CN211994557U - 真空压膜装置 - Google Patents

Abstract

真空压膜装置，用于将膜片压合到基材，包括真空腔部；压膜治具，可容置到真空腔部内，压膜治具包括膜片保持部、基材保持部、第一支撑部以及第一定位部，其中，膜片保持部吸附并保持膜片；基材保持部吸附并保持基材，并设置为和膜片保持部盖合，以使膜片和基材相对；第一支撑部设置为在基材保持部和膜片保持部盖合时，支撑基材保持部或者膜片保持部；第一定位部设置为在基材保持部和膜片保持部盖合时，定位膜片保持部和基材保持部；压膜部，压膜部包括压头和压膜驱动部，至少压头可容置到真空腔部内，压膜驱动部和压头连接，并驱动压头压住基材保持部或者膜片保持部，以使膜片和基材压合。本实用新型的真空压膜装置，其结构更加紧凑。

Description

真空压膜装置

技术领域

本实用新型涉及压膜设备技术领域，尤其涉及真空压膜装置。

背景技术

压膜通常是指将薄膜压合到基材。例如，目前各种基材制品已经被广泛应用于各种电子设备当中，如触摸屏被广泛应用于各种显示设备中，曲面玻璃等被广泛应用于移动设备上。由于这些基材在使用的过程中不断与人的手指、办公桌面、衣服、背包等直接接触，容易产生划痕、破损，为了保护基材的表面，在制造的过程中，常常需要在基材的表面进行压膜。

现有的压膜装置通常在真空腔部定位膜片和基材，然后在真空环境下进行压膜，结构臃肿、复杂。

实用新型内容

本实用新型旨在解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出了一种真空压膜装置，其结构更加简单、紧凑。

真空压膜装置，用于将膜片压合到基材，包括真空腔部；压膜治具，可容置到所述真空腔部内，所述压膜治具包括膜片保持部、基材保持部、第一支撑部以及第一定位部，其中，所述膜片保持部吸附并保持膜片；所述基材保持部吸附并保持基材，并设置为和所述膜片保持部盖合，以使所述膜片和所述基材相对；所述第一支撑部设置为在所述基材保持部和所述膜片保持部盖合时，支撑所述基材保持部或者所述膜片保持部；所述第一定位部设置为在所述基材保持部和所述膜片保持部盖合时，定位所述膜片保持部和所述基材保持部；压膜部，所述压膜部包括压头和压膜驱动部，至少所述压头可容置到所述真空腔部内，所述压膜驱动部和所述压头连接，并驱动所述压头压住所述基材保持部或者所述膜片保持部，以使所述膜片和所述基材压合。

优选地，还包括工作台，所述压膜治具安装到所述工作台；罩合部，所述罩合部具有第一罩子和罩合驱动部，所述罩合驱动部和所述第一罩子连接，驱动所述第一罩子密封地压合所述工作台，以在所述第一罩子的内腔和所述工作台之间，形成所述真空腔部。

优选地，所述压膜部安装到所述第一罩子，并且，至少所述压头容置在所述内腔中。

进一步优选地，还包括吸附部，所述吸附部设置在所述第一罩子上，在所述第一罩子压合所述工作台时，所述吸附部吸附到所述工作台。

进一步优选地，所述吸附部包括两块电磁铁，所述电磁铁分别设置在所述第一罩子的两侧。

优选地，其特征在于，所述真空腔部内还设置有加热部。

优选地，所述第一支撑部设置在所述膜片保持部的一侧，所述基材保持部和所述第一支撑部铰接并相对于所述膜片保持部摆动地打开或者盖合；所述基材保持部相对于所述膜片保持部盖合时，位于所述膜片保持部的上方。

优选地，还包括第二支撑部，所述第二支撑部和所述第一支撑部分别设置在所述膜片保持部的两侧，共同弹性地支撑所述基材保持部；所述基材保持部被所述压头压住并和所述膜片保持部盖合。

优选地，所述膜片保持部包括柔性保持件，所述柔性保持件吸附并保持膜片。

优选地，所述膜片保持部还包括第三支撑部，所述第三支撑部设置在所述柔性保持件的下方，弹性地支撑所述柔性保持件。

本实用新型的真空压膜装置，由于通过压膜治具分别对膜片和基材进行定位，无需在真空腔部内对膜片和基材进行定位，另外，真空腔部的尺寸只需要和压膜治具、压膜部适配，因此真空压膜装置的结构更加简单、紧凑。

附图说明

图1是本实用新型的真空压膜装置的一种实施例的立体图；

图2是图1的压膜治具的一种实施例的打开状态下的示意图；

图3是图1的压膜治具的盖合状态下的示意图；

图4是图2的基材保持部的示意图；

图5是图3的压膜治具省略基材保持部的示意图；

图6是图1的压膜治具的爆炸图；

图7是膜片和基材的示意图，其中，(a)是膜片的示意图，(b)是基材的示意图。

具体实施方式

以下将结合实施例对本实用新型的构思及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本实用新型的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本实用新型的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型实施例的描述中，如果涉及到方位描述，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型实施例的描述中，如果某一特征被称为“设置”、“固定”、“连接”、“安装”在另一个特征，它可以直接设置、固定、连接在另一个特征上，也可以间接地设置、固定、连接、安装在另一个特征上。在本实用新型实施例的描述中，如果涉及到“若干”，其含义是一个以上，如果涉及到“多个”，其含义是两个以上，如果涉及到“大于”、“小于”、“超过”，均应理解为不包括本数，如果涉及到“以上”、“以下”、“以内”，均应理解为包括本数。如果涉及到“第一”、“第二”，应当理解为用于区分技术特征，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

图7是膜片501和基材502的示意图，其中，(a)是膜片501的示意图，(b)是基材502的示意图，参照图7，在对本实用新型的真空压膜装置4进行说明之前，首先对膜片501和基材502进行说明。膜片501是本领域技术人员所公知的用于保护例如电子产品的显示屏、外壳等所使用的膜片501，基材502则是例如电子产品的显示屏、外壳等零部件，基材502既可以是平面形状的基材502，也可以是曲面形状的基材502例如曲面玻璃、曲面外壳等。

图1是真空压膜装置4的一种实施例的立体图，图1中，为了方便观察真空腔部401，将第一罩子421局部剖开，参照图1，本实施方式的真空压膜装置4，用于对膜片501和基材502进行压膜，包括真空腔部401、压膜治具5以及压膜部41。其中，压膜治具5可容置到真空腔部401内，压膜治具5包括膜片保持部51、基材保持部52、第一支撑部53以及第一定位部54，膜片保持部51吸附并保持膜片501；基材保持部52吸附并保持基材502，基材保持部52设置为和膜片保持部51盖合，以使膜片501和基材502相对；第一支撑部53设置为在基材保持部52和膜片保持部51盖合时，支撑基材保持部52或者膜片保持部51；第一定位部54设置为在基材保持部52和膜片保持部51盖合时，定位膜片保持部51和基材保持部52。压膜部41包括压头411和压膜驱动部412，至少压膜部41的压头411可容置到真空腔部401内，压膜驱动部412和压头411连接，压膜驱动部412驱动压头411压住基材保持部52或者膜片保持部51，以使膜片501和基材502压合。

在本实施例中，由于通过压膜治具5分别对膜片501和基材502进行定位，无需在真空腔部401内对膜片501和基材502进行定位，因此，真空腔部401的尺寸只需要和压膜治具5、压膜部41适配，例如，真空腔部401的长度和宽度只要稍大于压膜治具5的长度和高度即可。由此，能够缩小真空腔部401的容积，使真空压膜装置4更加紧凑。

在本实施例中，可以想到的是，压膜治具5通过第一定位部54，确保膜片保持部51和基材保持部52相互之间的位置精度，从而保证膜片501和基材502之间的精度，进而保证压膜时候的精度，因此，在膜片501和基材502上料之前，需要确保膜片501和基材502的上料精度。例如，可以通过CCD组件拍摄确定膜片501或者基材502的位置，通过UVW对位平台调整膜片501或者基材502的位置，通过机械手抓取的方式自动上料等，以高精度地将膜片501上料到膜片保持部51，并且，高精度地将基材502上料到基材保持部52。另外，可以想到的是，膜片保持部51和基材保持部52相互之间的盖合，既可以通过执行元件例如电机、气缸等驱动盖合，也可以通过操作者的人工操作，在进入真空腔部401之前将其盖合，只要膜片保持部51和基材保持部52相互盖合后，通过第一定位部54定位即可。

