JP2014103341A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被加工物を保持面で吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルとを加工送り方向に相対移動させる加工送り手段と、該チャックテーブルの該保持面の略同一平面上に保持面を有する該チャックテーブルに隣接して配設されたサブチャックテーブルと、を含む切削装置であって、該サブチャックテーブルに着脱自在に保持される嵩上げ板を具備し、該サブチャックテーブルに保持された該嵩上げ板を介して保持されたドレッシングボードの上面と、該チャックテーブルに保持された被加工物の上面とが略同等の高さになるように設定されることを特徴とする。
【選択図】図2
Description
6 チャックテーブル
11 被加工物
13 ドレッシングボード
15 ワックス
16,16a サブチャックテーブル
18,18A 嵩上げ板
42 第1切削ユニット
42a 第2切削ユニット
48 切削ブレード
50 ブレードカバー
52 切削液供給ブロック
56 クーラーノズル
60 吸引源
Claims (2)
- 被加工物を保持面で吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削手段と、該切削手段と該チャックテーブルとを加工送り方向に相対移動させる加工送り手段と、該チャックテーブルの該保持面と略同一平面上に保持面を有する該チャックテーブルに隣接して配設されたサブチャックテーブルと、を含む切削装置であって、
該サブチャックテーブルに着脱自在に保持される嵩上げ板を具備し、
該サブチャックテーブルに保持された該嵩上げ板を介して保持されたドレッシングボードの上面と、該チャックテーブルに保持された被加工物の上面とが略同等の高さになるように設定されることを特徴とする切削装置。 - 前記嵩上げ板は、上面に載置される前記ドレッシングボードへ、前記サブチャックテーブルの保持面を介して負圧を作用させる貫通吸引路を有する請求項1記載の切削装置。
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