JP2017124375A

JP2017124375A - インクジェット塗布装置及びインクジェット塗布方法

Info

Publication number: JP2017124375A
Application number: JP2016005551A
Authority: JP
Inventors: 一夫浅井; Kazuo Asai; 敦之木浦; Atsushi Kiura; 繁東野; Shigeru Tono; 雄悟福島; Yugo Fukushima
Original assignee: Toray Engineering Co Ltd
Current assignee: Toray Engineering Co Ltd
Priority date: 2016-01-14
Filing date: 2016-01-14
Publication date: 2017-07-20
Anticipated expiration: 2036-01-14
Also published as: JP6752577B2; WO2017122515A1; TW201726263A

Abstract

【課題】吐出不良ノズルが発生した場合でも、塗布膜に筋ムラが形成されるのを抑えることができるインクジェット塗布装置及び、インクジェット塗布方法を提供する。
【解決手段】塗布ユニットとステージとを特定方向に相対的に移動させつつ、予め設定された基板上の設定着弾位置に設定塗布量のインクが供給されることにより基板上に塗布膜を形成するインクジェット塗布装置であって、塗布ユニットは、複数のノズルを有するメインノズルユニットと、特定方向に見て少なくともメインノズルユニットのノズル位置に対応するノズルを有するサブノズルユニットと、を備え、メインノズルユニットで吐出する着弾位置と、サブノズルユニットで吐出する着弾位置とが同じ前記設定着弾位置に設定されており、設定着弾位置には、メインノズルユニット及びサブノズルユニットのそれぞれ１度ずつインクが吐出されることにより設定塗布量のインクが供給される構成とする。
【選択図】図５

Description

本発明は、複数のノズルからインクを着弾させるインクジェット塗布技術に関するものであり、一様な膜厚の塗布膜を形成することができるインクジェット塗布装置及びインクジェット塗布方法に関するものである。

近年のインクジェット塗布技術は、カラーフィルタ等のように基板上に格子状に形成された各画素にインクを吐出して形成するものへの用途以外に、例えば、液晶表示パネルの配向膜、タッチパネルの絶縁膜等、基板上に平坦な塗布膜を形成する用途にも使用されている（例えば、下記特許文献１参照）。これらの平坦な塗布膜は、従来ではフォトリソグラフィにより形成されていたが、近年では、図３に示すように、１枚の大きな基板Ｗから製品サイズの基板（以下、製品基板。基板Ｗ内の矩形領域が相当する。）を複数枚形成されることが多くなっていることから、製品基板間の周辺領域Ｒへの塗布を要しないインクジェット塗布が採用されている。すなわち、インクジェット塗布を行うことにより、フォトリソでは廃棄されてしまう周辺領域Ｒへの塗布をなくすることができるためため、使用するインクを節約することができる。

このインクジェット塗布は、図１３（ａ）に示すようなインクジェット塗布装置により行われる。すなわち、インクジェット塗布装置は、基板Ｗを載置するステージ１００と、インクを吐出する複数のノズルを有する塗布ユニット１０１とが備えられており、この塗布ユニット１０１がステージ１００上の基板Ｗに対して移動しつつインクを吐出することにより塗布膜Ｃが形成されるようになっている（図１３（ｂ））。

具体的には、塗布ユニット１０１は、基板Ｗに対して相対的に特定方向（図の例ではＸ軸方向）に移動するガントリ部１０１ａを有しており、このガントリ部１０１ａに複数のノズル１０３ａを有するノズルユニット１０２が設けられている。このノズルユニット１０２は、図１４（ａ）に示すように、複数のノズル１０３ａを有するヘッドモジュール１０３が配列されて形成されている。このヘッドモジュール１０３は、特定方向（Ｘ軸方向）と直交する方向（Ｙ軸方向）に等間隔でノズル１０３ａが配列されており、特定方向と直交する方向に階段状に配置されている。すなわち、図１４（ｂ）に示すように、ヘッドモジュール１０３のノズル配列方向端部（ヘッドモジュール端部１０４）は、ノズル間隔寸法ｔよりも大きな寸法ｓを有しているため、２点鎖線に示すように、ヘッドモジュール１０３を単にＹ方向に一列に配列しただけでは、ヘッドモジュール端部１０４でノズル間隔寸法ｔが異なってしまう。そのため、ヘッドモジュール１０３を特定方向と直交する方向に階段状に配置することにより、ヘッドモジュール１０３のノズル間隔寸法ｔが特定方向と直交する方向にすべて等しく配列されるように設定されている。このように配置することにより、ノズル１０３ａを特定方向（Ｘ軸方向）から見ると、ノズル１０３ａがＹ軸方向に等間隔で１列に配列される。

そして、すべてのノズル１０３ａには、インクを吐出すべき着弾位置が予め設定されており、それぞれのノズル１０３ａが、設定された着弾位置（設定着弾位置）に位置した時にインクが吐出されるようになっている。具体的には、設定着弾位置は、基板Ｗ上に格子状に設定されており、Ｘ軸方向には所定間隔毎であって、Ｙ軸方向にはノズル１０３ａの個数に対応する数に設定されている。すなわち、それぞれのＩＪモジュールが、ある設定着弾位置のＸ軸方向位置に位置したときにインクが吐出されることにより、そのＸ軸方向位置において、Ｙ軸方向に亘って一様な直線状のインク集合体が形成される。すなわち、基板Ｗに対してガントリ部１０１ａを相対的に特定方向に１回移動させて設定着弾位置にインクを吐出させることにより、直線状の塗布膜がＸ軸方向に連続的に形成されて、基板Ｗ上に一様で平坦な塗布膜Ｃが形成される。

特開２０１０−００５６１９号公報

しかし、上記インクジェット塗布装置では、ノズル１０３ａの吐出不良が発生した場合、塗布ムラが生じるという問題があった。すなわち、上記インクジェット塗布装置では、１回の走査で塗布膜Ｃを形成するため、１つのノズル１０３ａからインクが吐出されない状態が生じると、そのノズル１０３ａの走査方向（Ｘ軸方向）にインクが供給されない領域（未塗布領域ｆ）が形成され（図１５（ａ））、その未塗布領域ｆが塗布膜Ｃの筋ムラとして残ってしまう。

