JP2017109304A - 微小電気機械デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】積層された固体構造を含む微小電気機械デバイスにおいて、固体構造は、第1導電材料層81と、第2導電材料層83と、第1導電材料層81と第2導電材料層83との間の第3絶縁材料層82と、第2導電材料層83の表面から第3絶縁材料層82を貫通して、第1導電材料層81にまで延在しているビア溝89と、ビア溝89の底面に延在し、ビア溝89の高さよりも低い高さまでの、第1導電材料層81と第2導電材料層83との間の導電経路を成すように延在する導電性相互接合素子811と、を有し、導電性相互接合素子811は、ビア溝89の側壁814、818との間のある点においてよりも、ビア溝89の側壁814、818において、または、第3絶縁材料層82に形成されるアンダーカット内において実質的に高い。
【選択図】図12B
Description
Claims (13)
- 積層された固体構造を含む微小電気機械デバイスであって、
前記固体構造は、
第1導電材料層と、
第2導電材料層と、
前記第1導電材料層と前記第2導電材料層との間の第3絶縁材料層と、
前記第2導電材料層の表面から前記第3絶縁材料層を貫通して、表面がビア溝の底面を形成している前記第1導電材料層にまで延在しているビア溝と、
前記ビア溝の前記底面に延在し、前記ビア溝の前記底面から前記ビア溝の高さよりも低い高さまでの、前記第1導電材料層と前記第2導電材料層との間の導電経路を成すように延在する導電性相互接合素子と、
を有し、
前記導電性相互接合素子は、前記ビア溝の側壁とそれに対向する側壁との間のある点においてよりも、前記ビア溝の前記側壁において、または、前記第3絶縁材料層に形成されるアンダーカット内において、実質的に高い微小電気機械デバイス。 - 前記導電性相互接合素子が前記導電性相互接合素子の中に凝固されたナノ粒子から形成され、
前記ビア溝の側壁おける、または、前記第3絶縁材料層中に形成されるアンダーカット内における前記導電性相互接合素子の高さ、および、前記ある点における前記導電性相互接合素子の高さの違いは、前記ナノ粒子が前記導電性相互接合素子中に凝固される前に、前記ビア溝の周縁に向かう液体物質中のナノ粒子の毛細管現象をコントロールすることにより生じることを特徴とする、請求項1に記載の微小電気機械デバイス。 - 前記ビア溝の側壁における、または、前記第3絶縁材料層中に形成されたアンダーカット内における前記導電性相互接合素子の高さが、前記ある点における前記導電性相互接合素子の高さの少なくとも2倍であることを特徴とする、請求項1または2に記載の微小電気機械デバイス。
- 前記ビア溝の側壁における前記導電性相互接合素子の高さが、前記ビア溝の高さの3/4よりも低いことを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の微小電気機械デバイス。
- 前記側壁と前記それに対向する側壁との間の前記導電性相互接合素子の前記ある点が、前記側壁および前記それに対向する側壁との中央にあることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の微小電気機械デバイス。
- 導電性相互接合素子が、前記側壁と前記それに対向する側壁とのどの点においてよりも、前記ビア溝の前記側壁において、または、前記第3絶縁材料層中に形成されるアンダーカット内において高いことを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載の微小電気機械デバイス。
- 前記導電性相互接合素子の高さが前記側壁から離れるにつれて減少することを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1項に記載の微小電気機械デバイス。
- 前記導電性相互接合素子が、前記第1導電材料層と前記第2導電材料層との間のアンダーカットを少なくとも部分的に満たすことを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載の微小電気機械デバイス。
- 前記導電性接合素子が凹状隅肉の形状を有することを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1項に記載の微小電気機械デバイス。
- 前記ビア溝が長方形の形状を有しており、前記ビア溝の底面の長さ寸法が前記ビア溝の底面の幅寸法の少なくとも3倍であることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか1項に記載の微小電気機械デバイス。
- 第1導電材料層と、第2導電材料層と、前記第1導電材料層と前記第2導電材料層との間の第3絶縁材料層と、を備える積層された固体構造を備える微小電気機械デバイスの製造方法であって、
前記第2導電材料層の表面から前記第3絶縁材料層を貫通して、表面がビア溝の底面を形成している前記第1導電材料層にまで延在する前記ビア溝を作製し、
液体キャリアとナノ粒子の導電材料とを混合物としてのインクジェットセットアップを形成し、
上記混合物のインクジェットされた小塊の周端に向かって、ナノ粒子の毛細管現象が引き起こされる、特定の前記インクジェットセットアップ毎に工程期間を決定し、
少なくとも前記工程期間の間に、前記混合物の液滴をインクジェットし、前記ビア溝の前記底面で前記小塊にし、
前記積層された固体構造を熱処理し、前記混合物の前記液体キャリアを蒸発させる微小電気機械デバイスの製造方法。 - 前記ビア溝の底面に延在し、前記ビア溝の前記底面から前記ビア溝の高さよりも低い高さまでの、前記第1導電材料層と前記第2導電材料層との間の導電経路を成すように延在する導電性相互接合素子であって、前記ビア溝の側壁とそれに対向する側壁との間のある点においてよりも、前記ビア溝の前記側壁において、または、前記第3絶縁材料層の中に形成されたアンダーカット内において高い前記導電性相互接合素子を、前記微小電気機械デバイスの製造方法を用いて形成することを特徴とする、請求項11に記載の微小電気機械デバイスの製造方法。
- 前記インクジェットセットアップのパラメータである、液滴のサイズ、噴霧された液滴の量、ノズルの距離、液滴の運動エネルギー、液滴混合物中のナノ粒子の量、液滴混合物の粘度、目標表面のぬれ角、目標表面の温度、および液体キャリアの蒸発速度の少なくとも1つに基づいて、前記工程期間を決定することを特徴とする、請求項11または12に記載の微小電気機械デバイスの製造方法。
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