KR20230096185A - 마스크 어셈블리, 이의 수리방법, 및 이의 제조방법 - Google Patents

마스크 어셈블리, 이의 수리방법, 및 이의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 마스크 어셈블리는, 프레임, 오픈 개구부가 정의되고, 상기 프레임 상에 배치된 오픈 마스크, 상기 오픈 개구부에 중첩하는 증착 개구부들이 정의된 증착부 및 각각이 상기 증착부로부터 멀어지는 방향으로 돌출되는 용접부들을 포함하고, 상기 오픈 마스크 상에 배치된 유닛 마스크, 상기 용접부들 상에 각각 배치된 용접돌기들, 및 상기 유닛 마스크와 분리된 잔여 용접부 및 상기 잔여 용접부 상에 배치된 잔여 용접돌기를 포함하는 잔여 구조물을 포함하고, 상기 잔여 구조물은 상기 용접부들 사이에 배치된다.

Description

마스크 어셈블리, 이의 수리방법, 및 이의 제조방법{MASK ASSEMBLY, METHOD FOR REPAIRING THE SAME, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 수리가 가능한 마스크 어셈블리, 이의 제조방법, 및 이의 수리방법에 관한 것이다.
일반적으로 발광 표시장치는 화소들마다 발광소자가 배치된다. 발광소자는 2개의 전극 사이에 배치된 발광층을 포함한다. 화소들에 배치되는 발광층들은 복수 개의 그룹으로 구분될 수 있다.
복수 개의 그룹의 발광층들을 작업기판에 증착하기 위해, 마스크 어셈블리를 이용한다. 마스크 어셈블리는 프레임, 오픈 마스크, 및 셀 단위의 유닛 마스크를 포함한다. 마스크 상에 작업기판을 배치한 후 발광물질을 작업기판에 증착함으로써 패터닝된 발광층들이 형성될 수 있다. 최근에는 대면적의 표시장치를 제작하기 위해 대면적 마스크를 제조하는 설비 및 이의 수리방법에 관한 기술이 개발되고 있다.
본 발명의 목적은, 불량의 유닛 마스크를 마스크 어셈블리로부터 용이하게 분리하기 위한 마스크 어셈블리, 이의 제조방법, 및 이의 수리방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 목적은, 불량의 유닛 마스크를 오픈 마스크로부터 분리하는 과정에서, 오픈 마스크의 손상을 최소화하기 위한 마스크 어셈블리, 이의 제조방법, 및 이의 수리방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 마스크 어셈블리는, 프레임, 오픈 개구부가 정의되고, 상기 프레임 상에 배치된 오픈 마스크, 상기 오픈 개구부에 중첩하는 증착 개구부들이 정의된 증착부 및 각각이 상기 증착부로부터 상기 증착부와 멀어지는 방향으로 돌출되는 용접부들을 포함하고, 상기 오픈 마스크 상에 배치된 유닛 마스크, 상기 용접부들 상에 각각 배치된 용접돌기들, 및 상기 유닛 마스크와 분리된 잔여 용접부 및 상기 잔여 용접부 상에 배치된 잔여 용접돌기를 포함하는 잔여 구조물을 포함하고, 상기 잔여 구조물은 상기 용접부들 사이에 배치된다.
상기 오픈 개구부를 정의하는 상기 오픈 마스크의 내측 엣지는 평면상에서 상기 증착부에 전면적으로 중첩하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 잔여 구조물은 복수 개이고, 상기 용접부들 및 상기 잔여 구조물들은 교차 배열되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 잔여 구조물은 상기 용접부들 중 인접하는 2개의 용접부들 사이에 복수 개 배치되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 용접부들이 상기 증착부로부터 돌출되는 방향과 교차하는 방향 내에서 상기 잔여 용접부의 길이는 상기 용접부들의 길이와 동일한 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 용접돌기들 각각은 상기 용접부들 중 대응되는 용접부의 내측에 배치된 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 용접부들이 상기 증착부로부터 돌출되는 방향 내에서 상기 잔여 용접부의 길이는 상기 용접부들의 길이보다 작거나 동일한 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 용접돌기들 및 상기 잔여 용접돌기들은, 상기 용접부들이 상기 증착부로부터 돌출되는 방향과 교차하는 방향 내에서 정렬된 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 유닛 마스크의 두께는, 5 마이크로미터 이상 25 마이크로미터 이하인 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 용접부들 각각의 두께는, 상기 증착부의 두께보다 얇은 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명에 따른 마스크 어셈블리 수리방법은, 프레임, 오픈 개구부가 정의된 오픈 마스크, 제1 증착 개구부들이 정의된 제1 증착부 및 상기 제1 증착부로부터 상기 제1 증착부와 멀어지는 방향으로 돌출된 제1 용접부를 포함하는 제1 유닛 마스크, 및 상기 제1 용접부 상에 배치된 제1 용접돌기를 포함하는 마스크 어셈블리를 제공하는 단계, 적어도 상기 제1 증착부가 상기 마스크 어셈블리로부터 제거되도록 상기 제1 증착부와 상기 제1 용접부의 경계 또는 상기 제1 용접부를 컷팅하는 단계, 제2 증착 개구부들이 정의된 제2 증착부 및 상기 제2 증착부로부터 연장된 엣지부를 포함하고, 상기 엣지부는 일 방향으로 연장되고 상기 일 방향과 교차하는 방향으로 나열된 컷팅 라인들이 정의되고, 각각이 상기 컷팅 라인들 중 인접한 컷팅 라인들 사이에 배치되고 상기 교차하는 방향으로 나열된 제1 용접영역, 제2 용접영역, 및 제3 용접영역을 포함하는 제1 영역 및 상기 제1 영역의 외측에 배치된 제2 영역을 포함하는 예비 유닛 마스크를 상기 오픈 마스크 상에 배치시키는 단계, 상기 제2 용접영역과 상기 오픈 마스크를 용접하는 단계, 및 상기 제2 용접영역과 상기 제2 영역의 경계 또는 상기 제2 용접영역, 상기 제1 용접영역과 상기 제2 증착부의 경계 또는 상기 제1 용접영역, 및 상기 제3 용접영역과 상기 제2 증착부의 경계 또는 상기 제3 용접영역을 컷팅하는 상기 예비 유닛 마스크 컷팅 단계를 포함하고, 상기 제1 용접부는, 상기 제1 용접영역과 중첩한다.
상기 제1 증착부와 상기 제1 용접부의 경계 또는 상기 제1 용접부를 컷팅하는 단계에서 상기 제1 용접부의 상기 제1 증착부와 상기 제1 용접부의 경계 및 상기 제1 용접돌기 사이의 영역을 컷팅하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 예비 유닛 마스크 컷팅 단계에서 상기 제2 용접영역으로부터 제2 용접부가 형성되고, 상기 예비 유닛 마스크 컷팅 단계 이후에, 적어도 상기 제2 증착부가 상기 마스크 어셈블리로부터 제거되도록 상기 제2 증착부와 상기 제2 용접부의 경계 또는 상기 제2 용접부를 컷팅하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제2 용접영역과 상기 오픈 마스크를 용접하는 단계에서 상기 제2 용접영역 상에 제2 용접돌기가 형성되고, 평면상에서 상기 제2 용접돌기는 상기 제2 용접영역의 내측에 배치된 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제1 증착부와 상기 제1 용접부의 경계 또는 상기 제1 용접부를 컷팅하는 단계 및 상기 예비 유닛 마스크 컷팅 단계 중 적어도 하나는, 레이저를 이용하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 컷팅 라인들 중 서로 인접한 컷팅 라인들 사이의 간격은 50 마이크로미터 이상인 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 컷팅 라인들 각각의 폭은 40 마이크로미터 이하인 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제1 증착부와 상기 제1 용접부의 경계 또는 상기 제1 용접부를 컷팅하는 단계 이후, 상기 예비 유닛 마스크를 상기 오픈 마스크 상에 배치시키는 단계 이전에, 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향 중 적어도 어느 한 방향으로 상기 예비 유닛 마스크를 인장하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 마스크 어셈블리를 제공하는 단계 이전에, 상기 마스크 어셈블리를 제조하는 단계를 더 포함하고, 상기 마스크 어셈블리를 제조하는 단계는, 상기 제1 증착 개구부들이 정의된 상기 제1 증착부 및 상기 제1 증착부로부터 연장된 엣지부를 포함하고, 상기 엣지부는 상기 일 방향으로 연장되고 상기 일 방향과 교차하는 방향으로 나열된 컷팅 라인들이 정의되고, 각각이 상기 컷팅 라인들 중 인접한 컷팅 라인들 사이에 배치되고 상기 교차하는 방향으로 나열된 제1 용접영역, 제2 용접영역, 및 제3 용접영역을 포함하는 제1 영역 및 상기 제1 영역의 외측에 배치된 제2 영역을 포함하는 예비 유닛 마스크를 상기 오픈 마스크 상에 배치시키는 단계, 상기 제1 용접영역과 상기 오픈 마스크를 용접하는 단계, 및 상기 제1 유닛 마스크가 형성되도록 상기 제1 용접영역과 상기 제2 영역의 경계 또는 상기 제1 용접영역, 상기 제2 용접영역과 상기 제1 증착부의 경계 또는 상기 제2 용접영역, 및 상기 제3 용접영역과 상기 제1 증착부의 경계 또는 상기 제3 용접영역을 컷팅하는 상기 예비 유닛 마스크 컷팅 단계를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명에 따르면, 증착 수율이 향상되고 증착 신뢰성이 개선된 마스크 어셈블리를 제공할 수 있고, 유닛 마스크를 다수 회 교체 가능함으로써 표시패널의 생산 수율을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 분해 사시도이다.
도 3a는 도 2의 PP’ 영역을 확대한 평면도이다.
도 3b는 도 2의 PP’ 영역을 확대한 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 수리방법을 도시한 흐름도이다.
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 제조방법을 도시한 평면도이다.
도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 제조방법을 도시한 사시도이다.
도 5c는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 제조방법을 도시한 단면도이다.
도 5d는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 제조방법을 도시한 평면도이다.
도 5e는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 제조방법을 도시한 단면도이다.
도 5f는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 제조방법을 도시한 평면도이다.
도 5g는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 제조방법을 도시한 단면도이다.
도 5h는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 제조방법을 도시한 평면도이다.
도 5i는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 제조방법을 도시한 단면도이다.
도 6a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 수리방법을 도시한 평면도이다.
도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 수리방법을 도시한 단면도이다.
도 6c 내지 도 6g는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 수리방법을 도시한 평면도이다.
도 7a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 제조방법을 도시한 평면도이다.
도 7b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 제조방법을 도시한 사시도이다.
도 8는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리를 도시한 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널의 단면도이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 “상에 있다”, “연결된다”, 또는 “결합된다”고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. “및/또는”은 연관된 구성요소들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, “아래에”, “하측에”, “위에”, “상측에” 등의 용어는 도면에 도시된 구성요소들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 갖는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 여기서 명시적으로 정의되지 않는 한 너무 이상적이거나 지나치게 형식적인 의미로 해석되어서는 안 된다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비의 단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비(EDA)는, 증착 챔버(CB), 고정부재(CM), 증착 챔버(CB)의 내측에 배치된 증착 소스(DS), 및 증착 챔버(CB)의 내측에 배치된 마스크 어셈블리(MSA)를 포함한다. 별도로 도시하지 않았으나, 증착 설비(EDA)는 인라인 시스템을 구현하기 위한 추가 기계장치를 더 포함할 수 있다.
증착 챔버(CB)는 증착조건을 진공으로 설정할 수 있다. 증착 챔버(CB)는 바닥면, 천장면, 및 측벽들을 포함할 수 있다. 증착 챔버(CB)의 바닥면은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)이 정의하는 면과 평행한다. 증착 챔버(CB)의 바닥면의 법선 방향은 제3 방향(DR3)이 지시한다.
고정부재(CM)는 증착 챔버(CB)의 내측에 배치되고, 증착 소스(DS) 상에 배치되며, 마스크 어셈블리(MSA)를 고정할 수 있다. 고정부재(CM)는 증착 챔버(CB)의 천장면에 설치될 수 있다. 고정부재(CM)는 마스크 어셈블리(MSA)를 홀딩하는 지그 또는 로봇암을 포함할 수 있다.
고정부재(CM)는 바디부(BP) 및 바디부(BP)에 결합된 자성체들(MM)을 포함할 수 있다. 바디부(BP)는 마스크 어셈블리(MSA)를 고정하기 위한 기본구조로써 플레이트를 포함할 수 있으며, 이에 제한되지 않는다. 자성체들(MM)은 바디부(BP)의 내측에 배치되거나, 외측에 배치될 수 있다. 자성체들(MM)은 자기력으로 마스크 어셈블리(MSA)를 고정함으로써, 베이스 기판(BS)과 마스크 어셈블리(MSA)를 밀착시킬 수 있다.
증착 소스(DS)는 증착 물질(EM), 예컨대 발광 물질을 증발시켜 증기로써 분사할 수 있다. 분사된 증착 물질(EM)은, 마스크 어셈블리(MSA)를 통과하여, 소정의 패턴으로 베이스 기판(BS)에 증착된다. 베이스 기판(BS)은 도 9를 참조하여 설명할 표시패널(DP)을 제조하는 중간 단계의 기판으로 정의된다.
마스크 어셈블리(MSA)는 증착 챔버(CB)의 내측에 배치되고, 증착 소스(DS) 상에 배치될 수 있다. 마스크 어셈블리(MSA)는 마스크 어셈블리(MSA) 상에 배치되는 베이스 기판(BS)을 지지할 수 있다.
본 실시예에서, 마스크 어셈블리(MSA)는 프레임(FR), 오픈 마스크(OM), 및 유닛 마스크(UM)를 포함할 수 있다. 본 발명에 따른 하나의 유닛 마스크(UM)는 하나의 표시패널(DP)을 구성하는 셀 단위로 증착할 수 있는 마스크일 수 있다. 이에 대한 자세한 설명은 후술한다.
베이스 기판(BS)은 마스크 어셈블리(MSA) 및 고정부재(CM) 사이에 배치될 수 있다. 베이스 기판(BS)은 유리 기판 또는 플라스틱 기판을 포함할 수 있다. 베이스 기판(BS)은 상기 유리 기판 또는 상기 플라스틱 기판 상에 배치된 고분자층을 포함할 수 있다. 베이스 기판(BS)은 본 발명의 증착 설비(EDA)로 형성되는 층의 기저면으로 제공될 수 있다. 따라서, 베이스 기판(BS)은 표시패널(DP, 도 9 참조)의 일 구성으로써, 후술하는 표시패널(DP) 중 증착 공정에 의해 형성되는 구성의 하부에 배치된 층이면 어느 하나로 한정되지 않는다. 또한, 베이스 기판(BS)은 표시패널(DP)의 제조공정 완료 후, 표시패널(DP)로부터 제거될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 분해 사시도이다. 도 3a는 도 2의 PP’ 영역을 확대한 평면도이다. 도 3b는 도 2의 PP’ 영역을 확대한 평면도이다.
도 2를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA)는 프레임(FR), 오픈 마스크(OM), 및 유닛 마스크(UM)를 포함할 수 있다.
프레임(FR)은 오픈 마스크(OM) 및 유닛 마스크(UM)의 하부에 배치되어, 오픈 마스크(OM) 및 유닛 마스크(UM)를 지지할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 프레임(FR)은 제1 방향(DR1)으로 연장된 스틱들 및 제2 방향(DR2)으로 연장된 스틱들을 포함할 수 있다. 제2 방향(DR2)으로 연장된 스틱들은 각각 제1 방향(DR1)으로 연장된 스틱들의 양단으로부터 연장될 수 있다. 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 연장된 스틱들은 서로 연속되어 프레임 개구부(OP-F)를 정의할 수 있다.
증착 소스(DS, 도 1 참조)로부터 분사된 증착 물질(EM, 도 1 참조)은 프레임 개구부(OP-F)를 통과하여, 후술할 오픈 마스크(OM) 및 유닛 마스크(UM)에 정의된 개구부들을 통과할 수 있다.
본 실시예에서, 한 개의 프레임 개구부(OP-F)가 정의된 프레임(FR)을 예시적으로 도시하였으나, 프레임(FR)에는 복수 개의 프레임 개구부들(OP-F)이 정의될 수도 있다. 또한, 하나의 오픈 마스크(OM)는 복수 개의 프레임들(FR)에 의해 지지될 수도 있다.
프레임(FR)의 형상은 특별히 제한되지 않고, 오픈 마스크(OM)를 지지할 수 있는 형상이면 충분하다. 또한, 프레임(FR)은 증착 챔버(CB, 도 1 참조)의 측벽에 고정된 구성일 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
프레임(FR)은 금속 물질로 구성될 수 있다. 프레임(FR)은, 예컨대, 스테인레스 스틸(SUS), 인바(Invar), 니켈(Ni), 니켈-코발트 합금, 니켈-철 합금 등을 포함할 수 있다.
오픈 마스크(OM)는 프레임(FR) 상에 배치될 수 있다. 오픈 마스크(OM)는 프레임(FR)과 접촉하는 하면(L-M) 및 이에 대향되는 상면(U-M)을 포함할 수 있다. 오픈 마스크(OM)는, 평면상에서, 제1 방향(DR1)으로 연장된 장변들 및 제2 방향(DR2)으로 연장된 단변들을 갖는 사각 형상을 가질 수 있다.
오픈 마스크(OM)에는 오픈 마스크(OM)가 상면(U-M)으로부터 하면(L-M)까지 제3 방향(DR3)으로 제거되어 형성된 오픈 개구부(OP-M)가 정의될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 오픈 마스크(OM)에는 복수 개의 오픈 개구부들(OP-M)이 정의될 수 있다. 오픈 개구부들(OP-M)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 나열될 수 있다. 도 2에는, 오픈 개구부들(OP-M)이 5x3 배열을 갖는 것을 예시적으로 도시하였으나, 오픈 개구부들(OP-M)의 개수 및 배열은 이에 한정되지 않는다.
오픈 개구부들(OP-M)은 프레임 개구부(OP-F)에 중첩하게 배치될 수 있다. 따라서, 증착 소스(DS, 도 1 참조)로부터 분사된 증착 물질(EM, 도 1 참조)은 프레임 개구부(OP-F)의 간섭 없이 오픈 개구부들(OP-M)로 제공될 수 있다.
오픈 개구부들(OP-M) 각각을 정의하는 오픈 마스크(OM)의 내측면(I-M)은, 제1 방향(DR1)으로 연장된 단변들 및 상기 단변들로부터 제2 방향(DR2)으로 연장된 장변들을 포함할 수 있다. 오픈 개구부들(OP-M) 각각은 직사각 형상을 가질 수도 있고, 장변과 단변이 마주하는 모서리가 평면상에서 라운드진(또는, 소정의 곡률을 갖는) 사각 형상을 가질 수도 있다.
오픈 마스크(OM)는 금속 물질로 구성될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 오픈 마스크(OM)는 스테인레스 스틸(SUS), 인바(Invar), 니켈(Ni), 코발트(Co), 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
유닛 마스크(UM)는 오픈 마스크(OM) 상에 배치될 수 있다. 즉, 유닛 마스크(UM)는 오픈 마스크(OM)의 상면(U-M)에 배치될 수 있다. 유닛 마스크(UM)는 오픈 마스크(OM)와 접촉하는 하면(L1) 및 이에 대향되는 상면(U1)을 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 유닛 마스크(UM)는 복수 개로 제공될 수 있다. 유닛 마스크들(UM)은 오픈 개구부들(OP-M)과 대응되어 배치될 수 있다. 즉, 유닛 마스크들(UM) 각각은 오픈 개구부들(OP-M) 중 대응되는 오픈 개구부에 중첩하여 배치될 수 있다.
이에 따라, 유닛 마스크들(UM)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 나열될 수 있다. 도 2에는, 유닛 마스크들(UM)이 5x3 배열을 갖는 것을 예시적으로 도시하였으나, 유닛 마스크들(UM)의 개수 및 배열은 이에 한정되지 않는다.
유닛 마스크들(UM) 각각은 금속 물질로 구성될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 유닛 마스크들(UM) 각각은 스테인레스 스틸(SUS), 인바(Invar), 니켈(Ni), 코발트(Co), 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 유닛 마스크들(UM) 각각에는 유닛 마스크(UM)가 상면(U1)으로부터 하면(L1)까지 제3 방향(DR3)으로 제거되어 형성된 증착 개구부들(OP-E)이 정의될 수 있다.
증착 개구부들(OP-E)은 오픈 개구부(OP-M)에 의해 오픈 마스크로(OM)부터 노출될 수 있다. 따라서, 증착 소스(DS, 도 1 참조)로부터 분사된 증착 물질(EM, 도 1 참조)은 오픈 개구부(OP-M)의 간섭 없이 증착 개구부들(OP-E)로 제공될 수 있고, 증착 물질(EM)은 베이스 기판(BS, 도 1 참조) 상에 증착되어 증착 개구부들(OP-E)에 대응되는 증착 패턴을 형성할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 유닛 마스크들(UM) 각각의 두께는 5 마이크로미터 이상 25 마이크로미터 이하일 수 있다. 유닛 마스크들(UM) 각각의 두께가 25 마이크로미터를 초과하는 경우, 유닛 마스크들(UM)과 베이스 기판(BS) 사이의 밀착력이 감소되어, 베이스 기판(BS) 상에 기 설정된 증착 패턴 이외에 증착 물질(EM)이 증착되는 섀도우 현상이 발생될 수 있다. 이에 따라, 높은 해상도의 표시패널(DP, 도 9 참조)을 제조함에 있어, 불량의 표시패널(DP)을 제공할 수 있다.
도 3a는, 수리과정을 거치기 전의 마스크 어셈블리를 도시한 것이다. 본 실시예에 따르면, 마스크 어셈블리(MSA, 도 2 참조)는 프레임(FR, 도 2 참조), 오픈 마스크(OM), 제1 유닛 마스크(UM1), 및 제1 용접돌기들(WS1)을 포함할 수 있다. 제1 유닛 마스크(UM1)는 도 2에서 설명한 유닛 마스크(UM)에 대응될 수 있다.
