JP2017166413A - 水封式真空ポンプの運転方法及び利用装置 - Google Patents

Abstract

【課題】水封式真空ポンプ２１を用いて、槽内に被処理物を収容して減圧する場合、到達圧を落とすことなく封水を再利用することを可能にする。【解決手段】水封式真空ポンプ２１から排出される封水の一部を水封式真空ポンプ２１に還流する循環ラインＬ５を備える水封式真空ポンプ２１の運転方法であって、循環ラインＬ５の中の封水の温度を検出し、検出温度値が第１設定温度値を超えない場合、循環ラインＬ５を開放して封水の一部を還流させるとともに、単位時間あたり第１流量値の封水を給水源から新規に水封式真空ポンプ２１に供給し、封水の検出温度値が第１設定温度値を超える場合、循環ラインＬ５を閉鎖して封水の還流を停止させるとともに、第１流量値よりも大きな単位時間あたり第２流量値の封水を給水源から新規に水封式真空ポンプ２１に供給する、水封式真空ポンプ２１の運転方法。【選択図】図１

Description

本発明は、水封式真空ポンプの運転方法及びその利用装置に関する。

真空冷却装置又は真空解凍装置において、冷却槽又は解凍槽の内部を減圧するための装置として、水封式真空ポンプが多用されている。水封式真空ポンプは、封水を供給する必要があり、吸引性能はこの封水温度による飽和蒸気圧によって決まる。そこで、従来は、封水の温度を低く保つために、水道水等の浄水を封水として供給し、この封水を再利用することなくそのまま廃棄していた。
これに対して、特許文献１には、水封式真空ポンプにおける封水の使用量を低減するとともに、性能の低下を防止する水封式真空ポンプの運転方法が記載されている。

特開平９−１５１８７３号公報

特許文献１には、水封式真空ポンプの封水の温度が設定温度に達するまでは、水封式真空ポンプから排出される封水を再度、水封式真空ポンプに供給して封水として再利用し、水封式真空ポンプの封水の温度が設定温度を超えたときは、給水源からの新規の封水を水封式真空ポンプに供給する第１の運転方法と、水封式真空ポンプの吸引圧力が設定圧力に達するまでは、水封式真空ポンプから排出される封水を再度、水封式真空ポンプに供給して封水として再利用し、水封式真空ポンプの吸引圧力が設定圧力以下になったときは、給水源からの新規の封水を水封式真空ポンプに供給する第２の運転方法と、が記載されている。
しかしながら、特許文献１に記載の発明は、封水温度が低いうちは、封水を１００％再利用するものであることから、封水を供給してから比較的短時間で封水の温度が上昇する可能性があった。このため、比較的短時間で、水封式真空ポンプの減圧能力が低下する可能性があった。

本発明は、水封式真空ポンプを用いて、槽内に被処理物を収容して減圧する場合、到達圧を落とすことなく封水を再利用することで封水の節水を可能にすることを目的とする。

本発明は、水封式真空ポンプから排出される封水の一部を前記水封式真空ポンプに還流する循環ラインを備える水封式真空ポンプの運転方法であって、前記循環ラインの中の封水の温度を検出し、前記封水の検出温度値が予め設定された第１設定温度値を超えない場合、前記循環ラインを開放して封水の一部を還流させるとともに、予め設定された単位時間あたり第１流量値の封水を給水源から新規に前記水封式真空ポンプに供給し、前記封水の検出温度値が前記第１設定温度値を超える場合、前記循環ラインを閉鎖して封水の還流を停止させるとともに、予め設定された、前記第１流量値よりも大きな単位時間あたり第２流量値の封水を前記給水源から新規に前記水封式真空ポンプに供給する、水封式真空ポンプの運転方法に関する。

本発明は、水封式真空ポンプから排出される封水の一部を前記水封式真空ポンプに還流する循環ラインを備える水封式真空ポンプの運転方法であって、前記水封式真空ポンプの吸引圧力を検出し、前記水封式真空ポンプの吸引圧力値が予め設定された第１設定圧力値を下回らない場合、前記循環ラインを開放して封水の一部を還流させるとともに、予め設定された単位時間あたり第１流量値の封水を給水源から新規に前記水封式真空ポンプに供給し、前記水封式真空ポンプの吸引圧力値が前記第１設定圧力値を下回る場合、前記循環ラインを閉鎖して封水の還流を停止させるとともに、予め設定された、前記第１流量値よりも大きな単位時間あたり第２流量値の封水を前記給水源から新規に前記水封式真空ポンプに供給する、水封式真空ポンプの運転方法に関する。

また、前記水封式真空ポンプを停止させる場合、前記循環ラインを開放して封水の一部を還流させるとともに、単位時間あたり前記第１流量値の封水を給水源から新規に前記水封式真空ポンプに供給し、予め設定された第１時間の経過後、前記給水源からの封水の供給を停止し、前記第１時間の経過後さらに予め設定された第２時間が経過すると、前記水封式真空ポンプを停止することが好ましい。

また、前記水封式真空ポンプは、真空冷却装置における被冷却物を収容した冷却槽を真空吸引することが好ましい。

また、前記水封式真空ポンプは、真空解凍装置における被解凍物を収容した処理槽を真空吸引することが好ましい。

本発明は、被処理物を収容する処理槽と、前記処理槽を減圧する真空吸入ラインと、
前記真空吸入ラインに接続された熱交換器と、前記真空吸入ラインに接続された水封式真空ポンプと、給水源から前記水封式真空ポンプに新規に封水を供給する給水ラインと、前記給水ラインに設けられる給水部と、前記水封式真空ポンプから排出される封水の一部を前記水封式真空ポンプに循環する循環ラインと、封水の温度を検出する封水温度検出部と、前記循環ラインに設けられた循環制御弁と、制御部と、を備え、前記制御部は、前記水封式真空ポンプを起動する水封式真空ポンプ起動部と、前記封水温度検出部により検出された前記封水の検出温度値が予め設定された第１設定温度値を超えない場合に前記循環制御弁を開放し、前記第１設定温度値を超える場合に前記循環制御弁を閉鎖する、循環制御部と、前記封水温度検出部により検出された前記封水の検出温度値が、予め設定された第１設定温度値を超えない場合に、前記給水部から予め設定された単位時間あたり第１流量値の封水を新規に前記水封式真空ポンプに供給させ、前記第１設定温度値を超える場合に前記給水部から予め設定された、前記第１流量値よりも大きな単位時間あたり第２流量値の封水を新規に前記水封式真空ポンプに供給させる、給水制御部と、を備える水封式真空ポンプ利用装置に関する。

本発明は、被処理物を収容する処理槽と、前記処理槽を減圧する真空吸入ラインと、
前記真空吸入ラインに接続された熱交換器と、前記真空吸入ラインに接続された水封式真空ポンプと、前記水封式真空ポンプの吸引圧力を検出する吸引圧力検出部と、給水源から前記水封式真空ポンプに新規に封水を供給する給水ラインと、前記水封式真空ポンプから排出される封水の一部を前記水封式真空ポンプに循環する循環ラインと、前記給水ラインに設けられる給水部と、前記循環ラインに設けられた循環制御弁と、制御部と、を備え、前記制御部は、前記水封式真空ポンプを起動する水封式真空ポンプ起動部と、前記吸引圧力検出部により検出された検出圧力値が予め設定された第１設定圧力値を下回らない場合に前記循環制御弁を開放し、前記第１設定圧力値を下回る場合に前記循環制御弁を閉鎖する、循環制御部と、前記吸引圧力検出部により検出された検出圧力値が予め設定された第１設定圧力値を下回らない場合に前記給水部から予め設定された単位時間あたり第１流量値の封水を新規に前記水封式真空ポンプに供給させ、前記第１設定圧力値を下回る場合に前記給水部から予め設定された、前記第１流量値よりも大きな単位時間あたり第２流量値の封水を新規に前記水封式真空ポンプに供給させる、給水制御部と、を備える水封式真空ポンプ利用装置に関する。

また、前記制御部は、さらに前記水封式真空ポンプを停止する水封式真空ポンプ停止制御部を備え、前記循環制御部は、さらに水封式真空ポンプ停止指示に対して、前記循環制御弁を開放し、前記給水制御部は、さらに、水封式真空ポンプ停止指示に対して、前記第１流量値の封水を給水源から新規に前記水封式真空ポンプに供給し、予め設定された第１時間の経過後に前記給水源からの封水の供給を停止し、前記水封式真空ポンプ停止制御部は、水封式真空ポンプ停止指示に対して、前記第１時間の経過後、さらに予め設定された第２時間が経過すると、前記水封式真空ポンプを停止することが好ましい。

また、前記水封式真空ポンプ利用装置は、真空冷却装置であり、前記被処理物は被冷却物であり、前記処理槽は、前記被冷却物を収容する冷却槽であることが好ましい。

また、前記水封式真空ポンプ利用装置は、真空解凍装置であり、前記被処理物は被解凍物であり、前記処理槽は、前記被解凍物を収容する解凍槽であることが好ましい。

本発明によれば、水封式真空ポンプを用いて、処理槽内に被処理物を収容して減圧する場合、到達圧を落とすことなく、封水の再利用を可能にして、封水の節水を達成することが可能となる。

第１実施形態の水封式真空ポンプを利用する真空冷却装置の概要を示す図である。 第１実施形態における水封式真空ポンプの起動後から停止指示がなされるまでの運転方法を示すフローチャートである。 第１実施形態における水封式真空ポンプの停止指示がなされてから、停止するまで運転方法を示すフローチャートである。 第１実施形態における水封式真空ポンプの起動後からの処理槽内圧力及び封水温度の時間的推移を示す図である。 第２実施形態の水封式真空ポンプを利用する真空冷却装置の概要を示す図である。 第２実施形態における水封式真空ポンプの起動後から停止指示がなされるまでの運転方法を示すフローチャートである。 第３実施形態の水封式真空ポンプを利用する真空冷却装置の概要を示す図である。

本発明は、水封式真空ポンプに適用される。特に、真空冷却装置又は真空解凍装置に利用される水封式真空ポンプを主な対象とするが、水封式真空ポンプ自体の適用用途は特に限定されるものではない。

［第１実施形態］
以下、本発明の好ましい一実施形態について図面を参照しながら説明する。図１は、本発明に係る水封式真空ポンプの利用装置の一実施形態（第１実施形態）を示す図である。第１実施形態では、水封式真空ポンプを真空冷却装置に適用した実施形態を示す。

図１に示すように、真空冷却装置は、冷却槽である処理槽１と、給気ラインＬ１と、真空吸入ラインＬ２と、水封式真空ポンプ２１と、封水温度検出部２４と、給水ラインＬ３と、給水部３１と、排気ラインＬ４と、循環ラインＬ５と、循環制御弁５１と、制御部６と、を備える。

処理槽１は、被処理物（被冷却物）（図示せず）を収容する。処理槽１には被処理物（被冷却物）の出入口となる耐圧扉（図示せず）を備えており、耐圧扉を閉じることで処理槽１を密閉することができる。
処理槽１には、給気ラインＬ１及び真空吸入ラインＬ２を接続している。

給気ラインＬ１には、フィルタ１１と、開閉自在な給気弁１２が設けられる。フィルタ１１で濾過された清浄空気は開放された給気弁１２を介して、給気ラインＬ１を通って処理槽１内に流入する。
給気弁１２は制御部６と電気的に接続され、制御部６から出力される制御信号に基づいて制御される。

真空吸入ラインＬ２は、処理槽１と水封式真空ポンプ２１とを接続する。
真空吸入ラインＬ２には、熱交換器２２、及び排気弁２３が設けられる。なお、真空吸入ラインＬ２の処理槽１側に蒸気エゼクタ（図示せず）を設けてもよい。
蒸気エゼクタは、蒸気を噴出させることにより処理槽１内の空気を吸引排出させる。

熱交換器２２は、真空吸入ラインＬ２内の蒸気を冷却し凝縮させるものである。真空吸入ラインＬ２内の蒸気を予め凝縮させておくことで、排出される空気の体積を減少させる。そうすることで、水封式真空ポンプ２１の負荷を軽減して、処理槽１内の減圧を有効に図ることができる。
なお、蒸気エゼクタによって処理槽１内の空気を吸引排出させる場合に、熱交換器２２により真空吸入ラインＬ２内の蒸気を冷却し凝縮させることは特に有効となる。

排気弁２３は、制御部６と電気的に接続され、制御部６から出力される制御信号に基づいて開閉自在に制御される。

水封式真空ポンプ２１は、封水を供給することで、内部に液体リングを形成し、この液体リングの回転により空気の吸引、排出を行う。水封式真空ポンプ２１は、排気弁２３を開放した状態で起動されることで、処理槽１内の空気を吸引し、処理槽１内を減圧する。
なお、水封式真空ポンプ２１では封水の飽和蒸気圧を超えて減圧することはできないため、処理槽１内の圧力と温度が低下してくると、封水温度を下げて、水封式真空ポンプ２１の排気能力（到達真空度及び排気量）を確保する必要がある。
しかしながら、減圧開始後の処理槽１内及び真空ラインＬ２の圧力と温度は高いため、水封式真空ポンプ２１の排気能力（到達真空度及び排気量）は十分にあり、この段階の新水供給量は節約することが可能である。
このため、本発明においては、減圧開始後の段階において、水封式真空ポンプ２１で使用され排出される封水の一部を再度、水封式真空ポンプ２１に供給して封水として再使用する。
水封式真空ポンプ２１は、制御部６と電気的に接続され、制御部６から出力される制御信号に基づいて制御される。

封水温度検出部２４は、水封式真空ポンプ２１に設けられ、封水の温度を検出する。封水温度検出部２４は、制御部６と電気的に接続されている。封水温度検出部２４で検出された封水温度（「検出温度値」）は、制御部６に検出信号として出力される。

給水ラインＬ３は、給水源（図示せず）と水封式真空ポンプ２１とを接続し、給水源から水封式真空ポンプ２１に新規に封水を供給する。給水ラインＬ３には、給水部３１が設けられる。

給水部３１は、制御部６からの指示に基づいて、予め設定された単位時間あたり第１流量値の封水か、又は第１流量値よりも大きな単位時間あたり第２流量値の封水を、新規に水封式真空ポンプ２１に供給させる給水量制御弁である。
給水部３１の構成として、図１に記載のように、例えば、給水ラインＬ３に開閉自在な第１給水制御弁３１１を設け、給水ラインＬ３に設けられたバイパスラインＬ３１に開閉自在な第２給水制御弁３１２を設けるようにしてもよい。そして、図１に記載のように給水ラインＬ３及びバイパスラインＬ３１にそれぞれ、定流量弁３１３及び定流量弁３１４を設けることで、第１給水制御弁３１１を開放して第２給水制御弁３１２を閉鎖した場合、単位時間あたり第１流量値の封水を新規に水封式真空ポンプ２１に供給させ、第１給水制御弁３１１及び第２給水制御弁３１２をともに開放した場合、第１流量値よりも大きな単位時間あたり第２流量値の封水を水封式真空ポンプ２１に供給させるようにすることができる。
給水部３１は、制御部６と電気的に接続され、制御部６から出力される制御信号に基づいて制御される。

排気ラインＬ４は、水封式真空ポンプ２１とセパレータ４１とを接続し、水封式真空ポンプ２１から排出された空気とともに水封式真空ポンプ２１で使用された封水が、セパレータ４１に流入する。
セパレータ４１は、排出された空気と排出された封水とを分離し、それぞれ、排気及び排水を行う。また、セパレータ４１は、排出される封水の一部を循環ラインＬ５に供給する。ここで、封水の一部として排出される封水の６０％を還流させるようにしてもよい。

循環ラインＬ５は、セパレータ４１と給水ラインＬ３とを接続し、水封式真空ポンプ２１で使用された封水の一部を水封式真空ポンプ２１に還流させる。循環ラインＬ５には、セパレータ４１側から、循環制御弁５１、逆止弁５２が設けられる。

循環制御弁５１は、開放されることで、水封式真空ポンプ２１から排出される封水の一部（セパレータ４１で分離された封水の一部）を水封式真空ポンプ２１に還流させる。他方、循環制御弁５１は閉鎖されると、水封式真空ポンプ２１から排出される封水の一部は水封式真空ポンプ２１に還流させない。
循環制御弁５１は、制御部６と電気的に接続され、制御部６から出力される制御信号に基づいて開閉自在に制御される。

本実施形態においては、水封式真空ポンプ２１から排出される封水の一部を、循環ラインＬ５を介して水封式真空ポンプ２１に還流させて、封水の節水を可能にするとともに、水封式真空ポンプ２１を停止させる場合、給水源から新規な封水を循環ラインＬ５内を循環させることで、循環ラインＬ５を洗浄することを可能とする。
このために、制御部６は、水封式真空ポンプ起動部６１と、循環制御部６２と、給水制御部６３と、水封式真空ポンプ停止制御部６４と、を備え、給水ラインＬ３及び循環ラインＬ５を制御する。

次に、制御部６の備える各機能部について説明する。
先ず、水封式真空ポンプ２１の起動後の制御について説明する。なお、水封式真空ポンプ２１の停止時の制御については、後述する。

＜水封式真空ポンプ２１の起動後の制御について＞
水封式真空ポンプ起動部６１は、水封式真空ポンプ２１を起動する。具体的には、処理槽１内に被処理物（被冷却物）が収容され、開閉扉が閉鎖された後、水封式真空ポンプ起動部６１は、熱交換器２２を作動させるとともに、水封式真空ポンプ２１を起動させる。
水封式真空ポンプ２１が起動されると、処理槽１内の空気は、真空吸引ラインＬ２を介して真空吸引される。そして、処理槽１内の圧力が低下するにつれて飽和蒸気温度が低下し、処理槽１内の被処理物（被冷却物）の水分が活発に蒸発し、この蒸気が空気とともに真空吸引ラインＬ２によって吸引される。
そして、排気ラインＬ４に空気とともに封水が排出され、セパレータ４１によって空気と封水とが分離され、それぞれ、排気及び排水が行われる。

＜封水の検出温度値が第１設定温度値を超えない場合＞
循環制御部６２は、水封式真空ポンプ２１の起動後に、封水温度検出部２４により検出された検出温度値が予め設定された第１設定温度値を超えない場合には、循環制御弁５１を開放した状態を継続させる。
具体的には、水封式真空ポンプ２１の起動時には、封水温度検出部２４により検出される封水の検出温度値は、新規に給水される水と略同温度である。このため、循環制御部６２は、水封式真空ポンプ２１の起動時から、封水温度検出部２４により検出される検出温度値が第１設定温度値を超えるまで、循環制御弁５１を開放させた状態を継続させる。
そうすることで、セパレータ４１によって分離された封水の一部が、循環ラインＬ５から循環制御弁５１を介して給水ラインＬ３に流入し、再度、水封式真空ポンプ２１に還流し、封水として利用される。

給水制御部６３は、封水温度検出部２４により検出された検出温度値が、第１設定温度値を超えない場合（すなわち、第１設定温度値を超えるまで）、給水部３１から予め設定された単位時間あたり第１流量値の封水を新規に水封式真空ポンプ２１に供給させる。
そうすることで、給水部３１から新規に供給される単位時間あたり第１流量値の封水は、セパレータ４１によって分離された封水の一部とともに、水封式真空ポンプ２１に供給される。
このように、封水の循環使用により、封水温度検出部２４により検出される検出温度値が上昇することとなる。他方、水封式真空ポンプ２１の運転を継続することにより、処理槽１内の圧力及び温度は低下する。
次に、封水温度検出部２４により検出される封水の検出温度値が第１設定温度値を超える場合について説明する。

＜封水の検出温度値が第１設定温度値を超える場合＞
循環制御部６２は、封水温度検出部２４により検出された検出温度値が予め設定された第１設定温度値を超える場合、循環制御弁５１を閉鎖させる。循環制御弁５１が閉鎖されることにより、水封式真空ポンプ２１から排出される封水は、循環ラインＬ５から給水ラインＬ３に流入されなくなり、排出される封水の再使用を終了させる。

給水制御部６３は、封水温度検出部２４により検出された検出温度値が予め設定された第１設定温度値を超える場合、給水部３１から第１流量値よりも大きな単位時間あたり第２流量値の封水を新規に水封式真空ポンプ２１に供給させる。

このように、水封式真空ポンプ２１の起動後、封水温度検出部２４により検出された検出温度値が予め設定された第１設定温度値を超えない場合において、循環制御部６２は、使用された封水の一部を循環させながら、残りの封水を排水するように制御される。他方、給水制御部６３は、この間、給水部３１から予め設定された単位時間あたり第１流量値の封水を新規に水封式真空ポンプ２１に供給させる。
すなわち、水封式真空ポンプ２１の起動後、封水温度検出部２４により検出された検出温度値が予め設定された第１設定温度値を超えない場合において、制御部６は、封水の一部を循環させて、水封式真空ポンプ２１に再使用させながら、他方残りの封水を排水し、また、給水源から新規の封水を供給するという運転状態を継続させる。

このように、使用された封水の全量を循環させるのではなく、一部の封水を再使用することにより、貯留タンクの設置スペースが不要となり、省スペース化を図ることが可能となる。
また、循環ラインＬ５に貯留タンクを設けた場合には、真空吸引の際に封水中に取り込まれる食材蒸気や食材からの飛散物が貯留タンク内に堆積し、貯留タンク内で細菌が繁殖する温床となるリスクがあることから、貯留タンクを定期的に洗浄する必要があったが、本実施形態において、貯留タンクが不要となることで、貯留タンクの定期的な洗浄負担を無くすことが可能となる。また、貯留タンクが不要となることで、循環ラインＬ５が衛生的になるという効果を奏することができる。
また、使用後の封水の一部再使用及び新規の封水を供給することにより、到達圧を落とすことなく、封水の再利用を可能にして、封水の節水を達成することが可能となる。

その後、封水温度検出部２４により検出された検出温度値が予め設定された第１設定温度値を超える場合には、制御部６は、使用後の封水の循環ラインＬ５への還流を停止し、代わりに、給水源から新規の封水を供給するという運転状態に移行させる。

このように、循環使用して温度上昇した封水に換えて、新規の封水とすることで、封水温度検出部２４により検出される封水の検出温度値は、新規に給水される水と略同温度となる。水封式真空ポンプ２１に供給される封水の温度が低下することで、水封式真空ポンプ２１は初期の性能を発揮することが可能となる。

＜水封式真空ポンプ２１を停止させる場合の制御について＞
次に、水封式真空ポンプ２１を停止させる際の制御について説明する。
水封式真空ポンプ停止制御部６４は、水封式真空ポンプ停止指示に対して、予め設定された第１時間の経過後、さらに予め設定された第２時間が経過すると、水封式真空ポンプ２１を停止する。より具体的には、水封式真空ポンプ停止指示に対して、直ちに水封式真空ポンプ２１を停止させるのではなく、所定時間稼働させる。

循環制御部６２は、水封式真空ポンプ停止指示に対して、循環制御弁５１を開放する。こうすることで、セパレータ４１で分離された封水は、循環ラインＬ５を経由して給水ラインＬ３に流入されるようになる。

給水制御部６３は、水封式真空ポンプ停止指示に対して、予め設定された第１時間が経過するまで、第１流量値の封水を給水源から新規に前記水封式真空ポンプ２１に供給し、第１時間の経過後に給水源からの封水の供給を停止する。

すなわち、水封式真空ポンプ停止指示がなされた場合、第１時間が経過するまで、循環制御弁５１を開放し、第１流量値の封水を給水源から新規に水封式真空ポンプ２１に供給しながら、水封式真空ポンプ２１を稼働させる。第１時間経過後は、循環制御弁５１を閉鎖し、給水源からの封水の供給を停止させる。他方、水封式真空ポンプ２１は、第１時間経過後第２時間が経過するまで、稼働させることとなる。
こうすることで、循環ラインＬ５に溜まった汚れ、汚水（例えば、封水を再使用したことに伴い、封水と一緒に発生した食材蒸気の凝縮水等）を洗浄し、排出することが可能となる。そうすることで、循環ラインＬ５に溜まった汚れにより循環ラインＬ５が詰まるリスク並びに循環ラインＬ５内に汚れが堆積することにより、循環ラインＬ５内が細菌の繁殖の温床となるリスクを回避することができる。

次に、図２及び図３を参照して、第１実施形態に係る水封式真空ポンプ２１の運転方法について説明する。図２は、水封式真空ポンプ２１の起動後から停止指示がなされるまでの運転方法を示すフローチャートである。図３は、水封式真空ポンプ２１の停止指示がなされてから、停止するまで運転方法を示すフローチャートである。

＜水封式真空ポンプ２１の起動後から停止指示がなされるまで＞
図２を参照して、水封式真空ポンプ２１の起動後から停止指示がなされるまでの運転方法を説明する。
ステップＳＴ１において、封水温度検出部２４は、水封式真空ポンプ２１の中の封水の温度を検出する。

ステップＳＴ２において、制御部６は、検出温度値が第１設定温度値を超えるか否かを判定する。検出温度値が第１設定温度値を超える場合（Ｙｅｓの場合）、ステップＳＴ４に移る。検出温度値が第１設定温度値を超えない場合（Ｎｏの場合）、ステップＳＴ３に移る。

ステップＳＴ３において、制御部６は、循環ラインＬ５を開放して封水の一部を還流させるとともに、給水ラインＬ３を介して単位時間あたり第１流量値の封水を給水源から新規に水封式真空ポンプ２１に供給する。その後、ステップＳＴ２に戻る。

ステップＳＴ４において、制御部６は、循環ラインＬ５を閉鎖して封水の還流を停止させる。

ステップＳＴ５において、制御部６は、給水ラインＬ３を介して単位時間あたり、第１流量値よりも大きな第２流量値の封水を給水源から新規に水封式真空ポンプ２１に供給する。

ステップＳＴ６において、水封式真空ポンプ２１の停止指示があったか否かを判定する。停止指示があった場合（Ｙｅｓの場合）、ステップＳＴ１０に移る。停止指示がなかった場合（Ｎｏの場合）、ステップＳＴ５に戻る。

＜水封式真空ポンプ２１の停止指示がなされてから、停止するまで＞
図３を参照して、水封式真空ポンプ２１の停止指示がなされてから、停止するまでの運転方法を説明する。
ステップＳＴ１０において、制御部６は、循環ラインＬ５を開放して封水の一部を還流させる。

ステップＳＴ１１において、制御部６は、給水ラインＬ３を介して単位時間あたり第１流量値の封水を給水源から新規に水封式真空ポンプ２１に供給させる。

ステップＳＴ１２において、停止指示を受けてから第１時間が経過したか否かを判定する。第１時間が経過した場合（Ｙｅｓ）の場合、ステップＳＴ１３に移る。第１時間が経過していない場合（Ｎｏ）の場合、ステップＳＴ１１に戻る。

ステップＳＴ１３において、制御部６は、給水源からの封水の供給を停止させる。

ステップＳＴ１４において、給水源からの封水の供給を停止させてから、第２時間が経過したか否かを判定する。第２時間が経過した場合（Ｙｅｓ）の場合、ステップＳＴ１５に移る。第２時間が経過していない場合（Ｎｏ）の場合、ステップＳＴ１４に戻る。

ステップＳＴ１５において、制御部６は、水封式真空ポンプ２１を停止させる。

次に、図４を参照して、本実施形態の水封式真空ポンプ２１の動作について説明する。図４は、第１実施形態における処理槽１内の圧力及び封水温度の時間的推移の一例を示す図である。横軸は時間ｔ、縦軸（左側）は処理槽１内の圧力、縦軸（右側）は封水温度を表す。そして、実線は処理槽１内の圧力の時間的推移を、破線は封水温度の時間的推移を表す。また、第１設定温度値を摂氏４０度に設定されているものとする。

まず、処理槽１内に被処理物を収容し、処理槽１の作業用の開閉扉を閉鎖する。このとき制御部６は給気弁１２を開放状態にするとともに水封式真空ポンプ２１を停止させている。

次に時間ｔ_０において、水封式真空ポンプ起動部６１は、給気弁１２を閉鎖状態にし、熱交換器２２を作動させ、水封式真空ポンプ２１を起動させる。
循環制御部６２は、循環制御弁５１を開放した状態を継続させる。
給水制御部６３は、給水部３１から予め設定された単位時間あたり第１流量値の封水を新規に水封式真空ポンプ２１に供給させる。
そうすることで、給水部３１から新規に供給される単位時間あたり第１流量値の封水は、セパレータ４１によって分離された封水の一部とともに、水封式真空ポンプ２１に供給される。
このように、水封式真空ポンプ２１の起動後、処理槽１内の圧力は、図１に示す減圧曲線に従って水封式真空ポンプ２１により減圧される。他方、封水の循環使用により、封水温度検出部２４により検出される検出温度値は、図１に示すように徐々に上昇する

時間ｔ_１において、封水温度検出部２４により検出される検出温度値が第１設定温度値の４０度に到達すると、循環制御部６２は循環制御弁５１を閉鎖させるとともに、給水制御部６３は、給水部３１から第１流量値よりも大きな単位時間あたり第２流量値の封水を新規に水封式真空ポンプ２１に供給させる。
セパレータ４１によって分離された封水の一部の再利用を停止し、封水への新水供給量を増やし、封水温度を低下させることで、処理槽１内の圧力は、図１に示す減圧曲線に従ってさらに減圧し、被処理物を所定温度に冷却する。

以上のように、第１実施形態の水封式真空ポンプ２１の運転方法及び水封式真空ポンプ２１を利用した真空冷却装置においては、水封式真空ポンプ２１の起動後、封水温度検出部２４により検出された検出温度値が第１設定温度値を超えない場合において、封水の一部を循環させるとともに給水源から新規の封水を供給する。他方、検出温度値が第１設定温度値を超える場合には、使用後の封水を全て排水し、給水源から新規の封水を供給する。
これにより、使用された封水の全量を循環させるのではなく、一部の封水を再使用することにより、貯留タンクの設置スペースが不要となり、省スペース化を図ることが可能となる。また、循環ラインＬ５に貯留タンクを設けた場合には、真空吸引の際に封水中に取り込まれる食材蒸気や食材からの飛散物が貯留タンク内に堆積し、貯留タンク内で細菌が繁殖する温床となるリスクがあることから、貯留タンクを定期的に洗浄する必要があったが、本実施形態において、貯留タンクが不要となることで、貯留タンクの定期的な洗浄負担を無くすことが可能となる。また、貯留タンクが不要となることで、循環ラインＬ５が衛生的になるという効果を奏することができる。
また、検出温度値が第１設定温度値を超えるまでは、使用後の封水の一部再使用及び新規の封水を供給することにより、到達圧を落とすことなく、封水の再利用を可能にして、封水の節水を達成することが可能となる。また、検出温度値が第１設定温度値を超えた以降は、水封式真空ポンプ２１に供給される封水の温度が低下することで、水封式真空ポンプ２１は初期の性能を発揮することが可能となり、効率よく真空冷却を行うことができる。

また、第１実施形態の水封式真空ポンプ２１の運転方法及び水封式真空ポンプ２１を利用した真空冷却装置においては、水封式真空ポンプ停止指示がなされた場合、水封式真空ポンプ２１を稼働状態を継続させ、第１時間が経過するまで、循環制御弁５１を開放し、第１流量値の封水を給水源から新規に前記水封式真空ポンプ２１に供給し、第１時間経過後は、循環制御弁５１を閉鎖し、給水源からの封水の供給を停止させる。第１時間経過後第２時間が経過すると、水封式真空ポンプ２１を停止させる。
こうすることで、循環ラインＬ５に溜まった汚れ、汚水（例えば、封水を再使用したことに伴い、封水と一緒に発生した食材蒸気の凝縮水）を洗浄し、排出することが可能となり、循環ラインＬ５に溜まった汚れにより循環ラインＬ５が詰まるリスク並びに循環ラインＬ５内に汚れが堆積することにより、循環ラインＬ５内が細菌の繁殖の温床となるリスクを回避することができる。

なお、本発明は、前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

［変形例１］
第１実施形態においては、循環制御部６２は、封水温度検出部２４により検出された検出温度値が第１設定温度値を超える場合、循環制御弁５１を閉鎖させて、水封式真空ポンプ２１から排出される封水の再使用を完全に終了させたが、検出温度値が第１設定温度値を超えた場合においても、循環ラインＬ５から少量の封水を還流させるとともに、給水部３１から第１流量値よりも大きく、第２流量値より小さな単位時間あたり第３流量値の封水を新規に水封式真空ポンプ２１に供給させる構成にしてもよい。そうすることで、給水ラインＬ３からの封水の供給量を低減し、減圧能力を向上させることができる。

［変形例２］
第１実施形態においては、封水温度検出部２４は、水封式真空ポンプ２１に設けられ、封水の温度を検出したが、例えば、循環ラインＬ５に設けて、水封式真空ポンプ２１の出口の温度を検出するようにしてもよい。

［変形例３］
図１においては、第１給水制御弁３１１を給水ラインＬ３とバイパスラインＬ３１との接続点よりも上流に設けたが、第１給水制御弁３１１を給水ラインＬ３とバイパスラインＬ３１との接続点より下流に設けるようにしてもよい。その場合、第１給水制御弁３１１を開放して第２給水制御弁３１２を閉鎖した場合、単位時間あたり第１流量値の封水を新規に水封式真空ポンプ２１に供給させ、第１給水制御弁３１１及び第２給水制御弁３１２をともに開放した場合、第１流量値よりも大きな単位時間あたり第２流量値の封水を水封式真空ポンプ２１に供給させるようにしてもよい。

［第２実施形態］
第１実施形態においては、封水温度検出部２４により検出された検出温度値に基づいて、封水供給の切り換え制御を行ったが、第２実施形態は、封水温度検出部２４に換えて、水封式真空ポンプ２１の吸引圧力を検出する吸引圧力検出部２５を設け、吸引圧力検出部２５により検出された検出圧力値に基づいて、封水供給の切り換え制御を行う。

図５は、第２実施形態に係る水封式真空ポンプ２１の利用装置（真空冷却装置）の一実施形態を示す図である。図５において、図１との相違点は、封水の供給の切り換え制御に関する構成であり、その他の構成については同様であるので、同一参照符号を附してその詳細説明を省略する。

