JP2007229705A - 液滴吐出装置 - Google Patents
液滴吐出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007229705A JP2007229705A JP2007012254A JP2007012254A JP2007229705A JP 2007229705 A JP2007229705 A JP 2007229705A JP 2007012254 A JP2007012254 A JP 2007012254A JP 2007012254 A JP2007012254 A JP 2007012254A JP 2007229705 A JP2007229705 A JP 2007229705A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- liquid discharge
- substrate
- landing
- discharge step
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Ink Jet Recording Methods And Recording Media Thereof (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
【解決手段】第1液L1の液滴D1と第2液L2の液滴D2とが基板10への着弾時に混ざるようにし、液滴D1、D2が基板10に着弾してから反応が開始されるようにしたから、2種の液L1、L2を使用前に混合しておくことの不利益を最大限に回避できる。また、インクジェット方式を利用しているから、液適量や着弾位置の微細なコントロールが可能であり、第1液L1と第2液L2とを精度良く同一位置に着弾させることができる。したがって、高密度なパターンを形成に有利である。また第1液L1と第2液L2の混合比率を精密に制御できるから、膜11の品質を安定化することができる。
【選択図】図1
Description
1mol/Lの硝酸チタン水溶液24mlに錯化剤として50%過酸化水素水6mlを混合したチタン塩水溶液、1mol/Lの硝酸ジルコニル水溶液24mlに錯化剤として50%過酸化水素水6mlを混合したジルコニル塩水溶液、及び1mol/Lの硝酸鉛水溶液48mlを調製した。以上3種の水溶液を混合して金属塩混合液を調製した。さらに低温結晶化のため、エチレンオキサイド(EO)とプロピレンオキサイド(PO)とからなるブロックコポリマーEO20−PO70−EO20(BASF社製 プルロニック(登録商標)P123)10gを水に溶解して30mlとしたブロックコポリマー水溶液を調製した。上記金属塩混合液とブロックコポリマー水溶液とを混合して第1液とした。
沈殿剤として3mol/Lのアンモニア水50mlに硫酸アンモニウム3gを溶解して第2液とした。
基材としては主にポリイミド系樹脂からなる多層プリント基板を用い、この基材の表面をフッ素系ガスを用いたプラズマ処理により表面処理した。
前記実施形態で説明した構成のインクジェット式液滴吐出装置を準備した。前記(1)および(2)で調製した第1液および第2液をタンクに充填し、第1液と第2液の着弾時間差を0s、液適量の比を第1液:第2液=1:1としてパターン形成を行った。この後、形成された共沈物のパターンを100℃×8hで真空乾燥し、余剰の溶媒の除去および共沈物の基材表面への仮固着を行った。乾燥後、共沈物のパターンを約300℃×60minで加熱・焼成し、金属複合酸化物のパターンを得ることができた。なお、ブロックコポリマーP123の存在により、低温焼成にてペロブスカイト相を生成した。
エポキシ系2液硬化型接着剤の主剤である東亞合成(株)製AP−209Aを第1液とした。また、硬化剤である東亞合成(株)製AP−209Bを第2液とした。基材としては主にエポキシ系樹脂からなる基板を用い、この基材の表面を酸素を用いたプラズマ処理により表面処理した。
前記実施形態で説明した構成のインクジェット式液滴吐出装置を準備した。前記(1)に記載した第1液(主剤)および第2液(硬化剤)をタンクに充填し、第1液と第2液の着弾時間差を0s、液適量の比を第1液:第2液=2:1として電子部品の固着位置に接着剤のパターンを形成した。この後、形成された接着剤のパターン上に電子部品を載置し、30℃×60minで仮硬化させた。その後、室温で、または加熱により接着剤を完全に硬化させ、電子部品を基材上に接着した。
6A…第1ノズル(一方の前記液滴吐出ノズル)
6B…第2ノズル(他方の前記液滴吐出ノズル)
10…基板(基材)
D1、D2…液滴
L1…第1液
L2…第2液
Claims (16)
- 第1ノズル及び第2ノズルを有するインクジェット式液滴吐出装置を用いて基材上にパターンを形成する方法であって、
第1ノズルから第1液を吐出して前記基材に着弾させる第1液吐出工程と、
第2ノズルから第1液と反応する第2液を吐出して第1液吐出工程における第1液の着弾位置と同一位置に着弾させる第2液吐出工程と、
を備えるパターン形成方法。 - 前記基材において第1液および第2液が着弾する着弾面を処理する表面処理工程を、第1液吐出工程および第2液吐出工程の前に含むことを特徴とする請求項1に記載のパターン形成方法。
- 第1液吐出工程と第2液吐出工程とが同時に行われることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のパターン形成方法。
- 所望の着弾位置に対して第1液吐出工程、及び第2液吐出工程を行った後、着弾位置を変えながら第1液吐出工程、及び第2液吐出工程を繰り返すことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 第1ノズル及び第2ノズルを有するインクジェット式液滴吐出装置を用いて基材上に複合金属酸化物膜を形成する方法であって、
第1ノズルから、複合金属酸化物を構成する金属の塩を含む第1液を吐出して前記基材に着弾させる第1液吐出工程と、
第2ノズルから、前記複合金属酸化物を構成する金属と反応して共沈物を形成する沈殿剤を含む第2液を吐出して第1液吐出工程における第1液の着弾位置と同一位置に着弾させる第2液吐出工程と、
第1液と第2液とが前記基材上で混合したことにより生成された共沈物を焼成し、前記基材上に前記複合金属酸化物の膜を生成する焼成工程と、
を備える複合金属酸化物膜の形成方法。 - 前記基材において第1液および第2液が着弾する着弾面の撥液性を高める表面処理工程を第1液吐出工程および第2液吐出工程の前に含むことを特徴とする請求項5に記載の複合金属酸化物膜の形成方法。
