにより、シートＳ１のＧＩ層上には、Ｇ層と精密に位置合わせをされた状態でＳＤ層が形成される。

そして、前記版胴１３０が、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上のシートＳ１に導電インキＩｃを転写し終えると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２３及び前記位置検出器２２６からの情報に基づいて、当該版胴１３０を前記退避位置に移動させるように前記サーボモータ２１５の作動を制御する（図７Ｈ参照）。

このとき、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上でＧ層及びＧＩ層を形成されたシートＳ２の先端側をくわえる前記くわえ爪装置１１１Ｃが前記排出胴１５０の前記くわえ爪装置１５１と対向するとき、前記制御装置２００は、前述したシートＳ１の場合と同様に、前記ロータリエンコーダ２２１，２２５からの情報に基づいて、当該排出胴１５０の当該くわえ爪装置１５１を当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ｃに干渉させることなく当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ｃから当該排出胴１５０の当該くわえ爪装置１５１へシートＳ２の先端側をくわえ替えさせずに当該圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上にシートＳ２を保持したまま通過させるように、前記アクチュエータ２１１，２１４の作動を制御すると共に、前記バルブ２１８Ｃの開放状態をそのまま維持する。

くわえて、前記供給胴１２０は、前記くわえ爪装置１２１が更に次のシートＳ３の先端側をくわえて前記有効面１２０ａに保持した状態で前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ｂと対向することから、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２からの情報に基づいて、当該供給胴１２０の当該くわえ爪装置１２１から当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１ＢにシートＳ３の先端側をくわえ替えして当該供給胴１２０の当該有効面１２０ａから当該圧胴１１０の前記有効面１１０ｂにシートＳ３を保持させるように前記アクチュエータ２１１，２１２の作動を制御すると共に、当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ｂに先端側をくわえられたシートＳ３の末端側を前記吸引ヘッド１１２Ｂに吸引保持させるように、前記バルブ２１８Ｂを開放制御する。これにより、シートＳ３は、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｂ上に密着保持される。

他方、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上でＧ層，ＧＩ層，ＳＤ層をそれぞれ形成されたシートＳ１は、前記コータ胴１４０から絶縁インキＩｉを転写されることなくそのまま通過する。

そして、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上に保持されたシートＳ１の先端側をくわえる前記くわえ爪装置１１１Ａが前記排出胴１５０の前記くわえ爪装置１５１と対向すると、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２５からの情報に基づいて、当該圧胴１１０の前記吸引ヘッド１１２Ａによる吸引を停止するように、前記バルブ２１８Ａを閉鎖制御すると共に、当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ａから当該排出胴１５０の当該くわえ爪装置１５１へシートＳ１の先端側をくわえ替えさせて当該圧胴１１０の当該有効面１１０ａから当該排出胴１５０の前記有効面１５０ａにシートＳ１を保持させるように、前記アクチュエータ２１１，２１４の作動を制御する（図７Ｉ参照）。これにより、Ｇ層、ＧＩ層、ＳＤ層をそれぞれ形成されたシートＳ１は、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａから離脱され、前記排出胴１５０を介して系外へ排出される。

このとき、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃにシートＳ２を保持させている前記くわえ爪装置１１１Ｂが、シートを保持していない前記供給胴１２０の前記くわえ爪装置１２１と対向するため、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２からの情報に基づいて、シートＳ１の場合と同様に、当該胴１１０，１２０でシートを受け渡すことなく当該くわえ爪装置１２１，１１１Ｂを干渉させないように前記アクチュエータ２１１，２１２の作動を制御すると共に、前記バルブ２１８Ｃの開放状態をそのまま維持するように当該バルブ２１８Ｃの作動を制御する。

その後、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃに保持されたシートＳ２に付されたアライメントマークｍが前記アライメントカメラ３０１により撮像され、前記画像処理装置３０２によりアライメントマークｍの基準位置に対する位置ずれ量が算出される。

また、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｂに保持されたシートＳ３は、前記有効面１１０ａ，１１０ｃに保持されたシートＳ１，Ｓ２の場合と同様にして、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇから導電インキＩｃが転写される。

そして、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｂに保持されたシートＳ３は、前記有効面１１０ａ，１１０ｃに保持されたシートＳ１，Ｓ２の場合と同様にして、前記コータ胴１４０の前記ブランケットＢから絶縁インキＩｉが転写されることにより、Ｇ層上にＧＩ層が形成される。

また、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃに保持されたシートＳ２は、前記有効面１１０ａに保持されたシートＳ１の場合と同様に、前記位置検出器２２８により検出した前記版胴１３０の前記圧胴１１０に対する軸方向の位置、前記ロータリエンコーダ２２３によって検出した前記版胴１３０の回転位相、及び前記画像処理装置３０２により検出したシートＳ２の基準位置に対する位置ずれ量に基づいて、前記サーボモータ２１９の作動を制御して前記圧胴１１０に対する前記版胴１３０の軸方向の位置を調整すると共に、前記モータ２０３の作動を制御して前記圧胴１１０の回転位相に対する前記版胴１３０の回転位相を調整し、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｓｄと前記圧胴１１０によって搬送されるシートＳ２上に形成されたＧ層との軸方向及び回転方向の位置関係を高精度に一致させた状態で、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｓｄから導電インキＩｃが転写されることにより、ＧＩ層上に、Ｇ層と精密に位置合わせをされた状態でＳＤ層が形成される（図７Ｊ参照）。

くわえて、前記供給胴１２０は、前記くわえ爪装置１２１が更に次のシートＳ４の先端側をくわえて前記有効面１２０ａに保持した状態で前記圧胴１１０の前記くわえ爪装置１１１Ａと対向することから、前記制御装置２００は、前記ロータリエンコーダ２２１，２２２からの情報に基づいて、当該供給胴１２０の当該くわえ爪装置１２１から当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１ＡにシートＳ４の先端側をくわえ替えして当該供給胴１２０の当該有効面１２０ａから当該圧胴１１０の前記有効面１１０ａにシートＳ４を保持させるように前記アクチュエータ２１１，２１２の作動を制御すると共に、当該圧胴１１０の当該くわえ爪装置１１１Ａに先端側をくわえられたシートＳ４の末端側を前記吸引ヘッド１１２Ａに吸引保持させるように、前記バルブ２１８Ａを開放制御する。これにより、シートＳ４は、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ上に密着保持される。

以下、上述した作動を繰り返すことにより、シートにＧ層，ＧＩ層，ＳＤ層を順次積層したＴＦＴを連続して製造することができる。

つまり、本実施形態に係る電子デバイス製造装置では、前記版胴１３０によりシートＳ（シートＳ１，Ｓ２，…）にＧ層を形成する際に同時にアライメントマークｍを付し、前記コータ胴によるＧＩ層の形成を介して再度前記版胴１３０によりＳＤ層を形成する際に、前記位置検出器２２８により検出した前記版胴１３０の前記圧胴１１０に対する軸方向の位置、前記ロータリエンコーダ２２３によって検出した前記版胴１３０の回転位相、及び前記画像処理装置３０２により検出したシートＳの基準位置に対する位置ずれ量に基づいて、前記サーボモータ２１９の作動を制御して前記圧胴１１０に対する前記版胴１３０の軸方向の位置を調整すると共に、前記モータ２０３の作動を制御して前記圧胴１１０の回転位相に対する前記版胴１３０の回転位相を調整することにより、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｓｄと前記圧胴１１０によって搬送されるシートＳ上に形成されたＧ層との軸方向及び回転方向の位置関係を高精度に一致させることにより、Ｇ層と精密に位置合わせをされた状態でＳＤ層を形成することができる。

また、二つの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄを有する前記版Ｐを一つの前記版胴１３０に装着したことから、一つの前記インクジェット装置１９１で二つの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄに導電インキＩｃを供給することができるので、非常に高価な当該インクジェット装置１９１の設置数を削減することができ、低コスト化及び省スペース化を図ることができる。

また、三つの前記有効面１１０ａ〜１１０ｃを有する前記圧胴１１０に対して、前記供給胴１２０が一つおきにシートを供給して保持させることから、当該供給胴１２０から次々に供給するシートに対して各層を順次形成することが効率よくでき、ＴＦＴを同時に複数製造することが省スペースで非常に効率よくできる。

〈第二の実施形態〉
本発明に係る電子デバイス製造装置で薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を製造する場合の第二の実施形態を図８に基づいて以下に説明する。

本実施形態は、前述した第一の実施形態において説明したアライメントマークｍに加えて、図８に示すように、シートＳ（Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，…）上にＧ層を形成する際に、シートＳの軸方向一端側の余白部に周方向に沿って一定間隔ｄで複数のアライメントマークＭを設け、前記画像処理装置３０２において、前記アライメントカメラ３０１によって撮像した画像の情報及び前記ロータリエンコーダ２２１によって検出した前記圧胴１１０の回転位相から、前記圧胴１１０によって搬送されるシートＳ上のアライメントマークｍの基準位置に対するシートＳの搬送方向の下流側（図８に示す例では、左右方向の右側）及び軸方向（搬送方向に直交しシートＳに沿う方向）の位置ずれ量を求めることに加え、隣接するアライメントマークＭ間の距離を検出するようにしたものである。

