JP2017168511A - 半導体素子搭載用基板、半導体装置、半導体素子搭載用基板の製造方法、及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体素子搭載用基板50であって、導電性基板10と、前記導電性基板の表面上に設けられた半導体素子搭載部20と、前記半導体素子搭載部の周辺の前記導電性基板の前記表面上の所定領域に設けられためっき層からなるリード部30と、を備え、前記めっき層の側面に対して凸状の滲みめっき層が形成され、該滲みめっき層は前記導電性基板の表面から離間して設けられる半導体素子搭載用基板を特徴とする。
【選択図】図1
Description
図1を用いて、本発明の一実施形態に係る半導体素子搭載用基板について説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る半導体素子搭載用基板を示した断面図である。
次に、図3を参照して、本発明の実施形態に係る半導体素子搭載用基板50の製造方法について説明する。図3(A)〜(G)は、本発明の一実施形態に係る半導体素子搭載用基板50の製造方法の一例の一連の工程を模式的に示した図である。なお、今まで説明した構成要素については、同一の参照符号を付し、その説明を省略する。
図4を用いて、本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。図4は、本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造方法の一例の一連の工程を模式的に示した図である。本発明の実施形態に係る半導体装置100は、本発明の実施形態に係る半導体素子搭載用基板50を用いて製造されるため、図4(A)〜(D)は、図3に示した半導体素子搭載用基板50の製造方法から連続した工程である。
Claims (10)
- 導電性基板と、
前記導電性基板の表面上の所定領域に設けられためっき層からなるリード部と、を備え、
前記めっき層の側面に対して凸状の滲みめっき層が形成され、
該滲みめっき層は前記導電性基板の表面から離間して設けられる半導体素子搭載用基板。 - 前記導電性基板の表面上に半導体素子搭載部が設けられ、
前記リード部は、前記半導体素子搭載部の周辺に設けられることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子搭載用基板。 - 前記滲みめっき層は、前記導電性基板の表面から5μm〜20μm離間して設けられる請求項1又は2に記載の半導体素子搭載用基板。
- 前記半導体素子搭載部は、前記リード部を構成する前記めっき層と同一の積層構成を有するめっき層からなる請求項2又は3に記載の半導体素子搭載用基板。
- 半導体素子と、
めっき層からなるリード部と、
前記半導体素子と前記リード部とを電気的に接続する接続体と、
少なくとも前記リード部の底面以外の領域と、前記半導体素子及び、前記接続体とを封止する封止樹脂部とを、備え、
前記めっき層の側面に対して凸状の滲みめっき層が形成され、
前記滲みめっき層は、封止樹脂内に封止されている半導体装置。 - 前記半導体素子は半導体素子搭載部上に設けられ、
前記リード部は、前記半導体素子搭載部の周辺に設けられることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。 - 前記半導体素子搭載部は、前記リード部を構成する前記めっき層と同一の積層構成を有するめっき層からなる請求項6に記載の半導体素子搭載用基板。
- 導電性基板の表面上に設けられた半導体素子の周囲の前記導電性基板の前記表面上の所定領域に、めっき層からなるリード部が設けられた半導体素子搭載用基板の製造方法であって、
前記導電性基板上にレジスト層を被覆し、
前記レジスト層にリード部を設ける領域にパターンニングを施してレジストマスクに開口部を形成し、
前記開口部の導電性基板表面が露出した領域をエッチングして所定深さの凹部を形成し、
前記凹部にめっき層からなるリード部を形成し、
前記レジストマスク層を剥離し、前記導電性基板の表面を露出し、
前記導電性基板のうち、露出させた前記表面を前記所定深さにエッチングし、
滲みめっき層が前記導電性基板の表面から離間されるように前記めっき層の側面に凸状の滲みめっき層を形成して得られる、半導体素子搭載用基板の製造方法。 - 前記導電性基板を前記所定深さにエッチングして得られた後、滲みめっき層除去を行う請求項8に記載の半導体素子搭載用基板の製造方法。
- 請求項8又は9に記載された半導体素子搭載用基板の製造方法により製造された半導体素子搭載用基板に、半導体素子を搭載し、
前記半導体素子と前記リード部とを電気的に接続し、
少なくとも前記リード部の底面以外の領域と、前記半導体素子と、前記接続体とを、封止し、
導電性基板を溶解除去する半導体装置の製造方法。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003078071A (ja) * | 2001-09-03 | 2003-03-14 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2004119728A (ja) * | 2002-09-26 | 2004-04-15 | Sanyo Electric Co Ltd | 回路装置の製造方法 |
JP2008041849A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2013145825A (ja) * | 2012-01-16 | 2013-07-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 半導体装置用リードフレーム |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003078071A (ja) * | 2001-09-03 | 2003-03-14 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2004119728A (ja) * | 2002-09-26 | 2004-04-15 | Sanyo Electric Co Ltd | 回路装置の製造方法 |
JP2008041849A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2013145825A (ja) * | 2012-01-16 | 2013-07-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 半導体装置用リードフレーム |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11056432B2 (en) | 2018-10-24 | 2021-07-06 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor package |
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