JP7304145B2 - リードフレーム、半導体装置及びリードフレームの製造方法 - Google Patents
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Description
[リードフレームの構成]
図1は、リードフレームの概略平面図である。図1に示すように、リードフレーム1は、平面視略矩形状の基板フレーム2を有する。基板フレーム2の材料としては、例えば銅(Cu)、Cuをベースにした合金、鉄-ニッケル(Fe-Ni)又はFe-Niをベースにした合金等を用いることができる。基板フレーム2の厚さは、例えば0.05~0.25mm程度とすることができる。
次に、図6を参照して、本実施例に係るリードフレーム100を用いて作成された半導体装置200について説明する。図6は、実施例に係るリードフレームを用いて作成された半導体装置の断面図である。図6は、リード102に半導体素子21を搭載した状態の半導体装置200の図2におけるIV-IV断面と同じ位置の断面を表す。
次に、図2に示すリードフレーム100の製造方法について、図8A~8Kを参照して説明する。図8A~8Kは、実施例に係るリードフレームの製造方法を示す断面図である。
図6に示した半導体装置200の製造方法について、図12A~12Cを参照して説明する。図12A~12Cは、実施例に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
なお、上記実施例は、以下の態様で実施してもよい。なお、以下の説明では、上述した実施例と同様の部材については同じ符号を付し、説明の一部またはすべてを省略する場合がある。
21 半導体素子
22 Cuピラー
23 めっき層
24 凹部
25 酸化層
30 はんだ
100 単位リードフレーム
102 リード
200 半導体装置
Claims (10)
- 第1部分と前記第1部分よりも薄い第2部分とを有するリード部と、
前記リード部の前記第2部分に位置する半導体素子の接続領域に設けられ、前記リード部の幅方向の両側まで延びるめっき層と、
前記リード部の前記第2部分上において前記めっき層を挟んで互いに対向し、前記リード部を幅方向に貫通する一対の凹部と、
前記リード部の前記一対の凹部を含む表面に設けられた酸化層と
を備え、
前記めっき層の外周は、円弧状であり、
前記一対の凹部の各々は、前記リード部の幅方向に垂直な断面において、底面が曲面状であり、
前記一対の凹部の各々の内周は、円弧状であり且つ平面視で前記めっき層の外周と重なる位置に位置する
ことを特徴とするリードフレーム。 - 前記一対の凹部は、前記めっき層の周囲を囲うことを特徴とする請求項1に記載のリードフレーム。
- 前記リード部は、銅を材料とし、
前記めっき層は、銀を材料とする
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のリードフレーム。 - 前記酸化層は、前記リード部の材料となる金属の酸化物からなることを特徴とする請求項1~3のいずれか一つに記載のリードフレーム。
- 第1部分と前記第1部分よりも薄い第2部分とを有するリード部と、
前記リード部の前記第2部分に位置する半導体素子の接続領域に設けられ、前記リード部の幅方向の両側まで延びるめっき層と、
前記リード部の前記第2部分上において前記めっき層を挟んで互いに対向し、前記リード部を幅方向に貫通する一対の凹部と、
前記リード部の前記一対の凹部を含む表面に設けられた酸化層と、
前記めっき層にはんだにより端子が接続された半導体素子と、
前記リード部及び前記半導体素子を被覆する封止樹脂と
を備え、
前記めっき層の外周は、円弧状であり、
前記一対の凹部の各々は、前記リード部の幅方向に垂直な断面において、底面が曲面状であり、
前記一対の凹部の各々の内周は、円弧状であり且つ平面視で前記めっき層の外周と重なる位置に位置する
ことを特徴とする半導体装置。 - リードと、前記リードの半導体素子の接続領域の周囲に設けられた凹部とを形成する第1工程と、
前記接続領域にめっき層を形成する第2工程と、
前記リードの前記凹部を含む表面に酸化層を形成する第3工程と
を備え、
前記第1工程は、
金属基板に、エッチングレジスト層を形成する工程と、
前記エッチングレジスト層をマスクとして前記金属基板にハーフエッチングを施すことにより、前記金属基板における所定領域の隣接領域に凹部を有する前記リードを形成する工程と、
前記金属基板から前記エッチングレジスト層を除去する工程とを含み、
前記第2工程は、
前記リードの前記凹部及び前記所定領域を含む領域にめっきレジストを形成する工程と、
前記所定領域よりも面積が大きいマスクで所定領域を覆い前記めっきレジストを露光し次いで現像することで、前記所定領域のめっきレジストを除く工程と、
前記所定領域にめっき層を形成する工程とを含み、
前記第3工程は、
前記リードから前記めっきレジストを除去する工程と、
前記凹部を含み且つ前記所定領域を除く前記リード上の領域に酸化層を形成する工程とを含む
ことを特徴とするリードフレームの製造方法。 - 前記凹部は、底面が曲面状であることを特徴とする請求項6に記載のリードフレームの製造方法。
- 前記凹部は、前記めっき層の全周を囲うことを特徴とする請求項6又は7に記載のリードフレームの製造方法。
- 前記リードは、銅を材料とし、
前記めっき層は、銀を材料とする
ことを特徴とする請求項6~8のいずれか一つに記載のリードフレームの製造方法。 - 前記第3工程は、前記リードの基材となる金属を酸化処理することで前記酸化層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項6~9のいずれか一つに記載のリードフレームの製造方法。
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