JP2017069357A - 試料搬送装置 - Google Patents
試料搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017069357A JP2017069357A JP2015192506A JP2015192506A JP2017069357A JP 2017069357 A JP2017069357 A JP 2017069357A JP 2015192506 A JP2015192506 A JP 2015192506A JP 2015192506 A JP2015192506 A JP 2015192506A JP 2017069357 A JP2017069357 A JP 2017069357A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- gas
- handling arm
- suction
- foreign matter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 143
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 21
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 4
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 5
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 11
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 39
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 description 15
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 15
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 15
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 7
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
Description
Claims (8)
- 基板を支持するハンドリングアームと、当該ハンドリングアームを搬送する搬送装置を備えた試料搬送装置において、
前記ハンドリングアームの前記基板の接触部分と異なる位置に、気体を吸引する吸引口、及び気体を放出する放出口の少なくとも一方を備えたことを特徴とする試料搬送装置。 - 請求項1において、
前記吸引口、及び放出口の少なくとも一方は、前記基板の上方、及び下方の少なくとも一方に設けられることを特徴とする試料搬送装置。 - 請求項1において、
前記吸引口、或いは前記放出口から気体を吸引、或いは放出する気体吸引/放出機構と、当該気体吸引/放出機構を制御する制御装置を備え、当該制御装置は、前記ハンドリングアームの動作回数が規定回数に達したとき、又はハンドリングアームの使用時間が所定時間に達したときに、前記吸引口、或いは前記放出口から気体を吸引、或いは放出するように、前記気体吸引/放出機構を制御することを特徴とする試料搬送装置。 - 請求項1において、
前記ハンドリングアームが内蔵された空間を与圧するファンフィルタユニットと、前記吸引口、或いは前記放出口から気体を吸引、或いは放出する気体吸引/放出機構と、当該気体吸引/放出機構と、前記ファンフィルタユニット、及び前記気体吸引/放出機構を制御する制御装置を備え、当該制御装置は、前記吸引口、或いは前記放出口から前記気体を吸引、或いは放出するときに、前記ファンフィルタユニットの風量を上昇させることを特徴とする試料搬送機構。 - 基板を支持するハンドリングアームと、当該ハンドリングアームを搬送する搬送装置を備えた試料搬送装置において、
前記ハンドリングアームに設けられた開口と、当該開口から気体を吸引、或いは放出する気体吸引/放出機構と、当該気体吸引/放出機構を制御する制御装置を備え、当該制御装置は、前記ハンドリングアームによる試料搬送後に、前記開口から前記気体を吸引、或いは放出するように、前記気体吸引/放出機構を制御することを特徴とする試料搬送装置。 - 請求項5において、
前記吸引口、及び放出口の少なくとも一方は、前記基板の上方、及び下方の少なくとも一方に設けられることを特徴とする試料搬送装置。 - 請求項5において、
前記制御装置は、前記ハンドリングアームの動作回数が規定回数に達したとき、又はハンドリングアームの使用時間が所定時間に達したときに、前記吸引口、或いは前記放出口から気体を吸引、或いは放出するように、前記気体吸引/放出機構を制御することを特徴とする試料搬送装置。 - 請求項5において、
前記ハンドリングアームが内蔵された空間を与圧するファンフィルタユニットを備え、前記制御装置は、前記吸引口、或いは前記放出口から前記気体を吸引、或いは放出するときに、前記ファンフィルタユニットの風量を上昇させることを特徴とする試料搬送機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015192506A JP6609448B2 (ja) | 2015-09-30 | 2015-09-30 | 試料搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015192506A JP6609448B2 (ja) | 2015-09-30 | 2015-09-30 | 試料搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017069357A true JP2017069357A (ja) | 2017-04-06 |
JP6609448B2 JP6609448B2 (ja) | 2019-11-20 |
Family
ID=58495179
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015192506A Active JP6609448B2 (ja) | 2015-09-30 | 2015-09-30 | 試料搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6609448B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019110184A (ja) * | 2017-12-18 | 2019-07-04 | 株式会社日立ハイテクマニファクチャ&サービス | ハンドリングアーム、搬送装置および局所クリーン化装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0825268A (ja) * | 1994-07-13 | 1996-01-30 | Murata Mfg Co Ltd | ワーク吸着装置 |
JP2004119488A (ja) * | 2002-09-24 | 2004-04-15 | Tokyo Electron Ltd | 真空吸着装置、基板搬送装置及び基板処理装置 |
JP2006216710A (ja) * | 2005-02-02 | 2006-08-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 半導体製造装置 |
JP2007266261A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Tokyo Electron Ltd | 搬送ピック、搬送装置、基板処理装置および搬送ピックのクリーニング方法 |
JP2009076805A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-09 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及びダウンフロー制御方法 |