在一些实施例中，还包括工作台402和罩合部42，工作台402和罩合部42共同形成真空腔部401。具体地，压膜治具5安装到工作台402，罩合部42具有第一罩子421和罩合驱动部422，罩合驱动部422和第一罩子421连接，驱动第一罩子421密封地压合工作台402，以在第一罩子421的内腔423和工作台402之间，形成真空腔部401。第一罩子421的内腔423的四周侧边封闭(例如设有可视窗或者其他接头时，均密封紧固)，在和工作台402压合的面处设有开口，由此，能够直接利用工作台402的安装面，作为形成真空腔部401的一部分，再设置能够密封地压合工作台402的罩合部42，不仅结构紧凑，而且，控制简单。当然，可以想到的是，真空腔部也可以是本领域技术人员所公知的具有独立的腔体的真空腔部。

在本实施例中，压膜治具5可以直接锁紧到工作台402上，可以想到的是，当压膜治具5和工作台402之间需要密封时，也可以在压膜治具5和工作台402之间，设置第一密封圈(未图示)，以使压膜治具5密封地锁到工作台402。第一罩子421和工作台402压合的面上，设置有第二密封圈424，第一罩子421压合工作台402时，通过第二密封圈424的密封，在第一罩子421的内腔423和工作台402之间，形成该真空腔部401。罩合驱动部422可以选择本领域技术人员公知的电机、气缸、液压缸等，优选气缸。

真空腔部401内可以通过任何公知的方式形成真空环境，例如，可以使用负压泵、真空发生泵等抽真空装置(未图示)进行抽真空，抽真空的接口(例如航空插头)根据需要既可以设置在工作台402上，也可以设置在第一罩子421上。

在一些实施例中，为了使真空压膜装置4的结构更加紧凑，可以将压膜部41安装到第一罩子421，并且，至少压头411容置在第一罩子421的内腔423中。由此，真空腔部401的高度只要稍高于压膜治具5的高度+压头411的高度+压膜驱动部412的驱动行程即可，能够使真空压膜装置4的结构更加紧凑。在本实施例中，压膜驱动部412可以选择气缸，作为压膜驱动部412的气缸的缸体412a，密封地安装到第一罩子421的外侧(例如，气缸的缸体412a的安装面和第一罩子421的外侧面之间，设置有第三密封圈(未图示))，该气缸的活塞杆伸进第一罩子421的内腔423，并和压头411连接。

实际工作时，首先罩合部42的罩合驱动部422驱动第一罩子421朝向工作台402伸出并压合工作台402，以在第一罩子421的内腔423和工作台402之间形成真空腔部401，此时，压膜治具5和压膜部41的压头411分别容置在真空腔部401内。抽真空装置进行抽真空，在真空腔部401形成真空环境后，压膜部41的压膜驱动部412驱动压头411抵接基材保持部52(或者膜片保持部51)，并使基材保持部52和膜片保持部51相互靠近，以使膜片501和基材502压合。由于在真空环境下进行膜片501和基材502的压合，因此，能够防止膜片501和基材502压合时出现褶皱、气泡等。

为了进一步提高膜片501和基材502的压膜质量，在一些实施例中，真空腔部401内还设置有加热部(未图示)。同样地，加热部既可以设置到工作台402，也可以设置到第一罩子421的内腔423，以对真空腔部401内进行加热。加热部可以选择热电偶，或者其他的能够进行加热的元器件，为了控制加热部的加热温度，真空腔部401内还可以设置温度传感器(未图示)，同样地，温度传感器既可以安装到工作台402也可以安装到第一罩子421的内腔423。在压膜时，真空腔部401的温度可以升高到60℃，当然，本领域的技术人员也根据实际情况，设置真空腔部401的加热温度。由此，能够在加热真空腔部401并使膜片501软化的情况下，将膜片501压合到基材502，能够进一步防止膜片501和基材502压合时出现褶皱或者气泡，进一步提高膜片501和基材502的压膜质量。

可以想到的是，在本实施例中，可以在压膜的压头411和压膜驱动部412之间，设置隔热板413，以防止真空腔部401内的热量传递到压膜驱动部412。

当压膜部41安装到第一罩子421时，由于压膜部41压住基材保持部52(或者膜片保持部51)时，对第一罩子421产生反作用力，当该反作用力过大时，可能导致第一罩子421压合工作台402的状态出现松动，从而导致破真空，在一些实施例中，还包括吸附部43，吸附部43设置在第一罩子421上，在第一罩子421压合工作台402时，吸附部43吸附到工作台402。由此，能够辅助罩合驱动部422，使第一罩子421稳定且紧密地压合到工作台402。为了节约成本，吸附部43可以使用电磁铁，例如，包括两块电磁铁，电磁铁分别设置在第一罩子421的两侧。当然，吸附部43也可以使用真空吸附，例如真空吸盘等。

以下参照图2至图6，对压膜治具5进行详细说明。

图2是压膜治具5打开状态下的示意图，图3是压膜治具5的盖合状态下的示意图，参照图2、图3，如上所述，压膜治具5包括膜片保持部51、基材保持部52、第一支撑部53以及第一定位部54。其中，膜片保持部51吸附并保持膜片501；基材保持部52吸附并保持基材502，另外，基材保持部52设置为和膜片保持部51盖合，以使膜片501和基材502相对，可以理解的是，基材保持部52和膜片保持部51的盖合，并不意味着两者必须相互压合，而仅是指两者相对，在对两者施加外力的时候，例如压膜驱动部412驱动压头411压住基材保持部52或者膜片保持部51时，两者能够相互靠近；第一支撑部53设置为在基材保持部52和膜片保持部51盖合时，支撑基材保持部52或者膜片保持部51；第一定位部54设置为在基材保持部52和膜片保持部51盖合时，定位膜片保持部51和基材保持部52。

在本实施例中，由于设置了用于吸附并保持膜片501的膜片保持部51以及用于吸附并保持基材502的基材保持部52，并且在膜片保持部51以及基材保持部52之间设置了第一支撑部53和第一定位部54，因此能够在压膜驱动部412驱动压头411压住基材保持部52或者膜片保持部51之前，确保膜片501和基材502的位置精度。另外，由于第一支撑部53支撑基材保持部52或者膜片保持部51，因此能够确保在真空压膜之前，膜片501和基材502未接触，能够防止膜片501和基材502之间产生褶皱或者气泡，从而进一步提高压膜的质量。

在一些实施例中，膜片保持部51包括柔性保持件511，柔性保持件511吸附并保持膜片501。柔性保持件511的材料可以选择例如硅胶、橡胶等，当然，柔性保持件511的材料还可以选择本领域技术人员所公知的能够用于保持膜片501的其他的柔性材料。由于膜片501和柔性保持件511之间存在静电，因此膜片501能够稳定地直接被吸附到柔性保持件511上。因此，通过设置柔性保持件511，能够直接吸附并保持膜片501。当然，可以想到的是，为了更加稳定地吸附膜片501，也可以在柔性保持件511上开设多个膜片501吸附孔(真空吸孔)，以吸附膜片501。

图4是基材保持部52的示意图，参照图4，在一些实施例中，基材保持部52设置有能够吸附基材502的基材502吸附孔521(真空吸孔，可以通过真空发生器等公知的方式产生真空)。为了保护基材502，防止基材502上料时或者真空压膜时基材502损伤，基材保持部52还包括有基材保护件522，具体地，基材保持部52可以包括第一保持板523，基材保护件522可拆卸地安装到第一保持板523，基材保护件522可以选择例如铁氟龙、尼龙、POM等耐磨材质，基材502吸附孔521直接设置在基材保护件522上，通过基材保护件522直接吸附并保持基材502。通过将基材保护件522设置为可拆卸地安装到第一保持板523，可以方便地根据基材502的形状更换不同的基材保护件522。

图5是压膜治具5省略基材保持部52的示意图，图6是压膜治具5的爆炸图，参照图5、图6，并继续参照图1、图2、图3，在一些实施例中，为了使压膜治具5能够作为整体的部件安装到工作台402，压膜治具5还包括治具基座56，膜片保持部51、第一支撑部53和第一定位部54分别安装到治具基座56，由此，便于压膜治具5的装拆。可以想到的是，在本实施例中，膜片保持部51、第一支撑部53分别安装到治具基座56，而基材保持部52则可以安装到第一支撑部53。

则其他实施例中，也可以将基材保持部52、第一支撑部53分别安装到治具基座56，将膜片保持部51安装到第一支撑部53。

在一些实施例中，第一支撑部53设置在膜片保持部51的一侧，基材保持部52和第一支撑部53铰接并相对于膜片保持部51摆动地打开或者盖合，盖合时，基材保持部52位于膜片保持部51的上方。具体地，第一支撑部53和膜片保持部51分别安装到治具基座56，第一支撑部53位于膜片保持部51的一侧(例如长度方向的一侧)，基材保持部52通过铰接轴531和第一支撑部53铰接。由此，能够对基材保持部52和膜片保持部51相互之间的位置进行初定位。优选地，所述基材保持部52位于所述膜片保持部51的上部，所述第一支撑部53设置在所述膜片保持部51的一侧，所述基材保持部52和所述第一支撑部53铰接并相对于所述膜片保持部51摆动地打开或者盖合。

在一些实施例中，为了更加稳定地支撑基材保持部52，以确保基材保持部52和膜片保持部51相互盖合后位置准确，还包括第二支撑部55，第二支撑部55和第一支撑部53分别设置在膜片保持部51的两侧，共同支撑基材保持部52。

在一些实施例中，第一支撑部53和第二支撑部55分别弹性地支撑基材保持部52，压膜的压头411压住基材保持部52时，基材保持部52朝膜片保持部51移动并和膜片保持部51盖合。具体地，治具基座56的长度方向的两侧，分别设置有第一容置腔561和第二容置腔562，第一容置腔561用于容置第一支撑部53，第二容置腔562用于容置第二支撑部55，第一容置腔561和第二容置腔562的上面，设置有治具盖板563，治具盖板563锁紧到治具基座56上，用于限制第一支撑部53和第二支撑部55。以第一支撑部53为例，第一支撑部53包括第一支撑块532、第一推动轴533以及第一弹簧534，第一支撑块532用于支撑基材保持部52，第一推动轴533抵接第一支撑块532，第一弹簧534一端抵接第一容置腔561，另一端抵接第一支撑块532，并推动第一支撑块532抵接治具盖板563。在真空压膜时，当从基材保持部52的上方对基材保持部52施压时，第一弹簧534被压缩，由此，能够使基材保持部52朝压合膜片保持部51的方向移动。当压膜完成时，基材保持部52在第一弹簧534的作用下，被推动朝离开膜片保持部51的方向移动。第二支撑部55的可以参考第一支撑部53设置，在此不详细说明。

通过将第一支撑部53和第二支撑部55设置为分别弹性地支撑基材保持部52，由此，能够确保在压膜部41的压头411压住基材保持部52之间，基材保持部52和膜片保持部51之间未相互接触，防止膜片501和基材502之间由于接触而出现褶皱或者气泡等，在压膜驱动部412驱动压头411压住基材保持部52或者膜片保持部51时，能够进行缓冲，防止基材保持部52和膜片保持部51硬接触导致压膜失败。当然，可以理解的是，第一支撑部53和第二支撑部55也可以通过其他执行元件(例如气缸、电机等)伸缩，以使基材保持部52和膜片保持部51能够盖合。

在一些实施例中，为了进一步对压膜过程进行缓冲，膜片保持部51还包括第三支撑部512，第三支撑部512设置在柔性保持件511的下方，弹性地支撑柔性保持件511。具体地，治具基座56可以在第一容置腔561和第二容置腔562之间，设置有第三容置腔564，第三支撑部512容置在第三容置腔564内，同样地，第三支撑部512可以包括第三支撑块512a、第三推动轴512b以及第三弹簧(未图示)，第三支撑块512a支撑住柔性保持件511，第三推动轴512b和第三支撑块512a连接，第三弹簧一端抵接第三支撑块512a，另一端抵接第三容置腔564。由此，能够进一步防止基材保持部52和膜片保持部51之间硬接触导致压膜失败。

在一些实施例中，为了使第三支撑部512能够根据柔性保持件511的变形自适应，第三支撑部512包括多处，分别独立地支撑柔性保持件511。对了对各第三支撑部512进行定位，可以在治具盖板563上设置多个定位槽563a，第三支撑块512a分别容纳在这些定位槽563a内。

在一些实施例中，为了使压膜治具5能够适应不同的基材502，柔性保持件511在膜片保持部51中，设置为可拆卸。具体地，膜片保持部51可以包括第二保持板513，第二保持板513锁紧到治具基座56(或者治具盖板563)，第二保持板513的中部设置有第四容置腔513a，柔性保持件511容置在第四容置腔513a内，并被第二保持板513压住。由此，只要拆卸第二保持板513即可拆卸柔性保持件511，因此，能够根据不同的基材502更换柔性保持件511。

在一些实施例中，第一定位部54包括第一定位销541，第一定位销541弹性伸缩地设置在治具基座56上；基材保持部52上设置有第一定位孔524，基材保持部52和膜片保持部51盖合时，第一定位销541插入第一定位孔524。在本实施例中，第一定位销541的弹性伸缩可以参考第一支撑部53的弹性伸缩的结构进行设计，在此不再详细说明。可以理解的是，在本实施例中，虽然将第一定位销541设置在治具基座56上，将第一定位孔524设置在基材保持部52进行了说明，但是并非限定于此，例如，第一定位销541也可以设置在膜片保持部51上。或者，第一定位销541也可以设置在基材保持部52上，与此对应，第一定位孔524设置在治具基座56上。

在上述具体实施方式中所描述的各个具体的技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何方式进行组合，为了不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不另行说明。

以上实施例仅用于说明本实用新型的技术方案而并非对其进行限制，凡未脱离本实用新型范围的任何修改或者等同替换，均应当涵括在本实用新型的技术方案内。

Claims (10)

1.真空压膜装置，用于将膜片压合到基材，其特征在于，包括

真空腔部；

压膜治具，可容置到所述真空腔部内，所述压膜治具包括膜片保持部、基材保持部、第一支撑部以及第一定位部，其中，所述膜片保持部吸附并保持膜片；所述基材保持部吸附并保持基材，并设置为和所述膜片保持部盖合，以使所述膜片和所述基材相对；所述第一支撑部设置为在所述基材保持部和所述膜片保持部盖合时，支撑所述基材保持部或者所述膜片保持部；所述第一定位部设置为在所述基材保持部和所述膜片保持部盖合时，定位所述膜片保持部和所述基材保持部；

压膜部，所述压膜部包括压头和压膜驱动部，至少所述压头可容置到所述真空腔部内，所述压膜驱动部和所述压头连接，并驱动所述压头压住所述基材保持部或者所述膜片保持部，以使所述膜片和所述基材压合。

2.根据权利要求1所述的真空压膜装置，其特征在于，还包括

工作台，所述压膜治具安装到所述工作台；

罩合部，所述罩合部具有第一罩子和罩合驱动部，所述罩合驱动部和所述第一罩子连接，驱动所述第一罩子密封地压合所述工作台，以在所述第一罩子的内腔和所述工作台之间，形成所述真空腔部。

3.根据权利要求2所述的真空压膜装置，其特征在于，所述压膜部安装到所述第一罩子，并且，至少所述压头容置在所述内腔中。

4.根据权利要求2或3所述的真空压膜装置，其特征在于，还包括吸附部，所述吸附部设置在所述第一罩子上，在所述第一罩子压合所述工作台时，所述吸附部吸附到所述工作台。

5.根据权利要求4所述的真空压膜装置，其特征在于，所述吸附部包括两块电磁铁，所述电磁铁分别设置在所述第一罩子的两侧。

6.根据权利要求1至3任一项所述的真空压膜装置，其特征在于，所述真空腔部内还设置有加热部。

7.根据权利要求1所述的真空压膜装置，其特征在于，所述第一支撑部设置在所述膜片保持部的一侧，所述基材保持部和所述第一支撑部铰接并相对于所述膜片保持部摆动地打开或者盖合；

所述基材保持部相对于所述膜片保持部盖合时，位于所述膜片保持部的上方。

8.根据权利要求7所述的真空压膜装置，其特征在于，还包括第二支撑部，所述第二支撑部和所述第一支撑部分别设置在所述膜片保持部的两侧，共同弹性地支撑所述基材保持部；

所述基材保持部被所述压头压住并和所述膜片保持部盖合。

9.根据权利要求1或7所述的真空压膜装置，其特征在于，所述膜片保持部包括柔性保持件，所述柔性保持件吸附并保持膜片。

10.根据权利要求9所述的真空压膜装置，其特征在于，所述膜片保持部还包括第三支撑部，所述第三支撑部设置在所述柔性保持件的下方，弹性地支撑所述柔性保持件。

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