도 3a를 참조하면, 일 실시예에 따른 제1 유닛 마스크(UM1)는 제1 증착부(EP1) 및 제1 용접부들(WP1)을 포함할 수 있다.
제1 증착부(EP1)에는 제1 증착 개구부들(OP-E1)이 정의될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 제1 증착 개구부들(OP-E1)은 제1 및 제2 방향(DR1, DR2)으로 배열될 수 있다. 다만, 제1 증착 개구부들(OP-E1)의 배열 방향은 이에 한정되지 않는다.
일 실시예에 따르면, 제1 증착 개구부들(OP-E1)은 평면상에서 사각 형상일 수 있다. 다만, 제1 증착 개구부들(OP-E1)의 형상은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 다이아몬드 형상을 가질 수도 있고 원 형상을 가질 수도 있다.
제1 유닛 마스크(UM1)는 오픈 개구부(OP-M)를 정의하는 오픈 마스크(OM)의 내측 엣지가 평면상에서 제1 증착부(EP1)에 전면적으로 중첩하도록 배치될 수 있다. 도 3a에서, 오픈 마스크(OM)의 오픈 개구부(OP-M)는 일점 쇄선으로 도시하였다.
제1 용접부들(WP1)은 제1 증착부(EP1)로부터 돌출될 수 있다. 제1 용접부들(WP1) 각각은 제1 증착부(EP1)로부터 제1 증착부(EP1)와 멀어지는 방향으로 돌출될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제1 증착부(EP1)는 각각이 제1 방향(DR1)으로 연장되고 서로 제2 방향(DR2)으로 마주하는 끝단들 및 각각이 제2 방향(DR2)으로 연장되고 서로 제1 방향(DR1)으로 마주하는 끝단들을 포함할 수 있다. 이때, 제1 용접부들(WP1)의 일부는 제1 증착부(EP1) 중 제1 방향(DR1)으로 연장된 끝단들로부터 제2 방향(DR2) 및 이의 반대 방향으로 돌출될 수 있다. 제1 용접부들(WP1)의 나머지 일부는 제1 증착부(EP1) 중 제2 방향(DR2)으로 연장된 끝단들로부터 제1 방향(DR1) 및 이의 반대 방향으로 돌출될 수 있다.
제1 용접돌기들(WS1)은 각각 제1 유닛 마스크(UM1)의 제1 용접부들(WP1) 상에 배치될 수 있다. 제1 용접돌기들(WS1) 각각은 제1 용접부들(WP1) 중 대응되는 제1 용접부의 내측에 배치될 수 있다.
제1 용접돌기들(WS1)은 제1 유닛 마스크(UM1)를 오픈 마스크(OM)에 결합시키기 위해, 제1 유닛 마스크(UM1) 및 오픈 마스크(OM)를 용접하는 과정에서 형성되는 것일 수 있다.
도 3b는, 1회의 수리과정을 진행한 마스크 어셈블리(MSA, 도 2 참조)를 도시한 것이다. 도 3b를 참조하면, 본 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA)는 프레임(FR, 도 2 참조), 오픈 마스크(OM), 제1 잔여 구조물들(RS1), 제2 유닛 마스크(UM2), 및 제2 용접돌기들(WS2)을 포함할 수 있다. 제2 유닛 마스크(UM2)는, 도 2에서 설명한 유닛 마스크(UM)에 대응될 수 있다. 도 1 내지 도 3a에서 설명한 구성과 동일/유사한 구성에 대해 동일/유사한 참조 부호를 사용하며, 중복된 설명은 생략한다.
본 실시예에서, 제1 잔여 구조물들(RS1)은 제1 잔여 용접부들(WP1-R) 및 제1 잔여 용접돌기들(WS1-R)을 포함할 수 있다.
본 실시예에서, 제1 잔여 구조물들(RS1)은 제1 유닛 마스크(UM1, 도 3a 참조)로부터 형성되는 것일 수 있다. 본 발명에 따르면, 손상된 제1 유닛 마스크(UM1)를 컷팅하여 제1 유닛 마스크(UM1)의 일부를 마스크 어셈블리(MSA)로부터 분리시킬 수 있다. 이때, 제1 용접부들(WP1, 도 3a 참조) 각각의 적어도 일부 및 제1 용접돌기들(WS1, 도 3a 참조)은 오픈 마스크(OM) 상에 남겨지도록, 제1 유닛 마스크(UM1)를 컷팅할 수 있다.
이때, 오픈 마스크(OM) 상에 남겨진 제1 용접부들(WP1) 각각을 제1 잔여 용접부들(WP1-R)로 정의할 수 있다. 또한, 오픈 마스크(OM) 상에 남겨진 제1 용접돌기들(WS1) 각각을 제1 잔여 용접돌기들(WS1-R)로 정의할 수 있다. 제1 잔여 용접돌기들(WS1-R)은 각각 제1 잔여 용접부들(WP1-R) 상에 배치될 수 있다. 상기 컷팅하는 과정에 대한 자세한 설명은 후술한다.
본 실시예에서, 제2 유닛 마스크(UM2)는 손상된 제1 유닛 마스크(UM1)의 일부가 제거된 후, 오픈 마스크(OM) 상에 배치된 새것의 유닛 마스크일 수 있다.
제2 유닛 마스크(UM2)는 제2 증착부(EP2) 및 제2 용접부들(WP2)을 포함할 수 있다.
제2 증착부(EP2)에는 제2 증착 개구부들(OP-E2)이 정의될 수 있다. 제2 용접부들(WP2)은 제2 증착부(EP2)로부터 제2 증착부(EP2)와 멀어지는 방향으로 돌출될 수 있다.
본 실시예에서, 제2 용접부들(WP2)은 각각 제1 잔여 구조물들(RS1) 사이에 배치될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 제2 용접부들(WP2) 및 제1 잔여 구조물들(RS1)은 서로 교차 배열될 수 있다. 즉, 제1 잔여 구조물들(RS1) 또한 제2 용접부들(WP2) 사이에 각각 배치될 수 있다.
다만, 도 3b에는, 1회의 수리과정을 거친 마스크 어셈블리(MSA)를 도시한 것으로, 다수 회의 수리과정을 거친 마스크 어셈블리(MSA)는, 제2 용접부들(WP2) 중 인접하는 2개의 제2 용접부들(WP2) 사이에 배치된 복수 개의 제1 잔여 구조물들(RS1)을 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제2 용접부들(WP2)이 제2 증착부(EP2)로부터 돌출되는 방향과 교차하는 방향 내에서, 제1 잔여 용접부(RS1)의 길이는 제2 용접부들(WP2)의 길이와 동일할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제2 용접부들(WP2)이 제2 증착부(EP2)로부터 돌출되는 방향 내에서, 제1 잔여 용접부(RS1)의 길이는 제2 용접부들(WP2)의 길이보다 작거나 동일할 수 있다.
제2 용접돌기들(WS2)은 각각 제2 유닛 마스크(UM2)의 제2 용접부들(WP2) 상에 배치될 수 있다. 제2 용접돌기들(WS2) 각각은 제2 용접부들(WP2) 중 대응되는 제2 용접부의 내측에 배치될 수 있다.
제2 용접돌기들(WS2)은 제2 유닛 마스크(UM2)를 오픈 마스크(OM)에 결합시키기 위해, 제2 유닛 마스크(UM2)와 오픈 마스크(OM)를 용접하는 과정에서 형성되는 것일 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제2 용접돌기들(WS2) 및 제1 잔여 용접돌기들(WS1-R)은 서로 교차 배열될 수 있다. 또한, 제2 용접돌기들(WS2) 및 제1 잔여 용접돌기들(WS1-R)은, 제2 용접부들(WP2)이 제2 증착부(EP2)로부터 돌출되는 방향과 교차하는 방향 내에서 정렬될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 수리방법을 도시한 흐름도이다.
도 4를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA, 도 2 참조)의 수리 방법은, 마스크 어셈블리(MSA)를 제조하는 단계(S10), 마스크 어셈블리(MSA)를 사용하는 단계(S20), 및 마스크 어셈블리(MSA)를 수리하는 단계(S30)를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 마스크 어셈블리(MSA)를 수리하는 단계(S30) 이후에, 마스크 어셈블리(MSA)를 사용하는 단계(S20) 및 마스크 어셈블리(MSA)를 수리하는 단계(S30)는 복수 회 반복될 수 있다. 예를 들어, 상기 복수 회는 20회 이상일 수 있다.
이하, 도 5a 내지 도 5h를 참조하여, 마스크 어셈블리(MSA)를 제조하는 단계(S10)에 대한 자세한 설명을 진행한다. 또한, 도 6a 내지 도 6g를 참조하여, 마스크 어셈블리(MSA)를 수리하는 단계(S30)에 대한 자세한 설명을 진행한다.
도 5a, 도 5d, 도 5f, 및 도 5h는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 제조방법을 도시한 평면도들이다. 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 제조방법을 도시한 사시도이다. 도 5c, 도 5e, 및 도 5g는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 제조방법을 도시한 단면도들이다.
도 5a를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA, 도 2 참조)를 제조하는 단계(S10, 도 4 참조)는, 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)를 제공하는 단계를 포함할 수 있다.
제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)는 제1 증착부(EP1) 및 제1 엣지부(SP1)를 포함할 수 있다.
제1 증착부(EP1)에는 제1 증착 개구부들(OP-E1)이 정의될 수 있다. 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)의 제1 증착부(EP1) 및 제1 증착 개구부들(OP-E1)은 각각 도 3a에서 설명한 제1 유닛 마스크(UM1)의 제1 증착부(EP1) 및 제1 증착 개구부들(OP-E1)과 대응될 수 있다.
제1 엣지부(SP1)는 제1 증착부(EP1)로부터 연장되는 부분일 수 있다. 본 실시예에서, 제1 엣지부(SP1)는 복수 개일 수 있다. 예를 들어, 제1 엣지부들(SP1)은 제1 증착부(EP1)로부터 제1 방향(DR1) 및 이의 반대 방향으로 연장되며, 서로 제1 방향(DR1)으로 마주하는 두 개의 제1 엣지부들(SP1)을 포함할 수 있다. 또한, 제1 엣지부들(SP1)은 제1 증착부(EP1)로부터 제2 방향(DR2) 및 이의 반대 방향으로 연장되며, 서로 제2 방향(DR2)으로 마주하는 두 개의 제1 엣지부들(SP1)을 포함할 수 있다.
본 실시예에서, 제1 엣지부들(SP1) 각각은 제1 영역(A1-1) 및 제2 영역(A2-1)을 포함할 수 있다.
제1 영역(A1-1)은 제1 컷팅 라인들(CL1)이 정의된 영역일 수 있다. 제1 컷팅 라인들(CL1)은 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)의 상면으로부터 하면까지, 즉, 제3 방향(DR3)으로 관통되어 형성될 수 있다.