JP2009094541A (ja) * | 2003-10-08 | 2009-04-30 | Zao Nikon Co Ltd | 基板搬送装置、基板搬送方法、露光方法、露光装置、及びデバイス製造方法 |
JP2010146927A (ja) * | 2008-12-22 | 2010-07-01 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料搬送機構、及び試料搬送機構を備えた走査電子顕微鏡 |
-
2015
- 2015-09-30 JP JP2015192506A patent/JP6609448B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0825268A (ja) * | 1994-07-13 | 1996-01-30 | Murata Mfg Co Ltd | ワーク吸着装置 |
JP2004119488A (ja) * | 2002-09-24 | 2004-04-15 | Tokyo Electron Ltd | 真空吸着装置、基板搬送装置及び基板処理装置 |
JP2009094541A (ja) * | 2003-10-08 | 2009-04-30 | Zao Nikon Co Ltd | 基板搬送装置、基板搬送方法、露光方法、露光装置、及びデバイス製造方法 |
JP2006216710A (ja) * | 2005-02-02 | 2006-08-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 半導体製造装置 |
JP2007266261A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Tokyo Electron Ltd | 搬送ピック、搬送装置、基板処理装置および搬送ピックのクリーニング方法 |
JP2009076805A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-09 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及びダウンフロー制御方法 |
JP2010146927A (ja) * | 2008-12-22 | 2010-07-01 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料搬送機構、及び試料搬送機構を備えた走査電子顕微鏡 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019110184A (ja) * | 2017-12-18 | 2019-07-04 | 株式会社日立ハイテクマニファクチャ&サービス | ハンドリングアーム、搬送装置および局所クリーン化装置 |
JP7002315B2 (ja) | 2017-12-18 | 2022-01-20 | 株式会社日立ハイテク | ハンドリングアーム、搬送装置および局所クリーン化装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6609448B2 (ja) | 2019-11-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103620758B (zh) | 半导体储料器系统和方法 | |
US8998553B2 (en) | High throughput load lock for solar wafers | |
JP2006294786A (ja) | 基板搬送システム | |
JP2006196691A (ja) | 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP2008100805A (ja) | 基板保管庫 | |
KR101073546B1 (ko) | 스토커 | |
JP6609448B2 (ja) | 試料搬送装置 | |
JP5580805B2 (ja) | 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
US9214375B2 (en) | End effector having multiple-position contact points | |
JP2013026504A (ja) | 熱処理装置 | |
JP2004119488A (ja) | 真空吸着装置、基板搬送装置及び基板処理装置 | |
JP2017084498A (ja) | 電極箔の搬送装置および積層型電池の製造装置 | |
JP4745099B2 (ja) | 基板処理装置、搬送ピックのクリーニング方法、制御プログラムおよびコンピュータ読取り可能な記憶媒体 | |
KR100806250B1 (ko) | 로드포트 직결식 로드락 챔버를 위한 풉 적재장치 | |
KR102407784B1 (ko) | 대기 포트 및 이를 가지는 기판 처리 장치 | |
KR20100131055A (ko) | 유기금속화학증착 공정용 웨이퍼 자동 반송 및 측정 장치 | |
JP2008027937A (ja) | 真空処理装置 | |
JP5797430B2 (ja) | 基板収容器 | |
JP2007036268A (ja) | 基板処理方法及び基板処理装置 | |
KR20040081348A (ko) | 매엽 반송 장치 및 매엽 반송 방법 | |
JP2016066689A (ja) | 容器清掃装置及び容器清掃方法 | |
JP5717803B2 (ja) | 剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP2008100802A (ja) | 基板保管庫 | |
KR101103561B1 (ko) | 웨이퍼 이송용 로봇의 핑거 세정방법 및 이를 위한 클리너 모듈 | |
JP6376594B2 (ja) | ロードポートおよび基板の搬送方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151002 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170119 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170125 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20180214 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20180216 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180802 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180803 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190410 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190416 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190617 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190619 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190723 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190909 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191003 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191028 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6609448 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |