JP6625396B2 - バイト切削装置 - Google Patents
バイト切削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6625396B2 JP6625396B2 JP2015210012A JP2015210012A JP6625396B2 JP 6625396 B2 JP6625396 B2 JP 6625396B2 JP 2015210012 A JP2015210012 A JP 2015210012A JP 2015210012 A JP2015210012 A JP 2015210012A JP 6625396 B2 JP6625396 B2 JP 6625396B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding
- workpiece
- chuck table
- cutting tool
- cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims description 132
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 24
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 15
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 20
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 8
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 6
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 6
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Milling, Broaching, Filing, Reaming, And Others (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Description
図1は、実施形態に係るバイト切削装置の斜視図である。図2は、実施形態に係るバイト切削装置のチャックテーブル本体と保持プレートと被加工物とを分解して示す斜視図である。図3は、実施形態に係るバイト切削装置のチャックテーブル本体と保持プレートとを説明する断面図である。図4は、実施形態に係るバイト切削装置のチャックテーブル本体と保持プレートと被加工物とを説明する断面図である。
20 バイト切削手段
21 スピンドル
22 バイトホイール
30 チャックテーブル
40 チャックテーブル本体
42 外周保持部
43 吸引凹部
44 支持ピン
45 第一保持面
46 吸引手段
50 保持プレート
51 平坦部
51a 上面
51b 下面
52 枠状部
53 第二保持面
54 貫通孔
55 連通溝
D デバイス
E 端材
L 分割予定ライン
W 被加工物
Claims (2)
- 被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該保持面と直交し回転するスピンドルの先端に装着され該チャックテーブルに保持された該被加工物を切削する切刃を有するバイトホイールを含むバイト切削手段と、を備え、該チャックテーブルに保持された該被加工物の上面を切削して平坦化するバイト切削装置であって、
該チャックテーブルは、
外周部に形成された外周保持部と、該外周保持部に囲繞され吸引手段と連通する吸引凹部と、該吸引凹部に形成された複数の支持ピンによって構成され、該外周保持部の上面と該支持ピンの上面とで第一保持面を成し、該被加工物を該第一保持面で吸引保持可能であるチャックテーブル本体と、
該第一保持面を覆い該チャックテーブル本体に着脱可能な保持プレートと、から成り、
該保持プレートは、
該被加工物を保持する第二保持面となる上面と、該第一保持面に装着する下面と、該上面と該下面を貫通する貫通孔とを備え、
該チャックテーブル本体の該第一保持面より該保持プレートの該上面の方が、該被加工物を支持する平坦面の面積が大きく、該被加工物を該第二保持面で吸引保持可能であるとともに、
該保持プレートを該チャックテーブル本体に着脱して、該被加工物を該第二保持面上で吸引保持したり、又は該被加工物を該第一保持面上で吸引保持する
ことを特徴とするバイト切削装置。 - 該第一保持面及び該上面は、該切刃で切削可能な材料で形成されている、
請求項1に記載のバイト切削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015210012A JP6625396B2 (ja) | 2015-10-26 | 2015-10-26 | バイト切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015210012A JP6625396B2 (ja) | 2015-10-26 | 2015-10-26 | バイト切削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017080834A JP2017080834A (ja) | 2017-05-18 |
JP6625396B2 true JP6625396B2 (ja) | 2019-12-25 |
Family
ID=58712809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015210012A Active JP6625396B2 (ja) | 2015-10-26 | 2015-10-26 | バイト切削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6625396B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002217276A (ja) * | 2001-01-17 | 2002-08-02 | Ushio Inc | ステージ装置 |
JP4373736B2 (ja) * | 2003-08-27 | 2009-11-25 | 株式会社ディスコ | 加工装置のチャックテーブル |
JP5114115B2 (ja) * | 2007-07-03 | 2013-01-09 | 株式会社ディスコ | バイトユニット |
JP5209403B2 (ja) * | 2008-08-07 | 2013-06-12 | 株式会社ディスコ | バイト工具を備えた加工装置 |
-
2015
- 2015-10-26 JP JP2015210012A patent/JP6625396B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017080834A (ja) | 2017-05-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108074841B (zh) | 封装基板切断用治具工作台 | |
KR102465718B1 (ko) | 칩 수용 트레이로부터 개개로 분할된 칩을 픽업하는 방법 | |
KR20150136996A (ko) | 연삭 장치 및 직사각형 기판의 연삭 방법 | |
JP2010021464A (ja) | 加工装置のチャックテーブル | |
KR20150136993A (ko) | 연삭 장치 및 직사각형 기판의 연삭 방법 | |
JP6625396B2 (ja) | バイト切削装置 | |
JP5688987B2 (ja) | 切削装置 | |
JP6625397B2 (ja) | バイト切削装置 | |
JP5242348B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2014103341A (ja) | 切削装置 | |
TW201606868A (zh) | 分斷裝置 | |
JP6661385B2 (ja) | 保持テーブル | |
TWI655053B (zh) | Blade cover device | |
JP2004247660A (ja) | フレーム固定治具 | |
JP6579929B2 (ja) | 加工装置 | |
JP6193133B2 (ja) | 加工装置 | |
JP7294777B2 (ja) | 被加工物の乾燥方法及び切削装置 | |
JP6329019B2 (ja) | 切削装置 | |
JP6556040B2 (ja) | バイト切削装置 | |
JP6821254B2 (ja) | 切削装置 | |
JP6689542B2 (ja) | 切削装置 | |
KR101779585B1 (ko) | 인쇄테이블 구동장치 | |
JP6713195B2 (ja) | チャックテーブル | |
JP2016078216A (ja) | バイト切削装置 | |
JP2013187275A (ja) | 加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180816 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180802 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190528 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190531 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190729 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191112 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191127 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6625396 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |