JP2017071160A - 液滴吐出部材、画像形成装置、液滴吐出部材の中間部品、及び、液滴吐出部材の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】製造段階において連結部材によって付属部材と連結されている少なくとも１つの部材の一部領域を連結部材と一緒に打ち抜く場合に生じていた従来の不具合を生じさせることなく、当該少なくとも１つの部材の残存部による不具合を抑制する。【解決手段】液滴を吐出する吐出口が形成された吐出面を有する吐出面部材上に、１又は２以上の別部材が積層された液滴吐出部材において、前記液滴吐出部材の製造段階で除去される付属部材４１と前記吐出面部材及び前記別部材のうちの少なくとも１つの部材４０とを連結していた連結部材４２の残存部が、該少なくとも１つの部材を前記吐出面の法線方向から見たときの側端面に形成された凹部４３内に位置することを特徴とする。【選択図】図１０

Description

本発明は、液滴吐出部材、画像形成装置、液滴吐出部材の中間部品、及び、液滴吐出部材の製造方法に関するものである。

この種の液滴吐出部材としては、例えば、加圧液室内の液体をノズルプレート（吐出面部材）の吐出口から吐出させて画像を形成するインクジェット記録装置等の画像形成装置に用いられるものが知られている。

例えば、特許文献１には、インク滴を吐出する吐出口が形成された吐出面を有するノズルプレート（吐出面部材）上に７枚の流路プレート（別部材）が積層されたインクジェットヘッド（液滴吐出部材）が開示されている。このインクジェットヘッドは、流路プレートによって形成される流路内のインクをノズルプレート上の吐出口から吐出する。このノズルプレートは、製造段階においては、ノズルプレートの周囲に配置されるフレーム枠（付属部材）に対して１８個のブリッジ片（連結部材）を介して連結されており、このフレーム枠を使ってノズルプレートがハンドリングされる。このフレーム枠は、製造段階において、打ち抜き工具を用いてブリッジ片を打ち抜くことによってノズルプレートから切り離され、除去される。このとき、ノズルプレート側に残存するブリッジ残存部がインクジェットヘッドの使用時に吐出面クリーニング用のワイパーと干渉する等の不具合を回避するため、ブリッジ片と一緒にこれに連続するノズルプレートの領域も抜き打ち工具で打ち抜いている。

ブリッジ片によりノズルプレートと連結されたフレーム枠をノズルプレートから除去する際、ブリッジ片と一緒にノズルプレートの一部領域も抜き打ち工具で打ち抜く場合には、ブリッジ片だけを打ち抜く場合と比べて、打ち抜き時にノズルプレートに働く応力が大きい。そのため、ノズルプレートに撓みや歪みが生じやすい。

なお、連結部材によって付属部材と連結される部材がノズルプレート（吐出面部材）である場合に限らず、吐出面部材上に積層される別部材である場合でも、当該別部材に残存する連結部材の残存部が不具合を引き起こす場合には、同様の課題が生じ得る。

上述した課題を解決するため、本発明は、液滴を吐出する吐出口が形成された吐出面を有する吐出面部材上に１又は２以上の別部材が積層された液滴吐出部材において、前記液滴吐出部材の製造段階で除去される付属部材と前記吐出面部材及び前記別部材のうちの少なくとも１つの部材とを連結していた連結部材の残存部が、該少なくとも１つの部材を前記吐出面の法線方向から見たときの側端面に形成された凹部内に位置することを特徴とする。

本発明によれば、製造段階において連結部材によって付属部材と連結されている当該少なくとも１つの部材の一部領域を連結部材と一緒に打ち抜く場合に生じていた従来の不具合を生じさせることなく、当該少なくとも１つの部材の残存部による不具合を抑制できる。

実施形態における液滴吐出ヘッドを、ノズル配列方向に対して直交する方向に沿って切断したときの断面を模式的に示した断面図である。 同液滴吐出ヘッドを、ノズル配列方向に沿って切断したときの断面の一部を模式的に示した断面図である。 同液滴吐出ヘッドにおける振動板の他の構成例を示す断面図である。 同液滴吐出ヘッドにおける圧電素子の構成を示す断面図である。 ノーマルピッチ構造を採用した他の構成例を示す断面図である。 （ａ）〜（ｅ）は、同液滴吐出ヘッドにおける振動板の形成方法の一例を説明するための説明図である。 エッジシューター方式の一例を模式的に示す説明図である。 サイドシューター方式の一例を模式的に示す説明図である。 同液滴吐出ヘッドの製造段階において、液室ユニット部とハウジング部とを接合する前の状態を示す説明図である。 同ハウジング部に接合された同液室ユニット部の流路板とフレーム枠とを連結しているブリッジ片の周辺を示す拡大図である。 同流路板からフレーム枠を切り離した後の状態を示す拡大図である。 変形例１において、ハウジング部に接合された液室ユニット部の流路板とフレーム枠とを連結しているブリッジ片の周辺を示す拡大図である。 変形例２において、ハウジング部に接合された液室ユニット部の流路板とフレーム枠とを連結しているブリッジ片の周辺を示す拡大図である。 変形例３において、ハウジング部に接合された液室ユニット部の流路板とフレーム枠とを連結しているブリッジ片の周辺を示す拡大図である。 同流路板からフレーム枠を切り離した後の状態を示す拡大図である。 変形例４において、ハウジング部に接合された液室ユニット部の流路板とフレーム枠とを連結しているブリッジ片の周辺を示す拡大図である。 実施形態におけるインクジェット記録装置の全体構成を説明する側面説明図である。 実施形態におけるインクジェット記録装置の要部平面説明図である。

以下、本発明に係る液滴吐出部材としての液滴吐出ヘッドに適用した一実施形態について説明する。
本実施形態の液滴吐出ヘッドは、個別液室内の液体を、複数の吐出口が配列された吐出口列（ノズル列）が２列設けられており、各吐出口に対応して設けられる個別液室内の液体をそれぞれの吐出口から吐出する。なお、液滴吐出ヘッドから吐出する液滴は、吐出されるときに液体となるものであれば特に限定されるものではなく、代表的なインクのほか、例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料なども含まれる。

