JP2017078630A5 - - Google Patents

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JP2001185578A (ja) * 1999-12-24 2001-07-06 Toshiba Corp 半導体装置
JP2005292079A (ja) * 2004-04-05 2005-10-20 Seiko Epson Corp 圧電デバイス、及び圧電発振器
JP4442526B2 (ja) * 2005-07-20 2010-03-31 セイコーエプソン株式会社 圧電振動ジャイロセンサ及び圧電振動ジャイロセンサを備えた電子機器
CN101769784B (zh) * 2008-12-27 2012-06-20 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 感测器组合
JP2010190706A (ja) * 2009-02-18 2010-09-02 Panasonic Corp 慣性力センサ
JP5652155B2 (ja) * 2010-11-24 2015-01-14 セイコーエプソン株式会社 振動片、センサーユニット、電子機器、振動片の製造方法、および、センサーユニットの製造方法
JP6255903B2 (ja) * 2013-10-31 2018-01-10 セイコーエプソン株式会社 角速度センサー、電子機器および移動体
JP6357758B2 (ja) * 2013-11-25 2018-07-18 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、電子機器および移動体

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