JP2015153987A - モールドパッケージ - Google Patents
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Abstract
【課題】リードフレームの一端部にてモールド樹脂の剥離が発生しにくいモールドパッケージを提供する。
【解決手段】貴金属めっき膜14を、リードフレーム10の基材13の表面のうちリードフレーム10の一端部11とは所定距離L1、離れて隣接する部位に設ける。これにより、モールド樹脂30内に位置するリードフレーム10の一端部11側のうち貴金属めっき膜14とリードフレーム10の一端部11との間に位置する部位では、基材13の表面がモールド樹脂30に接触して封止される。さらに、当該部位における基材13の表面のうち、貴金属めっき膜14とリードフレーム10の一端部11との間に位置する部位には、溝15が設けられている。
【選択図】図1
【解決手段】貴金属めっき膜14を、リードフレーム10の基材13の表面のうちリードフレーム10の一端部11とは所定距離L1、離れて隣接する部位に設ける。これにより、モールド樹脂30内に位置するリードフレーム10の一端部11側のうち貴金属めっき膜14とリードフレーム10の一端部11との間に位置する部位では、基材13の表面がモールド樹脂30に接触して封止される。さらに、当該部位における基材13の表面のうち、貴金属めっき膜14とリードフレーム10の一端部11との間に位置する部位には、溝15が設けられている。
【選択図】図1
Description
本発明は、リードフレームの一端部側にワイヤを接続し、ワイヤとともにリードフレームの一端部側をモールド樹脂で封止してなるモールドパッケージに関する。
従来より、この種のモールドパッケージとしては、たとえば、特許文献1に記載のものが提案されている。
このものは、一端部から他端部へ延びるリードフレームと、このリードフレームの一端部側に接続されたボンディングワイヤとを備えたものである。ここで、リードフレームは、Cu等よりなる導電性の基材と、リードフレームの一端部側にて基材の表面に設けられたボンディング部としての貴金属めっき膜と、を備えるものである。
そして、ボンディングワイヤは、リードフレームの一端部側にて、貴金属めっき膜に接続されている。そして、リードフレームの一端部側において少なくとも当該一端部から貴金属めっき膜に渡る部位が、ボンディングワイヤとともに、モールド樹脂によって封止されている。
ところで、上記従来のものでは、貴金属めっき膜は、リードフレームの一端部を起点として当該一端部から他端部側へ向けて所定距離の領域にて、基材の表面に設けられている。ここで、貴金属めっき膜は、たとえばAgやAu等よりなり、リードフレームにおけるCu等の基材よりもモールド樹脂との密着性が小さいものである。
また、温度サイクルによって各部材の収縮および膨張等が発生するが、このとき、リードフレームとモールド樹脂との線膨張係数差により、リードフレームには応力が発生する。ここにおいて、モールド樹脂で封止されているリードフレームの一端部は、リードフレームのなかでも、当該応力が最も集中する部位である。
そうすると、この応力集中により、リードフレームの一端部において、互いの密着性が小さい貴金属めっき膜とモールド樹脂との間で、剥離が発生しやすくなる。このように、リードフレームの一端部にて樹脂剥離が発生すると、その近傍のボンディングワイヤに対するモールド樹脂による拘束が不十分となり、ワイヤが断線するおそれがある。
本発明は、上記したような問題に鑑みてなされたものであり、リードフレームの一端部側に設けられた貴金属めっき膜にボンディングワイヤを接続し、ボンディングワイヤとともにリードフレームの一端部側をモールド樹脂で封止してなるモールドパッケージにおいて、リードフレームの一端部にてモールド樹脂の剥離が発生するのを抑制することを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、一端部(11)から他端部(12)へ延びるものであって、導電性の基材(13)、および、当該一端部側にて前記基材の表面に設けられたボンディング部としての貴金属めっき膜(14)を備えるリードフレーム(10)と、貴金属めっき膜に接続されたボンディングワイヤ(20)と、リードフレームの一端部側において少なくとも当該一端部から貴金属めっき膜に渡る部位を、ボンディングワイヤとともに封止するモールド樹脂(30)と、を備え、リードフレームにおける基材は、貴金属めっき膜よりもモールド樹脂との密着性が大きいものであるモールドパッケージにおいて、さらに次の特徴点を有する。
すなわち、請求項1に記載のモールドパッケージにおいては、貴金属めっき膜を、基材の表面のうちリードフレームの一端部とは所定距離(L1)、離れて隣接する部位に設けることにより、モールド樹脂内に位置するリードフレームの一端部側のうち貴金属めっき膜とリードフレームの一端部との間に位置する部位では、基材の表面が露出し、当該露出した基材の表面がモールド樹脂に接触して封止されており、さらに、露出した基材の表面のうち、貴金属めっき膜とリードフレームの一端部との間に位置する部位には、当該表面より凹んだ溝(15)が設けられていることを特徴とする。
それによれば、上記の応力が集中するリードフレームの一端部では、モールド樹脂との密着性のよい基材の表面が露出し、この基材の表面がモールド樹脂に密着している形となるので、モールド樹脂との密着性が確保される。さらに、貴金属めっき膜とリードフレームの一端部との間に位置する基材の表面に、溝が設けられているので、この溝によるモールド樹脂へのアンカー効果が発揮される。
つまり、本発明によれば、リードフレームの一端部では、基材の表面の露出によるモールド樹脂との密着性の向上に加えて、この基材の表面に設けられた溝のアンカー効果による当該密着性の向上が期待できる。よって、本発明によれば、リードフレームの一端部にてモールド樹脂の剥離が発生するのを抑制することができる。
また、請求項2に記載の発明では、請求項1に記載のモールドパッケージにおいて、モールド樹脂内に位置するリードフレームの一端部側のうち貴金属めっき膜よりもリードフレームの他端部側にて貴金属めっき膜に隣接する部位では、基材の表面が露出し、当該露出した基材の表面がモールド樹脂に接触して封止されており、溝は、貴金属めっき膜よりもリードフレームの他端部側にて露出した基材の表面にも、設けられていることを特徴とする。
それによれば、モールド樹脂で封止されているリードフレームの一端部側の部位のうち貴金属めっき膜よりもリードフレームの他端部側の部位においても、上記請求項1と同様、基材の表面の露出、および、基材の表面に設けられた溝による密着性の向上が期待できる。そのため、貴金属めっき膜よりもリードフレームの他端部側におけるモールド樹脂の剥離の発生についても抑制できるので、好ましい。
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態にかかるモールドパッケージP1について、図1〜図3を参照して述べる。このモールドパッケージP1は、たとえば自動車などの車両に搭載され、車両用の各種電子装置を駆動するための装置として適用されるものである。
本発明の第1実施形態にかかるモールドパッケージP1について、図1〜図3を参照して述べる。このモールドパッケージP1は、たとえば自動車などの車両に搭載され、車両用の各種電子装置を駆動するための装置として適用されるものである。
本実施形態のモールドパッケージP1は、一端部11から他端部12へ延び、当該延びる方向を長手方向とするリードフレーム10と、このリードフレーム10の一端部11側に接続されたボンディングワイヤ20とを備える。
ここで、リードフレーム10は、導電性の基材13と、リードフレーム10の一端部11側にて基材13の表面に設けられたボンディング部としての貴金属めっき膜14と、を備えるものである。
そして、ボンディングワイヤ20は、リードフレーム10の一端部11側にて、貴金属めっき膜14に接続されている。そして、リードフレーム10の一端部11側において当該一端部11から貴金属めっき膜14に渡る部位が、ボンディングワイヤ20とともに、モールド樹脂30によって封止されている。
また、モールド樹脂30内にて、アイランド40および当該アイランド40上に搭載されたICチップ50が設けられている。そして、モールド樹脂30内にて、ICチップ50とリードフレーム10とはボンディングワイヤ20により結線されて電気的に接続されている。
ここでは、モールドパッケージP1は、QFP(クワッドフラットパッケージ)の如く、リードフレーム10の一端部11側がモールド樹脂30で封止されたインナーリードとされ、他端部12側がモールド樹脂30より突出するアウターリードとされたものとされている。このモールドパッケージP1について、各部の詳細を述べる。
まず、ICチップ50は、たとえばシリコン半導体等の半導体チップよりなるもので、通常の半導体プロセスにより形成されるものである。このICチップ50は、図示しないが、Agペースト等のダイボンド材を介して、アイランド40に接着されて固定されている。
アイランド40は、本実施形態では元々、リード部としてのリードフレーム10とアイランド40とが一体に形成されたリードフレーム素材の一部として構成されたものである。このアイランド40は、ICチップ50の搭載、ICチップ50とリードフレーム10とのワイヤボンディング、および、モールド樹脂30による封止を順次、行った後、通常のリードカットやリード成形等を行うことによって、リードフレーム10と分離されるものである。
このようなアイランド40およびリードフレーム10は、Cu(銅)やFe(鉄)あるいは、Cu合金、Fe合金等よりなるものである。ここで、リードフレーム10は、上記したように、導電性の基材13と、基材13表面の一部に設けられた貴金属めっき膜14と、を備えるものであるが、この基材13がCuやFeあるいは、Cu合金、Fe合金等よりなる。
リードフレーム10は、一端部11から他端部12へ延び、当該延びる方向を長手方向とする細長の板状をなす。ここでは、リードフレーム10は、一端部11と他端部12とが対向する短辺とされた細長の短冊板状をなす。
また、リードフレーム10の他端部12側であるアウターリードは、典型的なQFPの如く、モールド樹脂30の外側にて所望の曲げ形状に成形されている。そして、このアウターリードにて、図示しないパッケージ外部の配線部材等との電気的接続がなされるようになっている。
ここで、リードフレーム10の一端部11側にて基材13の表面に設けられた貴金属めっき膜14は、Ag(銀)、Au(金)、Pd(パラジウム)等の貴金属の単層膜、あるいは、これらの各貴金属の単層膜が積層された多層膜よりなるめっき膜である。なお、多層膜の場合は、最表層が貴金属であればよく、下層は貴金属でなくてもよい。
たとえば、貴金属めっき膜14としては、AgめっきよりなるAgの単層膜や、基材13側から順次Ni(ニッケル)、Pd、Auの各めっき膜が積層されてなるAu/Pd/Niの多層膜等が挙げられる。このような貴金属めっき膜14は、通常の無電解めっきや電気めっき等により形成される。
このような貴金属めっき膜14は、基材13よりもモールド樹脂30との密着性が小さいものである。逆に言えば、リードフレーム10において基材13は、貴金属めっき膜14よりもモールド樹脂30との密着性が大きい材質よりなる。
また、ボンディングワイヤ20は、通常のワイヤボンディング法により形成されたもので、たとえばAu、Al(アルミニウム)、Cu、Ag等よりなる。このボンディングワイヤ20およびリードフレーム10を介して、ICチップ50とパッケージ外部との電気的なやり取りが可能とされている。
モールド樹脂30は、エポキシ樹脂等の通常のモールド材料よりなるものであり、たとえばトランスファー成形やコンプレッション成形、あるいはポッティング等により成形されるものである。ここでは、モールド樹脂30は、貴金属めっき膜14を含むリードフレーム10の一端部11側およびボンディングワイヤ20を封止するとともに、アイランド40およびICチップ50を封止している。
さらに、本実施形態のモールドパッケージP1は、次に述べるように、リードフレーム10において独自の構成を備えている。まず、本実施形態では、図1〜図3に示されるように、貴金属めっき膜14は、基材13の表面のうちリードフレーム10の一端部11とは所定距離L1、離れて隣接する部位に設けられている。
つまり、上記従来の構成では、貴金属めっき膜14は、リードフレーム10の一端部11を起点として当該一端部11から他端部12側へ向けて連続した領域に設けられていたが、本実施形態では、貴金属めっき膜14を、リードフレーム10の一端部11とは所定距離L1、離した位置に設けている。
ここで、モールド樹脂30内に位置するリードフレーム10の一端部11側のうち貴金属めっき膜14とリードフレーム10の一端部11との間に位置する部位を、一端側のめっき隣接部位13aということにする。