- 第1液吐出工程と第2液吐出工程とが同時に行われることを特徴とする請求項5または請求項6に記載の複合金属酸化物膜の形成方法。
- 所望の着弾位置に対して第1液吐出工程、及び第2液吐出工程を行った後、着弾位置を変えながら第1液吐出工程、及び第2液吐出工程を繰り返すことを特徴とする請求項5乃至7の何れか1項に記載の複合金属酸化物膜の形成方法。
- 前記複合金属酸化物の膜が圧電アクチュエータを構成する圧電膜であることを特徴とする請求項5に記載の複合金属酸化物膜の形成方法。
- 前記複合金属酸化物はチタン酸ジルコン酸鉛であることを特徴とする請求項5に記載の複合金属酸化物膜の形成方法。
- 前記第2液は硫酸アンモニウムをアンモニア水に溶解した溶液を含むことを特徴とする請求項5に記載の複合金属酸化物膜の形成方法。
- 前記第1液はブロックコポリマー水溶液を含むことを特徴とする請求項5に記載の複合金属酸化物膜の形成方法。
- 第1ノズル及び第2ノズルを有するインクジェット式液滴吐出装置を用いて基材上に2液反応硬化型接着剤を塗布する方法であって、
第1ノズルから2液反応硬化型接着剤を構成する主剤および硬化剤のうち一方を含む第1液を吐出して前記基材に着弾させる第1液吐出工程と、
第2ノズルから前記主剤および前記硬化剤のうち他方を含む第2液を吐出して、第1液吐出工程における第1液の着弾位置と同一位置に着弾させる第2液吐出工程と、
を備える2液反応硬化型接着剤の塗布方法。 - 前記基材において第1液および第2液が着弾する着弾面をラジカル化する表面処理工程を第1液吐出工程および第2液吐出工程の前に含むことを特徴とする請求項13に記載の2液反応硬化型接着剤の塗布方法。
- 第1液吐出工程と第2液吐出工程とが同時に行われることを特徴とする請求項13または14に記載の2液反応硬化型接着剤の塗布方法。
- 所望の着弾位置に対して第1液吐出工程、及び第2液吐出工程を行った後、着弾位置を変えながら第1液吐出工程、及び第2液吐出工程を繰り返すことを特徴とする請求項13乃至15の何れか1項に記載の2液反応硬化型接着剤の塗布方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007012254A JP4911349B2 (ja) | 2006-01-31 | 2007-01-23 | 複合金属酸化物膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006022771 | 2006-01-31 | ||
JP2006022771 | 2006-01-31 | ||
JP2007012254A JP4911349B2 (ja) | 2006-01-31 | 2007-01-23 | 複合金属酸化物膜の形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007229705A true JP2007229705A (ja) | 2007-09-13 |
JP4911349B2 JP4911349B2 (ja) | 2012-04-04 |
Family
ID=38550826
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007012254A Expired - Fee Related JP4911349B2 (ja) | 2006-01-31 | 2007-01-23 | 複合金属酸化物膜の形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4911349B2 (ja) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008183487A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-14 | Matsushita Electric Works Ltd | 塗装方法 |
JP2008183486A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-14 | Matsushita Electric Works Ltd | 塗装方法 |
JP2008183482A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-14 | Matsushita Electric Works Ltd | 塗装方法 |
JP2009220527A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Fujifilm Corp | 画像形成装置及び画像形成方法 |
JP2009224450A (ja) * | 2008-03-14 | 2009-10-01 | Konica Minolta Holdings Inc | 金属パターン形成用インクジェットインクおよび金属パターン形成方法 |
JP2009272609A (ja) * | 2008-05-09 | 2009-11-19 | Samsung Electro Mech Co Ltd | インクジェット吐出装置 |
JP2009292893A (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Seiko Epson Corp | 接合方法および接合体 |
JP2012059903A (ja) * | 2010-09-08 | 2012-03-22 | Ricoh Co Ltd | 電気機械変換部材、液体吐出ヘッド及び画像形成装置 |
CN106413916A (zh) * | 2014-05-06 | 2017-02-15 | 汉高知识产权控股有限责任公司 | 用于通过使用喷射阀施用多组份粘结剂的设备和方法 |
JP2017124375A (ja) * | 2016-01-14 | 2017-07-20 | 東レエンジニアリング株式会社 | インクジェット塗布装置及びインクジェット塗布方法 |
JP2018122225A (ja) * | 2017-01-31 | 2018-08-09 | 株式会社エルエーシー | 2液型塗装装置 |
WO2019150878A1 (ja) | 2018-02-05 | 2019-08-08 | 富士フイルム株式会社 | 被記録媒体の製造方法、及び、画像記録方法 |
KR20190120361A (ko) | 2017-06-06 | 2019-10-23 | 다이요 잉키 세이조 가부시키가이샤 | 잉크젯용 경화성 조성물 세트, 경화물, 그의 제조 방법, 프린트 배선판 및 팬아웃형의 웨이퍼 레벨 패키지 |
CN111864400A (zh) * | 2020-07-15 | 2020-10-30 | 航天材料及工艺研究所 | 一种新型超材料结构及其制备方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11138672A (ja) * | 1997-11-10 | 1999-05-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 静電植毛布およびその製造方法 |
JP2000015161A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-18 | Nagano Japan Radio Co | 接着剤付着装置 |
JP2002114519A (ja) * | 2000-10-02 | 2002-04-16 | Japan Science & Technology Corp | チタン酸ジルコン酸鉛粉体の製造方法 |
JP2002161223A (ja) * | 1999-09-29 | 2002-06-04 | Seiko Epson Corp | インク組成物およびそれを用いたインクジェット記録方法 |
JP2005005012A (ja) * | 2003-06-10 | 2005-01-06 | Toyota Motor Corp | 燃料電池用セパレータへの接着剤塗布方法 |
JP2005216605A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-08-11 | Toyota Motor Corp | 燃料電池用防食塗膜付きメタルセパレータとその製造方法 |
-
2007
- 2007-01-23 JP JP2007012254A patent/JP4911349B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11138672A (ja) * | 1997-11-10 | 1999-05-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 静電植毛布およびその製造方法 |
JP2000015161A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-18 | Nagano Japan Radio Co | 接着剤付着装置 |
JP2002161223A (ja) * | 1999-09-29 | 2002-06-04 | Seiko Epson Corp | インク組成物およびそれを用いたインクジェット記録方法 |
JP2002114519A (ja) * | 2000-10-02 | 2002-04-16 | Japan Science & Technology Corp | チタン酸ジルコン酸鉛粉体の製造方法 |
JP2005005012A (ja) * | 2003-06-10 | 2005-01-06 | Toyota Motor Corp | 燃料電池用セパレータへの接着剤塗布方法 |
JP2005216605A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-08-11 | Toyota Motor Corp | 燃料電池用防食塗膜付きメタルセパレータとその製造方法 |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008183487A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-14 | Matsushita Electric Works Ltd | 塗装方法 |
JP2008183486A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-14 | Matsushita Electric Works Ltd | 塗装方法 |
JP2008183482A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-14 | Matsushita Electric Works Ltd | 塗装方法 |
JP2009224450A (ja) * | 2008-03-14 | 2009-10-01 | Konica Minolta Holdings Inc | 金属パターン形成用インクジェットインクおよび金属パターン形成方法 |
JP2009220527A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Fujifilm Corp | 画像形成装置及び画像形成方法 |
JP2009272609A (ja) * | 2008-05-09 | 2009-11-19 | Samsung Electro Mech Co Ltd | インクジェット吐出装置 |
JP2009292893A (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Seiko Epson Corp | 接合方法および接合体 |
JP2012059903A (ja) * | 2010-09-08 | 2012-03-22 | Ricoh Co Ltd | 電気機械変換部材、液体吐出ヘッド及び画像形成装置 |
CN106413916A (zh) * | 2014-05-06 | 2017-02-15 | 汉高知识产权控股有限责任公司 | 用于通过使用喷射阀施用多组份粘结剂的设备和方法 |
JP2017518869A (ja) * | 2014-05-06 | 2017-07-13 | ヘンケル アイピー アンド ホールディング ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ジェットバルブを用いた多成分接着剤の塗布装置及び方法 |
JP2017124375A (ja) * | 2016-01-14 | 2017-07-20 | 東レエンジニアリング株式会社 | インクジェット塗布装置及びインクジェット塗布方法 |
WO2017122515A1 (ja) * | 2016-01-14 | 2017-07-20 | 東レエンジニアリング株式会社 | インクジェット塗布装置及びインクジェット塗布方法 |
JP2018122225A (ja) * | 2017-01-31 | 2018-08-09 | 株式会社エルエーシー | 2液型塗装装置 |
KR20190120361A (ko) | 2017-06-06 | 2019-10-23 | 다이요 잉키 세이조 가부시키가이샤 | 잉크젯용 경화성 조성물 세트, 경화물, 그의 제조 방법, 프린트 배선판 및 팬아웃형의 웨이퍼 레벨 패키지 |
WO2019150878A1 (ja) | 2018-02-05 | 2019-08-08 | 富士フイルム株式会社 | 被記録媒体の製造方法、及び、画像記録方法 |
US11433686B2 (en) | 2018-02-05 | 2022-09-06 | Fujifilm Corporation | Method of producing recording medium and image recording method |
CN111864400A (zh) * | 2020-07-15 | 2020-10-30 | 航天材料及工艺研究所 | 一种新型超材料结构及其制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4911349B2 (ja) | 2012-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4911349B2 (ja) | 複合金属酸化物膜の形成方法 | |
US8349409B2 (en) | Pattern forming method, method for forming composite-metal oxide film and method for coating two-liquid reaction curing type adhesive | |
US8727509B2 (en) | Method of forming electromechanical transducer film, electromechanical transducer film, electromechanical transducer element, and liquid discharge head | |
JP5734737B2 (ja) | 傾斜機能材料の製造方法及び装置 | |
US8690297B2 (en) | Sol-gel liquid, electromechanical conversion element, liquid discharge head and inkjet recorder | |
JP2013154315A (ja) | 薄膜形成装置、薄膜形成方法、電気−機械変換素子、液体吐出ヘッド、およびインクジェット記録装置 | |
US8733917B2 (en) | Line image forming method and apparatus | |
JP2000280479A (ja) | 液体吐出ヘッド、該吐出ヘッドを用いた突然不吐出防止方法、および該吐出ヘッドの製造方法 | |
JP4100385B2 (ja) | 多層構造形成方法、配線基板の製造方法、および電子機器の製造方法 | |
JP2012004555A5 (ja) | ||
US20080122897A1 (en) | Patterning method, droplet discharging device and circuit board | |
JP2007276443A (ja) | 液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド、および液滴吐出装置の製造方法、液滴吐出装置 | |
EP2086766B1 (en) | Ink jet printing head | |
JP3106136B2 (ja) | マイクロインジェクティングデバイスのノズルプレート装置製造方法 | |
JP2010221480A (ja) | パターン形成方法 | |
JP5141121B2 (ja) | パターン形成方法、液滴吐出装置及び回路基板 | |
JP7139710B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 | |
JP2010182776A (ja) | 導電膜パターンおよび導電膜パターンの形成方法 | |
JP2008135599A (ja) | パターン形成方法及び回路基板 | |
CN107878029A (zh) | 板体、液体喷射头以及液体喷射记录装置 | |
JP6311217B2 (ja) | 流路ユニットの製造方法および液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2012064731A (ja) | 電機−機械変換膜の形成方法、電機−機械変換膜、電機−機械変換素子、液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置 | |
JP4193758B2 (ja) | 層形成装置 | |
JP2013016724A (ja) | パターン形成用基板、圧電アクチュエータ製造方法、圧電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、および、液滴吐出装置 | |
WO2012176793A1 (ja) | パターン形成方法、パターン形成システム、及びパターン構造体製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090326 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20091014 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20091014 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110418 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110524 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110719 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111222 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120104 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4911349 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150127 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |