JP2017143107A - レーザ媒質循環管を備えるレーザ発振装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】レーザ媒質循環管の膨張は、共振器部の構成部品を変位させる虞があるので、抑制することが望まれる。【解決手段】レーザ発振装置１０は、導入口３４および排出口３６を有し、レーザ光を生成する共振器部１２と、一端が導入口３４に接続され、他端が排出口３６に接続されるレーザ媒質循環管１４と、レーザ媒質を導入口３４から共振器部１２へ導入し、共振器部１２に導入されたレーザ媒質を排出口３６から排出するようにレーザ媒質を流動させる送風機１６と、レーザ媒質循環管１４の内部に設けられ、該レーザ媒質循環管１４を流動するレーザ媒質とレーザ媒質循環管１４との間の熱伝導を遮断する断熱機構５０とを備える。【選択図】図１

Description

本発明は、レーザ媒質循環管を備えるレーザ発振装置に関する。
レーザ光を生成する共振器部に供給されるレーザ媒質を循環させるために、レーザ媒質循環管および送風機を備えるレーザ発振装置が知られている（例えば、特許文献１）。
特開平７−２３１１２９号公報
放電が行われている共振器部から排出されるレーザ媒質は、高温となる。このように高温となったレーザ媒質によって、レーザ媒質循環管が加熱され、これにより、レーザ媒質循環管が熱膨張し得る。このようなレーザ媒質循環管の膨張は、共振器部の構成部品を変位させる虞があるので、抑制することが望まれる。
本発明の一態様において、レーザ発振装置は、レーザ媒質が導入される導入口、およびレーザ媒質が排出される排出口を有し、レーザ光を生成する共振器部と、一端が導入口に接続され、他端が排出口に接続されるレーザ媒質循環管とを備える。
また、レーザ発振装置は、レーザ媒質循環管に設置される送風機であって、レーザ媒質を導入口から共振器部へ導入し、共振器部に導入されたレーザ媒質を排出口から排出するように、該レーザ媒質を流動させる送風機と、レーザ媒質循環管の内部に設けられ、該レーザ媒質循環管を流動するレーザ媒質とレーザ媒質循環管との間の熱伝導を遮断する断熱機構とを備える。
断熱機構は、他端と、該他端よりも下流側のレーザ媒質循環管の位置との間の区間に亘って設けられてもよい。断熱機構は、レーザ媒質循環管の内面に取り付けられた断熱材を有してもよい。
断熱機構は、レーザ媒質循環管の内面から内方へ離隔して配置され、レーザ媒質循環管に沿って延在する断熱管を有してもよい。この場合、排出口から排出されたレーザ媒質は、断熱管に流入する一方で、レーザ媒質循環管と断熱管との間の隙間には流入しない。
断熱管は、その上流側の端部または下流側の端部でレーザ媒質循環管に支持されてもよい。断熱機構は、レーザ媒質循環管を流動するレーザ媒質の流れを整流する整流機構を有してもよい。
整流機構は、レーザ媒質循環管の内部の、レーザ媒質循環管の長さ方向と交差する平面に沿った断面領域を複数の区域に仕切る仕切り壁を有してもよい。整流機構は、レーザ媒質循環管の内面から突出するように形成された凸部を有してもよい。
レーザ媒質循環管は、継ぎ目なく滑らかに湾曲して延在する曲り部を有してもよい。レーザ媒質循環管は、他端から下流側へ真直ぐ延在する直管部を有してもよい。直管部は、該直管部の相当直径の３倍以上の長さを有してもよい。
レーザ媒質循環管は、他端に隣接するように設けられた蛇腹部を有してもよい。レーザ発振装置は、送風機と排出口との間に配置され、レーザ媒質循環管を流動するレーザ媒質から熱を除去する熱交換器をさらに備えてもよい。断熱機構は、他端と熱交換器との間の区間に亘って設けられてもよい。
一実施形態に係るレーザ発振装置の図である。 図１に示す断熱機構の一例を示す図であって、レーザ媒質循環管の第１の管を断面で示している。 図１に示す断熱機構の他の例を示す図であって、レーザ媒質循環管の第１の管を断面で示している。 図１に示す断熱機構のさらに他の例を示す図であって、レーザ媒質循環管の第１の管を断面で示している。 他の実施形態に係るレーザ発振装置の図である。 図５に示す整流機構を、図５の矢印Ａの方向（すなわち、レーザ媒質の流動方向）から見た図であって、該整流機構の一部を拡大した拡大図である。 さらに他の実施形態に係るレーザ発振装置の図である。 図７に示すレーザ媒質循環管の第１の管を図７中のＢ−Ｂに沿って切断し、その一部を拡大した拡大断面図である。 さらに他の実施形態に係るレーザ発振装置の図である。 図９に示すレーザ媒質循環管の第１の管を図９中のＢ−Ｂに沿って切断し、その一部を拡大した拡大断面図である。 図１に示す第１の管の一変形例を示す図であって、該第１の管を断面で示している。 図１に示す第１の管の他の変形例を示す図であって、該第１の管を断面で示している。 図１に示す第１の管のさらに他の変形例を示す図であって、該第１の管を断面で示している。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に説明する種々の実施形態において、既述の実施形態と同様の要素には同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
まず、図１を参照して、本発明の一実施形態に係るレーザ発振装置１０について説明する。レーザ発振装置１０は、共振器部１２、レーザ媒質循環管１４、送風機１６、熱交換器１８および２０を備える。
共振器部１２は、出力鏡２２、リア鏡２４、放電管２６、放電管支持部２８および３０を有する。出力鏡２２とリア鏡２４とは、互いに対向して配置されている。出力鏡２２は、部分反射鏡（いわゆるハーフミラー）から構成される一方、リア鏡２４は、全反射鏡から構成される。
放電管２６は、出力鏡２２とリア鏡２４との間に配置されている。放電管２６は、その一端が放電管支持部２８に支持され、その他端が放電管支持部３０に支持されている。
放電管２６は、互いに対向配置された放電電極（図示せず）を有し、これら放電電極に、レーザ電源（図示）から電圧が印加される。放電管２６の内部には、炭酸ガス、窒素ガス、アルゴンガス等のレーザ媒質が供給される。
レーザ電源から放電電極に電圧が印加されると、放電電極間に発生する放電によってレーザ媒質が励起され、レーザ光が生成される。放電管２６内で生成されたレーザ光は、出力鏡２２とリア鏡２４との間で光共振によって増幅され、出力鏡２２を通して出力レーザ光Ｌとして外部へ出射される。
放電管支持部２８は、中空部材であって、その内部にリア鏡２４が設置されている。放電管支持部２８の内部は、放電管２６の内部と連通している。また、放電管支持部２８は、レーザ媒質が導入される導入口３４を有する。
放電管支持部３０は、放電管支持部２８と同様の中空部材であって、その内部に出力鏡２２が設置されている。放電管支持部３０の内部は、放電管２６の内部と連通している。また、放電管支持部３０は、レーザ媒質が排出される排出口３６を有する。
レーザ媒質循環管１４は、共振器部１２に供給されるレーザ媒質の流路を画定する。本実施形態においては、レーザ媒質循環管１４は、第１の管３８、第２の管４０、第３の管４２、および第４の管４４を有する。
第１の管３８は、その一方の端部３８ａが放電管支持部３０に形成された排出口３６に接続され、他方の端部３８ｂが熱交換器１８に接続されている。第１の管３８の内部は、排出口３６を通して、放電管支持部３０の内部と連通している。
第２の管４０は、熱交換器１８と送風機１６との間で延在しており、該第２の管４０の内部は、熱交換器１８を通して、第１の管３８の内部と連通している。
第３の管４２は、送風機１６と熱交換器２０との間で延在しており、該第３の管４２の内部は、送風機１６を通して、第２の管４０の内部と連通している。
第４の管４４は、その一方の端部４４ａが放電管支持部２８に形成された導入口３４に接続され、他方の端部４４ｂが熱交換器２０に接続されている。第４の管４４の内部は、導入口３４を通して、放電管支持部２８の内部と連通している一方、熱交換器２０を通して、第３の管４２の内部と連通している。
送風機１６は、第２の管４０および第３の管４２の間に設けられ、レーザ媒質循環管１４内のレーザ媒質に圧力変動を生じさせ、該レーザ媒質を、図１中の矢印Ａに示す方向へ流動させる。
これにより、レーザ媒質は、第４の管４４から導入口３４を通して放電管支持部２８に流入し、放電管２６の内部を流動した後、排出口３６から第１の管３８内へ排出される。このように、レーザ媒質循環管１４および共振器部１２によって、レーザ媒質の循環流路が画定される。
熱交換器１８は、送風機１６の上流側に配置され、第１の管３８内を流動してきたレーザ媒質から熱を除去する。一方、熱交換器２０は、送風機１６の下流側に配置され、第３の管４２内を流動してきたレーザ媒質から熱を除去する。
ここで、レーザ発振装置１０は、レーザ媒質循環管１４の内部に設けられた断熱機構５０をさらに備える。以下、図２を参照して、断熱機構５０の一例について説明する。
図２に示す例においては、断熱機構５０は、第１の管３８の内面３８ｃに取り付けられた断熱材５２から構成されている。断熱材５２は、第１の管３８の上流側の端部３８ａと下流側の端部３８ｂとの間の区間に亘って延在するように、第１の管３８の内面３８ｃの全域を覆うように、取り付けられている。
断熱材５２は、第１の管３８内を流動するレーザ媒質と該第１の管３８との間の熱伝導を遮断する。本実施形態によれば、共振器部１２がレーザ光を生成しているときに排出口３６から排出された高温のレーザ媒質によって第１の管３８が加熱され、これにより、第１の管３８が、その長さ方向に熱膨張してしまうのを抑制することができる。
また、第１の管３８は、排出口３６と熱交換器１８との間で延在しており、レーザ媒質循環管１４の中で、排出口３６から排出されたレーザ媒質によって最も加熱され易い部分となる。本実施形態においては、この第１の管３８に断熱材５２が設けられているので、レーザ媒質循環管１４が熱によって膨張するのを、効果的に抑制できる。
次に、図３を参照して、断熱機構５０の他の例について説明する。図３に示す例においては、断熱機構５０は、断熱管５４から構成されている。この断熱管５４は、第１の管３８の内面３８ｃから内方へ離隔して配置されている。
断熱管５４は、第１の管３８の上流側の端部３８ａと、第１の管３８の下流側の端部３８ｂよりも僅かに上流側の位置との間の区間に亘って、該第１の管３８に沿って延在している。断熱管５４の上流側の端部５４ａには、該端部５４ａから外方へ突出するフランジ部５６が形成されている。
フランジ部５６は、第１の管３８に固定されている。断熱管５４は、フランジ部５６を介して、第１の管３８の内面３８ｃから内方へ離隔するように、第１の管３８に支持される。一方、断熱管５４の下流側の端部５４ｂは、自由端となっており、熱交換器１８の上流側に離隔して配置されている。
第１の管３８の内面３８ｃと断熱管５４の外面５４ｄとの間には、隙間５８が形成される。排出口３６から排出されたレーザ媒質は、断熱管５４内に流入し、断熱管５４の内部を流動して、熱交換器１８に導かれる。
本実施形態によれば、第１の管３８と断熱管５４との間の隙間５８によって、断熱管５４内を流動するレーザ媒質と第１の管３８との間の熱伝導を遮断することができる。したがって、排出口３６から排出された高温のレーザ媒質によって第１の管３８が加熱され、これにより、第１の管３８が、その長さ方向に熱膨張してしまうのを抑制することができる。
また、本実施形態によれば、排出口３６から排出されたレーザ媒質によって最も加熱されやすい第１の管３８に断熱管５４が設けられているので、レーザ媒質循環管１４の熱による膨張を、効果的に抑制できる。
また、本実施形態においては、断熱管５４は、その上流側の端部５４ａにて、フランジ部５６を介して第１の管３８に支持される一方、その下流側の端部５４ｂは自由端となっている。
この構成によれば、仮に断熱管５４がレーザ媒質からの熱伝導によって加熱されたとしても、断熱管５４は、その端部５４ｂが熱交換器１８へ接近するように、熱膨張できる。したがって、断熱管５４の熱膨張によって共振器部１２の構成部品を変位させてしまうのを、防止することができる。
次に、図４を参照して、断熱機構５０のさらに他の例について説明する。図４に示す例においては、断熱機構５０は、断熱材５２、断熱管５４、および該断熱管５４の内面５４ｃに取り付けられた第２の断熱材６０を有する。
排出口３６から排出されたレーザ媒質は、断熱管５４内に流入する。第２の断熱材６０は、断熱材５２内を流動するレーザ媒質と該断熱材５２との間の熱伝導を遮断する。本実施形態に係る断熱機構５０によれば、断熱材５２、断熱管５４、および第２の断熱材６０によって、レーザ媒質から第１の管３８への熱伝導を、より効果的に遮断できる。このため、第１の管３８が、その長さ方向に熱膨張してしまうのを、より効果的に抑制することができる。
次に、図５および図６を参照して、他の実施形態に係るレーザ発振装置７０について説明する。レーザ発振装置７０は、共振器部１２、レーザ媒質循環管１４、送風機１６、熱交換器１８、熱交換器２０、断熱機構５０を備える。本実施形態に係る断熱機構５０は、断熱材５２と、整流機構７２とを有する。
整流機構７２は、レーザ媒質循環管１４のうち、断熱材５２が設けられている区間、すなわち、第１の管３８の内部に設けられている。図６に示すように整流機構７２は、仕切り壁７２ａを有する。該仕切り壁７２ａは、第１の管３８の内部空間の、該第１の管３８の延在方向と直交する平面に沿った断面領域を、複数の区域に仕切る。
本実施形態に係る仕切り壁７２ａは、ハニカム構造を有し、第１の管３８の内部空間の断面領域を、６角形の複数の区域に仕切る。この仕切り壁７２ａを通過することによって、第１の管３８を流動するレーザ媒質の流れが、複数の層流に分流されることによって整流され、これにより、レーザ媒質に乱流が生じるのを防止する。
このようにレーザ媒質の流れが整流された場合、第１の管３８を流動するレーザ媒質の温度分布は、第１の管３８の中心軸線に近い領域において比較的高温となる一方、第１の管３８の内面３８ｃに近い領域では比較的低温となる。
換言すれば、整流機構７２は、レーザ媒質の流れを整流することによって、レーザ媒質の温度を、第１の管３８に近い領域において相対的に降下させ、これにより、レーザ媒質から第１の管３８への熱伝導を遮断する機能を果たす。
本実施形態においては、断熱機構５０を、断熱材５２および整流機構７２によって構成することによって、第１の管３８がレーザ媒質からの熱によって熱膨張するのを、さらに効果的に抑制することができる。
次に、図７および図８を参照して、さらに他の実施形態に係るレーザ発振装置８０について説明する。レーザ発振装置８０は、共振器部１２、レーザ媒質循環管１４、送風機１６、熱交換器１８、熱交換器２０、および断熱機構５０を備える。断熱機構５０は、断熱材５２および整流機構８２を有する。
整流機構８２は、レーザ媒質循環管１４のうち、断熱材５２が設けられている区間、すなわち、第１の管３８の内部に設けられている。図８に示すように、整流機構８２は、第１の管３８の内面に形成された複数の凸部８２ａを有する。
これら凸部８２ａは、第１の管３８の内面３８ｃから内方へ突出するように設けられ、該内面３８ｃの周方向へ並ぶように配置されている。各々の凸部８２ａは、第１の管３８の長さ方向、すなわち、レーザ媒質の流動方向Ａに沿って延在するように、設けられている。断熱材５２は、内面３８ｃおよび凸部８２ａを覆うように、第１の管３８の内部に取り付けられている。
凸部８２ａは、第１の管３８を流動するレーザ媒質の流れを、層流となるように整流し、レーザ媒質に乱流が生じるのを防止することによって、レーザ媒質の温度を、第１の管３８に近い領域において相対的に降下させる。こうして、整流機構８２は、レーザ媒質から第１の管３８への熱伝導を遮断する機能を果たす。
本実施形態においては、断熱機構５０を、断熱材５２および整流機構８２によって構成することによって、第１の管３８がレーザ媒質からの熱によって熱膨張するのを、さらに効果的に抑制することができる。
次に、図９および図１０を参照して、さらに他の実施形態に係るレーザ発振装置９０について説明する。レーザ発振装置９０は、共振器部１２、レーザ媒質循環管１４、送風機１６、熱交換器１８、熱交換器２０、および断熱機構５０を備える。断熱機構５０は、断熱管５４、整流機構９２、および断熱材９４を有する。
整流機構９２は、断熱管５４の内面５４ｃに形成された複数の凸部９２ａを有する。これら凸部９２ａは、断熱管５４の内面５４ｃから内方へ突出するように設けられ、該内面５４ｃの周方向へ並ぶように配置されている。
各々の凸部９２ａは、断熱管５４の長さ方向、すなわち、レーザ媒質の流動方向Ａに沿って延在するように、設けられている。断熱材９４は、断熱管５４の内面５４ｃおよび凸部９２ａを覆うように取り付けられている。
凸部９２ａは、上述の凸部８２ａと同様に、第１の管３８内を流動するレーザ媒質の流れを層流となるように整流し、レーザ媒質に乱流が生じるのを防止することによって、レーザ媒質の温度を、第１の管３８に近い領域において相対的に降下させる。こうして、整流機構９２は、レーザ媒質から第１の管３８への熱伝導を遮断する機能を果たす。
本実施形態においては、断熱機構５０を、断熱管５４、整流機構９２、および断熱材９４によって構成することによって、第１の管３８がレーザ媒質からの熱によって熱膨張するのを、さらに効果的に抑制することができる。
なお、図１に示す第１の管３８には、様々な変形を加えることが可能である。以下、図１１を参照して、一変形例に係る第１の管３８’について説明する。
この実施形態に係るレーザ発振装置１０’においては、第１の管３８’は、継ぎ目なく滑らかに湾曲して延在する曲り部３８ｄ’を有する。この第１の管３８’は、１本の真直ぐな直管を屈げ加工することによって、作製され得る。このように第１の管３８’を作製することによって、溶接等によって２つの管を接合させたときに生じる継ぎ目が、曲り部３８ｄ’に形成されてしまうのを防止できる。
このような曲り部３８ｄ’を設けることによって、第１の管３８’内を流動するレーザ媒質が該曲り部３８ｄ’を通過するとき、レーザ媒質の流れを層流とし、該レーザ媒質の流れに乱流が生じるのを防止できる。その結果、レーザ媒質の温度を、第１の管３８’に近い領域において相対的に降下させることができ、これにより、第１の管３８’が加熱されるのを抑制することができる。
なお、図１１に示す断熱機構５０として、図３に示す断熱管５４を適用した場合、この断熱管５４は、第１の管３８’の曲り部３８ｄ’に相当する位置において、該曲り部３８ｄ’に沿って延在する曲り部（図示せず）を有することになる。この場合において、第１の管３８’の曲り部３８ｄ’と、断熱管５４の曲り部とは、互いに略同じ曲率を有してもよい。
次に、図１２を参照して、他の変形例に係る第１の管３８”について説明する。この実施形態に係るレーザ発振装置１０”においては、第１の管３８”は、排出口３６に接続された端部３８ａ”から下流側へ真直ぐ延在する直管部３８ｄ”を有する。ここで、直管部３８ｄ”の長さＬは、該直管部３８ｄ”の内周面の相当直径Ｒの３倍以上となるように、設定される。
このような直管部３８ｄ”を流動するレーザ媒質の流れは、層流となり、これにより、レーザ媒質の流れに乱流が生じるのを防止できる。したがって、レーザ媒質の温度を、第１の管３８”に近い領域において相対的に降下させ、これにより、第１の管３８”が加熱されるのを抑制することができる。
次に、図１３を参照して、さらに他の変形例に係る第１の管３８’’’について説明する。この実施形態に係るレーザ発振装置１０’’’においては、第１の管３８’’’は、蛇腹部３８ｄ’’’を有する。
蛇腹部３８ｄ’’’は、第１の管３８’’’の一方の端部３８ａ’’’に隣接して設けられている。蛇腹部３８ｄ’’’は、仮に第１の管３８’’’がレーザ媒質の熱によって長さ方向に熱膨張した場合においても、該熱膨張を吸収することができる。
断熱機構５０としては、図２、図３、または図４に示す形態を適用できる。このように、本実施形態においては、断熱機構５０によってレーザ媒質から第１の管３８’’’への熱伝導を遮断するとともに、蛇腹部３８ｄ’’’によって第１の管３８’’’の熱膨張を吸収する。
この構成によれば、第１の管３８’’’の熱膨張によって共振器部１２の構成要素を変位させてしまう虞を、さらに効果的に抑制できる。
なお、断熱機構５０は、排出口３６よりも下流側の、レーザ媒質循環管１４の第１位置と、該第１位置よりも下流側の、レーザ媒質循環管１４の第２位置との間の区間で延在するように、設けられてもよい。または、断熱機構５０は、レーザ媒質循環管１４の全域に亘って延在するように設けられてもよい。
また、断熱機構５０は、整流機構７２、８２、または９２のみを有してもよい。この場合においても、断熱機構５０は、レーザ媒質の温度を、第１の管３８に近い領域において相対的に降下させ、これにより、第１の管３８とレーザ媒質との間の熱伝導を遮断することができる。
また、熱交換器１８または２０を省略してもよい。例えば、熱交換器１８を省略した場合、第１の管３８は、排出口３６と送風機１６との間で延在し、断熱機構５０は、排出口３６に接続された第１の管３８の端部３８ａと、送風機１６（または送風機１６の上流側の位置）との間の区間で延在するように、設けられてもよい。
また、レーザ媒質循環管１４は、円筒状であってもよいし、または、多角形の筒状部材であってもよい。
また、図５に示す実施形態において、整流機構７２は、複数設けられてもよい。例えば、複数の整流機構７２が、第１の管３８に設けられてもよいし、または、第１の整流機構７２が第１の管３８に設けられる一方、第２の整流機構７２が、第２の管４０、第３の管４２、または第４の管４４に設けられてもよい。
また、整流機構７２は、図６に示すハニカム構造に限らず、例えばレーザ媒質循環管１４の内部空間の断面領域を２分割または４分割に仕切る仕切り壁を有するものであってもよい。また、仕切り壁によって画定される各区域は、図６に示す６角形に限らず、多角形、円形、または楕円形であってもよい。また、整流機構は、仕切り壁７２ａおよび凸部８２ａまたは９２ａを有するように構成してもよい。
また、図３に示す断熱管５４において、該断熱管５４の下流側の端部５４ｂにフランジ部５６を形成してもよい。この場合、断熱管５４は、その下流側の端部にて、フランジ部５６を介して第１の管３８に支持される。
以上、発明の実施形態を通じて本発明を説明したが、上述の実施形態は、特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、本発明の実施形態の中で説明されている特徴を組み合わせた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得るが、これら特徴の組み合わせの全てが、発明の解決手段に必須であるとは限らない。さらに、上述の実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることも当業者に明らかである。
また、特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、工程、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」、「次いで」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
１０，１０’，１０”，１０’’’，７０，８０，９０ レーザ発振装置
１２ 共振器部
１４ レーザ媒質循環管
１６ 送風機
５０ 断熱機構
７２，８２，９２ 整流機構

Claims (12)

  1. レーザ媒質が導入される導入口、および前記レーザ媒質が排出される排出口を有し、レーザ光を生成する共振器部と、
    一端が前記導入口に接続され、他端が前記排出口に接続されるレーザ媒質循環管と、
    前記レーザ媒質循環管に設置される送風機であって、前記レーザ媒質を前記導入口から前記共振器部へ導入し、前記共振器部に導入された前記レーザ媒質を前記排出口から排出するように、該レーザ媒質を流動させる、送風機と、
    前記レーザ媒質循環管の内部に設けられ、該レーザ媒質循環管を流動する前記レーザ媒質と前記レーザ媒質循環管との間の熱伝導を遮断する断熱機構と、を備える、レーザ発振装置。
  2. 前記断熱機構は、前記他端と、該他端よりも下流側の前記レーザ媒質循環管の位置との間の区間に亘って設けられる、請求項１に記載のレーザ発振装置。
  3. 前記断熱機構は、前記レーザ媒質循環管の内面に取り付けられた断熱材を有する、請求項１または２に記載のレーザ発振装置。
  4. 前記断熱機構は、前記レーザ媒質循環管の内面から内方へ離隔して配置され、前記レーザ媒質循環管に沿って延在する断熱管を有し、
    前記排出口から排出された前記レーザ媒質は、前記断熱管に流入する一方で、前記レーザ媒質循環管と前記断熱管との間の隙間には流入しない、請求項１に記載のレーザ発振装置。
  5. 前記断熱管は、その上流側の端部または下流側の端部で前記レーザ媒質循環管に支持される、請求項４に記載のレーザ発振装置。
  6. 前記断熱機構は、前記レーザ媒質循環管を流動する前記レーザ媒質の流れを整流する整流機構を有する、請求項１〜５のいずれか１項に記載のレーザ発振装置。
  7. 前記整流機構は、前記レーザ媒質循環管の内部の、前記レーザ媒質循環管の長さ方向と交差する平面に沿った断面領域を複数の区域に仕切る仕切り壁を有する、請求項６に記載のレーザ発振装置。
  8. 前記整流機構は、前記レーザ媒質循環管の内面から突出するように形成された凸部を有する請求項６に記載のレーザ発振装置。
  9. 前記レーザ媒質循環管は、継ぎ目なく滑らかに湾曲して延在する曲り部を有する、請求項１〜８のいずれか１項に記載のレーザ発振装置。
  10. 前記レーザ媒質循環管は、前記他端から下流側へ真直ぐ延在する直管部を有し、
    前記直管部は、該直管部の相当直径の３倍以上の長さを有する、請求項１〜９のいずれか１項に記載のレーザ発振装置。
  11. 前記レーザ媒質循環管は、前記他端に隣接するように設けられた蛇腹部を有する、請求項１〜１０のいずれか１項に記載のレーザ発振装置。
  12. 前記送風機と前記排出口との間に配置され、前記レーザ媒質循環管を流動する前記レーザ媒質から熱を除去する熱交換器をさらに備え、
    前記断熱機構は、前記他端と前記熱交換器との間の区間に亘って設けられる、請求項１〜１１のいずれか１項に記載のレーザ発振装置。
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