そして、本実施形態では、上記したような貴金属めっき膜14をリードフレーム10の一端部11より離した構成とすることで、リードフレーム10における一端側のめっき隣接部位13aでは、基材13の表面が露出したものとなる。そして、当該一端側のめっき隣接部位13aにて露出した基材13の表面が、モールド樹脂30に接触した状態でモールド樹脂30に封止されたものとされている。
さらに、本実施形態では、この一端側のめっき隣接部位13aにて露出した基材13の表面のうち、貴金属めっき膜14とリードフレーム10の一端部11との間に位置する部位には、当該表面より凹んだ溝15が設けられている。そして、モールド樹脂30は、この溝15に食い込んだ状態で基材13表面に密着している。
また、本実施形態では、図1〜図3に示されるように、モールド樹脂30内に位置するリードフレーム10において、貴金属めっき膜14よりもリードフレーム10の一端部11側だけでなく他端部12側でも、基材13の表面が露出している。
ここで、モールド樹脂30内に位置するリードフレーム10の一端部11側のうち貴金属めっき膜14よりもリードフレーム10の他端部12側にて貴金属めっき膜14に隣接する部位を、他端側のめっき隣接部位13bということにする。
つまり、本実施形態では、一端側のめっき隣接部位13aだけでなく他端側のめっき隣接部位13bでも、基材13の表面が露出している。そして、当該他端側のめっき隣接部位13bにて露出した基材13の表面も、モールド樹脂30に接触した状態でモールド樹脂30に封止されている。
ここにおいて、本実施形態では、さらに、この他端側のめっき隣接部位13bにて露出した基材13の表面にも、一端側のめっき隣接部位13aと同様、溝15が設けられている。そして、モールド樹脂30は、この他端側のめっき隣接部位13bにおいても、溝15に食い込んだ状態で基材13表面に密着している。
また、本実施形態では、モールド樹脂30内に位置するリードフレーム10の基材13の表面のうちボンディングワイヤ20が接合される部位のみに、実質的に貴金属めっき膜14が形成されている。そして、この貴金属めっき膜14以外の部位では、基材13の表面がモールド樹脂30と密着している。
なお、貴金属めっき膜14に対してリードフレーム10の一端部11側、他端部12側に位置する両方の溝15は、ともに断面V字をなすV溝とされている。また、本実施形態では、当該両方の溝15は、貴金属めっき膜14の外縁に接してリードフレーム10の基材13表面に形成されている。
ここで、貴金属めっき膜14は、上述のように、無電解めっきや電気めっき等により形成されたものであるが、一方、溝15は、レーザ加工、エッチング加工、プレス加工等により形成されたものである。
ここにおいて、これら貴金属めっき膜14と溝15との形成順序については、どちらを先に形成してもよい。具体的には、リードフレーム10の基材13の表面上の所定領域に選択的に貴金属めっき膜14を形成した後、貴金属めっき膜14の外側にて基材13の表面に溝15を形成してもよい。
また、これとは逆に、リードフレーム10の基材13の表面のうち貴金属めっき膜14の形成領域の外側に溝15を形成した後、当該貴金属めっき膜14の形成領域に貴金属めっき膜14を形成するようにしてもよい。
本実施形態のモールドパッケージP1の製造方法は、次のとおりである。まず、アイランド40上にICチップ50を搭載し、固定する。そして、ICチップ50とリードフレーム10の貴金属めっき膜14との間でワイヤボンディングを行う。そして、このものをモールド樹脂30で封止し、必要に応じて、リードカット等を行う。こうして、モールドパッケージP1ができあがる。
ところで、本実施形態によれば、上記した応力が集中するリードフレーム10の一端部11では、モールド樹脂30との密着性のよい基材13の表面が露出し、この基材13の表面がモールド樹脂30に密着している形となるので、モールド樹脂30との密着性が確保される。
さらに、貴金属めっき膜14とリードフレーム10の一端部11との間に位置して貴金属めっき膜14より露出する基材13の表面に、溝15が設けられているので、この溝15によるモールド樹脂30へのアンカー効果が発揮される。
つまり、本実施形態によれば、リードフレーム10の一端部11では、基材13の表面の露出によるモールド樹脂30との密着性の向上に加えて、この基材13の表面に設けられた溝15のアンカー効果による当該密着性の向上が期待できる。よって、本実施形態によれば、リードフレーム10の一端部11にてモールド樹脂30の剥離が発生するのを抑制することができる。
さらに、本実施形態では、上記したように、貴金属めっき膜14に対してリードフレーム10の一端部11側にて露出する基材13の表面だけでなく、他端部12側にて露出する基材13の表面にも、溝15が設けられている。
それによれば、モールド樹脂30で封止されているリードフレーム10における他端側のめっき隣接部位13bにおいても、上記同様、基材13の表面の露出、および、基材13の表面に設けられた溝15による密着性の向上が期待できる。そのため、貴金属めっき膜14よりもリードフレーム10の他端部12側におけるモールド樹脂30の剥離の発生についても抑制できる。
さらに言えば、このように、貴金属めっき膜14に対するリードフレーム10の一端部11側および他端部12側の両側にてモールド樹脂30の剥離が抑制されることにより、ボンディングワイヤ20をモールド樹脂30により確実に拘束することができる。そのため、ボンディングワイヤ20の断線防止の効果とともに、ワイヤ接合部への外部からの水分の侵入を防止することも可能となる。
なお、溝15は、貴金属めっき膜14に対してリードフレーム10の一端部11側にて露出する基材13の表面側のみに設けられ、他端部12側にて露出する基材13の表面には設けられていなくてもよい。この場合であっても、上記したリードフレーム10の一端部11にてモールド樹脂30の剥離発生を抑制する、という溝15による効果が発揮されるものとなる。
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態について、図4を参照して、上記第1実施形態との相違点を中心に述べることとする。
本発明の第2実施形態について、図4を参照して、上記第1実施形態との相違点を中心に述べることとする。
細長板状のリードフレーム10における長手方向は、一端部11から他端部12に延びる方向であるが、リードフレーム10の幅方向とは、具体的には、この長手方向と直交する方向である。つまり、ここでは、細長の短冊板状のリードフレームにおける短辺の長さ方向である。
このとき、上記第1実施形態では、上記図3に示されるように、貴金属めっき膜14は、リードフレーム10の幅方向の全域に設けられていた。しかし、本実施形態では、図4に示されるように、貴金属めっき膜14の幅寸法がリードフレーム10の幅よりも小さいものとされている。
そして、貴金属めっき膜14の外縁全周を取り囲むように溝15が設けられている。この場合も、環状の溝15が、基金属めっき膜14の外縁に接して設けられている。本実施形態においても、ボンディング部としての貴金属めっき膜14の外側にて基材13表面を露出させて溝15を形成し、これをモールド樹脂30で封止しているので、上記第1実施形態と同様の効果が得られる。
(第3実施形態)
本発明の第3実施形態は、上記第2実施形態において溝15の配置パターンを一部変形したところが相違するものであり、図5を参照して、上記第2実施形態との相違点を中心に述べることとする。
本発明の第3実施形態は、上記第2実施形態において溝15の配置パターンを一部変形したところが相違するものであり、図5を参照して、上記第2実施形態との相違点を中心に述べることとする。
図5に示されるように、本実施形態では、貴金属めっき膜14の外縁のうちリードフレーム10の幅方向の部分には、溝15を設けずに、リードフレーム10の長手方向のみに溝15を設けている。
つまり、本実施形態では、溝15は、基材13の表面のうち貴金属めっき膜14に対してリードフレーム10の一端部11側と他端部12側のみに設けられたものとしている。この場合も、上記第2実施形態と同様の効果が得られることはもちろんである。
(第4実施形態)
本発明の第4実施形態について図6を参照して述べる。上記各実施形態のリードフレーム10では、基材13の表面のうち実質的にボンディングワイヤ20が接合される領域のみに貴金属めっき膜14を設けていた。
本発明の第4実施形態について図6を参照して述べる。上記各実施形態のリードフレーム10では、基材13の表面のうち実質的にボンディングワイヤ20が接合される領域のみに貴金属めっき膜14を設けていた。
これに対して、本実施形態のリードフレーム10では、図6に示されるように、一端側のめっき隣接部位13aにおけるボンディングワイヤ20の接合される面のうち一端部11から所定距離L1、離れた領域のみにて、基材13の表面が露出し、残りの基材13表面全体が貴金属めっき膜14で被覆されている。
そして、貴金属めっき膜14に対してリードフレーム10の一端部11側に、溝15が設けられている。この場合も、環状の溝15が、基金属めっき膜14の外縁に接して設けられている。そして、本実施形態によっても、露出する基材13表面および溝15によって、リードフレーム10の一端部11にてモールド樹脂30の剥離発生を抑制する、という上記同様の効果が発揮される。
本実施形態のリードフレーム10の形成方法は、次の通りである。まず、基材13の全表面に貴金属めっき膜14を形成する。その後、貴金属めっきボンディングワイヤ20が接合される基材の面のうちリードフレーム10の一端部11から所定距離L1までの領域のみ、レーザ加工などにより貴金属めっき膜14を除去して、基材13の表面を露出させる。
その後、続けて、レーザ加工により貴金属めっき膜14に隣接して露出する基材13の表面を、エッチングして溝15を形成する。こうして、本実施形態のリードフレーム10ができあがる。
なお、貴金属めっき膜14は、基材13の表面のうちのボンディングワイヤ20の接合領域に設けられることは必須である。一方、基材13の表面の露出については、最低限、一端側のめっき隣接部位13aにおけるボンディングワイヤ20の接合される面のうち一端部11から所定距離L1、離れた領域にて実現されていればよい。
つまり、本第4実施形態のように、貴金属めっき膜14は、当該所定距離L1離れた領域以外のすべての基材13表面に設けられていてもよいが、当該所定距離L1離れた領域において部分的に基材13表面に設けられていてもよい。
(他の実施形態)
なお、上記各実施形態においては、リードフレーム10の基材13表面に形成される溝15は、貴金属めっき膜14の外縁に接して設けられていた。つまり、溝15は、貴金属めっき膜14に接して隣り合うように(つまり隣接して)設けられていた。これに対して、基材13表面において溝15と貴金属めっき膜14とは、多少離れて(つまり離間して)いるものであってもよい。
なお、上記各実施形態においては、リードフレーム10の基材13表面に形成される溝15は、貴金属めっき膜14の外縁に接して設けられていた。つまり、溝15は、貴金属めっき膜14に接して隣り合うように(つまり隣接して)設けられていた。これに対して、基材13表面において溝15と貴金属めっき膜14とは、多少離れて(つまり離間して)いるものであってもよい。
また、溝15の深さを貴金属めっき膜14の厚さよりも大きいものとした場合、次のような利点が期待できる。つまり、この場合、リードフレーム10の基材13の表面のうち貴金属めっき膜14の形成領域よりも多少広い領域に貴金属めっき膜14を形成した後、狙いの形成領域の外側にて、プレス加工する。
このプレス加工では、プレスによる押し込み量を貴金属めっき膜14の厚さよりも大きいものとする。こうすることで、当該狙いの形成領域の外側では、貴金属めっき膜14がプレスの治具により除去されて、溝15が形成され、基材13の表面が露出するものとなる。
このように、溝15の深さを貴金属めっき膜14の厚さよりも大きいものとした場合、リードフレーム10の基材13の表面のうち貴金属めっき膜14の形成領域よりも多少広い領域に貴金属めっき膜14を形成できる。そのため、貴金属めっき膜14の形成寸法における寸法誤差を緩和できるという利点がある。
ここで、限定するものではないが、たとえばリードフレーム10の基材13の板厚が150μm〜500μmである場合、溝15の深さは数十μm〜100μm、貴金属めっき膜14の厚さは数μm程度とする。
また、上記各実施形態では、溝15は断面V字のV溝であったが、溝15形状はこれに限定されるものではない。たとえば溝15としては、断面U字のU溝形状でもよいし、断面角形の角溝形状であってもよい。さらに、溝15の平面パターンとしては、上記各図に示したような直線状の溝に限らず、曲線状、蛇行形状等の溝であってもよい。
また、上記各実施形態におけるモールドパッケージは、QFP(クワッドフラットパッケージ)の如く、リードフレーム10の一端部11側がモールド樹脂30で封止されたインナーリードとされ、他端部12側がモールド樹脂30より突出するアウターリードとされたものであった。
