JP2003174246A - 基板検査装置及びそのための基板収納枠 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 薄肉の基板を検査装置内へ簡単に装着できる
ようにすること。 【解決手段】 基板４を直接検査位置にセットするので
はなく、基板収納枠１０を用い、その基板収納枠に基板
に張力を生じた状態で保持し、その引張り状態で基板に
検査が行われることにより、剛性が低く湾曲しやすい薄
肉の基板であっても、無理な曲げ力が加わる心配もな
く、かつ張力に基づきピンと張った状態で良好な位置決
めができる。また、基板がいわば裸で扱われる場合と異
なり、基板が基板収納枠で保護されて、基板が損傷しに
くい利点もある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、基板検査装置（例
えば基板に形成された電子配線部の断線の有無等の検査
装置）及びそのための基板収納枠に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来において、基板に形成された配線部
の断線を検査する場合は、基板を裸のままで１枚１枚作
業者が断線検査装置の中にセットするか、ロボット等で
基板を直接は把持して検査部にセットしていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特に薄
肉の基板は剛性が低く湾曲しやすい（撓みやすい）の
で、検査位置に位置決めするのが容易でなく、また基板
の湾曲等によって基板が損傷を受けないように注意深く
作業工程を実施する必要があり、検査効率を高めること
が難しかった。また従来の方式では、基板を検査装置に
セットするには、まず作業者が検査装置本体のカバーを
あけてセットしなければならなかった。そして、セット
する位置周辺にプローブ等の精密部品があり、作業者が
検査部にセットする際に誤って精密部品に接触して、精
密部品の位置ずれを発生させたり、その部品を破損させ
る恐れがあった。

【０００４】また、セット位置近辺にはサーボで高速移
動するユニットが組まれているので、その中に作業者が
手を入れる際には、十分慎重に行う必要があるところか
ら、この点も作業能率を落とす原因のひとつとなってい
た。

【０００５】本発明はこのような従来の方式が有してい
た問題を解決しようとするものであり、とりわけ薄肉の
基板を検査装置内へ簡単に装着できるようにすることを
課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段及び発明の効果】この発明
は、基板に形成された配線部の断線等、基板の所定の検
査をする装置であって、前記基板が基板収納枠内におい
て基板の板面に沿った方向の張力を受けた引張り状態で
その基板収納枠に保持され、基板を引張り状態で保持し
た基板収納枠が検査位置に供給されて、その収納枠に保
持された引張り状態の基板に対し検査が行われることを
特徴とする。

【０００７】このように、基板を直接検査位置にセット
するのではなく、基板収納枠を用い、その基板収納枠に
基板に張力を生じた状態で保持し、その引張り状態で基
板に検査が行われることにより、剛性が低く湾曲しやす
い薄肉の基板であっても、無理な曲げ力が加わる心配も
なく、かつ張力に基づきピンと張った状態で良好な位置
決めができる。、また、基板がいわば裸で扱われる場合
と異なり、基板が基板収納枠で保護されて、基板が損傷
しにくい利点もある。

【０００８】また、別の好適な態様では、基板が基板収
納枠内において基板の板面に沿った方向の張力を受けた
引張り状態でその基板収納枠に保持され、基板を引張り
状態で保持した基板収納枠が、装置本体に形成された収
納枠セット口にカセット方式で挿入されて検査位置にセ
ットされ、その収納枠に保持された引張り状態の基板に
対し検査が行われる。基板収納枠は検査位置に対し、例
えば磁力吸着手段等により一時的に検査位置に固定され
るようにし、検査終了後は収納枠セット口から引き抜く
等して、別の基板収納枠をセットすることができる。ま
た、基板収納枠の側部に取手部を形成し、作業者又はロ
ボットが取手部を把持して、基板収納枠を装置本体の収
納枠セット口に対し挿入したり抜き取ったりすることが
可能である。

【０００９】このように、装置本体の収納枠セット口
に、基板収納枠に保持した基板をその基板ごと差し込め
ば、いたって簡単に検査可能状態となるため、作業者が
いちいち検査装置のカバーをあけたりしなくてもよく、
装置内部の部品を誤って損傷しする心配もなく、かつ基
板を直接把持する必要もないから基板も清浄に保たれ、
かつ損傷のおそれない。また、基板収納枠をカセットの
ように装置本体の収納枠セット口に差し込めばよいの
で、作業効率が高まり、高価な設備を省略できて、コス
トダウンにもつながる。

【００１０】さらに別の態様では、基板が基板収納枠に
対し、その基板収納枠において基板の板面に沿った方向
に張力を生じうる状態で保持され、基板収納枠は基板の
第１の端部をクランプする第１のクランプ部と、基板の
第１の端部とは反対側の第２の端部をクランプする第２
のクランプ部とが一定量離間できるように組み合わさ
れ、かつその基板を保持する基板収納枠が検査位置で検
査される際に、前記第１及び第２のクランプ部の一方の
移動を阻止する固定手段と、それらの他方のクランプ部
を前記一方のものに対しさらに少量移動させて基板に張
力を付与した引張り状態に維持する引張り手段とを含
み、その引張り状態で基板に検査が実施される。

【００１１】ここで、基板を保持する基板収納枠を検査
位置に移動させる終端において、その移動の先行側及び
後行側となるクランプ部のうち、後行側のクランプ部を
検査位置近傍で移動不能に固定する固定手段と、先行側
のクランプ部をさらに少量移動させて基板に張力を付与
した状態に維持する引張り手段とを含み、その引張り状
態で基板に検査が実施されるようにすることができる。

【００１２】さらに具体的には、基板が基板収納枠に対
し、その基板収納枠において基板の板面に沿った上下方
向に張力を生じうる状態で保持され、基板収納枠は基板
の上端部をクランプする上側クランプ部と、基板の下端
部をクランプする下側クランプ部とが上下方向で一定量
離間できるように組み合わされ、かつその基板を保持す
る基板収納枠を検査位置に供給するために、基板収納枠
の上側クランプ部を支持する上側枠部に形成された係合
部に係合して上昇するリフタと、基板収納枠の下側クラ
ンプ部を支持する下側枠部の上昇を検査位置近傍で阻止
するストッパと、その下側枠部の上昇が止められた後、
さらに基板収納枠の上側枠部を少量上昇させることによ
り基板に張力が生じた状態とするリフタ制御手段とを備
え、その引張り状態で基板に検査が実施される。

【００１３】このように、基板収納枠を検査位置に供給
する際に基板に張力を生じさせこと、典型例に即して言
えば、基板収納枠を検査位置に上昇させるリフタの持ち
上げ力を利用して基板に張力を付与することにより、リ
フタが基板収納枠の供給装置と張力付与（引張り）装置
との双方を役割を果たすことなり、装置の簡素化及びコ
ンパクト化を可能となる。

【００１４】また、上述の基板収納枠において、基板の
上端部をクランプする上側クランプ部と該上側クランプ
部を支持する上側枠部との間に、その下側枠部に対する
上側枠部の上方への離間に逆らう向きの弾性力を生じる
バネ部材（弾性部材）が介在し、検査位置において基板
はそのバネ部材の弾性力と釣り合う張力を受けるように
できる。これにより、基板に過度の張力が生じることを
回避し、検査の位置決めに必要な程度の適切な張力を基
板に付与することが可能となる。

【００１５】なお、検査位置で基板に張力を付与する構
造として、一方のクランプ部を固定して他方のクランプ
部をなお少量移動させるものの他、そのリフタが基板収
納枠の上側枠部を持ち上げる際の持ち上げ力並びに基板
及び基板収納枠の自重を利用して、その基板に張力を生
じさせた状態とすることもできる。

【００１６】基板収納枠そのものとしては、基板に張力
を付与した状態で基板を保持するために、基板の１辺を
クランプする位置固定の第１のクランプ部と、基板の前
記１辺とは反対側の１辺をクランプする移動可能な第２
のクランプ部と、その第２のクランプ部を前記第１のク
ランプ部から遠ざかる向きに引っ張り、基板に張力を付
与した引張り状態に維持する引張り手段とを備えた基板
収納枠が提案される。

【００１７】さらに具体的には、上記第２のクランプ部
はワイヤ等の可撓性のある線状の接続部材に連結され、
この接続部材が枠部に設けられた滑車等の方向変換手段
を介して枠部内の張力付与手段に連結されて、前記基板
に張力を付与した状態に保持される。このようなワイヤ
等の可撓性接続部材、及び滑車等の方向変換手段を用い
ることにより、基板に張力を付与する引張り手段が１方
向に長くなることを回避し、基板収納枠をコンパクトに
構成しつつ、その中に引張り手段を組み込むことができ
る。

【００１８】またより具体的は態様では、上述の第２の
クランプ部は、基板の縁部を把持する複数のクランプ部
材であり、それらのクランプ部材は枠部において第１の
クランプ部から遠ざかる方向に移動可能に設けられた長
手状の保持部材に取り付けられ、その長手状の保持部材
が上記線状の接続部材に連結されており、その保持部材
を介して複数のクランプ部材が前記基板に張力を付与す
る。このように複数のクランプ部材をひとまとめにして
引っ張るようにすれば、個々のクランプ材を個別に引っ
張る場合に比べて引張り手段の構造が簡単になる。

【００１９】さらに好適な態様では、上記長手状の保持
部材に取り付けられた複数のクランプ部材は、その保持
部材の長手方向にそれぞれ移動可能に組み付けられ、把
持すべき基板のサイズに応じてそれら複数のクランプ部
材の前記保持部材上の位置が選択される。このようにす
れば、基板のサイズが変わっても共通の基板収納枠で対
応できるから、基板のサイズごとに専用の基板収納枠を
用意する必要がなく、コストも安く使い勝手もよい。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。この実施例の基板収納枠１
０は、比較的薄肉の（圧縮をすると湾曲変形等のおそれ
がある）基板４を、引張り保持するものである。

【００２１】この基板収納枠１０は、枠本体としての外
枠1（左右両側の側枠部１ａ、１ｃ及び上下の上側枠部
１ｂ、下側枠部１ｄが四角の枠状に合体したもの）と、
外枠１の内側に設けられた内フレーム１’と、外枠１の
側枠部１ａと内フレーム１’との間に掛け渡された浮動
式のクランプ保持バー２と、クランプ保持バー２に取付
けられた１又は複数のトルグクランプ３ｂ（例えば２
個）と、外枠１の下側枠部１ｄに取り付けられた位置固
定の１又は複数のトルグクランプ３ｄ（例えば２個）
と、基板４に張力を付与する後述の引張り手段とを備え
る。

【００２２】この例で、トグルクランプ３ｄは第１のク
ランプ部材（又はクランプ部）、トグルクランプ３ｂは
第２のクランプ部材（又はクランプ部）として機能し、
またクランプ保持バー２が保持部材として機能する。そ
して、クランプ保持バー２は、側枠部１ａ及び内フレー
ム１’に形成された案内部としてのガイドレール２ａ及
び２ｂにに両端において組み付けられ、それらのガイド
レール２ａ，２ｂに沿って上下方向移動可能に支持され
ている。

【００２３】このクランプ保持バー２は、ワイヤ５（可
撓性のある接続部材）及び適数の滑車６（方向変換手
段）を介して、外枠１内に取り付けられたキャッチクリ
ップ７に接続されている。このキャッチクリップ７の引
張り方向のバネ３１が、ワイヤー５、トグルクランプ３
ｂ及びクランプ保持バー２とともに基板４に張力を付与
する引張り手段を構成している。キャッチクリップ７で
ワイヤー５を引張ることによって、ワイヤー５に接続さ
れたクランプ保持バー２はバネ３１の弾性力に相当する
力でトルグクランプ３ｂを介して基板４を引張り、その
引張り力に基づく張力を付与された状態で、基板４がそ
りを生じないように固定されるしくみになっている。

【００２４】キャッチクリップ７（張力発生手段）は、
外枠１の内側に設けられた内側支持部としての内フレー
ム１''に取り付けられており、外枠１の全体で見れば、
外枠１の片側の領域に基板４がセットされ、引張り手段
の主要部をなすキャッチクリップ３１がその基板４の側
方の領域に位置する。つまり基板４に対する張力は上下
方向に付与されるが、その張力の伝達方向は、基板４に
作用する張力方向と交差する（直角な）方向に複数回
（例えば２回）方向変換しており、この結果基板４の上
下方向における基板収納枠１０の基板４の上下方向の寸
法を大きくすることなく、基板４の引張りを可能にして
いる。

【００２５】図２は上述のトグルクランプ３ｂ（３ｄ）
の詳細をあらわしている。本例では、ハンドル９をクラ
ンプ３ｂの取付け面方向へ押さえ付けることで、トグル
クランプ３ｂの圧着部１０が取付け面方向へ押し付けら
れる構造となっている。圧着部１０はボルト１１によっ
て高さを調整することができるので、固定する基板４の
厚さによって圧着代を変化させることができる。また、
圧着部１０の先端にはウレタン等の弾性部材ないし摩擦
付与部材を用いており、基板４のクランプを弾力的に行
うことができ、圧着による基板４の破損を防止し、また
引っ張りによっても基板３４が滑りにくくなっている。
トグルクランプ３ｄも同様な構造である。

【００２６】図３は上述のキャッチクリップの詳細をあ
らわしている。機構としては、ハンドル１２を取付け面
方向へ押さえ付けると、バネ３１の力でワイヤー５の取
付け部が本体側へ引き寄せられ、ハンドル１２を逆方向
へ回転させるとバネ３１が緩み、ワイヤー５の引張りが
解除される。

【００２７】このような基板収納枠１０の外枠１の側枠
部１ｃには、取手部３０が側方に突出するように固定さ
れている。

【００２８】上記基板収納枠１０に基板４を保持するに
は、例えばキャッチクリップ３１を非引張り位置に保っ
た状態で、基板４の下端部を、外枠１の下側枠部１ｄに
設けられた位置固定のトグルクランプ３ｄでクランプ
し、また基板４の上端部を浮動状態のクランプ保持バー
２のトグルクランプ３ｂでクランプする。そのクランプ
完了後、キャッチクリップ３１を引張り状態へ位置変更
すれば、そこのバネ３１の弾性力がワイヤー５等を介し
て基板４へ伝達され、基板４は張力を付与された引張り
状態で基板収納枠１０に固定される。

【００２９】このようにして図１のように、基板収納枠
１０に固定された基板４は、作業者によって基板収納枠
１０ごと、図４に示す基板検査装置１１に供給されて断
線等の検査が行われる。つまり、作業者は外枠１につい
ている取手部３０をもって、基板検査装置（装置本体）
１１の収納枠セット口としてのスリット開口１２へ、そ
の中の上部及び下部に互いに平行に設けられたガイド溝
１３に沿って基板収納枠１０ごと差し込むように装填す
る。

【００３０】スリット開口１２に装填（セット）された
基板収納枠１０は、スリット開口１２内の奥の突き当り
面に設けられたマグネット１４（一時的な枠保持（固定
又は位置決め）手段）に、磁性材料である基板収納枠１
０の外枠1の接触面が磁力で吸着される。

【００３１】さらに、同じくスリット開口１２内の奥の
突き当り面に設けられたリミットスイッチ１５等のセッ
ト完了検知装置が基板収納枠１０の装填完了を感知する
と、基板収納枠１０内側のコーナー部に設けられたプレ
ート１６の孔１６ａに、図示しないソレノイドで作動し
たピン１７が挿入され、基板収納枠１０が検査装置内に
ロックされ、断線検査等の基板検査中は取り外しができ
ないようになる。このようなピン１７と孔１６ａとの嵌
合等の、取り外し防止機構により、基板検査中に基板収
納枠１０が誤って抜かれてしまう不都合が解消される。

【００３２】基板検査が完了すれば、その完了の信号等
により、前述のソレノイドを介してピン１７が基板収納
枠１０の孔１６ａから離脱してロック状態が解除され、
その状態で作業者が基板収納枠１０の取手部３０をもっ
て上記マグネット１４の吸着力に打ち勝つ引き抜き力を
加えれば、基板収納枠１０をスリット開口１２から容易
に取り出すことができる。

【００３３】以上説明した実施例では、基板４を基板収
納枠１０に固定し、基板検査装置のスリット開口１２か
ら挿入してワンタッチで装填するため、従来のように検
査装置本体のカバーをあけることなく作業を行うことが
できる。よって作業者が装置内部の精密機器に触れて破
損させたり、装置内の危険箇所に手を入れる必要がなく
なり、安全かつ簡単に作業を行うことができる。

【００３４】図５は基板収納枠の変形例である。この基
板収容枠２０が図１の基板収納枠１０と異なる点は、外
枠１の下側枠部１ｄに対応する位置固定側のクランプ部
にある。これは基板４の下端部を外枠１の下側枠部１ｄ
との間で挟み込むクランプバー２２と、このクランプバ
ー２２を下側枠部１ｄに押さえ付けて固定する（クラン
プする）止めクランプ具３ｅとを含んでいる。止めクラ
ンプ具３ｅは構造的には前述のトグルクランプ３ｂ、３
ｄと同じものであるが、上側のトグルクランプ３ｂとは
向きを９０度変えて横向きに下側枠部１ｄに取り付けら
れている。

【００３５】クランプバー２２はその一端部（基端部）
において外枠１の側枠部１ａと下側枠部１ｄとの交差部
（角部）に、少なくとも基板４の板面に対し接近・離間
する方向（前後方向）に、図６の軸２２ａ（枠面に平
行）によって回動可能に連結されている。この回動によ
りクランプバー２２は基板４に対するクランプ位置と退
避位置との間で開閉動作し、そのバー２２の自由端部が
閉位置（クランプ位置）において止めクランプ具３ｅに
よってクランプされ、基板４がクランプバー２２と下側
枠部１ｄとの間に狭持されてクランプ状態となる。

【００３６】なお、図６に示したように、クランプバー
２２を外枠１の枠面に直角な方向に回動させる構造に加
えて、図５に示すように、クランプバー２２の一端部
（基端部）を枠面に平行な方向（上下方向）にも、軸２
２ｂ（枠面に直角）を中心に回動させるようにして、ク
ランプバー２１の自由端部を止めクランプ具３ｅに対応
させる際に、止めクランプ具３ｅの圧着部との干渉を避
けつつ、その圧着部と被圧着面との隙間にクランプバー
２２の自由端部を入り込ませるようにすることができ
る。

【００３７】次に、図７及び図８を参照して、本発明の
別の実施例を説明する。図７に示す基板収納枠４０は、
リフタ２６で検査位置へ持ち上がられる際に、そのリフ
タ２６の持ち上げ力を利用して基板４に張力を付与する
もので、それによる引張り状態の基板４に断線等の検査
が実施される。

【００３８】この基板収納枠４０の外枠２１は、左右の
側枠部２１ａ、２１ｃ及び上側枠部２１ｂさらに下側枠
部２１ｄが矩形に枠組みされたもので、上側枠部２１ｂ
の両端部にはリフタ２６に引っ掛けられるように係合す
る係合部２１ｆが側方に突出するように形成されてい
る。また、左右の側枠部２１ａ、２１ｃに対し、下側枠
部２１ｄは固定的に結合されているが、上側枠部２１ｂ
は上下方向の小範囲で相対的に移動できるように、例え
ば左右の側枠部２１ａ、２１ｃに形成されたガイド部２
３により上下の移動が許容される。言い換えれば、上側
枠部２１ｂと下側枠部２１ｄとは互いに接近・離間でき
る組立構造とされる。

【００３９】下側枠部２１ｄには、基板４の下端部を把
持・クランプする複数のクランプ部材３ｄ（前記トグル
クランプ３ｄと同様のもの、又は図５，６のクランプバ
ー２１及び止めクランプ具の組み合わせでもよい）が、
固定側クランプ部として取り付けられている。一方、上
側枠部２１ｂには、１又は２以上の可動側のクランプ部
材２５（例えば３個）が、弾性部材としてのバネ部材２
８を介して取り付けられている。各クランプ部材２５
は、上側枠部２１ｂの下側において基板４の上端部を把
持・クランプするが、その上側枠部２１ｂに上下方向に
移動可能に組み付けられ、かつ圧縮荷重を生じるバネ部
材２８により、上向きに付勢されることとなる。クラン
プ部材２５の上側枠部２１ｂから上方へ突出したバネ受
け部２７と上側枠部２１ｂとの間に上記バネ部材２８が
圧縮状態で装着され、このバネ部材２８の撓みの範囲で
上側枠部２１ｂは浮動状態とされる。

【００４０】基板収容枠４０を、その上側枠部２１ｂに
形成された係合部２１ｆを介して持ち上げる上記リフタ
２６は、上下方向に立設されたガイド部（ガイドポス
ト）２９に沿って昇降がガイドされ、かつモータ３４等
の駆動手段によりコントローラ３５等の制御手段を介し
て昇降させられる。また、図８に例示する基板収容枠４
０の上昇位置が断線等の有無をチェックする検査位置と
すれば、その検査位置近傍（例えば僅かに手前又は検査
位置と同じ位置）で、基板収容枠４０の下側枠部２１ｄ
の上昇を阻止するストッパ３６等の固定手段を作動させ
るソレノイド３７等の駆動手段が設けられ、かつストッ
パ３６の作動後、一定短時間経過後にリフタ２６の上昇
が停止されるようにコントローラ３５がモータ３４の駆
動を制御する。

【００４１】ストッパ３６が、基板収容枠４０の上側枠
部２１ｂと下側枠部２１ｄのうち後者のみの上昇を阻止
するするタイミングは、リフタ２６のモータ３４の回転
数を検出してリフタ２６の上昇位置を把握することによ
り、あるいは上記検出位置の近傍に対応する位置にリミ
ットスイッチ等の位置検出装置を設けてそのリミットス
イッチ等の信号をトリガとして、決定することができ
る。

【００４２】図８に示すように、基板４を予め装着・保
持した基板収納枠４０は、その複数が箱状のマガジン３
２に垂直方向を向いて所定のピッチでストックされる。
そのマガジンがコンベア３１等の水平搬送装置により、
検査装置本体の検査位置の下にまで搬送され、センサ等
の位置検出装置の信号で停止する。このとき、検査位置
に上昇させられるべき基板収納枠４０は、装置本体の検
査位置（検査部）の真下に位置することとなる。このと
きリフタ２６は、基板収納枠４０の係合部２１ｆより下
側で待機し、その状態からリフタ２６が上昇することに
より、リフタ２６が基板収納枠４０の係合部２１ｆに下
側から引っ掛かって、基板収納枠４０を検査位置まで持
ち上げる。

【００４３】検査位置での検査が終われば、リフタ２６
が下端位置まで下降し、そのリフタ２６が下端位置まで
下がる直前で、基板収納枠４０の係合部２１ｆがマガジ
ン４０の上端に着座してもとのスペースに収まる。その
後、マガジン３２が複数の基板収納枠４０の配列間隔に
相当する１ピッチ分だけ前進するようにコンベア３１が
作動し、次の基板収納枠４０が検査位置の真下に位置す
る。以後同様にして、順番に基板収納枠４０が１枚ずつ
検査位置に上昇し、検査後に下降して、自動的に検査が
継続される。

【００４４】いま、このような自動基板検査装置（ない
し自動基板供給装置）において、基板収納枠４０に保持
された基板４に張力を生じさせる作動を説明する。ま
ず、基板４は図７に示したように、その上端部及び下端
部が、基板収納枠４０の上側のクランプ部材２５及び下
側のクランプ部材３ｄによってそれぞれ把持されている
が、検査時に求められる所望の張力はまだ生じていな
い。このような基板収納枠４０は、その両側の係合部２
１ｆがマガジン３２の上縁に着座し、かつマガジン３２
の側面から係合部２１ｆが外側に突出した状態にある。

【００４５】そして、リフタ２６が下限位置から上昇を
開始した直後に、基板収納枠４０の係合部２１ｆにリフ
タ２６が下側から係合して基板収納枠４０を持ち上げ、
リフタ２６の上昇に従って基板収納枠４０が上昇する。
基板収納枠４０の検査位置の近傍（その直前又は検査位
置と同じ位置）で、ソレノイド３７等の作動でストッパ
３６が基板収納枠４０の下側枠部２１ｄに押し付けら
れ、下側枠部２１ｄの移動ができない状態とする。その
後、リフタ２６がさらに少量上昇することにより、上側
枠部２１ｂが少量持ち上げられて、上下の枠部２１ｂ及
び２１ｄの間隔がわずかに増大する。これにより図７の
バネ部材２８が圧縮され、それに伴う弾性力と釣り合う
張力が基板４の上下方向に生じて、基板４が引張り状態
で保持されることとなる。

【００４６】この状態で直ちに検査に移ることもできる
が、さらにソレノイド等の駆動部で、押圧ピン等の固定
手段を作動（突出）させて、浮動式の上側枠部２１ｂも
固定状態とし、このように上側及び下側枠部２１ｂ及び
２１ｄが固定的に位置決めされ、基板４が引張り状態に
維持された状況で、基板４の両側の面に例えば２本ずつ
のプローブ等の検出子を当て、基板４に形成されている
電子配線部の複数の部位において断線の有無を測定する
断線検査等を実施することができる。これにより、薄肉
で湾曲等の変形を生じやすい基板に対しても、張力付与
による位置決め固定によって、良好な検査が実施できる
とともに、基板に湾曲等の負担をかけることなく、基板
の湾曲等による損傷を回避することが可能となる。

【００４７】なお、以上の説明では、１個の基板収納枠
が１枚の基板を保持するものであったが、それに限ら
ず、１個の基板収納枠に２以上（複数枚）の基板を保持
して、検査位置でそれら複数の基板に対して所定の検査
が同時に又は順次（相前後して）行われるようにしても
よい。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一例である基板収納枠を示す正面
図。

【図２】クランプ部材の一例としてのトルグクランプの
斜視図。

【図３】引張り手段の主要部としてのキャッチクリップ
の斜視図。

【図４】基板収納枠の基板検査装置（装置本体）への装
填を示す立体図。

【図５】基板収納枠の変形例を示す正面図。

【図６】図５の底面図。

【図７】リフタの持ち上げ力を利用して基板に張力を生
じさせる基板収納枠と、それをを利用した基板検査装置
（特に基板収納枠供給装置）の要部を示す正面図。

【図８】図７の更に周辺の含めた装置の斜視図。

【符号の説明】

１、２１ 外枠 １ａ、１ｃ、２１ａ、２１ｃ 側枠部 １ｂ、２１ｂ 上側枠部 １ｄ、２１ｄ 下側枠部 ３ｂ、３ｄ トグルクランプ（クランプ部材） ３ｅ 止めクランプ具 ４ 基板 ５ ワイヤ（接続部材） ６ 滑車（方向変換手段） １０、２０、４０ 基板収納枠 １１ 基板検査装置（装置本体）） １２ スリット開口（収納枠セット口） １３ ガイド溝 １４ マグネット １５ リミットスイッチ １６ａ プレートの穴 １７ ピン ２２ クランプバー ２５ クランプ部材 ２６ リフタ ２８ バネ部材 ３０ 取手部 ３２ マガジン

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板に形成された配線部の断線等、基板
   の所定の検査をする装置であって、 前記基板が基板収納枠内において基板の板面に沿った方
   向の張力を受けた引張り状態でその基板収納枠に保持さ
   れ、基板を引張り状態で保持した基板収納枠が検査位置
   に供給されて、その収納枠に保持された引張り状態の基
   板に対し検査が行われることを特徴とする基板検査装
   置。
2. 【請求項２】 基板に形成された配線部の断線等、基板
   の所定の検査をする装置であって、 前記基板が基板収納枠内において基板の板面に沿った方
   向の張力を受けた引張り状態でその基板収納枠に保持さ
   れ、基板を引張り状態で保持した基板収納枠が、装置本
   体に形成された収納枠セット口にカセット方式で挿入さ
   れて検査位置にセットされ、その収納枠に保持された引
   張り状態の基板に対し検査が行われることを特徴とする
   基板検査装置。
3. 【請求項３】前記基板収納枠の側部には取手部が形成さ
   れている請求項１又は２に記載の基板検査装置。
4. 【請求項４】 基板に形成された配線部の断線等、基板
   の所定の検査をする装置であって、 前記基板が基板収納枠に対し、その基板収納枠において
   基板の板面に沿った方向に張力を生じうる状態で保持さ
   れ、基板収納枠は基板の第１の端部をクランプする第１
   のクランプ部と、基板の第１の端部とは反対側の第２の
   端部をクランプする第２のクランプ部とが一定量離間で
   きるように組み合わされ、 かつその基板を保持する基板収納枠が検査位置で検査さ
   れる際に、前記第１及び第２のクランプ部の一方の移動
   を阻止する固定手段と、それらの他方のクランプ部を前
   記一方のものに対しさらに少量移動させて基板に張力を
   付与した引張り状態に維持する引張り手段とを含み、そ
   の引張り状態で基板に検査が実施されることを特徴とす
   る基板検査装置。
5. 【請求項５】 基板に形成された配線部の断線等、基板
   の所定の検査をする装置であって、 前記基板が基板収納枠に対し、その基板収納枠において
   基板の板面に沿った方向に張力を生じうる状態で保持さ
   れ、基板収納枠は基板の第１の端部をクランプする第１
   のクランプ部と、基板の第１の端部とは反対側の第２の
   端部をクランプする第２のクランプ部とが一定量離間で
   きるように組み合わされ、 かつその基板を保持する基板収納枠を検査位置に移動さ
   せる終端において、その移動の先行側及び後行側となる
   クランプ部のうち、後行側のクランプ部を前記検査位置
   近傍で移動不能に固定する固定手段と、先行側のクラン
   プ部をさらに少量移動させて基板に張力を付与した状態
   に維持する引張り手段とを含み、その引張り状態で基板
   に検査が実施されることを特徴とする基板検査装置。
6. 【請求項６】前記基板収納枠において前記基板の第１の
   端部をクランプする第１のクランプ部と、該第１のクラ
   ンプ部を支持する第１の枠部との間、及び／又は基板の
   第２の端部をクランプする第２のクランプ部と、該第２
   のクランプ部を支持する第１の枠部との間には、前記第
   １及び第２の枠部の離間に逆らう向きの弾性力を生じる
   弾性部材が介在させられ、前記検査位置において基板は
   その弾性部材の弾性力に基づく張力を受けた状態とされ
   る請求項４又は５に記載の基板検査装置。
7. 【請求項７】 基板に形成された配線部の断線等、基板
   の所定の検査する装置であって、 前記基板が基板収納枠に対し、その基板収納枠において
   基板の板面に沿った上下方向に張力を生じうる状態で保
   持され、基板収納枠は基板の上端部をクランプする上側
   クランプ部と、基板の下端部をクランプする下側クラン
   プ部とが上下方向で一定量離間できるように組み合わさ
   れ、 かつその基板を保持する基板収納枠を検査位置に供給す
   るために、基板収納枠の上側クランプ部を支持する上側
   枠部に形成された係合部に係合して上昇するリフタと、
   基板収納枠の下側クランプ部を支持する下側枠部の上昇
   を前記検査位置近傍で阻止するストッパと、その下側枠
   部の上昇が止められた後、さらに基板収納枠の上側枠部
   を少量上昇させることにより基板に張力が生じた状態と
   するリフタ制御手段とを備え、その引張り状態で基板に
   検査が実施されることを特徴とする基板検査装置。
8. 【請求項８】 前記基板収納枠において、前記基板の上
   端部をクランプする上側クランプ部と該上側クランプ部
   を支持する上側枠部との間に、その下側枠部に対する上
   側枠部の上方への離間に逆らう向きの弾性力を生じるバ
   ネ部材が介在し、前記検査位置において基板はそのバネ
   部材の弾性力と釣り合う張力を受けた状態とされる請求
   項７に記載の基板検査装置。
9. 【請求項９】 基板に形成された配線部の断線等、基板
   の所定の検査をする装置であって、 前記基板が基板収納枠に対し、その基板収納枠において
   基板の板面に沿った上下方向に張力を生じうる状態で保
   持され、基板収納枠は基板の上端部をクランプする上側
   クランプ部と、基板の下端部をクランプする下側クラン
   プ部とが一定量離間できるように組み合わされ、 かつその基板を保持する基板収納枠を検査位置に供給す
   るために、基板収納枠の上側クランプ部を支持する上側
   枠部に形成された係合部に係合して上昇するリフタを備
   え、そのリフタが基板収納枠の上側枠部を持ち上げる際
   の持ち上げ力並びに基板及び基板収納枠の自重を利用し
   て、その基板に張力を生じさせた状態で検査を実施する
   ことを特徴とする基板検査装置。
10. 【請求項１０】 基板に張力を付与した状態で基板を保
    持する基板収納枠であって、基板の１辺をクランプする
    位置固定の第１のクランプ部と、基板の前記１辺とは反
    対側の１辺をクランプする移動可能な第２のクランプ部
    と、その第２のクランプ部を前記第１のクランプ部から
    遠ざかる向きに引っ張り、基板に張力を付与した引張り
    状態に維持する引張り手段とを備えることを特徴とする
    基板収納枠。
11. 【請求項１１】 前記第２のクランプ部は可撓性のある
    線状の接続部材に連結され、この接続部材が枠部に設け
    られた方向変換手段を介して枠部内の張力付与手段に連
    結されて、前記基板に張力を付与した状態に保持される
    請求項１０に記載の基板収納枠。
12. 【請求項１２】 前記第２のクランプ部は、前記基板の
    縁部を把持する複数のクランプ部材であり、それらのク
    ランプ部材は前記枠部において前記第１のクランプ部か
    ら遠ざかる方向に移動可能に設けられた長手状の保持部
    材に取り付けられ、その長手状の保持部材が前記線状の
    接続部材に連結されており、その保持部材を介して複数
    のクランプ部材が前記基板に張力を付与する請求項１１
    に記載の基板収納枠。
13. 【請求項１３】 前記長手状の保持部材に取り付けられ
    た複数のクランプ部材は、その保持部材の長手方向にそ
    れぞれ移動可能に組み付けられ、把持すべき基板のサイ
    ズに応じてそれら複数のクランプ部材の前記保持部材上
    の位置が選択されるようになっている請求項１２に記載
    の基板収納枠。