図１は、本実施形態における液滴吐出ヘッドを、ノズル配列方向に対して直交する方向に沿って切断したときの断面を模式的に示した断面図である。
図２は、本実施形態における液滴吐出ヘッドを、ノズル配列方向に沿って切断したときの断面の一部を模式的に示した断面図である。
本実施形態の液滴吐出ヘッドは、個別液室１１及び流体抵抗部１２を形成する個別液室部材としての流路板１０と、この流路板１０の図中上面に接合された吐出面部材としてのノズル板２０と、流路板１０の図中下面に接合された振動板３０と、この振動板３０に接合された電気機械変換素子である圧電素子５０と、この圧電素子５０を支持するベース基板６０とが積層された積層構造の液室ユニット部を備えている。この液室ユニット部は、各個別液室１１へ液体を供給するための共通液室１３が形成された共通液室部材としてのフレーム７を有するハウジング部に接合される。

なお、図１及び図２において、接着層は、他の部材に比べると厚さが薄いために図示を省略してある。また、本実施形態の振動板３０は、図２に示すように、圧電素子５０に接合される３層からなる厚肉部３０ｂと圧電素子５０に接合されない１層からなる薄肉部３０ａとから構成されているが、図３に示すように、その厚肉部を２層の構成としたものなど、他の構成のものであってもよい。

本実施形態において、圧電素子５０は、図４に示すように、圧電材料層５１と内部電極層５２，５３とを交互に積層したもので、圧電素子５０の圧電方向としてｄ３３方向の変位を用い、振動板３０を介して個別液室１１内の液体を加圧する構成となっている。また、本実施形態では、図２に示したように、圧電素子５０は、ハーフカットのダイシング加工により上面視で櫛歯状に分割されており、分割された各圧電素子部分は、振動板３０を介して個別液室１１内の液体を加圧する駆動用圧電素子部５０ａと、個別液室１１内の液体を加圧しない支持用圧電素子部５０ｂとが交互に配置される。この構造をバイピッチ構造と呼ぶ。バイピッチ構造では、支持用圧電素子部５０ｂにより流路板１０及びノズル板２０を支えているので、個別液室１１の圧力上昇によって流路板１０が持ち上がることを防ぎ、個別液室１１間の相互干渉を抑える効果が得られる。

一方で、より個別液室１１の配置を高密度化させる場合には、図５に示したように、振動板３０を介して個別液室１１内の液体を加圧する駆動用圧電素子部５０ａを、個別液室１１と同じ間隔で設け、支持用圧電素子部５０ｂを形成しないノーマルピッチ構造を採用してもよい。

流路板１０は、Ｓｉ、Ｎｉ、４２アロイ、ＳＵＳ３０４や別のＳＵＳ材などから形成することができる。流路板１０の液体に接する面には、ＳｉＯ_２膜、窒化チタン膜あるいはポリイミドなどの金属膜、有機樹脂膜からなる耐液性薄膜を成膜してもよい。このような耐液性薄膜を形成することで、流路板１０の材料が液体に溶出しにくく、また濡れ性も向上するため気泡の滞留が生じにくくなり、安定した液滴吐出が可能になる。

本実施形態において、例えば、流路板１０は、厚さが３０〜６００μｍの単層又は複数層構成で、個別液室１１の長手方向（ノズル列方向に対して直交する方向）の長さは４００〜１６００μｍ、個別液室１１の長手方向（ノズル列方向）の長さは１２０〜１３９μｍとしている。個別液室１１間を仕切る流路隔壁１４の幅（ノズル列方向の長さ）は、個別液室１１のピッチが１５０ｄｐｉに対応したものであるため、振動板３０との接合面で約１５〜５０μｍである。

図５に示したノーマルピッチ構造の場合、例えば、流路板１０は、厚さが１００〜６００μｍの単層又は複数層構成で、個別液室１１の長手方向（ノズル列方向に対して直交する方向）の長さは４００〜１２００μｍとする。個別液室１１の短手方向（ノズル列方向）の長さは、３００ｄｐｉに対応するため、５０〜７０μｍとする。

また、振動板３０には、図１に示すように、外部から液体の供給を受けるための液体供給口３４が開口している。この液体供給口３４を通じて、流路板１０により形成される個別液室１１と、フレーム７により形成される共通液室１３とが連通している。フレーム７の共通液室１３は、金属材料やエポキシ系樹脂の射出成形により形成される。樹脂材料は、ポリフェニレンサルファイト等でもよい。

本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいては、駆動用圧電素子部５０ａに入力信号に応じた駆動波形（１０〜５０Ｖの繰り返しパルス電圧）を印加することによって、圧電素子５０の圧電材料層５１に積層方向の変位が生起し、振動板３０を介して個別液室１１が加圧されて圧力が上昇し、ノズル２１の吐出口から液滴が吐出される。その後、液滴吐出に伴い、個別液室１１内の液体圧力が減少するので、液体の流れの慣性と駆動パルスの放電過程によって個別液室１１内に負圧が発生する。これにより、液体タンクから供給される液体が共通液室１３に流入し、共通液室１３から液体供給口３４を経て流体抵抗部１２を通り、個別液室１１内に液体が充填される。流体抵抗部１２は、吐出後の残留圧力振動の減衰に効果がある反面、表面張力による再充填（リフィル）に対しては抵抗になる。流体抵抗部１２の構成を適宜に調整することで、残留圧力の減衰とリフィル時間のバランスが取れ、次の液滴吐出動作に移行するまでの時間（吐出周期）を短くできる。また、本実施形態では、残留圧力振動を減衰させるのに振動板３０を利用し、ダンピング機能を持たせた振動板ダンパー３５を導入することでより駆動周期を短くしている。

図６は、振動板３０の形成方法の一例を説明するための説明図である。
本実施形態の振動板３０は、上述したように、薄肉部３０ａと厚肉部３０ｂとが存在する凹凸形状であり、このような凹凸形状を形成する方法としては、電鋳工法が好ましい。なお、以下の説明では、２層構造により凹凸形状をもつ振動板３０を形成する例で説明する。本実施形態では、薄肉部３０ａの厚さは例えば２〜１０μｍである。

まず、図６（ａ）に示すように、電鋳支持基板３１１に薄肉部３０ａを構成する第一層３１２を形成する。そして、図６（ｂ）に示すように、厚肉部３０ｂ間に相当する部分（薄肉部３０ａとなる部分）にレジストパターン３１４を形成し、例えばニッケル電鋳を行うことで、図６（ｃ）に示すように、第一層３１２上にニッケルが析出されて堆積し、ニッケル層３１３が形成される。その後、更に電鋳を継続することで、図６（ｄ）に示すように、レジストパターン３１４の厚みを超えるまでニッケル層３１３が成長すると、エッジ効果によりレジストパターン３１４の表面方向にも肥大してオーバハング部３１３ａが生じる。このプロセスを継続していくと、図６（ｅ）に示すように、ニッケル層３１３は厚み方向と平面方向にさらに伸長する。所定の成長段階で電鋳を終了した後、レジストパターン３１４を除去することで、図６（ｆ）に示すように、薄肉部３０ａにより囲まれた断面鋲型のアイランド状の厚肉部３０ｂを備えた振動板３０が得られる。