제1 컷팅 라인들(CL1) 각각은, 대응되는 제1 엣지부(SP1)가 제1 증착부(EP1)로부터 연장되는 방향으로 연장될 수 있다. 제1 컷팅 라인들(CL1)은, 대응되는 제1 엣지부(SP1)가 제1 증착부(EP1)로부터 연장되는 방향과 교차하는 방향으로 나열될 수 있다.
따라서, 제1 증착부(EP1)로부터 제1 방향(DR1)으로 연장된 제1 엣지부들(SP1)에는, 각각이 제1 방향(DR1)으로 연장되고 제2 방향(DR2)으로 나열된 제1 컷팅 라인들(CL1)이 정의될 수 있다. 제1 증착부(EP1)로부터 제2 방향(DR2)으로 연장된 제1 엣지부들(SP1)에는, 각각이 제2 방향(DR2)으로 연장되고 제1 방향(DR1)으로 나열된 제1 컷팅 라인들(CL1)이 정의될 수 있다.
제1 영역(A1-1)은, 제1 컷팅 라인들(CL1)의 일단들을 따라 연장된 가상의 선과 제1 컷팅 라인들(CL1)의 타단들을 따라 연장된 가상의 선 사이의 영역일 수 있다.
제1 컷팅 라인들(CL1) 중 서로 인접한 제1 컷팅 라인들(CL1) 사이의 간격(D)은, 50 마이크로미터 이상일 수 있다. 제1 컷팅 라인들(CL1) 각각의 연장 방향에 대한 길이(L)는, 50 마이크로미터 이상일 수 있다. 서로 인접한 제1 컷팅 라인들(CL1) 사이의 간격(D)이 50 마이크로미터 미만이거나, 제1 컷팅 라인들(CL1) 각각의 연장 방향에 대한 길이(L)가 50 마이크로미터 미만인 경우, 이후 단계에서 형성될 제1 용접돌기들(WS1) 각각의 길이보다 짧아질 수 있고, 마스크 어셈블리(MSA)를 제조하는 단계(S10, 도 4 참조) 또는 마스크 어셈블리(MSA)를 수리하는 단계(S30, 도 4 참조)에서 제거되어야 할 부분의 일부가 제거되지 않을 수 있다.
제1 컷팅 라인들(CL1)이 나열되는 방향에서, 제1 컷팅 라인들(CL1)의 폭은, 40 마이크로미터 이하일 수 있다. 바람직하게는, 제1 컷팅 라인들(CL1) 각각의 나열되는 방향에 대한 폭은, 10 마이크로미터 이상 30 마이크로미터 이하일 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제1 컷팅 라인들(CL1)은 포토리소그래피 공정으로 형성될 수 있다. 상기 포토리소그래피 공정은, 제1 유닛 마스크(UM1)의 제1 엣지부들(SP1)의 형상을 제조하는 포토리소그래피 공정과 동시에 진행될 수 있다. 다만, 제1 컷팅 라인들(CL1)을 형성하는 방법은 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
제2 영역(A2-1)은, 제1 영역(A1-1)의 외측에 배치된 영역으로 정의할 수 있다. 즉, 제2 영역(A2-1)은 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I) 중 가장 외측에 배치될 수 있다.
도 5b를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA, 도 2 참조)를 제조하는 단계(S10, 도 4 참조)는, 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)를 인장하는 단계를 포함할 수 있다.
제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)의 제2 영역들(A2-1) 상에 지지부들(ST)이 배치될 수 있다. 일 실시예에 따른 지지부들(ST)은 제1 지지부들(ST1) 및 제2 지지부들(ST2)을 포함할 수 있다.
제1 지지부들(ST1)은 각각 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)의 제2 영역(A2-1)들 중 제1 방향(DR1)으로 연장된 제2 영역들(A2-1)의 끝단들에 인접하여 배치될 수 있다. 제2 지지부들(ST2)은 각각 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)의 제2 영역(A2-1)들 중 제2 방향(DR2)으로 연장된 제2 영역들(A2-1)의 끝단들에 인접하여 배치될 수 있다.
제1 지지부들(ST1)은 각각 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)에 제2 방향(DR2) 및 이의 반대 방향으로 인장력을 가할 수 있다. 제2 지지부들(ST2)은 각각 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)에 제1 방향(DR1) 및 이의 반대 방향으로 인장력을 가할 수 있다.
지지부들(ST)은 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)의 끝단을 고정하여 인장력을 가할 수 있는 것이면 다양한 실시예들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 지지부들(ST)은 다공성 척 또는 클램프 등과 같은 장치 일 수 있다. 이때, 다공성 척은 진공 척(Vacuum chuck)일 수 있다.
도 5c를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA, 도 2 참조)를 제조하는 단계(S10, 도 4 참조)는, 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)를 오픈 마스크(OM) 상에 배치시키는 단계를 포함할 수 있다.
본 실시예에서, 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)는, 오픈 개구부(OP-M)를 정의하는 오픈 마스크(OM)의 내측면(I-M)이 평면상에서 제1 증착부(EP1)의 내부에 전면적으로 중첩하도록 배치될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 오픈 마스크(OM) 및 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)가 제3 방향(DR3)으로 연장되도록 세워진 상태로 배치될 수 있다. 이때, 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)의 상면은 다공성 척에 접촉될 수 있다. 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)는 다공성 척에 의해 이동되어 오픈 마스크(OM)의 상면(U-M)에 접촉될 수 있다.
다만, 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)를 배치시키는 공정은 이에 한정되는 것은 아니며, 도 5c에 도시된 것과 같이, 수평한 상태에서 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)를 배치시킬 수 있다.
도 5d 및 도 5e를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA, 도 2 참조)를 제조하는 단계(S10, 도 4 참조)는, 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)와 오픈 마스크(OM)를 용접하는 단계를 포함할 수 있다.
본 실시예에 따른 제1 영역(A1-1)은, 제1 용접영역(W1-1), 제2 용접영역(W2-1), 및 제3 용접영역(W3-1)을 포함할 수 있다.
제1 내지 제3 용접영역들(W1-1, W2-1, W3-1) 각각은 제1 컷팅 라인들(CL1) 중 서로 인접한 제1 컷팅 라인들 사이에 배치될 수 있다. 즉, 제1 컷팅 라인들(CL1)의 양 끝단들을 연결한 가상의 선들 사이의 영역으로 정의된 제1 영역(A1-1)에 있어서, 제1 내지 제3 용접영역들(W1-1, W2-1, W3-1)은 제1 컷팅 라인들(CL1)에 의해 구분되어 정의된 영역들일 수 있다.
제1 내지 제3 용접영역들(W1-1, W2-1, W3-1)은 제1 컷팅 라인들(CL1)의 연장 방향과 교차하는 방향으로 나열될 수 있다. 도 5d에서는, 제1 내지 제3 용접영역들(W1-1, W2-1, W3-1)이 나란히 배치되며, 제1 내지 제3 용접영역들(W1-1, W2-1, W3-1)이 반복적으로 배열되는 것을 예시적으로 도시하였다.
일 실시예에 따르면, 제1 용접영역들(W1-1)과 오픈 마스크(OM)를 용접하여, 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)와 오픈 마스크(OM)를 결합할 수 있다.
도 5e에 도시된 것과 같이, 본딩기(BD)를 이용하여 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)를 오픈 마스크(OM)에 결합시킬 수 있다. 본딩기(BD)는 용접기 또는 레이저 발진기일 수 있다. 본딩기(BD)는 제1 영역(A1-1)의 제1 용접영역(W1-1) 상에 열선 또는 레이저선을 제공할 수 있다. 이때, 오픈 마스크(OM)의 일부가 용융됨으로써 오픈 마스크(OM)와 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)가 결합될 수 있다.
제1 용접영역(W1-1)에서의 용접이 이루어진 후, 제1 용접영역(W1-1) 상에 제1 용접돌기들(WS1)이 형성될 수 있다. 도 5e에 도시된 것과 같이, 제1 용접돌기들(WS1)은, 단면상에서 제1 용접영역(W1-1)으로부터 돌출되며 형성될 수 있다. 다만, 이에 한정되지 않고, 제1 용접돌기들(WS1) 중 일부는 제1 용접영역(W1-1)으로부터 돌출되지 않을 수 있다.
도 5f 내지 도 5i를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA, 도 2 참조)를 제조하는 단계(S10, 도 4 참조)는, 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)를 컷팅하는 단계를 포함할 수 있다.
도 5f를 참조하면, 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)를 컷팅하는 단계는, 제1 용접영역(W1-1)과 제2 영역(A2-1)의 경계 또는 제1 용접영역(W1-1)을 컷팅하는 단계를 포함할 수 있다. 제1 용접영역(W1-1)에 제1 트리밍 라인(TL1)을 정의할 수 있고, 제1 트리밍 라인(TL1)을 따라 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)를 컷팅할 수 있다.
제1 트리밍 라인(TL1)은 제1 용접영역(W1-1)과 제2 영역(A2-1)의 경계로 정의될 수 있다. 또는, 제1 트리밍 라인(TL1)은 제1 용접영역(W1-1) 내에서, 제1 용접돌기(WS1)보다 제2 영역(A2-1)에 인접하며, 제1 용접영역(W1-1)을 정의하는 두 개의 제1 컷팅 라인들(CL1) 중 어느 하나의 제1 컷팅 라인으로부터 다른 하나의 제1 컷팅 라인까지 연장된 라인으로 정의될 수 있다. 도 5f에는, 제1 트리밍 라인(TL1)이 제1 용접영역(W1-1)과 제2 영역(A2-1)의 경계로 정의된 것을 예시적으로 도시하였다.
본 실시예에 따르면, 제1 트리밍 라인(TL1)을 따라 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)를 컷팅한 후에도, 제1 용접돌기(WS1)가 오픈 마스크(OM) 상에 남아있을 수 있고, 컷팅된 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)는 오픈 마스크(OM)와의 결합을 유지할 수 있다.
제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)를 컷팅하는 단계는, 제2 용접영역(W2-1)과 제1 증착부(EP1)의 경계 또는 제2 용접영역(W2-1)을 컷팅하는 단계를 포함할 수 있다. 제2 용접영역(W2-1)에 제2 트리밍 라인(TL2)을 정의할 수 있고, 제2 트리밍 라인(TL2)을 따라 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)를 컷팅할 수 있다.
제2 트리밍 라인(TL2)은 제2 용접영역(W2-1)과 제1 증착부(EP1)의 경계로 정의될 수 있다. 또는, 제2 트리밍 라인(TL2)은 제2 용접영역(W2-1) 내에서, 제2 용접영역(W2-1)을 정의하는 두 개의 제1 컷팅 라인들(CL1) 중 어느 하나의 제1 컷팅 라인으로부터 다른 하나의 제1 컷팅 라인까지 연장된 라인으로 정의될 수 있다. 도 5f에는, 제2 트리밍 라인(TL2)이 제2 용접영역(W2-1)과 제1 증착부(EP1)의 경계로 정의된 것을 예시적으로 도시하였다.
제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)를 컷팅하는 단계는, 제3 용접영역(W3-1)과 제1 증착부(EP1)의 경계 또는 제3 용접영역(W3-1)을 컷팅하는 단계를 포함할 수 있다. 제3 용접영역(W3-1)에 제3 트리밍 라인(TL3)을 정의할 수 있고, 제3 트리밍 라인(TL3)을 따라 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)를 컷팅할 수 있다.
제3 트리밍 라인(TL3)은 제3 용접영역(W3-1)과 제1 증착부(EP1)의 경계로 정의될 수 있다. 또는, 제3 트리밍 라인(TL3)은 제2 용접영역(W2-1) 내에서, 제3 용접영역(W3-1)을 정의하는 두 개의 제1 컷팅 라인들(CL1) 중 어느 하나의 제1 컷팅 라인으로부터 다른 하나의 제1 컷팅 라인까지 연장된 라인으로 정의될 수 있다. 도 5f에는, 제3 트리밍 라인(TL3)이 제3 용접영역(W3-1)과 제1 증착부(EP1)의 경계로 정의된 것을 예시적으로 도시하였다.
일 실시예에 따르면, 제3 트리밍 라인(TL3)은 제2 트리밍 라인(TL2)의 일단으로부터 연장됨에 따라, 제2 트리밍 라인(TL2) 및 제3 트리밍 라인(TL3)은 하나의 라인으로 정의될 수 있다. 다만, 이에 한정되지 않는다.
본 실시예에 따르면, 제1 내지 제3 트리밍 라인들(TL1, TL2, TL3) 각각은 복수 개로 정의될 수 있고, 반복되는 제1 내지 제3 용접영역들(W1-1, W2-1, W3-1)의 배열 방향에 대해, 제1 내지 제3 트리밍 라인들(TL1, TL2, TL3) 또한 반복하여 나열될 수 있다.
도 5g에 도시된 바와 같이, 제1 절단기(CT1)를 이용하여, 제1 내지 제3 트리밍 라인들(TL1, TL2, TL3)을 따라, 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)를 컷팅할 수 있다. 본 실시예에서, 제1 절단기(CT1)는 제1 내지 제3 트리밍 라인들(TL1, TL2, TL3)을 따라 빔을 조사하여 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)를 컷팅할 수 있다.
제1 절단기(CT1)는 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)에 빔을 제공하여, 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)의 일부를 제거할 수 있다면, 다양한 실시예들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 절단기(CT1)는 열 조사기, 광 조사기, 레이저 발진기 등을 포함할 수 있다.
제1 내지 제3 트리밍 라인들(TL1, TL2, TL3)은 동일한 제1 절단기(CT1)에 의해 동시에 컷팅될 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 내지 제3 트리밍 라인들(TL1, TL2, TL3)은 서로 시간차를 두어 순차적으로 컷팅될 수도 있고, 각각 별도의 절단기들에 의해 컷팅될 수도 있다.
도 5h 및 도 5i에 도시된 바와 같이, 제1 내지 제3 트리밍 라인들(TL1, TL2, TL3)을 따라 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)의 일부를 컷팅함으로써, 제2 용접영역(W2-1)의 적어도 일부, 제3 용접영역(W3-1)의 적어도 일부, 및 제2 영역(A2-1)의 전체가 제거될 수 있다.
이에 따라, 제1 용접영역(W1-1)의 적어도 일부 및 제1 증착부(EP1)가 오픈 마스크(OM) 상에 남을 수 있고, 컷팅된 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)로부터 제1 유닛 마스크(UM1)가 형성될 수 있다.
제1 유닛 마스크(UM1)는 제1 증착부(EP1) 및 제1 용접부들(WP1)을 포함할 수 있다.
본 실시예에서, 제1 증착부(EP1)는, 제2 및 제3 트리밍 라인들(TL2, TL3)을 따라 컷팅한 후, 제2 용접영역(W2-1, 도 5f 참조)의 적어도 일부 및 제3 용접영역(W3-1, 도 5f 참조)의 적어도 일부와 분리될 수 있다. 도 5h에는, 제2 용접영역들(W2-1, 도 5f 참조) 및 제3 용접영역들(W3-1, 도 5f 참조)이 전부 제거된 것을 예시적으로 도시하였다. 다만, 이에 한정되지 않고, 제2 용접영역들(W2-1)의 일부 및 제3 용접영역들(W3-1)의 일부는 제거되지 않을 수도 있다.
본 실시예에서, 제1 용접부들(WP1)은, 제1 트리밍 라인들(TL1)을 따라 컷팅한 후, 제1 용접영역들(W1-1) 중 오픈 마스크(OM) 상에 남은 제1 용접영역들(W1-1)을 포함하는 부분으로 정의할 수 있다.
도 5a 내지 도 5i를 참조하여 설명한 바와 같이, 마스크 어셈블리(MSA, 도 2 참조)를 제조하는 단계(S10, 도 4 참조)를 통해, 제1 유닛 마스크(UM1)를 포함하는 마스크 어셈블리(MSA)를 완성할 수 있다. 이후, 마스크 어셈블리(MSA)를 사용하는 단계(S20, 도 4 참조)에서, 완성된 마스크 어셈블리(MSA)를 사용하여 도 1에서 설명한 증착 공정을 진행할 수 있다.
본 발명에 따르면, 상기와 같이 마스크 어셈블리(MSA)를 사용하는 단계(S20)에서, 제1 유닛 마스크(UM1)의 일부가 손상되어 증착 품질에 문제가 발생한 경우, 마스크 어셈블리(MSA)를 수리하는 단계(S30, 도 4 참조)를 진행할 수 있다.
제1 유닛 마스크(UM1)의 손상은, 제1 유닛 마스크(UM1)의 상면(U1), 하면(L1), 및 제1 증착 개구부들(OP-E1)을 정의하는 내측면(I1)의 일부가 손상된 것일 수 있다. 또한, 제1 유닛 마스크(UM1)의 손상은 제1 증착 개구부들(OP-E1)의 일부에 증착 물질(EM, 도 1 참조)이 축적되어 제1 증착 개구부들(OP-E1)의 일부가 막힌 상태일 수 있다.
다만, 이에 한정되지 않고, 다른 일 실시예에 따르면, 마스크 어셈블리(MSA)를 제조하는 단계(S10)에서, 제1 유닛 마스크(UM1)의 일부가 손상되어 제공되는 경우에도, 마스크 어셈블리(MSA)를 수리하는 단계(S30)를 진행할 수 있다.
이하, 마스크 어셈블리(MSA)를 수리하는 단계(S30)에 대해 설명한다.
도 6a 및 도 6c 내지 도 6g는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 수리방법을 도시한 평면도이다. 도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 수리방법을 도시한 단면도이다. 도 1 내지 도 5h에서 설명한 구성과 동일/유사한 구성에 대해 동일/유사한 참조 부호를 사용하며, 중복된 설명은 생략한다.
도 6a를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA, 도 2 참조)를 수리하는 단계(S30, 도 4 참조)는, 마스크 어셈블리(MSA)를 제공하는 단계를 포함할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 마스크 어셈블리(MSA)는 프레임(FR, 도 2 참조), 오픈 마스크(OM, 도 2 참조), 제1 유닛 마스크(UM1), 및 제1 용접돌기들(WS1)을 포함할 수 있다.
제1 유닛 마스크(UM1)는 제1 증착부(EP1) 및 제1 용접부들(WP1)을 포함할 수 있다. 제1 용접돌기들(WS1)은 각각 제1 용접부들(WP1) 상에 배치될 수 있다. 도 6a에 도시된 제1 유닛 마스크(UM1) 및 제1 용접돌기들(WS1)은 각각 도 5h에 도시된 제1 유닛 마스크(UM1) 및 제1 용접돌기들(WS1)과 대응될 수 있다.
본 실시예에서, 제1 유닛 마스크(UM1)는, 마스크 어셈블리(MSA)를 사용하는 단계(S20, 도 4 참조) 또는 마스크 어셈블리(MSA)를 제조하는 단계(S10, 도 4 참조)에서 손상된 것일 수 있다.
도 6a 내지 도 6c를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA, 도 2 참조)를 수리하는 단계(S30, 도 4 참조)는, 제1 증착부(EP1)와 제1 용접부들(WP1)의 경계 또는 제1 용접부들(WP1)을 컷팅하는 단계를 포함할 수 있다. 본 실시예에 따르면, 제1 용접부들(WP1)은 각각 리페어 라인들(RL)을 따라 컷팅될 수 있다.
리페어 라인들(RL) 각각은 대응되는 제1 증착부(EP1)와 제1 용접부들(WP1)의 경계로 정의될 수 있다. 또는, 리페어 라인들(RL) 각각은 대응되는 제1 용접부(WP1) 내에서, 대응되는 제1 용접돌기(WS1)보다 제1 증착부(EP1)에 인접하며, 대응되는 제1 용접부(WP1)를 정의하는 두 개의 제1 컷팅 라인들(CL1) 중 어느 하나의 제1 컷팅 라인으로부터 다른 하나의 제1 컷팅 라인까지 연장된 라인으로 정의될 수 있다. 즉, 리페어 라인(RL)은 제1 용접부(EP1)의 제1 증착부(EP1)와 제1 용접부(EP1)의 경계 및 제1 용접돌기(WS1) 사이의 영역을 컷팅하도록 정의될 수 있다.
도 6a에는, 리페어 라인들(RL) 각각이 대응되는 제1 용접부(WP1)와 제1 증착부(EP1)의 경계로 정의된 것을 예시적으로 도시하였다.
도 6b에 도시된 바와 같이, 제2 절단기(CT2)를 이용하여, 리페어 라인들(RL)을 따라, 제1 유닛 마스크(UM1)를 컷팅할 수 있다. 본 실시예에서, 제2 절단기(CT2)는 리페어 라인들(RL)을 따라 빔을 조사하여 제1 유닛 마스크(UM1)를 컷팅할 수 있다.
제2 절단기(CT2)는 제1 유닛 마스크(UM1)에 빔을 제공하여, 제1 유닛 마스크(UM1)의 일부를 제거할 수 있다면 다양한 실시예들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2 절단기(CT2)는 열 조사기, 광 조사기, 레이저 발진기 등을 포함할 수 있다.
리페어 라인들(RL)을 따라 제1 유닛 마스크(UM1)의 일부를 컷팅함으로써, 제1 증착부(EP1)가 제거될 수 있다. 이에 따라, 제1 유닛 마스크(UM1) 중 제1 용접부들(WP1) 각각의 적어도 일부 및 제1 용접돌기들(WS1)이 오픈 마스크(OM) 상에 남을 수 있다.
본 발명과 달리, 제1 유닛 마스크(UM1) 자체를 탈착하여 마스크 어셈블리(MSA)로부터 분리시키는 경우, 탈착시키는 과정에서 가하여진 외부의 힘에 의해 오픈 마스크(OM)가 손상될 수 있다. 다만, 본 발명에 따르면, 제1 유닛 마스크(UM1)를 탈착하지 않더라도 제1 유닛 마스크(UM1)의 일부를 제거함으로써, 오픈 마스크(OM)의 손상을 최소화할 수 있다. 이를 통해, 증착 수율이 향상되고 증착 신뢰도가 개선된 마스크 어셈블리(MSA)를 제공할 수 있다.
도 6c에 도시된 바와 같이, 컷팅된 제1 유닛 마스크(UM1, 도 6a 참조)로부터 제1 잔여 구조물들(RS1)이 형성될 수 있다. 제1 잔여 구조물들(RS1)은 제1 잔여 용접부들(WP1-R) 및 제1 잔여 용접돌기들(WS1-R)을 포함할 수 있다.
본 실시예에서, 제1 잔여 용접부들(WP1-R)은, 리페어 라인(RL)을 따라 컷팅한 후, 제1 용접부들(WP1) 중 오픈 마스크(OM) 상에 남은 제1 용접부들(WP1)로 정의할 수 있다.
도 6c에는, 제1 용접부들(WP1, 도 6a 참조)이 전부 오픈 마스크(OM) 상에 남아, 제1 용접부들(WP1)이 전부 제1 잔여 용접부들(WP1-R)로 정의된 것을 예시적으로 도시하였다.
본 실시예에서, 제1 잔여 용접돌기들(WS1-R)은, 리페어 라인들(RL)을 따라 컷팅한 후, 오픈 마스크(OM) 상에 남은 제1 용접돌기들(WS1, 도 6a 참조)로 정의할 수 있다.
도 6d를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA, 도 2 참조)를 수리하는 단계(S30, 도 4 참조)는, 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)를 오픈 마스크(OM) 상에 배치시키는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)는, 도 5a에 도시한 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)와 동일한 구성 및 동일한 형상을 가질 수 있다. 이때, 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)는 제조용 예비 유닛 마스크로 정의될 수 있고, 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)는 수리용 예비 유닛 마스크로 정의될 수 있다. 도 5a에서 설명한 구성과 동일/유사한 구성에 대해 동일/유사한 참조 부호를 사용하며, 중복된 설명은 생략한다.
제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)는, 제2 증착부(EP2) 및 제2 엣지부(SP2)를 포함할 수 있다. 제2 증착부(EP2)에는 제2 증착 개구부들(OP-E2)이 정의될 수 있다.
제2 엣지부(SP2)는 제1 영역(A1-2) 및 제2 영역(A2-2)을 포함할 수 있다. 제1 영역(A1-2)은 제2 컷팅 라인들(CL2)을 포함할 수 있다. 제1 영역(A1-2)은 제2 컷팅 라인들(CL2)로 정의된 제1 내지 제3 용접영역들(W1-2, W2-2, W3-2)을 포함할 수 있다. 제2 영역(A2-2)은 제1 영역(A1-2)의 외측에 배치될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)를 오픈 마스크(OM, 도 5c 참조) 상에 배치시키는 단계는, 도 5c에 도시된 것과 유사하게 진행될 수 있다.
본 실시예에서, 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I) 및 오픈 마스크(OM) 사이에 제1 잔여 구조물들(RS1)이 배치될 수 있다. 제1 잔여 구조물들(RS1)이 각각 제1 용접영역들(W1-2)에 중첩하도록 배치할 수 있다. 따라서, 제1 잔여 구조물들(RS1)은 각각 제1 용접영역들(W1-2)과 전면적으로 중첩할 수 있다.
본 발명에 따르면, 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)는 제2 컷팅 라인들(CL2)을 포함하고, 제1 잔여 구조물들(RS1)을 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)의 일 용접영역과 중첩하게 배치함으로써, 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)의 하부에 제1 잔여 구조물들(RS1)이 배치되더라도, 제1 잔여 구조물들(RS1)의 두께는 증착 품질에 영향을 주지 않을 수 있다.
도 6d에는, 제1 잔여 구조물들(RS1)이 각각 제1 용접영역들(W1-2)에 중첩한 것을 예시적으로 도시하였으나, 제1 잔여 구조물들(RS1)은 각각 제3 용접영역들(W3-2)에 중첩하도록 배치할 수도 있다.
일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA)를 수리하는 단계는, 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)를 오픈 마스크(OM) 상에 배치시키는 단계 이전에, 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)를 인장시키는 단계를 더 포함할 수 있다. 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)를 인장시키는 단계는, 도 5b에 도시한 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)를 인장시키는 단계와 유사하게 진행될 수 있다.
도 6e를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA, 도 2 참조)를 수리하는 단계(S30, 도 4 참조)는, 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)와 오픈 마스크(OM, 도 2 참조)를 용접하는 단계를 포함할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)의 제2 용접영역들(W2-1)과 오픈 마스크(OM)를 용접하여, 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)와 오픈 마스크(OM)를 결합할 수 있다.
본 발명에 따르면, 제1 영역(A1-2) 중 제1 잔여 구조물들(RS1)과 비 중첩한 영역에서 용접을 진행할 수 있고, 제1 잔여 구조물들(RS1)이 오픈 마스크(OM) 상에 남아있더라도 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)를 오픈 마스크(OM)와 결합할 수 있다.
또한, 서로 동일한 구성 및 형상을 갖는 제1 및 제2 예비 유닛 마스크(UM1-I, UM2-I)를 사용하더라도, 제1 및 제2 컷팅 라인들(CL1, CL2)로 정의된 용접영역들(WP1-1 내지 WP3-1 및 WP1-2 내지 WP3-2) 중 용접하는 영역을 서로 달리하여, 수리된 마스크 어셈블리를 제공할 수 있다.
도 6e에는 제2 용접영역들(W2-1)에서 용접하는 것을 예시적으로 도시하였으나, 제3 용접영역들(W3-2)에서 용접할 수도 있다.
제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)와 오픈 마스크(OM)를 용접하는 단계는, 도 5e에 도시된 것과 유사하게 진행될 수 있다.
제2 용접영역들(W2-1)에서의 용접이 이루어진 후, 제2 용접영역들(W2-1) 상에 제2 용접돌기들(WS2)이 형성될 수 있다. 제2 용접돌기들(WS2) 각각은 제2 용접영역들(W2-1) 중 대응되는 제2 용접영역의 내측에 배치될 수 있다.
도 6f 및 도 6g를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA, 도 2 참조)를 수리하는 단계(S30, 도 4 참조)는, 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)를 컷팅하는 단계를 포함할 수 있다.
도 6f를 참조하면, 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)를 컷팅하는 단계는, 제2 용접영역(W2-2)과 제2 영역(A2-2)의 경계 또는 제2 용접영역(W2-2)을 컷팅하는 단계를 포함할 수 있다. 제2 용접영역(W2-2)에 제4 트리밍 라인(TL4)을 정의할 수 있고, 제4 트리밍 라인(TL4)을 따라 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)를 컷팅할 수 있다.
제4 트리밍 라인(TL4)은 제2 용접영역(W2-2)과 제2 영역(A2-2)의 경계로 정의될 수 있다. 또는, 제4 트리밍 라인(TL4)은 제2 용접영역(W2-2) 내에서, 제2 용접돌기(WS2)보다 제2 영역(A2-2)에 인접하며, 제2 용접영역(W2-2)을 정의하는 두 개의 제2 컷팅 라인들(CL2) 중 어느 하나의 제2 컷팅 라인으로부터 다른 하나의 제2 컷팅 라인까지 연장된 라인으로 정의될 수 있다. 도 6f에는, 제4 트리밍 라인(TL4)이 제2 용접영역(W2-2)과 제2 영역(A2-2)의 경계로 정의된 것을 예시적으로 도시하였다.
본 실시예에 따르면, 제4 트리밍 라인(TL4)을 따라 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)를 컷팅한 후에도, 제2 용접돌기(WS2)가 오픈 마스크(OM) 상에 남아있을 수 있고, 컷팅된 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)는 오픈 마스크(OM)와의 결합을 유지할 수 있다.
제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)를 컷팅하는 단계는, 제1 용접영역(W1-2)과 제2 증착부(EP2)의 경계 또는 제1 용접영역(W1-2)을 컷팅하는 단계를 포함할 수 있다. 제1 용접영역(W1-2)에 제5 트리밍 라인(TL5)을 정의할 수 있고, 제5 트리밍 라인(TL5)을 따라 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)를 컷팅할 수 있다.
제5 트리밍 라인(TL5)은 제1 용접영역(W1-2)과 제2 증착부(EP2)의 경계로 정의될 수 있다. 또는, 제5 트리밍 라인(TL5)은 제2 용접영역(W2-2) 내에서, 제2 용접영역(W2-2)을 정의하는 두 개의 제2 컷팅 라인들(CL2) 중 어느 하나의 제2 컷팅 라인으로부터 다른 하나의 제2 컷팅 라인까지 연장된 라인으로 정의될 수 있다. 도 6f에는, 제5 트리밍 라인(TL5)이 제1 용접영역(W1-2)과 제2 증착부(EP2)의 경계로 정의된 것을 예시적으로 도시하였다.
본 실시예에서, 제5 트리밍 라인(TL5)은, 대응되는 제1 잔여 용접부(WP1-R)의 제2 영역(A2-2)에 인접한 끝단과 일치하거나, 상기 끝단보다 제2 증착부(EP2)에 인접하도록 정의될 수 있다.
따라서, 본 발명에 따르면, 제5 트리밍 라인(TL5)을 따라 컷팅된 후, 오픈 마스크(OM) 상에 남은 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)는, 제1 잔여 용접부(WP1-R)와 이격되어 증착 품질에 대한 제1 잔여 구조물(RS1)의 두께의 영향이 최소화할 수 있다.
제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)를 컷팅하는 단계는, 제3 용접영역(W3-2)과 제2 증착부(EP2)의 경계 또는 제3 용접영역(W3-2)을 컷팅하는 단계를 포함할 수 있다. 제3 용접영역(W3-2)에 제6 트리밍 라인(TL6)을 정의할 수 있고, 제6 트리밍 라인(TL6)을 따라 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)를 컷팅할 수 있다.
제6 트리밍 라인(TL6)은 제3 용접영역(W3-2)과 제2 증착부(EP2)의 경계로 정의될 수 있다. 또는, 제6 트리밍 라인(TL6)은 제2 용접영역(W2-2) 내에서, 제3 용접영역(W3-1)을 정의하는 두 개의 제2 컷팅 라인들(CL2) 중 어느 하나의 제2 컷팅 라인으로부터 다른 하나의 제2 컷팅 라인까지 연장된 라인으로 정의될 수 있다. 도 6f에는, 제6 트리밍 라인(TL6)이 제3 용접영역(W3-2)과 제2 증착부(EP2)의 경계로 정의된 것을 예시적으로 도시하였다.
본 실시예에 따르면, 제4 내지 제6 트리밍 라인들(TL4, TL5, TL6) 각각은 복수 개로 정의될 수 있고, 반복되는 제1 내지 제3 용접영역들(W1-2, W2-2, W3-2)의 배열 방향에 대해, 제4 내지 제6 트리밍 라인들(TL4, TL5, TL6) 또한 반복하여 나열될 수 있다.
제4 내지 제6 트리밍 라인들(TL4, TL5, TL6)을 따라 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)를 절단하는 단계는, 도 5g에 도시된 것과 유사하게 진행될 수 있다.
도 6f 및 도 6g에 도시된 바와 같이, 제4 내지 제6 트리밍 라인들(TL4, TL5, TL6)을 따라 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)의 일부를 컷팅함으로써, 제1 용접영역(W1-2)의 적어도 일부, 제3 용접영역(W3-2)의 적어도 일부, 및 제2 영역(A2-2)의 전체가 제거될 수 있다. 이에 따라, 제2 용접영역(W2-2)의 적어도 일부, 제2 영역(A2-2), 및 제2 증착부(EP2)가 오픈 마스크(OM) 상에 남을 수 있다.
컷팅된 제2 예비 유닛 마스크(UM2-I)로부터 제2 유닛 마스크(UM2)가 형성될 수 있다. 제2 유닛 마스크(UM2)는 제2 증착부(EP2) 및 제2 용접부들(WP2)을 포함할 수 있다.
본 실시예에서, 제2 증착부(EP2)는, 제5 및 제6 트리밍 라인들(TL5, TL6)을 따라 컷팅한 후, 제1 용접영역(W1-2)의 적어도 일부 및 제3 용접영역(W3-2)의 적어도 일부와 분리될 수 있다. 도 6g에는, 제1 용접영역들(W1-2) 및 제3 용접영역들(W3-2)이 전부 제거된 것을 예시적으로 도시하였다. 다만, 이에 한정되지 않고, 제1 용접영역들(W1-2)의 일부 및 제3 용접영역들(W3-2)의 일부는 제거되지 않을 수도 있다.
본 실시예에서, 제2 용접부들(WP2)은, 제4 트리밍 라인들(TL4)을 따라 컷팅한 후, 제2 용접영역(W2-2) 중 오픈 마스크(OM) 상에 남은 제2 용접영역들(W2-2)을 포함하는 부분으로 정의할 수 있다.
제1 잔여 구조물들(RS1)은 오픈 마스크(OM)로부터 노출될 수 있다.
본 발명에 따르면, 예비 유닛 마스크는 컷팅 라인들이 정의된 상태로 제공함으로써, 유닛 마스크를 형성하도록 예비 유닛 마스크를 컷팅하는 단계에서, 컷팅 라인들의 연장 방향과 교차하는 방향으로 연장된 트리밍 라인들을 용접영역들마다 다르게 설정할 수 있다. 즉, 절단되는 예비 유닛 마스크의 영역을 쉽게 설정할 수 있다. 이에 따라, 트리밍 라인들은, 새로 형성된 용접돌기들이 제거되지 않음과 동시에 잔여 구조물들과 중첩하는 부분이 제거되도록 설정할 수 있고, 잔여 구조물들과 이격된 유닛 마스크를 제작할 수 있다. 따라서, 본 발명의 마스크 어셈블리(MSA)는 다수 회의 수리가 가능함으로써, 표시패널(DP, 도 9 참조)의 생산 수율을 높일 수 있다.
이후, 제2 유닛 마스크(UM2)에 손상이 발생하는 경우, 도 6a 내지 도 6c에서 설명한 것과 동일한 방법으로, 적어도 제2 증착부(EP2)가 마스크 어셈블리(MSA)로부터 제거되도록 제2 증착부(EP2)와 제2 용접부들(WP2)의 경계 또는 제2 용접부들(WP2)을 컷팅하여, 손상된 제2 유닛 마스크(UM2)를 제거할 수 있다.
또한, 이후, 도 6d 내지 도 6g에서 설명한 것과 동일한 방법으로, 제3 용접영역(W3-1)에서의 용접을 통해 새로운 유닛 마스크와 오픈 마스크(OM)를 결합할 수 있다.
본 명세서에서는, 나란히 배열된 제1 내지 제3 용접영역들(W1-1, W2-1, W3-1, W1-2, W2-2, W3-2)이 반복하여 배열되는 것을 예시적으로 도시하였으나, 반복되는 용접영역들의 개수는 이에 한정되지 않고, 더 많을 수 있다. 도 6a 내지 도 6g의 공정들은, 반복되는 용접영역들의 개수에 대응하여 반복될 수 있다.
도 7a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 제조방법을 도시한 평면도이다. 도 7b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 제조방법을 도시한 사시도이다. 도 1 내지 도 6g에서 설명한 구성과 동일/유사한 구성에 대해 동일/유사한 참조 부호를 사용하며, 중복된 설명은 생략한다.
도 7a를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA, 도 2 참조)를 제조하는 단계(S10, 도 4 참조)는, 제1 예비 유닛 마스크(UM1'-I)를 제공하는 단계를 포함할 수 있다.
제1 예비 유닛 마스크(UM1'-I)는, 제1 증착부(EP1) 및 제1 엣지부들(SP1')을 포함할 수 있다.
제1 증착부(EP1)에는 제1 증착 개구부들(OP-E1)이 정의될 수 있다. 제1 예비 유닛 마스크(UM1'-I)의 제1 증착부(EP1) 및 제1 증착 개구부들(OP-E1)은 각각 도 5a에서 설명한 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)의 제1 증착부(EP1) 및 제1 증착 개구부들(OP-E1)과 대응될 수 있다.
본 실시예에서, 제1 엣지부들(SP1')은 제1 증착부(EP1)로부터 연장되는 부분일 수 있다. 제1 엣지부들(SP1')은 제1 증착부(EP1)로부터 제2 방향(DR2) 및 이의 반대 방향으로 연장되며, 서로 제2 방향(DR2)으로 마주하는 두 개의 제1 엣지부들(SP1')을 포함할 수 있다.
다만, 이에 한정되지 않고, 제1 엣지부들(SP1')은 제1 증착부(EP1)로부터 제1 방향(DR1) 및 이의 반대 방향으로 연장되며, 서로 제2 방향(DR1)으로 마주하는 두 개의 제1 엣지부들(SP1')을 포함할 수도 있다.
제1 엣지부들(SP1') 각각은 제1 영역(A1-1') 및 제2 영역(A2-1')을 포함할 수 있다. 제1 영역(A1-1')은 제1 컷팅 라인들(CL1')이 정의된 영역일 수 있다. 본 실시예에서, 제1 컷팅 라인들(CL1') 각각은 제2 방향(DR2)으로 연장되며, 제1 컷팅 라인들(CL1')은 제1 방향(DR1)으로 배열될 수 있다. 제2 영역(A2-1')은 제1 영역(A1-1')의 외측에 배치된 영역일 수 있다.
도 7b를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(MSA, 도 2 참조)를 제조하는 단계(S10, 도 4 참조)는, 제1 예비 유닛 마스크(UM1'-I)를 인장하는 단계를 포함할 수 있다.
제1 예비 유닛 마스크(UM1'-I)의 제2 영역들(A2-1') 상에 지지부들(ST')이 배치될 수 있다. 지지부들(ST') 각각은 제1 예비 유닛 마스크(UM1'-I)의 제2 영역들(A2-1')의 끝단에 인접하여 배치될 수 있다.
지지부들(ST')은 각각 제1 예비 유닛 마스크(UM1'-I)에 제2 방향(DR2) 및 이의 반대 방향으로 인장력을 가할 수 있다. 다만, 이에 한정되지 않고, 제1 예비 유닛 마스크(UM1'-I)는 제2 증착부(EP2)로부터 제1 방향(DR2)으로 연장된 제3 엣지부들(SP1')을 포함할 수 있고, 지지부들(ST')은 제1 예비 유닛 마스크(UM1'-I)에 제1 방향(DR1) 및 이의 반대 방향으로 인장력을 가할 수도 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 일부 구성을 도시한 단면도이다. 도 8은, 마스크 어셈블리(MSA, 도 2 참조)의 제조하는 단계 중, 일 실시예에 따른 제1 예비 유닛 마스크(UM1''-I)를 제공하는 단계에서 제공된 제1 예비 유닛 마스크(UM1''-I)의 단면을 도시한 것이다.
도 8을 참조하면, 본 실시예에 따른 제1 유닛 마스크(UM1''-I)는, 제1 증착부(EP1) 및 제1 엣지부들(SP1'')을 포함할 수 있다.
제1 증착부(EP1)에는 제1 증착 개구부들(OP-E1)이 정의될 수 있다. 제1 예비 유닛 마스크(UM1''-I)의 제1 증착부(EP1) 및 제1 증착 개구부들(OP-E1)은 각각 도 5a에서 설명한 제1 예비 유닛 마스크(UM1-I)의 제1 증착부(EP1) 및 제1 증착 개구부들(OP-E1)과 대응될 수 있다.
본 실시예에 따르면, 제1 엣지부들(SP1'') 각각은 제1 영역(A1-1'') 및 제2 영역(A2-1)을 포함할 수 있다.
제1 영역들(A1-1'') 각각에는, 제1 예비 유닛 마스크(UM1''-I)의 상면(U-I)으로부터 하면(L-I)을 향하는 방향으로, 제1 예비 유닛 마스크(UM1''-I)의 일부가 제거되어 형성된 그루브(GR)를 포함할 수 있다. 따라서, 제1 영역들(A1-1'')의 두께는 제1 증착부(EP1) 및 제2 영역(A2-1)의 두께보다 얇을 수 있다.
본 실시예에 따르면, 제1 영역(A1-1'')이 얇은 두께를 가짐에 따라, 제1 영역(A1-1'')에 제1 컷팅 라인들(CL1)을 형성하는 것이 용이할 수 있다. 또한, 마스크 어셈블리(MSA)를 제조하는 단계(S10, 도 4 참조) 및 마스크 어셈블리(MSA)를 수리하는 단계(S30, 도 4 참조)에 있어, 제1 영역(A1-1'')의 일부를 컷팅하는 것이 용이할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 그루브(GR)는 제1 영역들(A1-1'')뿐만 아니라 제1 증착부(EP1)의 일부 및 제2 영역들(A2-1)의 일부에서, 제1 예비 유닛 마스크(UM1''-I)의 일부가 제거되어 형성될 수도 있다. 또는, 제1 엣지부들(SP1'') 전체의 두께가 제1 증착부(EP1)의 두께보다 얇을 수도 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널의 단면도이다.
본 실시예에서, 표시패널(DP)은 발광형 표시패널로써, 무기발광표시패널(inorganic light emitting display panel) 또는 유기발광표시패널(organic light emitting display panel) 중 어느 하나 일 수 있고, 특별히 제한되지 않는다.
일 실시예에 따르면, 표시패널(DP)은 베이스층(BL), 베이스층(BL) 상에 배치된 회로 소자층(DP-CL), 회로 소자층(DP-CL) 상에 배치된 표시 소자층(DP-OLED), 및 표시 소자층(DP-OLED) 상에 배치된 봉지층(TFL)을 포함한다.
베이스층(BL)은 유리 기판, 금속 기판, 또는 고분자 기판 등일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 베이스층(BL)은 무기층, 유기층 또는 복합재료층을 포함할 수 있다.
회로 소자층(DP-CL)은 적어도 하나의 절연층과 회로 소자를 포함한다. 회로 소자는 신호라인, 화소의 구동회로 등을 포함한다. 코팅, 증착 등에 의한 절연층, 반도체층 및 도전층 형성 공정과 포토리소그래피 공정에 의한 절연층, 반도체층 및 도전층의 패터닝 공정을 통해 회로 소자층(DP-CL)이 형성될 수 있다.
