JP2017179591A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2017179591A5
JP2017179591A5 JP2016241333A JP2016241333A JP2017179591A5 JP 2017179591 A5 JP2017179591 A5 JP 2017179591A5 JP 2016241333 A JP2016241333 A JP 2016241333A JP 2016241333 A JP2016241333 A JP 2016241333A JP 2017179591 A5 JP2017179591 A5 JP 2017179591A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mask
metal layer
unit cell
film
unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016241333A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2017179591A (ja
JP6341434B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to PCT/JP2017/011844 priority Critical patent/WO2017170172A1/ja
Priority to KR1020187026749A priority patent/KR101986331B1/ko
Priority to CN201780018877.5A priority patent/CN108779550B/zh
Priority to TW106110080A priority patent/TWI657156B/zh
Publication of JP2017179591A publication Critical patent/JP2017179591A/ja
Publication of JP2017179591A5 publication Critical patent/JP2017179591A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6341434B2 publication Critical patent/JP6341434B2/ja
Priority to US16/081,828 priority patent/US10920311B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2016241333A 2016-03-29 2016-12-13 成膜マスク、その製造方法及び成膜マスクのリペア方法 Expired - Fee Related JP6341434B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2017/011844 WO2017170172A1 (ja) 2016-03-29 2017-03-23 成膜マスク、その製造方法及び成膜マスクのリペア方法
KR1020187026749A KR101986331B1 (ko) 2016-03-29 2017-03-23 성막 마스크, 그 제조 방법 및 성막 마스크의 리페어 방법
CN201780018877.5A CN108779550B (zh) 2016-03-29 2017-03-23 成膜掩模、其制造方法及成膜掩模的修复方法
TW106110080A TWI657156B (zh) 2016-03-29 2017-03-27 成膜遮罩、其製造方法及成膜遮罩之修補方法
US16/081,828 US10920311B2 (en) 2016-03-29 2018-08-31 Deposition mask, method for manufacturing the same, and method for repairing the same

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016066678 2016-03-29
JP2016066678 2016-03-29

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2017179591A JP2017179591A (ja) 2017-10-05
JP2017179591A5 true JP2017179591A5 (enExample) 2018-02-01
JP6341434B2 JP6341434B2 (ja) 2018-06-13

Family

ID=60005018

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016241333A Expired - Fee Related JP6341434B2 (ja) 2016-03-29 2016-12-13 成膜マスク、その製造方法及び成膜マスクのリペア方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10920311B2 (enExample)
JP (1) JP6341434B2 (enExample)
KR (1) KR101986331B1 (enExample)
CN (1) CN108779550B (enExample)
TW (1) TWI657156B (enExample)