図５に示すように、吸引圧力検出部２５は、水封式真空ポンプ２１の吸入側すなわち、真空吸入ラインＬ２における水封式真空ポンプ２１の上流側に設けられる。吸引圧力検出部２５は、水封式真空ポンプ２１の吸引圧力値を検出する。吸引圧力検出部２５は、制御部６Ａと電気的に接続されている。吸引圧力検出部２５で検出された吸引圧力（「検出圧力値」）は、制御部６Ａに検出信号として出力される。

制御部６Ａは、水封式真空ポンプ起動部６１と、循環制御部６２Ａと、給水制御部６３Ａと、水封式真空ポンプ停止制御部６４と、を備え、給水ラインＬ３及び循環ラインＬ５を制御する。
ここで、水封式真空ポンプ起動部６１及び水封式真空ポンプ停止制御部６４は、第１実施形態と同様であり、説明を省略する。ここでは、第１実施形態と異なる循環制御部６２Ａ及び給水制御部６３Ａについて説明する。

循環制御部６２Ａは、水封式真空ポンプ２１の起動後に、吸引圧力検出部２５により検出された検出圧力値が予め設定された第１設定圧力値を下回らない場合には、循環制御弁５１を開放した状態を継続させる。
具体的には、水封式真空ポンプ２１の起動時には、吸引圧力検出部２５により検出される検出圧力値は、大気圧と略同圧力である。このため、循環制御部６２Ａは、水封式真空ポンプ２１の起動時から、吸引圧力検出部２５により検出される検出圧力値が第１設定圧力値を下回るまで、循環制御弁５１を開放させた状態を継続させる。
そうすることで、セパレータ４１によって分離された封水の一部が、循環ラインＬ５から循環制御弁５１を介して給水ラインＬ３に流入し、再度、水封式真空ポンプ２１に還流し、封水として利用される。

給水制御部６３Ａは、吸引圧力検出部２５により検出された検出圧力値が、第１設定圧力値を下回らない場合（すなわち、第１設定圧力値を下回るまで）、給水部３１から予め設定された単位時間あたり第１流量値の封水を新規に水封式真空ポンプ２１に供給させる。
そうすることで、給水部３１から新規に供給される単位時間あたり第１流量値の封水は、セパレータ４１によって分離された封水の一部とともに、水封式真空ポンプ２１に供給される。
このように、封水の循環使用により、吸引圧力検出部２５により検出される検出圧力値が減少することとなる。
次に、吸引圧力検出部２５により検出される検出圧力値が第１設定圧力値を下回る場合について説明する。

＜検出圧力値が第１設定圧力値を下回る場合＞
循環制御部６２Ａは、吸引圧力検出部２５により検出された検出圧力値が予め設定された第１設定圧力値を下回る場合、循環制御弁５１を閉鎖させる。循環制御弁５１が閉鎖されることにより、水封式真空ポンプ２１から排出される封水は、循環ラインＬ５から給水ラインＬ３に流入されなくなり、排出される封水の再使用を終了させる。

給水制御部６３Ａは、吸引圧力検出部２５により検出された検出圧力値が予め設定された第１設定圧力値を下回る場合、給水部３１から第１流量値よりも大きな単位時間あたり第２流量値の封水を新規に水封式真空ポンプ２１に供給させる。

このように、水封式真空ポンプ２１の起動後、吸引圧力検出部２５により検出された検出圧力値が予め設定された第１設定圧力値を下回らない場合において、循環制御部６２Ａは、使用された封水の一部を循環させながら、残りの封水を排水するように制御する。他方、給水制御部６３Ａは、この間、給水部３１から予め設定された単位時間あたり第１流量値の封水を新規に水封式真空ポンプ２１に供給させる。
すなわち、水封式真空ポンプ２１の起動後、吸引圧力検出部２５により検出された検出圧力値が予め設定された第１設定圧力値を下回らない場合において、制御部６Ａは、封水の一部を循環させて、水封式真空ポンプ２１に再使用させながら、他方残りの封水を排水し、また、給水源から新規の封水を供給するという運転状態を継続させる。

このように、使用された封水の全量を循環させるのではなく、一部の封水を再使用することにより、第１実施形態の場合と同様、貯留タンクの設置スペースが不要となり、省スペース化を図ることが可能となる。
また、使用後の封水の一部再使用及び新規の封水を供給することにより、使用された封水を全量循環させる場合に比べて、水封式真空ポンプ２１の能力低下を防ぐとともに、節水を図ることが可能となる。

その後、吸引圧力検出部２５により検出された検出圧力値が予め設定された第１設定圧力値を下回る場合には、制御部６Ａは、使用後の封水の循環ラインＬ５への還流を停止し、代わりに、給水源から新規の封水を供給するという運転状態に移行させる。

このように、循環使用して温度上昇した封水に換えて、新規の封水とすることで、封水の温度は、新規に給水される水と略同温度となる。水封式真空ポンプ２１に供給される封水の温度が低下することで、水封式真空ポンプ２１は初期の性能を発揮することが可能となる。

次に、図６を参照して、第２実施形態に係る水封式真空ポンプ２１の運転方法について説明する。図６は、水封式真空ポンプ２１の起動後から停止指示がなされるまでの運転方法を示すフローチャートである。なお、水封式真空ポンプ２１の停止指示がなされてから、停止するまで運転方法は、第１実施形態と同様であるため、省略する。

ステップＳＴ１´において、吸引圧力検出部２５は、水封式真空ポンプ２１の吸引圧力値を検出する。

ステップＳＴ２´において、制御部６Ａは、検出圧力値が第１設定圧力値を下回るか否かを判定する。検出圧力値が第１設定圧力値を下回る場合（Ｙｅｓの場合）、ステップＳＴ４´に移る。検出圧力値が第１設定圧力値を下回らない場合（Ｎｏの場合）、ステップＳＴ３´に移る。

ステップＳＴ３´において、制御部６Ａは、循環ラインＬ５を開放して封水の一部を還流させるとともに、給水ラインＬ３を介して単位時間あたり第１流量値の封水を給水源から新規に水封式真空ポンプ２１に供給する。その後、ステップＳＴ２´に戻る。

ステップＳＴ４´において、制御部６Ａは、循環ラインＬ５を閉鎖して封水の還流を停止させる。

ステップＳＴ５´において、制御部６Ａは、給水ラインＬ３を介して単位時間あたり、第１流量値よりも大きな第２流量値の封水を給水源から新規に水封式真空ポンプ２１に供給する。

ステップＳＴ６´において、水封式真空ポンプ２１の停止指示があったか否かを判定する。停止指示があった場合（Ｙｅｓの場合）、ステップＳＴ１０に移る。停止指示がなかった場合（Ｎｏの場合）、ステップＳＴ５´に戻る。

以上のように、第２実施形態の水封式真空ポンプ２１の運転方法及び水封式真空ポンプ２１を利用した真空冷却装置においては、水封式真空ポンプ２１の起動後、吸引圧力検出部２５により検出された検出圧力値が第１設定圧力値を下回らない場合において、封水の一部を循環させるとともに給水源から新規の封水を供給する。他方、検出圧力値が第１設定圧力値を下回る場合には、使用後の封水の循環ラインＬ５への還流を停止し、代わりに給水源から新規の封水を供給する。
これにより、使用された封水の全量を循環させるのではなく、一部の封水を再使用することにより、第１実施形態の場合と同様、貯留タンクの設置スペースが不要となり、省スペース化を図ることが可能となる。
また、第１実施形態の場合と同様、貯留タンクが不要となることで、貯留タンクの定期的な洗浄負担を無くすことが可能となる。また、貯留タンクが不要となることで、循環ラインＬ５が衛生的になるという効果を奏することができる。
また、使用後の封水の一部再使用及び新規の封水を供給することにより、全量循環させる場合に比べて、水封式真空ポンプ２１の能力低下を防ぐとともに、節水を図ることが可能となる。また、検出圧力値が第１設定圧力値を下回った以降は、水封式真空ポンプ２１に供給される封水の温度が低下することで、水封式真空ポンプ２１は初期の性能を発揮することが可能となり、効率よく真空冷却を行うことができる。

なお、第２実施形態の水封式真空ポンプ２１の運転方法及び水封式真空ポンプ２１を利用した真空冷却装置においても、第１実施形態と同様に循環ラインＬ５に溜まった汚れ、汚水（例えば、封水を再使用したことに伴い、封水と一緒に発生した食材蒸気の凝縮水）を洗浄し、排出することが可能となり、第１実施形態の場合と同様、循環ラインＬ５に溜まった汚れにより循環ラインＬ５が詰まるリスク並びに循環ラインＬ５内に汚れが堆積することにより、循環ラインＬ５内が細菌の繁殖の温床となるリスクを回避することができる。

［第３実施形態］
第１実施形態においては、封水温度検出部２４により検出された検出温度値に基づいて、封水供給の切り換え制御を行い、第２実施形態においては、吸引圧力検出部２５により検出された検出圧力値に基づいて、封水供給の切り換え制御を行った。
これに対して、第３実施形態は、封水温度検出部２４により検出された検出温度値及び吸引圧力検出部２５により検出された検出圧力値に基づいて、封水供給の切り換え制御を行う。

図７は、第３実施形態に係る水封式真空ポンプ２１の利用装置（真空冷却装置）の一実施形態を示す図である。図７において、図１との相違点は、封水の供給の切り換え制御に関する構成であり、その他の構成については同様であるので、同一参照符号を附してその詳細説明を省略する。

具体的には、図７に示すように、第３実施形態に係る水封式真空ポンプの利用装置は、封水温度検出部２４及び吸引圧力検出部２５を備える。

制御部６Ｂは、水封式真空ポンプ起動部６１と、循環制御部６２Ｂと、給水制御部６３Ｂと、水封式真空ポンプ停止制御部６４と、を備え、給水ラインＬ３及び循環ラインＬ５を制御する。

循環制御部６２Ｂは、封水温度検出部２４により検出された検出温度が予め設定された第１設定温度値を上回り、かつ吸引圧力検出部２５により検出された検出圧力が予め設定された第１設定圧力値を下回る場合に、循環制御弁５１を閉鎖させる。

給水制御部６３Ｂは、封水温度検出部２４により検出された検出温度値が予め設定された第１設定温度を上回り、かつ吸引圧力検出部２５により検出された検出圧力値が予め設定された第１設定圧力値を下回る場合に、給水部３１から第１流量値よりも大きな単位時間あたり第２流量値の封水を新規に水封式真空ポンプ２１に供給させる。

こうすることで、例えば、被処理物が高温である等の理由により処理槽１内の圧力が高い状態で、封水温度が第１設定温度値以上の場合、処理槽１内の圧力が第１設定圧力値以下に低下するまで、制御部６Ｂは、封水の一部を循環させて、水封式真空ポンプ２１に再使用させながら、他方残りの封水を排水し、また、給水源から新規の封水を供給するという運転状態を継続させることができ、節水を図ることが可能となる。

なお、吸引圧力検出部２５により検出される検出圧力値が予め設定された第１設定圧力値を下回らない状態が長時間（例えば予め設定した第３時間）継続し、封水温度検出部２４により検出される検出温度値が過剰に上昇するような異常状態を防止するために、封水温度検出部２４により検出された検出温度が予め第１設定温度より高く設定された第２設定温度値を上回った場合に、循環制御部６２Ｂにより循環制御弁５１を閉鎖させるとともに給水制御部６３Ｂにより給水部３１から第１流量値よりも大きな単位時間あたり第２流量値の封水を新規に水封式真空ポンプ２１に供給させるようにしてもよい。

［第４実施形態］
第１実施形態においては、水封式真空ポンプ２１を真空冷却装置に適用したが、第４実施形態は、水封式真空ポンプ２１を真空解凍装置に適用するものである。
ここで、第４実施形態と第１実施形態との相違点は、図１において、処理槽１は解凍槽であり、その他の構成については同様である。なお、被処理物は被解凍物である。
したがって、第４実施形態は、第１実施形態における被冷却物である被処理物及び冷却槽である処理槽を、それぞれ被解凍物である被処理物及び解凍槽である処理槽に読み替えることで、説明することができるので、その詳細な説明を省略する。

［第５実施形態］
第２実施形態においては、水封式真空ポンプ２１を真空冷却装置に適用したが、第５実施形態は、水封式真空ポンプ２１を真空解凍装置に適用するものである。
ここで、第５実施形態と第２実施形態との相違点は、図５において、処理槽１は解凍槽であり、その他の構成については同様である。なお、被処理物は被解凍物である。
したがって、第５実施形態は、第２実施形態における被冷却物である被処理物及び冷却槽である処理槽を、それぞれ被解凍物である被処理物及び解凍槽である処理槽に読み替えることで、説明することができるので、その詳細な説明を省略する。

［第６実施形態］
第３実施形態においては、水封式真空ポンプ２１を真空冷却装置に適用したが、第６実施形態は、水封式真空ポンプ２１を真空解凍装置に適用するものである。
ここで、第６実施形態と第３実施形態との相違点は、図７において、処理槽１は解凍槽であり、その他の構成については同様である。なお、被処理物は被解凍物である。
したがって、第６実施形態は、第３実施形態における被冷却物である被処理物及び冷却槽である処理槽を、それぞれ被解凍物である被処理物及び解凍槽である処理槽に読み替えることで、説明することができるので、その詳細な説明を省略する。

１ 処理槽
Ｌ１ 給気ライン
１１ フィルタ
１２ 給気弁
Ｌ２ 真空吸入ライン
２１ 水封式真空ポンプ
２２ 熱交換器
２３ 排気弁
２４ 封水温度検出部
２５ 吸引圧力検出部
Ｌ３ 給水ライン
３１ 給水部
３１１ 第１給水制御弁
Ｌ３１ バイパスライン
３１２ 第２給水制御弁
Ｌ４ 排気ライン
４１ セパレータ
Ｌ５ 循環ライン
５１ 循環制御弁
５２ 逆止弁
６ 制御部
６Ａ 制御部
６Ｂ 制御部
６１ 水封式真空ポンプ起動部
６２ 循環制御部
６２Ａ 循環制御部
６２Ｂ 循環制御部
６３ 給水制御部
６３Ａ 給水制御部
６３Ｂ 給水制御部
６４ 水封式真空ポンプ停止制御部

Claims (10)

1. 水封式真空ポンプから排出される封水の一部を前記水封式真空ポンプに還流する循環ラインを備える水封式真空ポンプの運転方法であって、
   前記循環ラインの中の封水の温度を検出し、
   前記封水の検出温度値が予め設定された第１設定温度値を超えない場合、
   前記循環ラインを開放して封水の一部を還流させるとともに、予め設定された単位時間あたり第１流量値の封水を給水源から新規に前記水封式真空ポンプに供給し、
   前記封水の検出温度値が前記第１設定温度値を超える場合、
   前記循環ラインを閉鎖して封水の還流を停止させるとともに、予め設定された、前記第１流量値よりも大きな単位時間あたり第２流量値の封水を前記給水源から新規に前記水封式真空ポンプに供給する、水封式真空ポンプの運転方法。
2. 水封式真空ポンプから排出される封水の一部を前記水封式真空ポンプに還流する循環ラインを備える水封式真空ポンプの運転方法であって、
   前記水封式真空ポンプの吸引圧力を検出し、
   前記水封式真空ポンプの吸引圧力値が予め設定された第１設定圧力値を下回らない場合、
   前記循環ラインを開放して封水の一部を還流させるとともに、予め設定された単位時間あたり第１流量値の封水を給水源から新規に前記水封式真空ポンプに供給し、
   前記水封式真空ポンプの吸引圧力値が前記第１設定圧力値を下回る場合、
   前記循環ラインを閉鎖して封水の還流を停止させるとともに、予め設定された、前記第１流量値よりも大きな単位時間あたり第２流量値の封水を前記給水源から新規に前記水封式真空ポンプに供給する、水封式真空ポンプの運転方法。
3. 前記水封式真空ポンプを停止させる場合、
   前記循環ラインを開放して封水の一部を還流させるとともに、単位時間あたり前記第１流量値の封水を給水源から新規に前記水封式真空ポンプに供給し、
   予め設定された第１時間の経過後、前記給水源からの封水の供給を停止し、
   前記第１時間の経過後さらに予め設定された第２時間が経過すると、前記水封式真空ポンプを停止する、請求項１又は請求項２に記載の水封式真空ポンプの運転方法。
4. 前記水封式真空ポンプは、真空冷却装置における被冷却物を収容した冷却槽を真空吸引する、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の水封式真空ポンプの運転方法。
5. 前記水封式真空ポンプは、真空解凍装置における被解凍物を収容した処理槽を真空吸引する、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の水封式真空ポンプの運転方法。
6. 被処理物を収容する処理槽と、
   前記処理槽を減圧する真空吸入ラインと、
   前記真空吸入ラインに接続された熱交換器と、
   前記真空吸入ラインに接続された水封式真空ポンプと、
   給水源から前記水封式真空ポンプに新規に封水を供給する給水ラインと、
   前記給水ラインに設けられる給水部と、
   前記水封式真空ポンプから排出される封水の一部を前記水封式真空ポンプに循環する循環ラインと、
   封水の温度を検出する封水温度検出部と、
   前記循環ラインに設けられた循環制御弁と、
   制御部と、
   を備え、
   前記制御部は、
   前記水封式真空ポンプを起動する水封式真空ポンプ起動部と、
   前記封水温度検出部により検出された前記封水の検出温度値が予め設定された第１設定温度値を超えない場合に前記循環制御弁を開放し、前記第１設定温度値を超える場合に前記循環制御弁を閉鎖する、循環制御部と、
   前記封水温度検出部により検出された前記封水の検出温度値が、予め設定された第１設定温度値を超えない場合に、前記給水部から予め設定された単位時間あたり第１流量値の封水を新規に前記水封式真空ポンプに供給させ、前記第１設定温度値を超える場合に前記給水部から予め設定された、前記第１流量値よりも大きな単位時間あたり第２流量値の封水を新規に前記水封式真空ポンプに供給させる、給水制御部と、
   を備える水封式真空ポンプ利用装置。
7. 被処理物を収容する処理槽と、
   前記処理槽を減圧する真空吸入ラインと、
   前記真空吸入ラインに接続された熱交換器と、
   前記真空吸入ラインに接続された水封式真空ポンプと、
   前記水封式真空ポンプの吸引圧力を検出する吸引圧力検出部と、
   給水源から前記水封式真空ポンプに新規に封水を供給する給水ラインと、
   前記水封式真空ポンプから排出される封水の一部を前記水封式真空ポンプに循環する循環ラインと、
   前記給水ラインに設けられる給水部と、
   前記循環ラインに設けられた循環制御弁と、
   制御部と、
   を備え、
   前記制御部は、
   前記水封式真空ポンプを起動する水封式真空ポンプ起動部と、
   前記吸引圧力検出部により検出された検出圧力値が予め設定された第１設定圧力値を下回らない場合に前記循環制御弁を開放し、前記第１設定圧力値を下回る場合に前記循環制御弁を閉鎖する、循環制御部と、
   前記吸引圧力検出部により検出された検出圧力値が予め設定された第１設定圧力値を下回らない場合に前記給水部から予め設定された単位時間あたり第１流量値の封水を新規に前記水封式真空ポンプに供給させ、前記第１設定圧力値を下回る場合に前記給水部から予め設定された、前記第１流量値よりも大きな単位時間あたり第２流量値の封水を新規に前記水封式真空ポンプに供給させる、給水制御部と、
   を備える水封式真空ポンプ利用装置。
8. 前記制御部は、さらに、
   前記水封式真空ポンプを停止する水封式真空ポンプ停止制御部を備え、
   前記循環制御部は、さらに、
   水封式真空ポンプ停止指示に対して、前記循環制御弁を開放し、
   前記給水制御部は、さらに、
   水封式真空ポンプ停止指示に対して、前記第１流量値の封水を給水源から新規に前記水封式真空ポンプに供給し、予め設定された第１時間の経過後に前記給水源からの封水の供給を停止し、
   前記水封式真空ポンプ停止制御部は、水封式真空ポンプ停止指示に対して、前記第１時間の経過後、さらに予め設定された第２時間が経過すると、前記水封式真空ポンプを停止する、請求項６又は請求項７に記載の水封式真空ポンプ利用装置。
9. 前記水封式真空ポンプ利用装置は、真空冷却装置であり、
   前記被処理物は被冷却物であり、
   前記処理槽は、前記被冷却物を収容する冷却槽である、
   請求項６乃至請求項８のいずれか１項に記載の水封式真空ポンプ利用装置。
10. 前記水封式真空ポンプ利用装置は、真空解凍装置であり、
    前記被処理物は被解凍物であり、
    前記処理槽は、前記被解凍物を収容する解凍槽である、
    請求項６乃至請求項８のいずれか１項に記載の水封式真空ポンプ利用装置。

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