また、シートＳ上にＳＤ層を形成する際に、前記制御装置２００により、前記画像処理装置３０２によって求めた隣接するアライメントマークＭ間の距離及び前記ロータリエンコーダ２０１，２２３からの情報に基づいて前記モータ２０３の回転駆動を制御して、前記圧胴１１０に保持されているシートＳの表面周速に対する前記版胴１３０の表面周速を制御し、前記圧胴１１０によって搬送されるシートの表面周速と前記版Ｐの表面周速との相対差を利用して、シートＳのＧ層上に、当該Ｇ層のアライメントマークＭ間の距離と合致するように、精密に位置合わせをされた状態でＳＤ層を形成する。

より具体的に説明すると、例えば、シートＳに付されたアライメントマークＭ間の距離が設計値よりも短ければ、前記圧胴１１０によって搬送されるシートＳの表面周速に対して前記版Ｐの表面周速が速くなるよう制御し、シートＳに付されたアライメントマークＭ間の距離が設計値よりも長ければ、前記圧胴１１０によって搬送されるシートＳの表面周速に対して前記版Ｐの表面周速が遅くなるよう制御する。

このとき、検出されたアライメントマークＭ間の距離が等間隔ではなかった場合は、それに応じて前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｓｄに供給された導電インキＩｃを一つのシートに転写する際に、前記圧胴１１０と前記版胴１３０の周速差を変化させることも可能である。

本実施形態においては、前記軸受１６１、前記スリーブ１６２、前記ガイドレール１６３、前記スライダ１６４、前記サブフレーム１６５、前記ストッパ１６６等により、転写胴支持手段を構成し、前記ねじ軸１６７、前記ナットブロック１６８、前記支持部材１６９、前記ブラケット１６５ａ，１６８ａ、前記サーボモータ２１５等により、転写胴対接離反移動駆動手段を構成し、前記伝達筒１７１、前記回転板１７２、前記スラスト軸受１７３、前記ねじ軸１７４、前記フランジ板１７５、前記ナットブロック１７６、前記支持板１７７、前記歯車１７８，１７９、前記回転軸１８０、前記ウォームホイール１８１、前記ウォーム軸１８２、前記支持部材１８３、前記サーボモータ２１９等により、転写胴軸方向移動駆動手段を構成し、前記ブラケット１８８，１８９、前記モータ２０３等により、転写胴回転駆動手段を構成し、前記検査カメラ３０３及び前記画像処理装置３０２により版変形検知手段を構成している。

本実施形態に係る電子デバイス製造装置によりＴＦＴを製造する方法について、前述した第一の実施形態と異なる点を次に簡単に説明する。

すなわち、本実施形態においては、シートＳ１，Ｓ２，Ｓ３，…のＧＩ層上にＳＤ層を形成する際、前記制御装置２００は、前記位置検出器２２８により検出した前記版胴１３０の前記圧胴１１０に対する軸方向の位置、前記ロータリエンコーダ２２３によって検出した前記版胴１３０の回転位相、及び前記画像処理装置３０２により検出したシートＳ１，Ｓ２，Ｓ３，…の基準位置に対する位置ずれ量及びアライメントマークＭ間の距離に基づいて、前記サーボモータ２１９の作動を制御して前記圧胴１１０に対する前記版胴１３０の軸方向の位置を調整すると共に、前記モータ２０３の作動を制御して前記圧胴１１０の回転位相に対する前記版胴１３０の回転位相を調整することにより、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｓｄと前記圧胴１１０によって搬送されるシートＳ１，Ｓ２，Ｓ３，…上に形成されたＧ層との軸方向及び回転方向の位置関係を高精度に一致させ、これにより、シートＳ１，Ｓ２，Ｓ３，…のＧＩ層上に、Ｇ層と精密に位置合わせをされた状態でＳＤ層を形成する。

その他の構成は前述した第一の実施形態と概ね同様であり、第一の実施形態と重複する説明については省略する。

このように構成される本実施形態に係る電子デバイス製造装置によれば、前述した第一の実施形態に係る電子デバイス製造装置による作用効果に加えて、シートＳ上に形成されるＧ層とＳＤ層との軸方向及び回転方向の位置関係をより高精度に一致させることができる。

〈他の実施形態〉
なお、前述した第一，第二の実施形態においては、前記モータ２０３の作動を制御して前記圧胴１１０によって搬送されるシートＳ１の回転方向の位置に対する前記版胴１３０の回転方向の位置を調整する例を示したが、他の実施形態として、例えば、前記モータ２０１の作動を制御して前記圧胴１１０の回転位相を調整することにより前記圧胴１１０によって搬送されるシートＳ上に形成されたＧ層と前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｓｄとの回転方向の位置関係を高精度に一致させるようにすることも可能である。

また、前述した第二の実施形態においては、前記画像処理装置３０２により求めたアライメントマークＭ間の距離に基づいて、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上のシートの表面周速に対する前記版胴１３０の表面周速を制御する例を示したが、他の実施形態として、前記画像処理装置３０２により求めたアライメントマークＭ間の距離に基づいて前記版胴１３０の表面周速に対する前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上のシートの表面周速を制御する、又は、前記画像処理装置３０２により求めたアライメントマークＭ間の距離に基づいて前記版胴１３０の表面周速及び前記圧胴１１０の前記有効面１１０ｃ上のシートの表面周速を制御することも可能である。

また、前述した第一，第二の実施形態においては、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄに前記インクジェット装置１９１により導電インキＩｃを供給するようにしたが、他の実施形態として、例えば、インキ壺から移しローラ等を介してインキを版胴に供給するインキ装置や、インキ皿からインキを版胴に直接供給するインキ装置や、インキ皿からファニシャローラやインキ出しローラやインキ着けローラ等を介してインキを版胴に間接的に供給するインキ装置等を適用することも可能である。

また、前述した第一，第二の実施形態においては、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ〜１１０ｃに保持されたシートに対して、前記版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄに供給された導電インキＩｃを直接的に転写するようにしたが、他の実施形態として、例えば、前記圧胴１１０及び前記版胴１３０に対して対接離反移動できるように当該圧胴１１０と当該版胴１３０との間にブランケット胴を回転可能に配設することにより、当該版胴１３０の前記版Ｐの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄに供給された導電インキＩｃを当該ブランケット胴に一旦転写してから上記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ〜１１０ｃに保持されたシートに転写するオフセット方式とすることも可能である。

また、前述した第一，第二の実施形態においては、二つの前記版面Ｐｇ，Ｐｓｄを形成した二倍サイズの前記版Ｐを保持する前記有効面１３０ａを具備する径サイズ（二倍径）の前記版胴１３０を適用した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、必要に応じて、例えば、三つの版面を形成した三倍サイズの版を保持する有効面を具備する径サイズ（三倍径）の版胴を適用することも可能である。

また、前述した第一，第二の実施形態においては、前記吸引ポンプ２１７に接続した前記吸引ヘッド１１２Ａ〜１１２Ｃを前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ〜１１０ｃに設けることにより、シートの搬送方向後方側（末端側）を当該有効面１１０ａ〜１１０ｃに着脱可能に吸引保持するようにしたが、他の実施形態として、例えば、上記吸引ヘッド１１２Ａ〜１１２Ｃ等に代えて、前記圧胴１１０の前記有効面１１０ａ〜１１０ｃ上にシリコンゴム等からなるラバーシートを取り付けておくことにより、シートの搬送方向後方側（末端側）を当該有効面１１０ａ〜１１０ｃに対して着脱可能に密着保持できるようにしても、前述した実施形態と同様な作用効果を得ることができる。

また、前述した第一，第二の実施形態においては、三つの前記有効面１１０ａ〜１１０ｃを有する前記圧胴１１０を適用した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、三つ以上の奇数個（例えば、五つや七つ）の有効面（保持面）を有する圧胴であれば、前述した実施形態の場合と同様にして適用可能である。しかしながら、前述した実施形態のように、三つの前記有効面１１０ａ〜１１０ｃを有する前記圧胴１１０であれば、最も省スペース化を図ることができるので、非常に好ましい。

また、前述した第一，第二の実施形態においては、ＴＦＴを製造する場合について説明したが、本発明はこれに限らず、可撓性を有する基材上に機能性を有する材料を積層して機能層を形成することにより電子デバイスを製造する場合であれば、前述した実施形態の場合と同様にして適用することができる。

また、前述した第一，第二の実施形態においては、転写胴によって機能性インキ（導電インキ，絶縁インキ）をシートに転写する例を示したが、本発明はこれに限らず、インクジェット方式を用いて、インクジェットヘッドから直接シートに機能性インキの転写を行うものであってもよい。この場合、左右位置調整手段と天地位置調整手段はインクジェットヘッドを左右方向、天地方向に移動させるものでもよいし、天地位置調整手段はインクジェットヘッドから機能性インキを転写（射出）するタイミングを変化させるものでもよい。