特に、近年では、速乾性のインクが使用されることが多いため、未塗布領域ｆが形成されると、未塗布領域ｆの周りに形成されたインク集合体Ｃ’は、図１５（ｂ）に示すように、未塗布領域ｆに濡れ広がろうとするが、表面張力を断ち切って未塗布領域ｆに濡れ広がる前にインク集合体Ｃ’の乾燥が進んでしまう。そのため、未塗布領域ｆは、インク供給されない領域として残るか、あるいは周りの領域に比べてインク量が極めて少ない領域として形成され、結果として筋ムラとして残ってしまうという問題があった。

このように、塗布膜Ｃに筋ムラが形成されてしまうと、基板Ｗ１枚が不良基板Ｗとして廃棄されるため、多面取りが行われる大型の基板Ｗでは、その損失は大きなものとなっている。従来のインクジェット塗布装置でも、基板Ｗに塗布膜Ｃを形成する前に、テスト領域に吐出して不吐出ノズル１０３ａのチェックが行われる。チェックの結果、予め不吐出ノズル１０３ａが存在していることが確認されれば、ノズルユニット１０２をＸ軸方向だけでなくＹ軸方向にも移動させ、不吐出ノズル１０３ａの設定着弾位置に他のノズル１０３ａからインクを吐出させることにより未塗布領域ｆが形成されるのを抑えている。ところが、速乾性のインクの場合には、ノズルユニット１０２の走査時間が増加すると乾燥が進んでしまうため、Ｙ軸方向にも移動させる方法では筋ムラを抑えきることは困難であった。また、塗布中に突然、不吐出ノズル１０３ａが発生する場合があり、この場合には、現在塗布中の基板Ｗは廃棄せざるをえず、突然のノズル１０３ａの故障には対応できないという問題があった。

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、塗布前及び塗布中に吐出不良ノズルが発生した場合でも、塗布膜に筋ムラが形成されるのを抑えることができるインクジェット塗布装置及び、インクジェット塗布方法を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために本発明のインクジェット塗布装置は、インクを吐出する複数のノズルを有する塗布ユニットと、基板を載置するステージと、を備え、前記塗布ユニットと前記ステージとを特定方向に相対的に移動させつつ、予め設定された基板上の設定着弾位置に、この設定着弾位置毎に設定された設定塗布量のインクが供給されることにより基板上に塗布膜を形成するインクジェット塗布装置であって、前記塗布ユニットは、複数のノズルを有するメインノズルユニットと、前記特定方向に見て少なくとも前記メインノズルユニットのノズル位置に対応するノズルを有するサブノズルユニットと、を備え、前記メインノズルユニットで吐出する着弾位置と、前記サブノズルユニットで吐出する着弾位置とが同じ前記設定着弾位置に設定されており、前記設定着弾位置には、前記メインノズルユニット及び前記サブノズルユニットのそれぞれ１度ずつインクが吐出されることにより前記設定塗布量のインクが供給されることを特徴としている。

上記インクジェット塗布装置によれば、メインノズルユニットとは別にサブノズルユニットが設けられているため、メインノズルユニット又はサブノズルユニットに吐出不良ノズルが存在した場合や塗布中に不吐出ノズルが発生した場合のいずれであっても、塗布膜に筋ムラが形成されるのを抑えることができる。すなわち、サブノズルユニットは、特定方向に見て少なくとも前記メインノズルユニットのノズル位置に対応するノズルを有しており、メインノズルユニットと同じ設定着弾位置に設定されている。そして、設定着弾位置には、メインノズルユニット及びサブノズルユニットの双方が１度ずつ吐出することにより設定着弾位置に規定のインク量（設定塗布量のインク量）が供給されるように設定されているため、それぞれ設定着弾位置では、メインノズルユニットの所定ノズルによってインクが吐出された後、さらに、特定方向に見て同一視されるサブノズルユニットのノズルからインクが吐出されることによってそれぞれの設定着弾位置に設定塗布量のインクが供給される。ここで、仮に、メインノズルユニットに不吐出ノズルが存在した場合でも、その不吐出ノズルが吐出すべき設定着弾位置には、メインノズルユニットからはインクが吐出されないが、次のサブノズルユニットからインクが吐出される。逆に、サブノズルユニットに不吐出ノズルが存在した場合でも、その設定着弾位置には先のメインノズルユニットからインクが吐出されている。すなわち、すべての設定着弾位置には、メインノズルユニット又はサブノズルユニットの少なくとも一方からインクが吐出されることになるため、設定着弾位置にインクが全く吐出されない状態を防止することができる。そして、すべての設定着弾位置には、少なくとも一方からインクが吐出されるため、不吐出ノズルの設定着弾位置は、周りの設定着弾位置に比べてインク量が少ない領域が形成されるが、不吐出ノズルの設定着弾位置にインクが全く吐出されない場合に比べて、表面張力の影響が小さくなり、周りの設定着弾位置から不吐出ノズルの設定着弾位置にインクが濡れ広がりやすい状態になる。したがって、不吐出ノズルの設定着弾位置のインクと周りの設定着弾位置のインクとが馴染んで一体化され、不吐出ノズルの設定着弾位置と周りの設定着弾位置との塗布膜の高低差がなくなり、ほぼ均一厚さの塗布膜が形成される。このように、速乾性のインクを用いた場合でも、吐出不良ノズルが存在した場合、塗布中に不吐出ノズルが発生した場合のいずれであっても、塗布膜に筋ムラが形成されるのを抑えることができる。

また、前記サブノズルユニットは、前記メインノズルユニットと同じノズル配置を有しており、前記サブノズルユニットの各ノズルは、メインノズルユニットの各ノズルに対して特定方向に一致して設けられている構成にしてもよい。

この構成によれば、メインノズルユニットと同じ配置位置のサブノズルユニットのノズルから同一設定着弾位置に吐出させるようにすればよいため、メインノズルユニットで吐出する着弾位置と、サブノズルユニットで吐出する着弾位置とが同じ設定着弾位置とする設定を容易にすることができる。

また、前記メインノズルユニットのノズルから吐出される塗布量は、前記設定塗布量の半分の量であり、前記サブノズルユニットのノズルから吐出される塗布量は、前記設定塗布量の半分の量である構成にしてもよい。

この構成によれば、不吐出ノズルがメインノズルユニット及びサブノズルユニットのどちらに発生しても、ほぼ同様に不吐出ノズルの設定着弾位置のインクと周りの設定着弾位置のインクとが馴染む現象が得られ、筋ムラの発生を抑えることができる。

また、前記塗布ユニットは、特定方向と直交する方向に延びるガントリ部を有しており、このガントリ部と前記ステージとは相対的に特定方向に移動するように形成されており、前記メインノズルユニット及び前記サブノズルユニットは、前記ガントリ部の特定方向の一方側に設けられ、前記メインノズルユニットと前記サブノズルユニットは、特定方向に隣接して配置されている構成にしてもよい。

この構成によれば、メインノズルユニットとサブノズルユニットが隣接して配置されているため、メインノズルユニットから設定着弾位置にインクが吐出された後、すぐにサブノズルユニットからその設定着弾位置にインクが吐出されるため、インクが乾燥する前に設定着弾位置に設定塗布量のインクを供給することができる。

また、上記課題を解決するために本発明のインクジェット塗布方法は、インクを吐出する複数のノズルを有する塗布ユニットと、基板を載置するステージと、を備え、前記塗布ユニットと前記ステージとを特定方向に相対的に一回移動させつつ、予め設定された基板上の設定着弾位置に、この設定着弾位置毎に設定された設定塗布量のインクを塗布して基板上に塗布膜を形成する塗布方法であって、前記塗布ユニットは、複数のノズルを有するメインノズルユニットとサブノズルユニットとを有しており、前記メインノズルユニットの各ノズルから、すべての前記設定着弾位置に前記設定塗布量よりも少量のインクを１度のみ吐出する第１塗布工程と、前記サブノズルユニットの各ノズルから、すべての前記設定着弾位置に前記設定塗布量よりも少量のインクを１度のみ吐出する第２塗布工程と、を有し、それぞれの前記設定着弾位置には、前記第１塗布工程と第２塗布工程によって前記設定塗布量のインクが供給されることを特徴としている。

上記インクジェット塗布方法によれば、それぞれの設定着弾位置に、第１塗布工程と第２塗布工程とによって、その設定着弾位置における設定供給量のインクが供給される。ここで、仮に、メインノズルユニットに不吐出ノズルが存在した場合でも、その不吐出ノズルが吐出すべき設定着弾位置には、メインノズルユニットからはインクが吐出されないが、次のサブノズルユニットからインクが吐出される。逆に、サブノズルユニットに不吐出ノズルが存在した場合でも、その設定着弾位置には先のメインノズルユニットからインクが吐出されている。すなわち、すべての設定着弾位置には、メインノズルユニット又はサブノズルユニットの少なくとも一方からインクが吐出されることになるため、設定着弾位置にインクが全く吐出されない状態を防止することができる。そして、すべての設定着弾位置には、少なくとも一方からインクが吐出されるため、不吐出ノズルの設定着弾位置は、周りの設定着弾位置に比べてインク量が少ない領域が形成されるが、不吐出ノズルの設定着弾位置にインクが全く吐出されない場合に比べて、表面張力の影響が抑えられ、周りの設定着弾位置から不吐出ノズルの設定着弾位置にインクが濡れ広がりやすい状態になる。したがって、不吐出ノズルの設定着弾位置のインクと周りの設定着弾位置のインクとが馴染んで一体化され、不吐出ノズルの設定着弾位置と周りの設定着弾位置との塗布膜の高低差がなくなり、ほぼ均一厚さの塗布膜が形成される。これにより、速乾性のインクを用いた場合でも、吐出不良ノズルが存在した場合、塗布中に不吐出ノズルが発生した場合のいずれであっても、塗布膜に筋ムラが形成されるのを抑えることができる。

また、前記第１塗布工程におけるメインノズルユニットから吐出されるインク量は、前記設定塗布量の半分のインク量であり、前記第２塗布工程におけるサブノズルユニットから吐出されるインク量は、前記設定塗布量の半分のインク量である構成にしてもよい。

本発明のインクジェット塗布装置及びインクジェット塗布方法によれば、塗布前及び塗布中に吐出不良ノズルが発生した場合でも、塗布膜に筋ムラが形成されるのを抑えることができる。

本発明の一実施形態におけるインクジェット塗布装置を概略的に示す側面図である。上記インクジェット塗布装置を概略的に示す上面図である。基板上に塗布膜が形成された状態を示す図である。ヘッド部をノズル側から見た図であり、メインノズルユニットとサブノズルユニットとが隣接されて構成されている図である。上記ヘッド部の一部を拡大した図である。基板上にインクを塗布している経過状況を示す図である。上記インクジェット塗布装置の動作を示すフローチャートである。インクが基板上に塗布された状態を示す図であり、（ａ）は、メインノズルユニットから基板上にインクを塗布された直後の様子を示す図、（ｂ）は、メインノズルユニットから吐出されたインクが一体化された状態を示す図、（ｃ）は、メインノズルユニットで塗布された後、サブノズルユニットからインクを塗布された直後の様子を示す図、（ｄ）は、メインノズルユニットから吐出されたインクとサブノズルユニットから吐出されたインクとが一体化されて基板上に塗布膜が形成された状態を示す図である。メインノズルユニットに不吐出ノズルが存在する場合の塗布状態を示す図であり、（ａ）は、メインノズルユニットで塗布された領域に未塗布領域が形成された状態を示す図である。（ｂ）は、メインノズルユニットで塗布された後、サブノズルユニットからインクを塗布された直後の様子を示す図、（ｃ）は、メインノズルユニットから吐出されたインクとサブノズルユニットから吐出されたインクとが馴染んで一体化される途中経過を示す図、（ｄ）は、最終的に塗布膜が形成された状態を示す図である。サブノズルユニットに不吐出ノズルが存在する場合の塗布状態を示す図であり、（ａ）は、メインノズルユニットで塗布された後、インク集合体が形成された状態を示す図、（ｂ）は、メインノズルユニットで塗布された後、サブノズルユニットからインクが塗布された直後の様子を示す図、（ｃ）は、メインノズルユニットから吐出されたインクとサブノズルユニットから吐出されたインクとが馴染んで一体化される途中経過を示す図、（ｄ）は、最終的に塗布膜が形成された状態を示す図である。他の実施形態におけるヘッド部のメインノズルユニットとサブノズルユニットとの構成を示す図である。さらに、他の実施形態におけるヘッド部のメインノズルユニットとサブノズルユニットとの構成を示す図である。従来のインクジェット塗布装置を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図である。従来のインクジェット塗布装置のノズルユニットを示す図であり、（ａ）は、ノズル側から見た図、（ｂ）は、ヘッドモジュールの配列を示す図である。従来のインクジェット塗布装置で不吐出ノズルが存在した場合の塗布状態を示す図であり、（ａ）は、基板全体に形成された塗布膜を示す図、（ｂ）未塗布領域が存在する塗布膜の断面図である。

本発明のインクジェット塗布装置に係る実施の形態を図面を用いて説明する。

図１は、インクジェット塗布装置の一実施形態を示す側面図であり、図２は、インクジェット塗布装置の上面図である。

インクジェット塗布装置は、図１、図２に示すように、基板Ｗを載置するステージ１０と、基板Ｗにインクを塗布する塗布ユニット２とを有しており、塗布ユニット２がステージ１０に載置された基板Ｗ上を移動しつつ、インクを所定の着弾位置に吐出することにより、基板Ｗ上に平坦状の塗布膜Ｃが形成される。本実施形態では、図３に示すように、塗布膜Ｃ付きの基板（製品基板）が複数枚形成されるように、１枚の基板Ｗ上に複数箇所、平坦状の塗布膜Ｃが形成される。
この塗布膜Ｃは、液晶表示パネルの配向膜、タッチパネルの絶縁膜等であり、このインクジェット塗布装置は、基板Ｗ上に平坦な塗布膜Ｃを形成する用途であれば、あらゆる塗布膜Ｃを形成することができる。

なお、以下の説明では、この塗布ユニット２が移動する方向をＸ軸方向（本実施形態の特定方向）、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。

インクジェット塗布装置は、基台１を有しており、この基台１上にステージ１０、塗布ユニット２が設けられている。具体的には、基台１上に直方体形状のステージ１０が設けられており、このステージ１０をＹ軸方向に跨ぐように塗布ユニット２が設けられている。

ステージ１０は、基板Ｗを載置するものであり、載置された基板Ｗが水平な姿勢を維持した状態で載置されるようになっている。具体的には、ステージ１０の表面は、平坦に形成されており、その表面には、吸引孔が複数形成されている。この吸引孔には真空ポンプが接続されており、ステージ１０の表面に基板Ｗを載置した状態で真空ポンプを作動させることにより、吸引孔に吸引力が発生し、基板Ｗが水平な姿勢でステージ１０の表面に吸着保持できるようになっている。そして、基板Ｗには、アライメントマークが付されており、このアライメントマークをカメラ（不図示）で撮像することにより、後述の制御装置で記憶された設定着弾位置がアライメントマークに基づいた設定着弾位置に補正される。すなわち、補正されることにより、各ノズル毎の設定着弾位置と、ステージ１０上の基板Ｗの実際の着弾位置とが一致するようになっており、それぞれの設定着弾位置にインクが吐出されることにより、基板Ｗ上の所定の位置に平坦状の塗布膜Ｃが精度よく形成されるようになっている。

また、塗布ユニット２は、基板Ｗ上にインクを着弾させて塗布するものであり、インクを吐出するヘッド部２１と、このヘッド部２１を支持するガントリ部２２とを有している。このガントリ部２２は、ステージ１０のＹ軸方向両外側に配置される脚部２２ａと、これらの脚部２２ａを連結しＹ軸方向に延びる石材製のビーム部材２２ｂとを有する略門型形状に形成されている。そして、このビーム部材２２ｂにヘッド部２１が取付けられており、ガントリ部２２は、ステージ１０をＹ軸方向に跨いだ状態でＸ軸方向に移動可能に取り付けられている。本実施形態では、基台１のＹ軸方向両端部分にはそれぞれＸ軸方向に延びるレール（不図示）が設置されており、脚部２２ａがこのレールにスライド自在に取り付けられている。そして、脚部２２ａにはリニアモータが取り付けられており、このリニアモータを駆動制御することにより、ガントリ部２２がＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止できるようになっている。

また、ビーム部材２２ｂは、両脚部２２ａを連結する柱状部材であり、石材で形成されている。このビーム部材２２ｂには、ヘッド部２１が取付けられている。具体的には、ビーム部材２２ｂの一方側の側面に、ヘッド部２１が取り付けられており、このヘッド部２１に設けられたノズルユニットのノズルがステージ１０の表面に向く姿勢で取付けられている。したがって、ガントリ部２２がＸ軸方向に移動又は停止するにしたがって、ヘッド部２１もそれに付随して移動又は停止を行うことができ、ガントリ部２２の移動量を調節することにより、ステージ１０の表面に載置された基板Ｗ上にヘッド部２１を位置させて基板Ｗ上にインクを吐出できるようになっている。

また、ヘッド部２１は、図４に示すように、複数のノズルを一体化させたものであり、メインノズルユニット３０と、サブノズルユニット４０とを有している。本実施形態では、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０とがＸ軸方向に互いに隣接して配置された状態で固定されている。すなわち、図４に示す例では、メインノズルユニット３０は、サブノズルユニット４０対して進行方向前側に配置されており、Ｘ軸方向に移動して塗布する際に最初に基板Ｗと対面する側に配置されて固定されている。

このメインノズルユニット３０は、複数のノズル３１ａを有しており、一方向に整列した状態で配置されている。具体的には、メインノズルユニット３０は、モジュールケーシング３５に、ピエゾ素子を駆動させてインクを吐出する複数のヘッドモジュール３１を備えて形成されており、このヘッドモジュール３１が一方向に配列された複数のノズル３１ａを有している。

そして、ヘッドモジュール３１は、それぞれが互いに重複する部分を有して階段状に配置されている。図４の例では、３つのヘッドモジュール３１が階段状に配列されている。すなわち、これらのヘッドモジュール３１は、ノズル配置間隔とヘッドモジュール３１の両端部分とでは寸法が異なっているため、図５に示すように、この両端部分の寸法分を相殺できるようにＸ軸方向にずらしつつＹ軸方向に配列される。すなわち、ヘッドモジュール３１の複数のノズル３１ａの配列方向をＹ軸方向に揃えて、ヘッドモジュール３１の両端部分の寸法分（寸法ｓ）を相殺できるようにヘッドモジュール３１を階段状に配置することにより、ヘッドモジュール３１単位で見ればＸ軸方向に見てヘッドモジュール３１のノズル３１ａがＹ軸方向に等間隔（寸法ｔ）で配置される。そして、この階段状に配置された３つのヘッドモジュール３１の集合体をヘッドモジュール３１の両端部分の寸法分（寸法ｓ）を相殺できるように繰り返しＹ軸方向に配置することにより、ヘッド部２１全体としてＸ軸方向に見て、すべてのノズル３１ａがＹ軸方向に沿って配列され、Ｘ軸方向から見てＹ軸方向に亘って等間隔で配置される。

また、サブノズルユニット４０は、複数のノズル４１ａを有しており、一方向（本実施形態ではＹ軸方向）に整列した状態で配置されている。本実施形態では、上述のメインノズルユニット３０と同様の構成を有しており、ノズル４１ａの配置はメインノズルユニット３０のノズル３１ａ配置と同一に形成されている。すなわち、モジュールケーシング４５にヘッドモジュール４１がＸ軸方向及びＹ軸方向に順次ずらして階段状に配置され、この階段状の３つのヘッドモジュール４１がＹ軸方向に順次繰り返して配置されている。これにより、ヘッド部２１全体としてＸ軸方向に見て、すべてのノズル４１ａがＹ軸方向に沿って配列され、Ｙ軸方向に亘って等間隔で配置されている。

また、サブノズルユニット４０は、Ｘ軸方向に見てメインノズルユニット３０のノズル３１ａ位置に対応するノズル４１ａを有している。対応するノズルとは、Ｘ軸方向に見て位置的に同一の位置に配置されるノズルを言う。図５に示す例では、ノズル３１ａ１に対応するノズルがノズル４１ａ１であり、ノズル３１ａ２に対応するノズルがノズル４１ａ２であり、ノズル３１ａ３に対応するノズルがノズル４１ａ３である。すなわち、サブノズルユニット４０の最端部のヘッドモジュール４１がメインノズルユニット３０の最端部のヘッドモジュール３１とＸ軸方向に見て同じ位置に設定されており、それぞれこれらの最端部のヘッドモジュール３１、４１を基準にして他のヘッドモジュール３１，４１が配置されている。したがって、Ｘ軸方向に見て、メインノズルユニット３０のノズル３１ａの位置とサブノズルユニット４０のノズル４１ａの位置とが一致しており、サブノズルユニット４０は、メインノズルユニット３０のノズル３１ａすべてに対して位置的に対応するノズル４１ａを有している。これにより、ヘッド部２１をＸ軸方向に移動させると、すべての設定着弾位置には、メインノズルユニット３０のノズル３１ａと、これと位置的に対応するサブノズルユニット４０のノズル４１ａとが通過することとなり、それぞれの設定着弾位置に対してメインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０の両方からインクを着弾させることができるようになっている。

なお、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０のノズル３１ａ、４１ａの配置は同一であるが、この同一とは、設計精度、組付け精度の影響は無視し、設計的に同一の位置という意味である。そして、対応するノズルとは、Ｘ軸方向（走査方向）に見て位置的に同一であり、あるノズルと設定着弾位置とに着目した場合、特定方向に１回走査させたときに、メインノズルユニット３０のノズル３１ａと、これに対応するサブノズルユニット４０のノズル４１ａの両方がその設定着弾位置にインクを着弾させることができ、インクの着弾位置に僅かなズレが生じても周りのインクと馴染んでインク同士を一体化させることができるノズル４１ａという意味である。

また、本実施形態のインクジェット塗布装置は装置全体の動作を統括する制御装置（不図示）を有している。この制御装置は、予め記憶されたプログラムに従って一連の塗布動作を実行すべく、各ユニットのサーボモータ、リニアモータ等の駆動装置を駆動制御するとともに塗布動作に必要な各種演算を行うものである。

この制御装置には、各ノズル３１ａ、４１ａから吐出されるインクの吐出位置（設定着弾位置）が記憶されており、この設定着弾位置がそれぞれのノズル３１ａ、４１ａ毎に設定されている。本実施形態では、図３に示すように、製品基板の多面取りに対応するように基板Ｗ上に複数の塗布膜Ｃが形成されるように設定されており、塗布膜Ｃが形成されるべき塗布領域にアライメントマークを基準とした設定着弾位置が設定されている。具体的には、Ｙ軸方向の設定着弾位置は、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０のＹ軸方向のノズル３１ａ、４１ａの間隔と同じになるように設定されており、Ｘ軸方向の設定着弾位置は、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０が１度の塗布動作（ガントリ部２２がＸ軸方向に１度走査する動作）で各塗布領域に平坦状の塗布膜Ｃが形成されるのに必要なインク量を供給できる程度に等間隔で設定されている。したがって、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０から吐出されたインクは、基板Ｗ上で互いに馴染んで一体化することにより、基板Ｗ上の所定の位置には平坦な塗布膜Ｃが形成されるようになっている。

また、設定着弾位置に対するインクの塗布量（設定塗布量）も予め設定されており、各ノズル３１ａ、４１ａ毎に設定着弾位置に対するインクの吐出量も設定されている。この吐出量は、設定塗布量を超えない範囲で設定されている。本実施形態の吐出量は、設定塗布量の半分の量に設定されており、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０のそれぞれのノズル３１ａ、４１ａから１つの設定着弾位置に設定塗布量の半分の量のインク量が吐出されるように設定されている。すなわち、１つの設定着弾位置に対して、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０の両方からインクが吐出されることにより設定着弾位置に対して設定塗布量のインクが供給されるようになっている。したがって、図６に示すように、１つの塗布領域についてみると、メインノズルユニット３０が通過した領域には、設定着弾位置に設定塗布量の半分のインクが供給される（図６において薄い色を付けた範囲）。そして、メインノズルユニット３０が通過した塗布領域に、今度はサブノズルユニット４０が通過することにより、残りの半分のインクが供給される（図６において濃い色を付けた範囲）。このように、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０からインクを吐出しつつガントリ部２２がＸ軸方向に１度走行することにより、すべての設定着弾位置には、メインノズルユニット３０から設定塗布量の半分の塗布量のインクが供給され、次いでサブノズルユニット４０から設定塗布量の半分の塗布量のインクが供給されることにより、供給されたインクが互いに馴染んで一体化し、基板Ｗ上の所定の位置に平坦な塗布膜Ｃが形成されるようになっている。

次にこのインクジェット塗布装置における動作について図７のフローチャートに基づいて説明する。

まず、ステップＳ１により基板Ｗが搬入される。具体的には、ロボットハンド等により基板Ｗがステージ１０上に載置される。基板Ｗがステージ１０に載置されると、ステージ１０の吸引孔に吸引力を発生させることによりステージ１０上に基板Ｗが吸着保持される。そして、基板Ｗのアライメントマークが取り込まれ、このアライメントマークを基準に設定着弾位置が補正される。すなわち、ステージ１０上の基板に対して、各ノズル３１ａ、４１ａ毎に設定着弾位置、及び、吐出量（本実施形態では設定塗布量の半分）が設定される。

なお、次の第１塗布工程に入る前に、テスト基板上に各ノズル３１ａ、４１ａから吐出を行って不吐出ノズルの有無の確認が行われる。

次に、ステップＳ２により塗布工程が行われる。すなわち、ガントリ部２２がＸ方向に移動すると共にメインノズルユニット３０から設定着弾位置にインクＰが吐出される。この塗布工程は、第１塗布工程と第２塗布工程を有しており、それぞれの設定着弾位置に第１塗布工程と第２塗布工程を経ることで設定着弾位置へのインクの供給が完了する。すなわち、第１塗布工程により、すべての設定着弾位置に着弾が完了するのを待つことなく、第１塗布工程によりインクが着弾された設定着弾位置から順に第２塗布工程が開始されインクが着弾される。本実施形態では、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０とが隣接して設けられているため、第１塗布工程で着弾してインクが供給された後、すぐに第２塗布工程によりその設定着弾位置にインクが供給される。

具体的には、第１塗布工程では、メインノズルユニット３０の各ノズル３１ａから、各ノズル３１ａに設定された設定着弾位置に設定塗布量の半分のインクＰが吐出される。これにより、メインノズルユニット３０が通過した塗布領域には、すべての設定着弾位置に設定塗布量の半分のインクＰが塗布される。そして、基板Ｗ上に塗布されたインクＰは、着弾位置から濡れ広がり（図８（ａ））、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に隣り合う設定着弾位置に着弾したインクＰと馴染み合って一体化されたインク集合体Ｃ’が形成される（図８（ｂ））。

そして、第１塗布工程により着弾された設定着弾位置に対し、第２塗布工程が行われる。すなわち、ガントリ部２２がＸ軸方向に移動すると共にサブノズルユニット４０から設定着弾位置にインクＰが吐出される。本実施形態では、サブノズルユニット４０がメインノズルユニット３０に隣接して設けられているため、メインノズルユニット３０から設定着弾位置に塗布されると、その直後、すなわち、インク集合体Ｃ’が乾燥する前にサブノズルユニット４０からインクＰが吐出される。具体的には、サブノズルユニット４０の各ノズル４１ａから、各ノズル４１ａに設定された設定着弾位置に設定塗布量の半分のインクＰが吐出される。すなわち、メインノズルユニット３０がすでに着弾させた設定着弾位置に設定塗布量の半分のインクＰが吐出される。これにより、サブノズルユニット４０が通過した塗布領域には、すべての設定着弾位置に設定塗布量のインクＰが塗布される。具体的には、基板Ｗ上（正確には、メインノズルユニット３０により吐出されたインクＰ上）に塗布されたインクＰは、着弾位置から濡れ広がり（図８（ｃ））、メインノズルユニット３０により形成されたインク集合体Ｃ’、及び、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に隣り合う設定着弾位置に着弾したインクＰと馴染み合って一体化されることにより（図８（ｄ））、基板Ｗ上には平坦な塗布膜Ｃが形成される。

ここで、不吐出ノズル３１ａ、４１ａの存在をテスト基板上で確認した後、突然、不吐出ノズル３１ａ、４１ａが発生した場合でも、不吐出ノズル４１ａが発生しない場合と同様に平坦な塗布膜Ｃが形成される。すなわち、例えば、メインノズルユニット３０の１つのノズル３１ａからインクＰが吐出されない場合、図９に示すように、メインノズルユニット３０から設定着弾位置にインクＰが吐出されると、吐出されたインクＰ同士が馴染んで一体化される一方で、不吐出ノズル３１ａの部分だけが未塗布領域ｆとして形成される。すなわち、通常通り、設定着弾位置に吐出されたインクＰは、隣接するインクＰと馴染み合って一体化されることにより、未塗布領域ｆを挟んでインクＰのインク集合体Ｃ’が形成されるが、未塗布領域ｆにはインクＰが存在しないため、これらのインク集合体Ｃ’同士は表面張力を打ち破って一体化されることはなく、このままでは未塗布領域ｆが筋ムラとして残ってしまう（図９（ａ））。しかし、次のサブノズルユニット４０には、不吐出ノズル４１ａに対応するノズル４１ａが存在しており、サブノズルユニット４０から設定着弾位置にインクＰを吐出されると、不吐出ノズル４１ａの対応ノズル４１ａから未塗布領域ｆにインクＰが吐出される（図９（ｂ））。これにより、未塗布領域ｆを挟んで形成されていたインク集合体Ｃ’と、未塗布領域ｆにサブノズルユニット４０から吐出されたインクＰとが馴染み合うことにより、未塗布領域ｆを境界に分裂していたインク集合体Ｃ’が１つの塗布膜として一体化される（図９（ｃ））。そして、未塗布領域ｆでは、インク量が設定塗布量に満たないものの、不足するインク量は周りのインク量に比べて非常に僅かな量であるため、周りのインク集合体Ｃ’と補い合って１つの塗布膜Ｃとして形成される。そして、一体化されたインク集合体Ｃ’には表面張力が作用することにより、最終的に全体として平坦な塗布膜Ｃに形成される（図９（ｄ））。

また、サブノズルユニット４０に不吐出ノズル４１ａが発生した場合も同様に、メインノズルユニット３０から設定着弾位置にインクＰが吐出されることにより、設定塗布量の半分のインク量でインク集合体Ｃ’が形成される（図１０（ａ））。その後、サブノズルユニット４０から設定着弾位置にインクＰが吐出される（図１０（ｂ））。吐出されたインクＰは、メインノズルユニット３０により形成されたインク集合体Ｃ’、及び、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に隣り合う設定着弾位置に着弾したインクＰと馴染み合って一体化される（図１０（ｃ））。ここで、不吐出ノズル４１ａの設定着弾位置にはインクＰが吐出されないため、不吐出ノズル４１ａの設定着弾位置には、設定塗布量の半分のインク量しかなく、周りに比べてインク量が不足する。しかし、不足するインク量は周りのインク量に比べて非常に僅かな量であるため、周りのインク集合体Ｃ’と補い合って１つの塗布膜Ｃとして形成される。そして、一体化されたインク集合体Ｃ’には表面張力が作用することにより、全体として平坦な塗布膜Ｃに形成される（図１０（ｄ））。

次に、ステップＳ３により、基板Ｗの排出が行われる。具体的には、ロボットハンド等によりステージ１０に載置された基板Ｗが排出され、基板Ｗは後工程である乾燥装置に搬送される。

このように、上記実施形態におけるインクジェット塗布装置によれば、メインノズルユニット３０とは別にサブノズルユニット４０が設けられているため、メインノズルユニット３０又はサブノズルユニット４０に吐出不良ノズル３１ａ、４１ａが存在した場合や塗布中に不吐出ノズル４１ａが発生した場合のいずれであっても、塗布膜Ｃに筋ムラが形成されるのを抑えることができる。

また、上記実施形態では、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０のモジュールケーシング３５，４５を独立させて設ける例について説明したが、モジュールケーシング３５，４５を共用にしてメインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０を設けるものであってもよい。すなわち、図１１に示すように、メインノズルユニット３０は、共通のモジュールケーシングに、図１１において白抜きのヘッドモジュール３１で形成されている。そして、ヘッドモジュール３１は、ヘッドモジュール３１の両端部分の寸法分を相殺できるように階段状に配置されており、この階段状に配置されたヘッドモジュール３１がＹ軸方向に繰り返し配列されている。すなわち、上記実施形態同様に、これらのヘッドモジュール３１の各ノズル３１ａは、Ｘ軸方向に見て等間隔に配置されている。

また、サブノズルユニット４０は、図１１においてハッチングを施した複数のヘッドモジュール４１で形成されており、共通のモジュールケーシング５５に、メインノズルユニット３０のヘッドモジュール３１に隣接して配置されている。そして、ヘッドモジュール４１のノズル４１ａの配置は、メインノズルユニット３０のノズル３１ａ配置と同一に形成されており、Ｘ軸方向に見て、ノズル４１ａは、Ｙ軸方向に亘って等間隔で配置されるノズル３１ａと同一の位置に配置されている。すなわち、サブノズルユニット４０は、メインノズルユニット３０のノズル３１ａすべてに対して位置的に対応するノズル４１ａを有するように形成されている（例えば、ノズル３１ａ１とノズル４１ａ１）。このような構成であっても、メインノズルユニット３０又はサブノズルユニット４０に吐出不良ノズル３１ａ、４１ａが存在した場合であっても、塗布膜Ｃに筋ムラが形成されるのを抑えることができる。そして、このような構成であれば、メインノズルユニット３０のヘッドモジュール３１とサブノズルユニット４０のヘッドモジュール４１とが隣接しており、上記実施形態に比べて、メインノズルユニット３０のノズル３１ａと、これに対応するサブノズルユニット４０のノズル４１ａとの距離を小さくすることができるため、ノズル３１ａからインクを着弾させた後、すぐにノズル４１ａからインクを着弾させることができる。したがって、メインノズルユニット３０から着弾させたインクが乾燥する前にサブノズルユニット４０からインクを着弾させることができるため、速乾性のインクを使用する場合に有効である。

また、上記実施形態では、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０双方のノズルがＸ軸方向において、１本ずつである例について説明したが、図１２に示すように、Ｘ軸方向において複数本存在するものであってもよい。すなわち、メインノズルユニット３０は、複数のヘッドモジュール３１（図１２の例では３つのヘッドモジュール３１）をＸ軸方向に重ねて形成されるモジュールユニット３２を有している。すなわち、モジュールユニット３２のノズル３１ａは、Ｘ軸方向に複数本存在しており、かつ、Ｘ軸方向に見て、同一の位置に等間隔で配置されている。そして、モジュールユニット３２が階段状に配置され、Ｙ軸方向に繰り返し配列されて形成されている。すなわち、ヘッドモジュール３１の複数のノズル３１ａの配列方向をＹ軸方向に一致させて、ヘッドモジュール３１の両端部分の寸法分を相殺できるようにモジュールユニット３２を階段状に配置することにより、Ｘ軸方向に見てモジュールユニット３２のノズル３１ａがＹ軸方向に等間隔に配置される。すなわち、メインノズルユニット３０のヘッドモジュール３１の各ノズル３１ａは、Ｘ軸方向に複数本存在しており、かつ、Ｘ軸方向に見て等間隔に配置されている。

また、サブノズルユニット４０は、複数のノズル４１ａを有しており、一方向（本実施形態ではＹ軸方向）に整列した状態で配置されている。本実施形態では、上述のメインノズルユニット３０と同様の構成を有しており、ノズル４１ａの配置はメインノズルユニット３０のノズル４１ａ配置と同一に形成されている。すなわち、サブノズルユニット４０は、複数のヘッドモジュール４１（図１２の例では３つのヘッドモジュール４１）をＸ軸方向に重ねて形成されるモジュールユニット４２を有している。そして、このモジュールユニット４２がＸ軸方向及びＹ軸方向に順次ずらして階段状に配置され、この階段状のモジュールユニット４２がＹ軸方向に順次繰り返して配置されている。すなわち、サブノズルユニット４０のヘッドモジュール４１の各ノズル４１ａは、Ｘ軸方向に複数本存在しており、かつ、Ｘ軸方向に見て等間隔に配置されている。これにより、ヘッド部２１全体として、Ｘ軸方向に見て、すべてのノズル３１ａ、４１ａがＹ軸方向に沿って配列され、Ｙ軸方向に亘って等間隔で配置されている。そして、メインノズルユニット３０のノズル３１ａ１に対応するノズルが、サブノズルユニット４０のノズル４１ａ１であり、同様にノズル３１ａ２に対応するノズルがノズル４１ａ２となるように、サブノズルユニット４０には、メインノズルユニット３０の各ノズル３１ａに対応するノズル４１ａが存在している。

このように、Ｘ軸方向において複数本存在する場合には、不吐出ノズルが発生した場合に筋ムラが形成されてしまう問題をさらに抑えることができる。すなわち、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０は、１回の走査で塗布膜Ｃを形成するため、上記実施形態のようにＸ軸方向にノズル３１ａ、４１ａが１本しかない場合には不吐出ノズルが存在するとＸ軸方向に不吐出領域が線状に形成される（図１３参照）。ところが、本実施形態のようにＸ軸方向にノズル３１ａ、４１ａを複数本備える場合には、Ｘ軸方向に延びる不吐出領域上に他のＸ軸方向に見て同一位置にあるノズル３１ａ、４１ａからインクを吐出することができるため、不吐出領域におけるインクの不足量を上記実施形態に比べて少なくすることができる。したがって、不吐出ノズルが存在しても塗布領域全体として設定着弾位置の設定塗布量に近いインク量を供給することができるため、より効果的に筋ムラが形成されるのを抑えることができる。

また、上記実施形態では、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０から吐出されるインクＰの塗布量が、設定塗布量の半分の量である場合について説明したが、設定塗布量よりも少ない量であって、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０の塗布量の合計が設定塗布量に設定されていればよい。例えば、メインノズルユニットから設定塗布量の７０％のインク量を吐出し、サブノズルユニット４０から残りの３０％のインク量を吐出するものであってもよい。なお、上記実施形態のように設定塗布量の半分に設定されていれば、メインノズルユニット３０又はサブノズルユニット４０のいずれに不吐出ノズル３１ａ、４１ａが発生しても、不吐出ノズル３１ａ、４１ａの設定着弾位置におけるインクＰが周りのインクＰと馴染む環境が同じ環境になり、不吐出ノズル３１ａ、４１ａが起因する筋ムラが形成されにくくすることができる。

また、上記実施形態では、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０とのノズル３１ａ、４１ａ配置が同一の場合について説明したが、完全に同一にする必要はなく、特定方向に見て、サブノズルユニット４０に、メインノズルユニット３０の各ノズル３１ａに対応するノズル４１ａが存在していればよい。すなわち、特定方向の１回の走査により、それぞれの設定着弾位置に、メインノズルユニット３０のノズル３１ａとサブノズルユニット４０のノズル４１ａから１度ずつ吐出できるように構成されていればよい。

また、上記実施形態では、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０は、ガントリ部２２の特定方向の一方側に設けられ、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０は、特定方向に隣接して配置されている例について説明したが、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０とがガントリ部２２を挟んで特定方向に異なる側に位置するように設けるものであってもよい。また、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０とを別々の独立したガントリ部２２に設けるものであってもよい。いずれの場合でも、特定方向に見て、サブノズルユニット４０に、メインノズルユニット３０の各ノズル４１ａに対応するノズル４１ａが存在するように配置されていればよい。なお、上記実施形態のように、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０とが隣接する位置に配置されていれば、メインノズルユニット３０から設定着弾位置に吐出された後、すぐにサブノズルユニット４０から当該設定着弾位置にインクを吐出することができるため、速乾性のインクを用いる場合には有効である。

また、上記実施形態では、基板Ｗ上の塗布領域に直接インクを吐出して塗布膜Ｃを形成する例について説明したが、インクの流動性が高い場合には、次の塗布工程に入る前に、インクの濡れ広がりを抑えるために、上記インクジェット塗布装置によってそれぞれの塗布領域を囲う枠状部を形成し、その後、上記塗布工程で枠状部内にインクを吐出して塗布膜Ｃを形成するものであってもよい。

２塗布ユニット
１０ステージ
２１ヘッド部
２２ガントリ部
３０メインノズルユニット
３１ａノズル（メインノズルユニット）
４０サブノズルユニット
４１ａノズル（サブノズルユニット）
Ｗ基板
Ｃ塗布膜
Ｃ’ インク集合体
Ｐインク
ｆ未塗布領域

Claims

インクを吐出する複数のノズルを有する塗布ユニットと、
基板を載置するステージと、
を備え、前記塗布ユニットと前記ステージとを特定方向に相対的に移動させつつ、予め設定された基板上の設定着弾位置に、この設定着弾位置毎に設定された設定塗布量のインクが供給されることにより基板上に塗布膜を形成するインクジェット塗布装置であって、
前記塗布ユニットは、複数のノズルを有するメインノズルユニットと、
前記特定方向に見て少なくとも前記メインノズルユニットのノズル位置に対応するノズルを有するサブノズルユニットと、
を備え、
前記メインノズルユニットで吐出する着弾位置と、前記サブノズルユニットで吐出する着弾位置とが同じ前記設定着弾位置に設定されており、
前記設定着弾位置には、前記メインノズルユニット及び前記サブノズルユニットのそれぞれ１度ずつインクが吐出されることにより前記設定塗布量のインクが供給されることを特徴とするインクジェット塗布装置。
前記サブノズルユニットは、前記メインノズルユニットと同じノズル配置を有しており、前記サブノズルユニットの各ノズルは、メインノズルユニットの各ノズルに対して特定方向に一致して設けられていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット塗布装置。
前記メインノズルユニットのノズルから吐出される吐出量は、前記設定塗布量の半分の量であり、前記サブノズルユニットのノズルから吐出される吐出量は、前記設定塗布量の半分の量であることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット塗布装置。
前記塗布ユニットは、特定方向と直交する方向に延びるガントリ部を有しており、このガントリ部と前記ステージとは相対的に特定方向に移動するように形成されており、前記メインノズルユニット及び前記サブノズルユニットは、前記ガントリ部の特定方向の一方側に設けられ、前記メインノズルユニットと前記サブノズルユニットは、特定方向に隣接して配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のインクジェット塗布装置。
インクを吐出する複数のノズルを有する塗布ユニットと、
基板を載置するステージと、
を備え、前記塗布ユニットと前記ステージとを特定方向に相対的に一回移動させつつ、予め設定された基板上の設定着弾位置に、この設定着弾位置毎に設定された設定塗布量のインクを塗布して基板上に塗布膜を形成する塗布方法であって、
前記塗布ユニットは、複数のノズルを有するメインノズルユニットとサブノズルユニットとを有しており、
前記メインノズルユニットの各ノズルから、前記設定着弾位置に前記設定塗布量よりも少量のインクを１度のみ吐出する第１塗布工程と、
前記サブノズルユニットの各ノズルから、前記設定着弾位置に前記設定塗布量よりも少量のインクを１度のみ吐出する第２塗布工程と、
を有し、
それぞれの前記設定着弾位置には、前記第１塗布工程と第２塗布工程によって前記設定塗布量のインクが供給されることを特徴とするインクジェット塗布方法。
前記第１塗布工程におけるメインノズルユニットから吐出されるインクの吐出量は、前記設定塗布量の半分の量であり、前記第２塗布工程におけるサブノズルユニットから吐出されるインクの吐出量は、前記設定塗布量の半分の量であることを特徴とする請求項５に記載のインクジェット塗布方法。