JP2017080835A - バイト切削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、第1実施形態に係るバイト切削装置の斜視図である。図2は、第1実施形態に係るバイト切削装置のチャックテーブル本体と被加工物とを分解して示す斜視図である。図3は、第1実施形態に係るバイト切削装置のチャックテーブル本体と被加工物とを説明する断面図である。図4は、第1実施形態に係るバイト切削装置のチャックテーブルとバイト切削手段とを説明する断面図である。
図5、図6を参照しながら、本実施形態に係るバイト切削装置100の全体的な構成について説明する。図5は、第2実施形態に係るバイト切削装置のチャックテーブル本体と保持プレートと被加工物とを分解して示す斜視図である。図6は、第2実施形態に係るバイト切削装置のチャックテーブル本体と保持プレートとを説明する断面図である。バイト切削装置100は、基本的な構成はバイト切削装置1と同様である。以下の説明においては、バイト切削装置1と同様の構成要素には、同一の符号または対応する符号を付し、その詳細な説明は省略する。
20 バイト切削手段
21 スピンドル
22 バイトホイール
25 切刃
30 チャックテーブル
40 チャックテーブル本体
42 外周保持部
42a 傾斜面
43 吸引凹部
44 支持ピン
45 第一保持面(保持面)
47 吸引手段(吸引源)
130 チャックテーブル
140 チャックテーブル本体
142 外周保持部
142a 傾斜面
143 吸引凹部
144 支持ピン
145 第一保持面(保持面)
146 吸引手段(吸引源)
150 保持プレート
151 平坦部
151a 上面
151b 下面
152 枠状部
153 第二保持面(保持面)
154 貫通孔
155 連通溝(吸引保持部)
D デバイス
E 端材(外周部)
L 分割予定ライン
W 被加工物
Claims (2)
- 被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該保持面と直交し回転するスピンドルの先端に装着され該チャックテーブルに保持された該被加工物を切削する切刃を有するバイトホイールを含むバイト切削手段と、を備えるバイト切削装置であって、
該チャックテーブルは、
該被加工物を吸引保持する保持面と、
該保持面の周囲に形成され、該保持面の周縁から外周に向かって該切刃と離間する方向へ傾斜する傾斜面を備え、
該傾斜面は、該保持面の周囲にはみ出す該被加工物の外周部を支持する、
ことを特徴とするバイト切削装置。 - 該傾斜面は、吸引源と連通する吸引保持部を有する、
請求項1に記載のバイト切削装置。
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JPH07302830A (ja) * | 1994-05-09 | 1995-11-14 | Hitachi Cable Ltd | ウェハステージ及びウェハプロービング装置 |
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