また、振動板３０は、金属層や樹脂層とした構成も考えられる。金属層として、Ｎｉ、４２アロイ、ＳＵＳ３０４などが考えられる。また、ＳｉＯ_２やＴｉ等の金属膜を表面に形成することにより液体の透湿を懸念することがなくなる。また、振動板３０を樹脂層で構成すると、金属層に比べて薄肉部３０ａの剛性が低くなり、圧電素子５０の変位効率を阻害しにくいというメリットがある。また、流路板１０が金属材料である場合、樹脂層と金属との接合は金属同士の接合より接合強度が増すというメリットもある。樹脂層は圧延フィルムであっても良い。これにより、厚みが薄くなってもピンホールなどの欠陥がほとんど無く、信頼性が高い製品を提供することが可能である。

樹脂層としては、ポリフェニレンサルフアイド（ＰＰＳ）樹脂を用いることができるが、延伸可能な他の高分子材料、例えば、ポリイミド（ＰＩ）樹脂、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）樹脂、ボリアミドイミド（ＰＡＩ）樹脂、ポリバラバン酸（ＰＰＡ）樹脂、ボリサルホン（ＰＳＦ）樹脂、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）樹脂、ポリエーテルケトン（ＰＥＫ）樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂、ポリオレフィン（ＡＰＯ）樹脂、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）樹脂、アラミド樹脂、ポリプロピレン樹脂、塩化ビニリデン樹脂やポリカーネート樹脂等を用いることもできる。

振動板３０には、圧電素子５０との接合領域に、接着剤に対して親和性を示す処理を行うことも考えられる。親和性を示す処理としては、水酸基やＳｉＯ_２などの薄膜層を形成することが考えられる。ＳｉＯ_２薄膜層の形成には、比較的熱のかからない、すなわち振動板３０に熱的影響の発生しない範囲の温度で成膜可能な方法で形成するのが好ましい。具体的には、スパッタリング、イオンビーム蒸着、イオンプレーティング、ＣＶＤ（化学蒸着法）、Ｐ−ＣＶＤ（プラズマ蒸着法）などが適している。本実施形態では、Ｓｉのスパッタリング後、スパッタ膜にＯ_２処理をしてＳｉＯ_２膜を生成している。ＳｉＯ_２薄膜層の膜厚は密着力が確保できる範囲で必要最小限の厚さとするのが工程時間、材料費から見て有利である。本実施形態ではＳｉＯ_２膜の厚さを１０〜２０００オングストロームの範囲で使用している。

本実施形態の撥水処理に関しては、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成することができる。撥水処理方法としては、スピンコータ、ロールコータ、スクリーン印刷、スプレーコータなどの方法が使用可能であり、それ以外にも真空蒸着で成膜する方法も使用されている。この方法を使用すると撥水膜の密着性が向上する。

本実施形態の液滴吐出ヘッドにおけるノズルの形状は、ストレート部とテーパー部を有する形状となっている。ノズル２１の吐出口直径は例えば１８〜２４μｍである。ノズル板２０の材料としては、樹脂を用いることもある。ノズル板２０の吐出面は、撥水性の表面処理を施した撥水処理層を設けてある。具体的には、例えば、ＰＴＦＥ−Ｎｉ共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂（例えばフッ化ピッチなど）を蒸着コートしたもの、シリコン系樹脂、フッ素系樹脂の溶剤塗布後の焼き付けなどにより、液体物性に応じて選定した撥水処理層を設け、液体の滴形状や飛翔特性を安定化させ、高品位の画像品質を得られるようにしている。

本実施形態における液滴吐出ヘッドは、個別液室１１の長手方向（液体流れ方向）と吐出口からの吐出方向とが略直線的であるエッジシューター方式であっても良いし、個別液室１１の長手方向（液体流れ方向）と吐出口からの吐出方向とが異なるサイドシューター方式であっても良い。
また、本実施形態では、吐出エネルギーを発生させる吐出エネルギー発生体として圧電素子を用いた例であるが、これに限られない。

図７は、エッジシューター方式の一例を模式的に示す説明図である。
図７に示すエッジシューター方式の液滴吐出ヘッドは、吐出エネルギーを発生させる吐出エネルギー発生体５０’を有するベース基板６０に、個別液室１１の側壁を構成する壁材及び天板６１を積層させて、個別液室１１およびノズル吐出口２１ａが構成される。この液滴吐出ヘッドにおいては、個別液室１１に液体が充填されている状態で、駆動信号を吐出エネルギー発生体５０’に印加することにより、吐出エネルギー発生体５０’によって発生した吐出エネルギーが個別液室１１内の液体に作用して、ノズル吐出口２１ａから液滴が吐出される。なお、図示の例では、吐出エネルギー発生体５０’が発熱素子である場合の例であるが、これに代えて、本実施形態のような圧電素子を吐出エネルギー発生体５０’として利用する例などの他の例であってもよい。

図７に示したようなエッジシューター方式の液滴吐出ヘッドは、各部材について精度の良い微細化や、ノズル吐出口２１ａのマルチ化あるいは小型化が容易であり、量産性に優れているという利点を有する。その一方で、液滴吐出の際の応答周波数や液滴の飛行速度に限界がある。また、液体流路上に配置される電熱変換素子が発熱することで液体中に気泡が発生することがあるが、この気泡が温度低下により収縮し、吐出エネルギー発生体５０’の近傍で消滅する際の衝撃により吐出エネルギー発生体５０’が徐々に劣化、破壊されるという課題も生じやすい。この現象は、いわゆるキャビテーション現象と呼ばれ、エッジシューター方式において顕著である。そのため、エッジシューター方式の液滴吐出ヘッドは寿命が比較的短い。

図８は、サイドシューター方式の一例を模式的に示す説明図である。
図８に示すサイドシューター方式の液滴吐出ヘッドは、吐出エネルギーを発生させる吐出エネルギー発生体５０’を有するベース基板６０に、個別液室１１の側壁を構成する壁材６２及び天板６１を積層させて個別液室１１が構成され、ノズル吐出口２１ａは天板６１に形成される。この液滴吐出ヘッドでは、図中破線で示す個別液室１１内の液体流れ方向と、図中実線矢印で示す吐出口２１ａからの液滴吐出方向とが略直角をなした構成となっている。

図８に示したようなサイドシューター方式の液滴吐出ヘッドは、吐出エネルギー発生体５０’からのエネルギーをより効率良く液滴形成とその飛行の運動エネルギーへと変換でき、また液体の供給によるメニスカスの復帰も速いという構造上の利点を有する。これは、吐出エネルギー発生体５０’として発熱素子を用いた場合に特に効果的である。また、エッジシューター方式において問題となる気泡が消滅する際の衝撃により吐出エネルギー発生体５０’が徐々に劣化、破壊されるというキャビテーション現象も、サイドシューター方式であれば回避することができる。つまり、サイドシューター方式では、成長した気泡が吐出口２１ａに達すれば、気泡が大気に通じることになり、温度低下による気泡の収縮が起こらない。そのため、サイドシューター方式の液滴吐出ヘッドは寿命が比較的長い。

図９は、本実施形態の液滴吐出ヘッドの製造段階において、液室ユニット部４０とハウジング部７０とを接合する前の状態を示す説明図である。
本実施形態の液滴吐出ヘッドは、まず、流路板１０、ノズル板２０、振動板３０、圧電素子５０、ベース基板６０が積層された積層構造の液室ユニット部４０を作成した後、この液室ユニット部４０を、フレーム７を有するハウジング部７０に接合して、製造される。この製造段階において、液室ユニット部４０を構成する１又は２以上の層（流路板１０、ノズル板２０、振動板３０、圧電素子５０、ベース基板６０）には、その周囲に配置されるフレーム枠（付属部材）４１がブリッジ片（連結部材）４２を介して連結されている。このフレーム枠４１を使って液室ユニット部４０をハンドリングすることで、製造段階における液室ユニット部４０の取り扱いを容易にしている。本実施形態では、液室ユニット部４０を構成する流路板１０にブリッジ片４２を介してフレーム枠４１が連結されている。

このフレーム枠４１及びブリッジ片４２は、液滴吐出ヘッドの使用段階では不要な部材であるため、液滴吐出ヘッドの製造工程において、液室ユニット部４０をハウジング部７０に接合した後に除去される。具体的には、打ち抜き工具を用いてブリッジ片４２を打ち抜くことにより、流路板１０からフレーム枠４１を切り離して除去する。このとき、流路板１０側には、ブリッジ片４２の一部がブリッジ残存部として残存し、液滴吐出ヘッドの使用時にブリッジ残存部が外部物体と干渉して不具合を生じさせることがある。例えば、本実施形態の液滴吐出ヘッドを、後述するインクジェット記録装置の記録ヘッドに適用する場合、液滴吐出ヘッドの吐出面をクリーニング用ワイパー（外部物体）で払拭する際にクリーニング用ワイパーがブリッジ残存部と干渉してクリーニング用ワイパーが傷つき、クリーニング不良を生じさせたり、搬送されてくる用紙（外部物体）がブリッジ残存部と干渉して適切な用紙搬送を妨げたりするなどの不具合が生じ得る。

一方で、ブリッジ片４２と一緒にこれに連続する流路板１０の領域も抜き打ち工具で打ち抜く方法を採用すると、流路板１０側にはブリッジ片が残存しないので、上述した不具合を回避することが可能である。しかしながら、この方法では、ブリッジ片４２だけを打ち抜く場合（すなわち、流路板１０側にブリッジ残存部が存在する場合）と比べて、打ち抜き時に流路板１０に働く応力が大きい。そのため、流路板１０に撓みや歪みが生じたり、ハウジング部７０に接合されている液室ユニット部４０がハウジング部７０から剥離したりするなどの不具合が生じやすい。この不具合は、適切な吐出動作に大きな悪影響を与え得る。

そこで、本実施形態では、流路板１０側にブリッジ残存部を残しつつも、液滴吐出ヘッドの使用時にブリッジ残存部が発生させ得る不具合を抑制するため、次のような構成を採用する。
図１０は、本実施形態において、ハウジング部７０に接合された液室ユニット部４０の流路板１０とフレーム枠４１とを連結しているブリッジ片４２の周辺を示す拡大図である。
図１１は、流路板１０からフレーム枠４１を切り離した後の状態を示す拡大図である。

本実施形態では、図１０に示すように、液滴吐出ヘッドの吐出面の法線方向から見たときの流路板１０の側端面には、凹部４３が形成されている。この凹部４３の内部から流路板１０の側端面外側に向かってブリッジ片４２が延び、流路板１０の側端面外側に位置するブリッジ片４２と流路板１０とがブリッジ片４２によって連結されている。

本実施形態では、流路板１０からフレーム枠４１を切り離す際、凹部４３の内部に位置するブリッジ片４２の部分を打ち抜き工具を用いて打ち抜く。これにより、流路板１０側に残存するブリッジ残存部は、図１１に示すように、流路板１０の側端面に形成されている凹部４３内に位置し、その凹部４３から流路板１０の側端面外側にはみ出ることはない。このような構成により、液滴吐出ヘッドの使用時にブリッジ残存部が外部物体と干渉しにくくなり、外部物体と干渉することにより生じる不具合の発生が抑制される。

また、液滴吐出ヘッドの吐出面の法線方向から見たとき、ハウジング部７０は、流路板１０の側端面と同じか又はその側端面よりも外側に側端面を有する。そのため、本実施形態では、打ち抜き時にハウジング部７０が邪魔にならないよう、図１０及び図１１に示すように、ハウジング部７０の側端面には、流路板１０に形成されている凹部４３に対向する位置が開口するように、切り欠き部７３が形成されている。これにより、凹部４３の内部に位置するブリッジ片４２の部分を打ち抜き工具で打ち抜く際、打ち抜き工具がハウジング部７０の干渉を受けることがなく、流路板１０側に残存するブリッジ残存部を流路板１０の側端面の凹部４３内に位置させることができる。

〔変形例１〕
次に、本実施形態における液滴吐出ヘッドの一変形例（以下、本変形例を「変形例１」という。）について説明する。
図１２は、本変形例１において、ハウジング部７０に接合された液室ユニット部４０の流路板１０とフレーム枠４１とを連結しているブリッジ片４２の周辺を示す拡大図である。

本変形例１では、打ち抜き部材によって打ち抜かれる凹部４３内のブリッジ片４２部分に、ブリッジ片４２の長手方向に対して直交する断面の面積が部分的に小さい狭小部４４が形成されている。このような狭小部４４は、ブリッジ片４２の他の部分と比べて強度が低いことから、ブリッジ片４２を打ち抜き部材によって打ち抜く際、ブリッジ片４２は狭小部４４の箇所で安定して切断され、流路板１０側に残存するブリッジ残存部はその先端部が先細り形状となる。その結果、流路板１０側に残存するブリッジ残存部を流路板１０の側端面の凹部４３内に安定して位置させることができ、ブリッジ残存部が凹部４３から流路板１０の側端面外側にはみ出た不良品の発生を抑制することができる。

〔変形例２〕
次に、本実施形態における液滴吐出ヘッドの他の変形例（以下、本変形例を「変形例２」という。）について説明する。
図１３は、本変形例２において、ハウジング部７０に接合された液室ユニット部４０の流路板１０とフレーム枠４１とを連結しているブリッジ片４２の周辺を示す拡大図である。

本変形例２では、流路板１０に連続するブリッジ片４２の基端部４５が、ブリッジ片４２の他の部分よりも、ブリッジ片４２の長手方向に対して直交する断面の面積が広くなっている。このような太い基端部４５は、ブリッジ片４２の他の部分と比べて強度が高いことから、ブリッジ片４２を打ち抜き部材によって打ち抜く際、ブリッジ片４２の基端部４５がハウジング部７０から離れる方向へ撓み難くなる。その結果、流路板１０に撓みや歪みが生じたり、ハウジング部７０に接合されている液室ユニット部４０がハウジング部７０から剥離したりするなどの不具合が更に生じにくい。

また、本変形例２では、吐出面に平行な方向に基端部４５が幅広となるため、流路板１０とこれに接合される部材との接合面積を広くとることが可能となり、より強固な接合が可能となる。

〔変形例３〕
次に、本実施形態における液滴吐出ヘッドの更に他の変形例（以下、本変形例を「変形例３」という。）について説明する。
図１４は、本変形例３において、ハウジング部７０に接合された液室ユニット部４０の流路板１０とフレーム枠４１とを連結しているブリッジ片４２の周辺を示す拡大図である。
図１５は、流路板１０からフレーム枠４１を切り離した後の状態を示す拡大図である。

本変形例３では、打ち抜き部材によって打ち抜かれる凹部４３内のブリッジ片４２部分に、ブリッジ片４２の長手方向に対して直交する断面の面積が部分的に小さい複数の狭小部４６が形成されている。これらの狭小部４６は、ブリッジ片４２の他の部分と比べて強度が低いことから、ブリッジ片４２を打ち抜き部材によって打ち抜く際、ブリッジ片４２はいずれかの狭小部４６の箇所で安定して切断され、流路板１０側に残存するブリッジ残存部はその先端部が先細り形状となる。また、流路板１０側に残存するブリッジ残存部には、その狭小部４６が少なくとも１つが残ることがある。本変形例３によれば、流路板１０側に残存するブリッジ残存部を流路板１０の側端面の凹部４３内に安定して位置させることができ、ブリッジ残存部が凹部４３から流路板１０の側端面外側にはみ出た不良品の発生を抑制することができる。

本変形例３では、このように複数の狭小部４６がブリッジ片４２に形成されていることで、ブリッジ片４２を打ち抜き部材によって打ち抜く際、その打ち抜き箇所よりも流路板１０に存在する狭小部４６で折れ曲がり、流路板１０側に応力が伝わりにくくなる。その結果、流路板１０に撓みや歪みが生じたり、ハウジング部７０に接合されている液室ユニット部４０がハウジング部７０から剥離したりするなどの不具合が更に生じにくい。

〔変形例４〕
次に、本実施形態における液滴吐出ヘッドの更に他の変形例（以下、本変形例を「変形例４」という。）について説明する。
図１６は、本変形例４において、ハウジング部７０に接合された液室ユニット部４０の流路板１０とフレーム枠４１とを連結しているブリッジ片４２の周辺を示す拡大図である。

本変形例４では、図１６に示すように、ブリッジ片４２に連続する流路板１０の箇所の近傍に１つ以上のリブ４７が形成されている。このようなリブ４７を形成することで、ブリッジ片４２に連続する流路板１０の箇所の近傍の強度を高めることができる。これにより、ブリッジ片４２を打ち抜き部材によって打ち抜く際、ブリッジ片４２からの応力が伝わってきても、この応力に抗して、流路板１０がハウジング部７０から離れる方向へ撓むのを抑制できる。その結果、流路板１０に撓みや歪みが生じたり、ハウジング部７０に接合されている液室ユニット部４０がハウジング部７０から剥離したりするなどの不具合が更に生じにくい。

次に、本実施形態における液滴吐出ヘッドを、画像形成装置であるインクジェット記録装置の記録ヘッドに適用した実施形態について説明する。
図１７は、本実施形態におけるインクジェット記録装置の全体構成を説明する側面説明図である。
図１８は、本実施形態におけるインクジェット記録装置の要部平面説明図である。

本実施形態におけるインクジェット記録装置は、左右の側板に横架したガイド部材であるガイドロッド１０１とガイドレール１０２とでキャリッジ１０３を主走査方向に摺動自在に保持し、主走査モータ１０４でタイミングベルト１０５を介して図１８で矢示方向（主走査方向）に移動走査する。

キャリッジ１０３には、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色の液滴を吐出する４個の記録ヘッド１０７が、主走査方向に対してノズル列が略直交する方向へ延びるように、かつ、液滴吐出方向が下方に向くように装着される。また、キャリッジ１０３には、記録ヘッド１０７に各色の液体を供給するための各色のサブタンク１０８が搭載されている。このサブタンク１０８には液体供給チューブを介してメインタンク（インクカートリッジ）からインクが補充供給される。

本実施形態では、キャリッジ１０３にサブタンク１０８を搭載した構成であるが、キャリッジ１０３外にサブタンク１０８を設ける構成とすることもできるし、あるいは、サブタンクを用いないでインクカートリッジを搭載する構成とすることもできる。

また、本実施形態におけるインクジェット記録装置は、給紙カセット１１０などの用紙積載部（圧板）１１１上に積載した用紙１１２を給紙するための給紙部を備えている。給紙部には、用紙積載部１１１から用紙１１２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙ローラ）１１３及び給紙ローラ１１３に対向して、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド１１４が配置され、この分離パッド１１４は給紙ローラ１１３側に付勢されている。

また、本実施形態におけるインクジェット記録装置は、給紙部から給紙された用紙１１２を記録ヘッド１０７の下方側で搬送するための搬送部を備えている。搬送部には、用紙１１２を静電吸着して搬送するための搬送ベルト１２１と、給紙部からガイド１１５を介して送られる用紙１１２を搬送ベルト１２１との間で挟んで搬送するためのカウンタローラ１２２と、略鉛直上方に送られる用紙１１２を略９０°方向転換させて搬送ベルト１２１上に倣わせるための搬送ガイド１２３と、押さえ部材１２４で搬送ベルト１２１側に付勢された先端加圧コロ１２５と、搬送ベルト１２１表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ１２６が設けられている。

搬送ベルト１２１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ１２７とテンションローラ１２８との間に掛け渡されて、副走査モータ１３１からタイミングベルト１３２及びタイミングローラ１３３を介して搬送ローラ１２７が回転されることで、図１８のベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成されている。搬送ベルト１２１の裏面側には、記録ヘッド１０７による画像形成領域に対応してガイド部材１２９が配置されている。

また、図１８に示すように、搬送ローラ１２７の軸には、スリット円板１３４が取り付けられており、このスリット円板１３４のスリットを検知するセンサ１３５を設けて、これらのスリット円板１３４及びセンサ１３５によってエンコーダ１３６を構成している。帯電ローラ１２６は、搬送ベルト１２１の表層に接触し、搬送ベルト１２１の回動に従動して回転するように配置され、加圧力として軸の両端に各２．５Ｎをかけている。

また、キャリッジ１０３の前方側には、図１７に示すように、スリットを形成したエンコーダスケール１４２が設けられ、キャリッジ１０３の前面側にはエンコーダスケール１４２のスリットを検出する透過型フォトセンサからなるエンコーダセンサ１４３を設けられている。これらによって、キャリッジ１０３の主走査方向位置（ホーム位置に対する位置）を検知するためのエンコーダ１４４を構成している。

また、本実施形態におけるインクジェット記録装置は、記録ヘッド１０７で記録された用紙１１２を排紙するための排紙部を備えている。排紙部には、搬送ベルト１２１から用紙１１２を分離するための分離部と、排紙ローラ１５２及び排紙コロ１５３と、排紙される用紙１１２をストックする排紙トレイ１５４とが設けられている。また、背部には両面給紙ユニット１６１が着脱自在に装着されている。この両面給紙ユニット１６１は搬送ベルト１２１の逆方向回転で戻される用紙１１２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ１２２と搬送ベルト１２１との間に給紙する。

本実施形態のインクジェット記録装置においては、給紙部から用紙１１２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙１１２はガイド１１５で案内され、搬送ベルト１２１とカウンタローラ１２２との間に挟まれて搬送される。そして、更に先端を搬送ガイド１２３で案内されて先端加圧コロ１２５で搬送ベルト１２１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。このとき、制御回路によって高圧電源から帯電ローラ１２６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト１２１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト１２１上に用紙１１２が給送されると、用紙１１２が搬送ベルト１２１に静電力で吸着され、搬送ベルト１２１の周回移動によって用紙１１２が副走査方向に搬送される。

キャリッジ１０３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド１０７を駆動することにより、停止している用紙１１２に液滴を吐出して１行分を記録し、用紙１１２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙１１２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙１１２を排紙トレイ１５４に排紙する。また、両面印刷の場合には、表面（最初に印刷する面）の記録が終了したときに、搬送ベルト１２１を逆回転させることで、記録済みの用紙１１２を両面給紙ユニット１６１内に送り込み、用紙１１２を反転させて（裏面が印刷面となる状態にして）再度カウンタローラ１２２と搬送ベルト１２１との間に給紙し、タイミング制御を行って、前述したと同様に搬送ベルト１２１上に搬送して裏面に記録を行った後、排紙トレイ１５４に排紙する。

なお、本実施形態では、本発明に係る液滴吐出ヘッドをプリンタ構成の画像形成装置であるインクジェット記録装置の記録ヘッドに適用した例で説明したが、これに限るものではなく、本発明は、例えば、プリンタやファクシミリの各機能を備えた複合機などの画像形成装置の記録ヘッドとしても適用することができる。また、本発明は、インク以外の液体である記録液や定着処理液などを用いる画像形成装置の液滴吐出ヘッドにも適用することができる。また、インクジェット記録装置には、特に限定しない限り、シリアル型のインクジェット記録装置及びライン型のインクジェット記録装置のいずれも含まれる。

また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、液滴を着弾させて付与する被着弾部材が、用紙以外の記録材、例えば糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の記録材である場合も同様に適用することができる。また、本発明は、文字や図形等の意味を持つ画像を記録材に対して付与すること場合だけでなく、文字等の意味を持たないパターンを記録材に付与する（単に液滴を吐出する）装置にも適用することができる。また、本発明は、パターニング用の液体レジストを吐出して記録材上に着弾させる装置にも適用することができる。また、本発明は、遺伝子分析試料を吐出して記録材上に着弾させる液滴吐出装置や、三次元造型用の液滴吐出装置などにも適用することができる。

以上に説明したものは一例であり、次の態様毎に特有の効果を奏する。
（態様Ａ）
インク等の液滴を吐出する吐出口２１ａが形成された吐出面を有するノズル板２０等の吐出面部材上に、流路板１０、振動板３０、圧電素子５０、ベース基板６０等の１又は２以上の別部材が積層された液滴吐出ヘッド等の液滴吐出部材において、前記液滴吐出部材の製造段階で除去されるフレーム枠４１等の付属部材と前記吐出面部材及び前記別部材のうちの少なくとも１つの部材（流路板１０等）とを連結していたブリッジ片４２等の連結部材の残存部が、該少なくとも１つの部材を前記吐出面の法線方向から見たときの側端面に形成された凹部４３内に位置することを特徴とする。
本態様によれば、製造段階で付属部材を除去したときに吐出面部材及び前記別部材のうちの少なくとも１つの部材側に残存する連結部材の残存部が、当該少なくとも１つの部材の側端面に形成された凹部内に位置し、凹部が形成されていない側端面よりも外側へは突出しない。よって、当該少なくとも１つの部材の残存部が側端面外側へ突出している構成と比べ、液滴吐出部材から吐出した液滴を着弾させる被着弾部材（記録用紙など）が残存部に引っ掛かったり、吐出面をクリーニングするワイパーに干渉したりするなどの不具合が生じにくくなる。
また、本態様によれば、当該少なくとも１つの部材に連結部材の残存部が残存したままでも、残存部によって生じ得る不具合を抑制できるので、当該少なくとも１つの部材の一部領域を連結部材と一緒に除去し、当該少なくとも１つの部材に連結部材が残存しないようにすることを要しない。その結果、当該少なくとも１つの部材の一部領域を連結部材と一緒に打ち抜く場合に生じていた当該少なくとも１つの部材の撓みや歪みなどの不具合も生じない。

（態様Ｂ）
前記態様Ａにおいて、前記吐出面部材及び前記別部材のうち、前記少なくとも１つの部材（流路板１０等）の側端面と同じか又は該側端面よりも外側に側端面を有するハウジング部７０等の１以上の部材は、該少なくとも１つの部材に形成されている前記凹部に対向する位置が開口していることを特徴とする。
これによれば、前記少なくとも１つの部材の側端面に形成された凹部４３の内部に位置する連結部材部分を打ち抜き工具等の分断部材で分断する際、その分断部材が前記１以上の部材の干渉を受けることがなく、当該凹部４３内で連結部材を分断でき、当該凹部内に残存部を位置させることができる。

（態様Ｃ）
前記態様Ｂにおいて、前記吐出面には、複数の吐出口２１ａが形成されており、前記別部材は、各吐出口にそれぞれ連通する個別液室を形成する流路板１０等の個別液室部材と、各個別液室に液体を供給する共通液室を形成するフレーム７等の共通液室部材とを含み、前記少なくとも１つの部材は、前記個別液室部材を含み、前記１以上の部材は、前記共通液室部材を含むことを特徴とする。
これによれば、連結部材を打ち抜き工具等の分断部材で分断する際の応力で、個別液室部材と共通液室部材との接合が剥がれてしまうことを抑制できる。

（態様Ｄ）
前記態様Ａ〜Ｃのいずれかの態様において、前記残存部は、先端部が先細り形状であることを特徴とする。
前記変形例１で説明したとおり、凹部４３内の連結部材部分に、連結部材長手方向に対して直交する断面の面積が部分的に小さい狭小部４４が形成しておくことで、本態様の残存部のように先端部が先細り形状である残存部が得られる。このような狭小部４４は、連結部材の他の部分と比べて強度が低いことから、連結部材を分断する際、連結部材は当該狭小部４４の箇所で安定して切断される。そのため、連結部材に残存する残存部を当該凹部４３内に安定して位置させることができる。

（態様Ｅ）
前記態様Ａ〜Ｄのいずれかの態様において、前記残存部は、前記少なくとも１つの部材に連続する基端部４５が、他の部分よりも、前記連結部材の長手方向に対して直交する断面の面積が広いことを特徴とする。
前記変形例２で説明したとおり、このように形成された基端部４５は、連結部材の他の部分と比べて強度が高いことから、連結部材を分断する際、連結部材の基端部４５が撓み難くなる。その結果、前記少なくとも１つの部材に撓みや歪みが生じたり、前記少なくとも１つの部材とこれに接合されている部材との間の接合が剥がれたりするなどの不具合が生じにくい。

（態様Ｆ）
前記態様Ａ〜Ｅのいずれかの態様において、前記残存部は、前記連結部材の長手方向に対して直交する断面の面積が部分的に小さい狭小部４６を該長手方向に１箇所以上有することを特徴とする。
前記変形例３で説明したとおり、連結部材の残存部にこのような狭小部４４が形成されていることで、連結部材を分断する際、その分断箇所よりも前記少なくとも１つの部材側に存在する当該狭小部４６が折れ曲がり、分断による応力が前記少なくとも１つの部材側へ伝わりにくくなる。その結果、前記少なくとも１つの部材に撓みや歪みが生じたり、前記少なくとも１つの部材とこれに接合されている部材との間の接合が剥がれたりするなどの不具合が生じにくい。

（態様Ｇ）
前記態様Ａ〜Ｆのいずれかの態様において、前記少なくとも１つの部材は、前記残存部に連続する箇所の近傍に１つ以上のリブ４７を有することを特徴とする。
前記変形例４で説明したとおり、このようなリブ４７を形成することで、残存部に連続する前記少なくとも１つの部材の箇所の近傍の強度を高めることができる。これにより、連結部材を分断する際、連結部材からの応力が伝わってきても、この応力に抗して、前記少なくとも１つの部材が撓むのを抑制できる。その結果、前記少なくとも１つの部材に撓みや歪みが生じたり、前記少なくとも１つの部材とこれに接合されている部材との間の接合が剥がれたりするなどの不具合が生じにくい。

（態様Ｈ）
記録ヘッド１０７等の液滴吐出部材からインク等の液滴を吐出して画像を形成するインクジェット記録装置等の画像形成装置において、前記液滴吐出部材として、前記態様Ａ〜Ｇのいずれかの態様に係る液滴吐出部材を用いたことを特徴とする。
これによれば、連結部材の残存部が外部物体に干渉することによる不具合が抑制され、安定した画像形成動作を実現することができる。

（態様Ｉ）
インク等の液滴を吐出する吐出口２１ａが形成された吐出面を有するノズル板２０等の吐出面部材上に流路板１０、振動板３０、圧電素子５０、ベース基板６０等の１又は２以上の別部材が積層された液滴吐出部材の中間部品（液室ユニット部４０等）において、前記吐出面部材及び前記別部材のうちの少なくとも１つの部材（流路板１０等）と、前記少なくとも１つの部材にブリッジ片４２等の連結部材を介して連結され、前記液滴吐出部材の製造段階で除去されるフレーム枠４１等の付属部材とを有し、前記少なくとも１つの部材に連続する前記連結部材の基端部が、該少なくとも１つの部材を前記吐出面の法線方向から見たときの側端面に形成された凹部内に位置することを特徴とする。
本態様によれば、製造段階で付属部材を除去するときに、吐出面部材及び前記別部材のうちの少なくとも１つの部材側に残存する連結部材の残存部が、当該少なくとも１つの部材の側端面に形成された凹部内に位置し、その側端面から外側へ突出しないようにすることができる。よって、当該少なくとも１つの部材の残存部が側端面外側へ突出している構成と比べ、液滴吐出部材から吐出した液滴を着弾させる被着弾部材（記録用紙など）が残存部に引っ掛かったり、吐出面をクリーニングするワイパーに干渉したりする不具合が生じにくい液滴吐出部材を製造することができる。

（態様Ｊ）
インク等の液滴を吐出する吐出口２１ａが形成された吐出面を有するノズル板２０等の吐出面部材上に流路板１０、振動板３０、圧電素子５０、ベース基板６０等の１又は２以上の別部材が積層された液滴吐出部材の製造方法において、前記態様Ｉに係る中間部品における前記連結部材を、前記凹部内で分断して、前記少なくとも１つの部材から前記付属部材を除去する付属部材除去工程を有することを特徴とする。
本態様によれば、吐出面部材及び前記別部材のうちの少なくとも１つの部材側に残存する連結部材の残存部が、当該少なくとも１つの部材の側端面に形成された凹部内に位置し、その側端面から外側へ突出しない液滴吐出部材を製造することができる。よって、当該少なくとも１つの部材の残存部が側端面外側へ突出している構成と比べ、液滴吐出部材から吐出した液滴を着弾させる被着弾部材（記録用紙など）が残存部に引っ掛かったり、吐出面をクリーニングするワイパーに干渉したりする不具合が生じにくい液滴吐出部材を製造することができる。

（態様Ｋ）
前記態様Ｊにおいて、前記吐出面部材及び前記別部材のうち、前記少なくとも１つの部材（液室ユニット部４０等）に形成されている前記凹部４３に対向する位置が開口している１以上の部材（ハウジング部７０等）を、該少なくとも１つの部材に接合する接合工程を有し、前記付属部材除去工程は、前記接合工程の後に、前記１以上の部材における前記開口を介し、打ち抜き部材等の分断部材を用いて、前記少なくとも１つの部材の前記凹部内で前記連結部材を分断することを特徴とする。
これによれば、前記少なくとも１つの部材の側端面に形成された凹部４３の内部に位置する連結部材部分を打ち抜き工具等の分断部材で分断する際、その分断部材が前記１以上の部材の干渉を受けることがなく、当該凹部４３内で連結部材を分断でき、当該凹部内に残存部を位置させることができる。

７ フレーム
１０ 流路板
１１ 個別液室
１２ 流体抵抗部
１３ 共通液室
１４ 流路隔壁
２０ ノズル板
２１ ノズル
２１ａ 吐出口
３０ 振動板
３０ａ 薄肉部
３０ｂ 厚肉部
３４ 液体供給口
４０ 液室ユニット部
４１ フレーム枠
４２ ブリッジ片
４３ 凹部
４４，４６ 狭小部
４５ 基端部
４７ リブ
５０ 圧電素子
５０ａ 駆動用圧電素子部
５０ｂ 支持用圧電素子部
５１ 圧電材料層
５２，５３ 内部電極層
６０ ベース基板
６１ 天板
６２ 壁材
７０ ハウジング部
７３ 切り欠き部

特開２００８−１７９１２４号公報

Claims (11)

1. 液滴を吐出する吐出口が形成された吐出面を有する吐出面部材上に１又は２以上の別部材が積層された液滴吐出部材において、
   前記液滴吐出部材の製造段階で除去される付属部材と前記吐出面部材及び前記別部材のうちの少なくとも１つの部材とを連結していた連結部材の残存部が、該少なくとも１つの部材を前記吐出面の法線方向から見たときの側端面に形成された凹部内に位置することを特徴とする液滴吐出部材。
2. 請求項１に記載の液滴吐出部材において、
   前記吐出面部材及び前記別部材のうち、前記少なくとも１つの部材の側端面と同じか又は該側端面よりも外側に側端面を有する１以上の部材は、該少なくとも１つの部材に形成されている前記凹部に対向する位置が開口していることを特徴とする液滴吐出部材。
3. 請求項２に記載の液滴吐出部材において、
   前記吐出面には、複数の吐出口が形成されており、
   前記別部材は、各吐出口にそれぞれ連通する個別液室を形成する個別液室部材と、各個別液室に液体を供給する共通液室を形成する共通液室部材とを含み、
   前記少なくとも１つの部材は、前記個別液室部材を含み、
   前記１以上の部材は、前記共通液室部材を含むことを特徴とする液滴吐出部材。
4. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液滴吐出部材において、
   前記残存部は、先端部が先細り形状であることを特徴とする液滴吐出部材。
5. 請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液滴吐出部材において、
   前記残存部は、前記少なくとも１つの部材に連続する基端部が、他の部分よりも、前記連結部材の長手方向に対して直交する断面の面積が広いことを特徴とする液滴吐出部材。
6. 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の液滴吐出部材において、
   前記残存部は、前記連結部材の長手方向に対して直交する断面の面積が部分的に小さい狭小部を該長手方向に１箇所以上有することを特徴とする液滴吐出部材。
7. 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の液滴吐出部材において、
   前記少なくとも１つの部材は、前記残存部に連続する箇所の近傍に１つ以上のリブを有することを特徴とする液滴吐出部材。
8. 液滴吐出部材から液滴を吐出して画像を形成する画像形成装置において、
   前記液滴吐出部材として、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の液滴吐出部材を用いたことを特徴とする画像形成装置。
9. 液滴を吐出する吐出口が形成された吐出面を有する吐出面部材上に１又は２以上の別部材が積層された液滴吐出部材の中間部品において、
   前記吐出面部材及び前記別部材のうちの少なくとも１つの部材と、
   前記少なくとも１つの部材に連結部材を介して連結され、前記液滴吐出部材の製造段階で除去される付属部材とを有し、
   前記少なくとも１つの部材に連続する前記連結部材の基端部が、該少なくとも１つの部材を前記吐出面の法線方向から見たときの側端面に形成された凹部内に位置することを特徴とする液滴吐出部材の中間部品。
10. 液滴を吐出する吐出口が形成される吐出面を有する吐出面部材上に１又は２以上の別部材が積層された液滴吐出部材の製造方法において、
    請求項９に記載の中間部品における前記連結部材を、前記凹部内で分断して、前記少なくとも１つの部材から前記付属部材を除去する付属部材除去工程を有することを特徴とする液滴吐出部材の製造方法。
11. 請求項１０に記載の液滴吐出部材の製造方法において、
    前記吐出面部材及び前記別部材のうち、前記少なくとも１つの部材に形成されている前記凹部に対向する位置が開口している１以上の部材を、該少なくとも１つの部材に接合する接合工程を有し、
    前記付属部材除去工程は、前記接合工程の後に、前記１以上の部材における前記開口を介し、分断部材を用いて、前記少なくとも１つの部材の前記凹部内で前記連結部材を分断することを特徴とする液滴吐出部材の製造方法。

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