JP2017080836A - 封止容器及び加工ユニット - Google Patents
封止容器及び加工ユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017080836A JP2017080836A JP2015210041A JP2015210041A JP2017080836A JP 2017080836 A JP2017080836 A JP 2017080836A JP 2015210041 A JP2015210041 A JP 2015210041A JP 2015210041 A JP2015210041 A JP 2015210041A JP 2017080836 A JP2017080836 A JP 2017080836A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- panel
- housing
- glove
- sealed container
- connection opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 33
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims abstract description 64
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims abstract description 64
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 125000002066 L-histidyl group Chemical group [H]N1C([H])=NC(C([H])([H])[C@](C(=O)[*])([H])N([H])[H])=C1[H] 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
Description
(1)上記実施形態では、グローブポート11d及びグローブ12を有するグローブボックスBとしたが、本発明はこれに限定されない。グローブポート11d及びグローブ12を備えず、封止状態を維持するチャンバとしてもよい。
10 筐体本体
10A 側壁
10a 搬出入ポート
10b パネル取付面
10c 配管挿入開口
11 グローブパネル(パネル)
11a パネル部
11b パネルフレーム部
11c 取手
11d グローブポート
11e 被固定板
12 グローブ
13 グローブパネル差込部
14 トグルクランプ(固定部)
14a 押し当て部
14b トグル機構
14c レバー
14d 押さえ板
2 配管挿入部
20 差込部
20a 基礎部
20b 蛇腹部押さえ板
20c シール部押さえ板
21 蛇腹部(可撓性支持部)
22 シール部
A 加工ユニット
B グローブボックス(封止容器)
C 切断機(加工機)
X 配管
Claims (7)
- 既設装置が挿入される接続開口を有する封止容器であって、
前記接続開口を有する差込部と、
前記接続開口の内面に設けられるシール部と、
前記既設装置の被挿入領域を収容する筐体部と、
前記筐体部と差込部との間を封止しかつ前記差込部を移動可能に支持する可撓性支持部と
を備えることを特徴とする封止容器。 - 前記可撓性支持部は、前記接続開口の径方向に凹凸が繰り返されてなる蛇腹部であることを特徴とする請求項1記載の封止容器。
- 前記筐体部は、筐体本体と、前記筐体本体に脱着可能なパネルと、前記パネルを前記筐体本体に固定する固定部とを備えることを特徴とする請求項1または2に記載の封止容器。
- 前記固定部は、前記パネルを前記筐体本体に押し当てて固定する押し当て部と、前記押し当て部に接続されたトグル機構と、前記トグル機構を操作するレバーとを有するトグルクランプであることを特徴とする請求項3に記載の封止容器。
- 前記パネルの少なくとも一部は、透明であることを特徴とする請求項3または4に記載の封止容器。
- 前記筐体部は、前記パネルに気密に取り付けられたグローブを備えることを特徴とした請求項3〜5のいずれか一項に記載の封止容器。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の封止容器と、
前記封止容器の筐体内部に設置される加工機と
を有する加工ユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015210041A JP6584005B2 (ja) | 2015-10-26 | 2015-10-26 | 封止容器及び加工ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015210041A JP6584005B2 (ja) | 2015-10-26 | 2015-10-26 | 封止容器及び加工ユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017080836A true JP2017080836A (ja) | 2017-05-18 |
JP6584005B2 JP6584005B2 (ja) | 2019-10-02 |
Family
ID=58712854
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015210041A Active JP6584005B2 (ja) | 2015-10-26 | 2015-10-26 | 封止容器及び加工ユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6584005B2 (ja) |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03247266A (ja) * | 1990-02-23 | 1991-11-05 | Tabai Espec Corp | 非外気性雰囲気試験器 |
JPH0560299A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-03-09 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 低温タンクのバルブ修理装置 |
JPH0862390A (ja) * | 1994-08-22 | 1996-03-08 | Chiyoda Meintenansu Kk | 作業用グローブボックス |
JPH0875589A (ja) * | 1994-09-09 | 1996-03-22 | Suzuki Motor Corp | 圧洩れ試験装置 |
JPH0972981A (ja) * | 1995-09-01 | 1997-03-18 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 原子炉 |
JP2000237606A (ja) * | 1999-02-22 | 2000-09-05 | Hitachi Ltd | グローブボックス |
JP2002238144A (ja) * | 2001-02-13 | 2002-08-23 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 極低温機器の端末構造 |
JP2003174246A (ja) * | 2001-12-07 | 2003-06-20 | Ricoh Elemex Corp | 基板検査装置及びそのための基板収納枠 |
JP2006297593A (ja) * | 1995-01-05 | 2006-11-02 | Delaware Capital Formation Inc | 容易に滅菌できるグローブシステム |
JP2011011274A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 移動式グローブボックス |
WO2011152344A1 (ja) * | 2010-05-31 | 2011-12-08 | 古河電気工業株式会社 | 極低温ケーブル用終端接続部 |
JP2012148349A (ja) * | 2011-01-15 | 2012-08-09 | Unico:Kk | グローブボックス |
US20120235548A1 (en) * | 2011-03-16 | 2012-09-20 | Intech Defense, Llc | Methods and Systems For Providing Protection Against Harmful Materials |
JP5588574B1 (ja) * | 2014-06-03 | 2014-09-10 | 日揮株式会社 | アイソレータシステム、及び反応設備 |
-
2015
- 2015-10-26 JP JP2015210041A patent/JP6584005B2/ja active Active
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03247266A (ja) * | 1990-02-23 | 1991-11-05 | Tabai Espec Corp | 非外気性雰囲気試験器 |
JPH0560299A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-03-09 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 低温タンクのバルブ修理装置 |
JPH0862390A (ja) * | 1994-08-22 | 1996-03-08 | Chiyoda Meintenansu Kk | 作業用グローブボックス |
JPH0875589A (ja) * | 1994-09-09 | 1996-03-22 | Suzuki Motor Corp | 圧洩れ試験装置 |
JP2006297593A (ja) * | 1995-01-05 | 2006-11-02 | Delaware Capital Formation Inc | 容易に滅菌できるグローブシステム |
JPH0972981A (ja) * | 1995-09-01 | 1997-03-18 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 原子炉 |
JP2000237606A (ja) * | 1999-02-22 | 2000-09-05 | Hitachi Ltd | グローブボックス |
JP2002238144A (ja) * | 2001-02-13 | 2002-08-23 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 極低温機器の端末構造 |
JP2003174246A (ja) * | 2001-12-07 | 2003-06-20 | Ricoh Elemex Corp | 基板検査装置及びそのための基板収納枠 |
JP2011011274A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 移動式グローブボックス |
WO2011152344A1 (ja) * | 2010-05-31 | 2011-12-08 | 古河電気工業株式会社 | 極低温ケーブル用終端接続部 |
JP2012148349A (ja) * | 2011-01-15 | 2012-08-09 | Unico:Kk | グローブボックス |
US20120235548A1 (en) * | 2011-03-16 | 2012-09-20 | Intech Defense, Llc | Methods and Systems For Providing Protection Against Harmful Materials |
JP5588574B1 (ja) * | 2014-06-03 | 2014-09-10 | 日揮株式会社 | アイソレータシステム、及び反応設備 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6584005B2 (ja) | 2019-10-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4926530B2 (ja) | シール部材、減圧容器、減圧処理装置、減圧容器のシール機構、および減圧容器の製造方法 | |
KR20230020490A (ko) | 워크 흡착 방법 및 장치 | |
KR101722360B1 (ko) | 피가공물 고정용 공압지그 | |
WO2015019712A1 (ja) | 加飾フィルムの部分オーバーレイによる部分真空成形方法 | |
CN214771446U (zh) | 用于tft加工的快换治具 | |
JP6584005B2 (ja) | 封止容器及び加工ユニット | |
KR20120012102A (ko) | 패널 이송용 진공흡착기 유닛 및 이를 이용한 진공흡착기 | |
CN211994557U (zh) | 真空压膜装置 | |
CN215358782U (zh) | 裂片装置及塑料切割裂片自动设备 | |
JP2018207033A (ja) | チャックテーブル | |
CN218775913U (zh) | 一种适用于碳纤维产品的激光切割治具平台 | |
JP2007142158A (ja) | テープ貼り機 | |
JP2017520015A (ja) | ターゲット処理マシン用囲い | |
JP2008155307A (ja) | ハンドリングロボット | |
JP2018103553A (ja) | 貼合装置と、該貼合装置に適用される貼合治具 | |
CN207723758U (zh) | 焊接装置及其定位机构 | |
JPH07170032A (ja) | フレキシブルプリント配線板の補強板貼り合わせ方法 | |
CN110332310B (zh) | 密封装置 | |
JP4377137B2 (ja) | 気密処理装置 | |
CN221466529U (zh) | 一种半导体刻蚀设备零件遮封治具 | |
JP2007240398A (ja) | グローブボックスのポート構造 | |
KR20160044772A (ko) | 로봇 가공용 지그 시스템 | |
CN114346901B (zh) | 自动夹紧装置及孔抛机 | |
CN219239517U (zh) | 治具及加工设备 | |
KR20220067256A (ko) | 금속판재 절삭가공용 진공척 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20151027 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151126 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180426 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20180427 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20181102 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20181102 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190326 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190322 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190527 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190806 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190902 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6584005 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |