JP2017128006A5 - - Google Patents
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Description
上記課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、基板の第１の面上に配置された液体吐出エネルギー発生素子及び電気配線と、基板の前記第１の面から該第１の面と対向する第２の面を貫通する、隣接配置された複数の液体供給口と、液体を吐出するための吐出口と、前記液体供給口から前記吐出口へと前記液体を供給するための流路と、を有する吐出口形成領域を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記基板は、前記吐出口形成領域の外部に、前記液体供給口とは異なる、少なくとも前記基板の第１の面に開口する開口部を有し、前記基板の第１の面上に、第一のドライフィルムレジストを用いて流路形成部材を形成する工程と、前記流路形成部材上に吐出口形成部材を形成する工程と、前記流路形成部材のうち、前記開口部の上部に位置する流路形成部材の少なくとも一部を硬化させ、前記流路形成部材に前記流路を形成する工程と、前記吐出口形成部材に前記吐出口を形成する工程と、を有することを特徴とする。
Claims (8)
- 基板の第１の面上に配置された液体吐出エネルギー発生素子及び電気配線と、基板の前記第１の面から該第１の面と対向する第２の面を貫通する、隣接配置された複数の液体供給口と、液体を吐出するための吐出口と、前記液体供給口から前記吐出口へと前記液体を供給するための流路と、を有する吐出口形成領域を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記基板は、前記吐出口形成領域の外部に、前記液体供給口とは異なる、少なくとも前記基板の第１の面に開口する開口部を有し、
前記基板の第１の面上に、第一のドライフィルムレジストを用いて流路形成部材を形成する工程と、
前記流路形成部材上に吐出口形成部材を形成する工程と、
前記流路形成部材のうち、前記開口部の上部に位置する流路形成部材の少なくとも一部を硬化させ、前記流路形成部材に前記流路を形成する工程と、
前記吐出口形成部材に前記吐出口を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記開口部の開口端部と、液体供給口端部に位置する前記液体供給口の開口端部との距離が０．２ｍｍ以上１．０ｍｍ未満である、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記流路を形成する工程が、前記流路形成部材のうち、前記開口部の上部に位置する流路形成部材の全部をパターンなしで露光して硬化させる工程を含む、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記吐出口形成部材を、第二のドライフィルムレジストを用いて形成し、前記吐出口を形成する工程が、前記吐出口形成部材のうち、前記開口部の上部に位置する吐出口形成部材の少なくとも一部を硬化させる工程を含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記吐出口を形成する工程が、前記吐出口形成部材のうち、前記開口部の上部に位置する吐出口形成部材の全部をパターンなしで露光して硬化させる工程を含む、請求項４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記開口部は前記基板を前記第１の面から前記第２の面まで貫通している請求項１〜５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記基板の前記吐出口形成領域では、前記複数の液体供給口が配列して開口しており、前記配列して開口する複数の液体供給口のうち端部の液体供給口の開口の外側に隣接する位置に、前記開口部が開口している請求項１〜６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記配列して開口する複数の液体供給口のうち、両端の液体供給口の開口のそれぞれの外側に隣接する位置に、前記開口部が開口している請求項７に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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