ここで、モールドパッケージとしては、リードフレーム10の一端部11側において当該一端部11から貴金属めっき膜14に渡る部位が、ボンディングワイヤ20とともに、モールド樹脂30によって封止されたものであればよく、上記QFPのような形態に限定されるものではない。
たとえば、モールドパッケージとしては、QFN(クワッドフラットノンリードパッケージ)のように、リードフレーム10の他端部12側がモールド樹脂30より突出しないものであってもよい。このQFNの場合、リードフレーム10の他端部12側もモールド樹脂30で封止された構成となる。
また、アイランド40は、上記各実施形態では、リードフレーム10をリード部としてリードフレーム10と一体に形成されたリードフレーム素材の一部として構成されたものであったが、リードフレーム10とは元々、別体のヒートシンク等であってもよい。
また、モールドパッケージとしては、上記構成のように、リードフレーム10の一端部11側に貴金属めっき膜14が設けられ、それに対してボンディングワイヤ20が接続されて、モールド樹脂30による封止がなされるものであればよい。たとえば、ボンディングワイヤ20を介したリードフレーム10との接続相手としては、ICチップ50以外のものでもよい。
また、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能であり、また、上記各実施形態は、上記の図示例に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されるものではない。
10 リードフレーム
11 リードフレームの一端部
12 リードフレームの他端部
13 基材
13a モールド樹脂内に位置するリードフレームの一端部側のうち貴金属めっき膜とリードフレームの一端部との間に位置する部位としての一端側のめっき隣接部位
14 貴金属めっき膜
15 溝
20 ボンディングワイヤ
30 モールド樹脂
11 リードフレームの一端部
12 リードフレームの他端部
13 基材
13a モールド樹脂内に位置するリードフレームの一端部側のうち貴金属めっき膜とリードフレームの一端部との間に位置する部位としての一端側のめっき隣接部位
14 貴金属めっき膜
15 溝
20 ボンディングワイヤ
30 モールド樹脂
Claims (2)
- 一端部(11)から他端部(12)へ延びるものであって、導電性の基材(13)、および、当該一端部側にて前記基材の表面に設けられたボンディング部としての貴金属めっき膜(14)を備えるリードフレーム(10)と、
前記貴金属めっき膜に接続されたボンディングワイヤ(20)と、
前記リードフレームの一端部側において少なくとも当該一端部から前記貴金属めっき膜に渡る部位を、前記ボンディングワイヤとともに封止するモールド樹脂(30)と、を備え、
前記リードフレームにおける前記基材は、前記貴金属めっき膜よりも前記モールド樹脂との密着性が大きいものであり、
前記貴金属めっき膜を、前記基材の表面のうち前記リードフレームの一端部とは所定距離(L1)、離れて隣接する部位に設けることにより、
前記モールド樹脂内に位置する前記リードフレームの一端部側のうち前記貴金属めっき膜と前記リードフレームの一端部との間に位置する部位(13a)では、前記基材の表面が露出し、当該露出した前記基材の表面が前記モールド樹脂に接触して封止されており、
さらに、前記露出した前記基材の表面のうち、前記貴金属めっき膜と前記リードフレームの一端部との間に位置する部位には、当該表面より凹んだ溝(15)が設けられていることを特徴とするモールドパッケージ。 - 前記モールド樹脂内に位置する前記リードフレームの一端部側のうち前記貴金属めっき膜よりも前記リードフレームの他端部側にて前記貴金属めっき膜に隣接する部位(13b)では、前記基材の表面が露出し、当該露出した前記基材の表面が前記モールド樹脂に接触して封止されており、
前記溝は、前記貴金属めっき膜よりも前記リードフレームの他端部側にて露出した前記基材の表面にも、設けられていることを特徴とする請求項1に記載のモールドパッケージ。
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