표시 소자층(DP-OLED)은 화소 정의막(PDL) 및 발광소자(OLED)를 포함한다. 발광소자(OLED)는 유기발광 다이오드 또는 퀀텀닷 발광 다이오드일 수 있다.
제1 전극(AE)이 회로 소자층(DP-CL) 상에 배치된다. 화소 정의막(PDL)의 개구부(OP)는 제1 전극(AE)의 적어도 일부분을 노출시킨다. 화소 정의막(PDL)의 개구부(OP)는 발광영역(LA)을 정의할 수 있다. 비발광영역(NLA)은 발광영역(LA)을 에워쌀 수 있다.
정공 제어층(HCL), 전자 제어층(ECL), 및 제2 전극(CE)은 발광영역(LA)과 비발광영역(NLA)에 공통으로 배치될 수 있다. 정공 제어층(HCL)과 전자 제어층(ECL)은, 본 발명에서 설명한 마스크 어셈블리(MSA, 도 2 참조)와 다른 마스크를 이용하여, 복수 개의 화소들에 공통으로 형성될 수 있다.
발광층(EML)은 개구부(OP)에 대응하도록 패턴 형태로 제공될 수 있다. 소정의 형상을 갖는 발광층(EML)은, 본 발명에서 설명한 마스크 어셈블리(MSA)를 이용하여 형성될 수 있다
다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 표시패널(DP)에 포함된 구성 중 마스크 어셈블리(MSA)를 통해 증착될 수 있는 구성이면, 본 발명에 따른 증착 설비(EDA, 도 1 참조)를 이용하여 형성될 수 있다.
발광소자(OLED) 상에 봉지층(TFL)이 배치된다. 봉지층(TFL)은 복수 개의 박막들을 포함할 수 있다. 복수 개의 박막들은 무기막 및 유기막을 포함할 수 있다. 봉지층(TFL)은 표시 소자층(DP-OLED)을 봉지하기 위한 절연층 및 출광효율을 향상시키기 위한 절연층 등을 포함할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
EDA: 설비 장치
MSA: 마스크 어셈블리
FR: 프레임
OM: 오픈 마스크
UM1: 제1 유닛 마스크
UM2: 제2 오픈 개구부
UM1-I: 제1 예비 유닛 마스크
EP1: 제1 증착부
SP1: 제1 엣지부
A1-1, A2-1: 제1 영역, 제2 영역
W1-1, W2-1, W3-1: 제1 용접영역, 제2 용접영역, 제3 용접영역
TL1, TL2, TL3: 제1 내지 제3 트리밍 라인들
TL4, TL5, TL6: 제4 내지 제6 트리밍 라인들
WS1: 제1 용접돌기들
RS1: 제1 잔여 구조물
WP1-R: 제1 잔여 용접부들
WS1-R: 제1 잔여 용접돌기들

Claims (20)

  1. 프레임;
    오픈 개구부가 정의되고, 상기 프레임 상에 배치된 오픈 마스크;
    상기 오픈 개구부에 중첩하는 증착 개구부들이 정의된 증착부 및 각각이 상기 증착부로부터 상기 증착부와 멀어지는 방향으로 돌출되는 용접부들을 포함하고, 상기 오픈 마스크 상에 배치된 유닛 마스크;
    상기 용접부들 상에 각각 배치된 용접돌기들; 및
    상기 유닛 마스크와 분리된 잔여 용접부 및 상기 잔여 용접부 상에 배치된 잔여 용접돌기를 포함하는 잔여 구조물을 포함하고,
    상기 잔여 구조물은 상기 용접부들 사이에 배치되는 마스크 어셈블리.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 오픈 개구부를 정의하는 상기 오픈 마스크의 내측 엣지는 평면상에서 상기 증착부에 전면적으로 중첩하는 마스크 어셈블리.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 잔여 구조물은 복수 개이고,
    상기 용접부들 및 상기 잔여 구조물들은 교차 배열되는 마스크 어셈블리.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 잔여 구조물은 상기 용접부들 중 인접하는 2개의 용접부들 사이에 복수 개 배치되는 마스크 어셈블리.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 용접부들이 상기 증착부로부터 돌출되는 방향과 교차하는 방향 내에서 상기 잔여 용접부의 길이는 상기 용접부들의 길이와 동일한 마스크 어셈블리.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 용접돌기들 각각은 상기 용접부들 중 대응되는 용접부의 내측에 배치된 마스크 어셈블리.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 용접부들이 상기 증착부로부터 돌출되는 방향 내에서 상기 잔여 용접부의 길이는 상기 용접부들의 길이보다 작거나 동일한 마스크 어셈블리.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 용접돌기들 및 상기 잔여 용접돌기들은,
    상기 용접부들이 상기 증착부로부터 돌출되는 방향과 교차하는 방향 내에서 정렬된 마스크 어셈블리.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 유닛 마스크의 두께는, 5 마이크로미터 이상 25 마이크로미터 이하인 마스크 어셈블리.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 용접부들 각각의 두께는, 상기 증착부의 두께보다 얇은 마스크 어셈블리.
  11. 프레임, 오픈 개구부가 정의된 오픈 마스크, 제1 증착 개구부들이 정의된 제1 증착부 및 상기 제1 증착부로부터 상기 제1 증착부와 멀어지는 방향으로 돌출된 제1 용접부를 포함하는 제1 유닛 마스크, 및 상기 제1 용접부 상에 배치된 제1 용접돌기를 포함하는 마스크 어셈블리를 제공하는 단계;
    적어도 상기 제1 증착부가 상기 마스크 어셈블리로부터 제거되도록 상기 제1 증착부와 상기 제1 용접부의 경계 또는 상기 제1 용접부를 컷팅하는 단계;
    제2 증착 개구부들이 정의된 제2 증착부 및 상기 제2 증착부로부터 연장된 엣지부를 포함하고, 상기 엣지부는 일 방향으로 연장되고 상기 일 방향과 교차하는 방향으로 나열된 컷팅 라인들이 정의되고, 각각이 상기 컷팅 라인들 중 인접한 컷팅 라인들 사이에 배치되고 상기 교차하는 방향으로 나열된 제1 용접영역, 제2 용접영역, 및 제3 용접영역을 포함하는 제1 영역 및 상기 제1 영역의 외측에 배치된 제2 영역을 포함하는 예비 유닛 마스크를 상기 오픈 마스크 상에 배치시키는 단계;
    상기 제2 용접영역과 상기 오픈 마스크를 용접하는 단계; 및
    상기 제2 용접영역과 상기 제2 영역의 경계 또는 상기 제2 용접영역, 상기 제1 용접영역과 상기 제2 증착부의 경계 또는 상기 제1 용접영역, 및 상기 제3 용접영역과 상기 제2 증착부의 경계 또는 상기 제3 용접영역을 컷팅하는 상기 예비 유닛 마스크 컷팅 단계를 포함하고,
    상기 제1 용접부는, 상기 제1 용접영역과 중첩하는 마스크 어셈블리 수리방법.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 제1 증착부와 상기 제1 용접부의 경계 또는 상기 제1 용접부를 컷팅하는 단계에서 상기 제1 용접부의 상기 제1 증착부와 상기 제1 용접부의 경계 및 상기 제1 용접돌기 사이의 영역을 컷팅하는 마스크 어셈블리 수리방법.
  13. 제11 항에 있어서,
    상기 예비 유닛 마스크 컷팅 단계에서 상기 제2 용접영역으로부터 제2 용접부가 형성되고,
    상기 예비 유닛 마스크 컷팅 단계 이후에, 적어도 상기 제2 증착부가 상기 마스크 어셈블리로부터 제거되도록 상기 제2 증착부와 상기 제2 용접부의 경계 또는 상기 제2 용접부를 컷팅하는 단계를 더 포함하는 마스크 어셈블리 수리방법.
  14. 제11 항에 있어서,
    상기 제2 용접영역과 상기 오픈 마스크를 용접하는 단계에서 상기 제2 용접영역 상에 제2 용접돌기가 형성되고,
    평면상에서 상기 제2 용접돌기는 상기 제2 용접영역의 내측에 배치된 마스크 어셈블리 수리방법.
  15. 제11 항에 있어서,
    상기 제1 증착부와 상기 제1 용접부의 경계 또는 상기 제1 용접부를 컷팅하는 단계 및 상기 예비 유닛 마스크 컷팅 단계 중 적어도 하나는, 레이저를 이용하는 마스크 어셈블리 수리방법.
  16. 제11 항에 있어서,
    상기 컷팅 라인들 중 서로 인접한 컷팅 라인들 사이의 간격은 50 마이크로미터 이상인 마스크 어셈블리 수리방법.
  17. 제11 항에 있어서,
    상기 컷팅 라인들 각각의 상기 일 방향에서의 길이는 50 마이크로미터 이상인 마스크 어셈블리 수리방법.
  18. 제11 항에 있어서,
    상기 컷팅 라인들 각각의 폭은 40 마이크로미터 이하인 마스크 어셈블리 수리방법.
  19. 제11 항에 있어서,
    상기 제1 증착부와 상기 제1 용접부의 경계 또는 상기 제1 용접부를 컷팅하는 단계 이후, 상기 예비 유닛 마스크를 상기 오픈 마스크 상에 배치시키는 단계 이전에,
    제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향 중 적어도 어느 한 방향으로 상기 예비 유닛 마스크를 인장하는 단계를 더 포함하는 마스크 어셈블리 수리방법.
  20. 제11 항에 있어서,
    상기 마스크 어셈블리를 제공하는 단계 이전에, 상기 마스크 어셈블리를 제조하는 단계를 더 포함하고, 상기 마스크 어셈블리를 제조하는 단계는,
    상기 제1 증착 개구부들이 정의된 상기 제1 증착부 및 상기 제1 증착부로부터 연장된 엣지부를 포함하고, 상기 엣지부는 상기 일 방향으로 연장되고 상기 일 방향과 교차하는 방향으로 나열된 컷팅 라인들이 정의되고, 각각이 상기 컷팅 라인들 중 인접한 컷팅 라인들 사이에 배치되고 상기 교차하는 방향으로 나열된 제1 용접영역, 제2 용접영역, 및 제3 용접영역을 포함하는 제1 영역 및 상기 제1 영역의 외측에 배치된 제2 영역을 포함하는 예비 유닛 마스크를 상기 오픈 마스크 상에 배치시키는 단계;
    상기 제1 용접영역과 상기 오픈 마스크를 용접하는 단계; 및
    상기 제1 유닛 마스크가 형성되도록 상기 제1 용접영역과 상기 제2 영역의 경계 또는 상기 제1 용접영역, 상기 제2 용접영역과 상기 제1 증착부의 경계 또는 상기 제2 용접영역, 및 상기 제3 용접영역과 상기 제1 증착부의 경계 또는 상기 제3 용접영역을 컷팅하는 상기 예비 유닛 마스크 컷팅 단계를 포함하는 마스크 어셈블리 수리방법.
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