本発明に係る電子デバイス製造装置は、ＴＦＴ等を印刷法で製造する際に必要となる各工程において、都度の位置合わせを容易に行い、少ない製造工数かつ高精度で電子デバイスを製造することができるので、産業上、極めて有益に利用することができる。

１００Ａ，１００Ｂ メインフレーム
１１０ 圧胴
１１０ａ〜１１０ｃ 有効面
１１１Ａ〜１１１Ｃ くわえ爪装置
１１２Ａ〜１１２Ｃ 吸引ヘッド
１２０ 供給胴
１２０ａ 有効面
１２１ くわえ爪装置
１３０ 版胴
１３０ａ 有効面
１３１ 版保持装置
１４０ コータ胴
１５０ 排出胴
１５０ａ 有効面
１５１ くわえ爪装置
１６１ 軸受
１６２ スリーブ
１６３ ガイドレール
１６４ スライダ
１６５ サブフレーム
１６５ａ ブラケット
１６６ ストッパ
１６７ ねじ軸
１６８ ナットブロック
１６８ａ ブラケット
１６９ 支持部材
１７１ 伝達筒
１７２ 回転板
１７３ スラスト軸受
１７４ ねじ軸
１７５ フランジ板
１７６ ナットブロック
１７７ 支持板
１７７ａ 支持ステー
１７８，１７９ 歯車
１８０ 回転軸
１８１ ウォームホイール
１８２ ウォーム軸
１８３ 支持部材
１８８，１８９ ブラケット
１９１ インクジェット装置
１９２ 絶縁インキ供給装置
２００ 制御装置
２０１〜２０５ モータ
２１１〜２１４ アクチュエータ
２１５，２１６，２１９ サーボモータ
２１５ａ 駆動軸
２１７ 吸引ポンプ
２１８Ａ〜２１８Ｃ バルブ
２２１〜２２５ ロータリエンコーダ
２２６，２２７，２２８ 位置検出器
２２６ａ，２２８ａ リニアスケール
２２６ｂ，２２８ｂ センサ
３０１ アライメントカメラ
３０２ 画像処理装置
Ｐ 版
Ｐｇ，Ｐｓｄ 版面
Ｉｃ 導電インキ
Ｉｉ 絶縁インキ
Ｓ１〜Ｓ４ シート
ｍ，Ｍ アライメントマーク

Claims (3)

1. 可撓性を有する基材に機能性を有する材料を積層して機能層を形成することにより電子デバイスを製造する電子デバイス製造装置であって、
   基材を保持して回転する圧胴と、
   前記圧胴に保持されている基材に機能性を有する材料からなる機能性インキを転写するインキ転写手段と、
   前記圧胴に保持された基材の位置を検出する基材位置検知手段と、
   前記インキ転写手段の前記圧胴の軸方向の位置を調整する左右位置調整手段と、
   前記圧胴と前記インキ転写手段の基材搬送方向の転写位置を調整する天地位置調整手段と、
   前記インキ転写手段により基材に機能性インキを転写する際に、前記基材位置検知手段によって取得した基材の位置に基づいて、前記左右位置調整手段及び前記天地位置調整手段を制御する制御手段と
   を備えたことを特徴とする電子デバイス製造装置。
2. 請求項１に記載の電子デバイス製造装置において、
   前記インキ転写手段が転写胴であり、
   前記圧胴及び前記転写胴をそれぞれ駆動する圧胴駆動装置及び転写胴駆動装置を備え、
   前記天地位置調整手段が、前記圧胴駆動装置及び前記転写胴駆動装置の少なくとも一方から構成され、
   前記制御手段が、前記圧胴駆動装置及び前記転写胴駆動装置の少なくとも一方を制御することによって前記圧胴に保持された基材の基材搬送方向の位置に対する前記転写胴の回転方向の位置を調整する
   ことを特徴とする電子デバイス製造装置。
3. 請求項１に記載の電子デバイス製造装置において、
   前記インキ転写手段が転写胴であり、
   前記転写胴を駆動する転写胴駆動装置を備え、
   前記天地位置調整手段が、前記転写胴駆動装置から構成され、
   前記制御手段が、前記転写胴駆動装置のみを制御することによって前記圧胴に保持された基材の基材搬送方向の位置に対する前記転写胴の回転方向の位置を調整する
   ことを特徴とする電子デバイス製造装置。

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