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113737128A (zh) 2017-01-31 2021-12-03 堺显示器制品株式会社 蒸镀掩模、蒸镀掩模及有机半导体元件的制造方法
WO2019186720A1 (ja) * 2018-03-27 2019-10-03 シャープ株式会社 表示デバイスの製造方法、及び表示デバイス
JP6588125B2 (ja) * 2018-04-26 2019-10-09 堺ディスプレイプロダクト株式会社 蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク、および有機半導体素子の製造方法
TWI773911B (zh) * 2018-08-10 2022-08-11 日商大日本印刷股份有限公司 蒸鍍罩、蒸鍍罩裝置、蒸鍍罩之製造方法、蒸鍍罩裝置之製造方法及蒸鍍方法
KR102236542B1 (ko) * 2018-12-03 2021-04-06 주식회사 오럼머티리얼 마스크 지지 템플릿, 마스크 금속막 지지 템플릿, 마스크 지지 템플릿의 제조 방법 및 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
KR102800982B1 (ko) * 2019-01-07 2025-04-30 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체
KR102837467B1 (ko) 2019-02-06 2025-07-24 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 증착 마스크 장치, 마스크 지지 기구 및 증착 마스크 장치의 제조 방법
CN110079762B (zh) * 2019-04-11 2021-06-01 Tcl华星光电技术有限公司 掩膜板及蒸镀oled器件的方法
KR102852453B1 (ko) * 2019-07-02 2025-08-29 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 및 그 제조방법
KR102009714B1 (ko) * 2019-07-15 2019-08-13 (주)세우인코퍼레이션 초미세 와이어를 이용한 다중 다각망 구조의 네트 마스크 제조방법
JP7113861B2 (ja) * 2020-03-13 2022-08-05 キヤノントッキ株式会社 マスク取付装置、成膜装置、マスク取付方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法
KR20220004880A (ko) * 2020-07-03 2022-01-12 삼성디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리 및 이를 포함하는 증착 설비
KR102836418B1 (ko) 2020-09-18 2025-07-22 삼성디스플레이 주식회사 마스크 수리 장치 및 그것을 이용한 마스크 수리 방법
JP2022067159A (ja) * 2020-10-20 2022-05-06 株式会社ジャパンディスプレイ 蒸着マスクユニットとその製造方法
KR20220068327A (ko) 2020-11-18 2022-05-26 삼성디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리 및 그 마스크 어셈블리의 제조 방법
KR102868862B1 (ko) * 2020-12-10 2025-10-13 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 및 이를 포함하는 증착 장치
KR20220113588A (ko) * 2021-02-05 2022-08-16 삼성디스플레이 주식회사 마스크 및 이의 제조 방법
KR102912257B1 (ko) * 2021-07-20 2026-01-14 주식회사 선익시스템 섀도우 마스크의 제조 방법
KR102810615B1 (ko) * 2021-08-25 2025-05-22 주식회사 킵스바이오파마 디스플레이 패널용 증착 마스크 프레임 어셈블리 제조방법
CN113714004B (zh) * 2021-09-18 2022-07-05 广东电网有限责任公司 一种配网安健环自动喷漆装置及其使用方法
KR102936519B1 (ko) * 2021-11-08 2026-03-10 삼성디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리 및 이의 수리방법
KR102427524B1 (ko) * 2021-12-21 2022-08-01 주식회사 핌스 Oled 증착용 대면적 마스크 시트 및 마스크 조립체
KR20230096185A (ko) 2021-12-22 2023-06-30 삼성디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리, 이의 수리방법, 및 이의 제조방법
JP2024009519A (ja) 2022-07-11 2024-01-23 ウシオ電機株式会社 蒸着マスク製造方法
KR20240103148A (ko) * 2022-12-26 2024-07-04 삼성디스플레이 주식회사 마스크 및 그것의 제조 방법
CN120272853B (zh) * 2025-06-09 2025-10-24 浙江众凌科技有限公司 一种掩膜组件及其制备方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4439203B2 (ja) * 2003-05-09 2010-03-24 大日本印刷株式会社 多面付けマスク装置及びその組立方法
JP2009041054A (ja) 2007-08-07 2009-02-26 Sony Corp 蒸着用マスクおよびその製造方法ならびに表示装置の製造方法
KR101094822B1 (ko) * 2009-10-29 2011-12-16 김주환 마스크 용접장치
US9343679B2 (en) * 2012-01-12 2016-05-17 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Method for producing multiple-surface imposition vapor deposition mask, multiple-surface imposition vapor deposition mask obtained therefrom, and method for producing organic semiconductor element
JP6142386B2 (ja) * 2012-12-21 2017-06-07 株式会社ブイ・テクノロジー 蒸着マスクの製造方法
JP6123301B2 (ja) * 2013-01-11 2017-05-10 大日本印刷株式会社 蒸着マスクの製造方法、金属マスク付き樹脂層、及び有機半導体素子の製造方法
JP6078747B2 (ja) * 2013-01-28 2017-02-15 株式会社ブイ・テクノロジー 蒸着マスクの製造方法及びレーザ加工装置
JP6035548B2 (ja) * 2013-04-11 2016-11-30 株式会社ブイ・テクノロジー 蒸着マスク
JP6078818B2 (ja) * 2013-07-02 2017-02-15 株式会社ブイ・テクノロジー 成膜マスク及び成膜マスクの製造方法
KR102130546B1 (ko) * 2013-10-11 2020-07-07 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치
JP2015074826A (ja) * 2013-10-11 2015-04-20 株式会社ブイ・テクノロジー 成膜マスク及びその製造方法
JP6446736B2 (ja) * 2014-07-14 2019-01-09 株式会社ブイ・テクノロジー 成膜方法及び成膜装置
CN108779553B (zh) * 2016-03-23 2021-04-06 鸿海精密工业股份有限公司 蒸镀掩膜及其制造方法、有机半导体元件的制造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6341434B2 (ja) 成膜マスク、その製造方法及び成膜マスクのリペア方法
CN105051243B (zh) 成膜掩模的制造方法
JP7121918B2 (ja) 蒸着マスク装置及び蒸着マスク装置の製造方法
JP6078818B2 (ja) 成膜マスク及び成膜マスクの製造方法
JP2015074826A (ja) 成膜マスク及びその製造方法
JP6142386B2 (ja) 蒸着マスクの製造方法
JP2020109214A5 (ja) 蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法
WO2018110253A1 (ja) 蒸着マスク装置及び蒸着マスク装置の製造方法
JP2005042147A (ja) 蒸着用マスクの製造方法および蒸着用マスク
JP2013245392A (ja) 蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法
CN116288144A (zh) 用于oled蒸镀的大尺寸掩模片及掩模组件
JP2015127446A (ja) 蒸着マスク装置の製造方法および保護フィルム付き蒸着マスク
WO2017170172A1 (ja) 成膜マスク、その製造方法及び成膜マスクのリペア方法
JP6078746B2 (ja) 蒸着マスクの製造方法
JP2008193067A (ja) 金属膜パターン形成方法
CN112534080B (zh) 蒸镀掩模的制造方法和有机el显示装置的制造方法
JP2012170955A (ja) パターン形成方法
JP2009292699A (ja) ガラス基板の切断方法、表示パネル用の基板の切断方法および表示パネル用の基板の製造方法
JP2018197800A (ja) ガラスパネル製造方法および液晶パネル製造方法
JP5343390B2 (ja) マスクの製造方法
TW202447832A (zh) 巨量轉移設備
JP2004305911A (ja) 薄膜メンブレンの形成方法
JP2011200894A (ja) 積層基板の溝加工方法