JPH0825268A - ワーク吸着装置 - Google Patents
ワーク吸着装置Info
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- JPH0825268A JPH0825268A JP18550594A JP18550594A JPH0825268A JP H0825268 A JPH0825268 A JP H0825268A JP 18550594 A JP18550594 A JP 18550594A JP 18550594 A JP18550594 A JP 18550594A JP H0825268 A JPH0825268 A JP H0825268A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 気体を吹き出すための専用ノズル(エアノズ
ルなど)が不要で、ワーク吸着時に吸着パッドの接近が
妨げられたり、ワークが風圧によって吹き飛ばされたり
することなく、ワークの吸着とワークに付着した異物の
除去を確実に行うことが可能なワーク吸着装置を提供す
る。 【構成】 ワーク3を真空吸着するための真空吸引口1
2とワーク3に付着した異物9を吹き飛ばすための気体
を吹き出す気体吹出し口13を備えた吸着パッド11
と、真空吸引ライン14を経て吸着パッド11の真空吸
引口12から真空吸引を行う真空吸引手段15と、気体
供給ライン16を経て吸着パッド11の気体吹出し口1
3から気体を吹き出させる気体供給手段17とを具備す
る。
ルなど)が不要で、ワーク吸着時に吸着パッドの接近が
妨げられたり、ワークが風圧によって吹き飛ばされたり
することなく、ワークの吸着とワークに付着した異物の
除去を確実に行うことが可能なワーク吸着装置を提供す
る。 【構成】 ワーク3を真空吸着するための真空吸引口1
2とワーク3に付着した異物9を吹き飛ばすための気体
を吹き出す気体吹出し口13を備えた吸着パッド11
と、真空吸引ライン14を経て吸着パッド11の真空吸
引口12から真空吸引を行う真空吸引手段15と、気体
供給ライン16を経て吸着パッド11の気体吹出し口1
3から気体を吹き出させる気体供給手段17とを具備す
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックグリーンシ
ートから打ち抜かれた生ワーク(セラミック成形体)な
どのワークを真空吸着して、所定の位置から取り出した
り、所定の位置に搬送したりするために用いられるワー
ク吸着装置に関する。
ートから打ち抜かれた生ワーク(セラミック成形体)な
どのワークを真空吸着して、所定の位置から取り出した
り、所定の位置に搬送したりするために用いられるワー
ク吸着装置に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】例え
ば、セラミック原料粉体やこれに添加物を加えた粉体を
シート状に成形してなるセラミックグリーンシートから
打ち抜かれたワーク(生ワーク)を焼成する際にワーク
をベルトコンベアから焼成匣に移動させる場合などのよ
うに、ワークを所定の位置から取り出したり所定の位置
に搬送したりする方法として、吸着パッドによりワーク
を真空吸着して、その取出しや搬送を行う方法がある。
ば、セラミック原料粉体やこれに添加物を加えた粉体を
シート状に成形してなるセラミックグリーンシートから
打ち抜かれたワーク(生ワーク)を焼成する際にワーク
をベルトコンベアから焼成匣に移動させる場合などのよ
うに、ワークを所定の位置から取り出したり所定の位置
に搬送したりする方法として、吸着パッドによりワーク
を真空吸着して、その取出しや搬送を行う方法がある。
【0003】ところで、このようなワークを焼成する場
合、ワークに異物が付着していると、この異物が焼成時
にワークと反応して特性不良を引き起こしたり、ワーク
を積み重ねて焼成する際にワークを変形させる原因とな
ったりする。そのため、従来は、ワークを移動させる際
に、前もってワークに付着した異物を取り除くようにし
ている。
合、ワークに異物が付着していると、この異物が焼成時
にワークと反応して特性不良を引き起こしたり、ワーク
を積み重ねて焼成する際にワークを変形させる原因とな
ったりする。そのため、従来は、ワークを移動させる際
に、前もってワークに付着した異物を取り除くようにし
ている。
【0004】そして、ワークに付着した異物を取り除く
方法として、従来は圧縮空気をワークに吹き付けること
により異物を吹き飛ばす方法が一般的に用いられてい
る。この方法は、例えば図7に示すように、集塵ダクト
51の先端の開口部に配設されたプレート52に、ワー
ク53と係合する係合部54や、複数の集塵用の貫通穴
55を設けてなるワーク保持手段56にワーク53を保
持させた状態で、空気供給管(エアノズル)57の空気
吹出し口58から圧縮空気を吹き出す(エアブローす
る)ことにより、ワーク53に付着した異物59を吹き
飛ばして除去し、集塵ダクト51を経て所定の場所に異
物59を集める(集塵する)方法である。なお、ワーク
53の下面側の異物(図示せず)は、自然落下やその近
傍に生じる空気流などにより落下して除去される。
方法として、従来は圧縮空気をワークに吹き付けること
により異物を吹き飛ばす方法が一般的に用いられてい
る。この方法は、例えば図7に示すように、集塵ダクト
51の先端の開口部に配設されたプレート52に、ワー
ク53と係合する係合部54や、複数の集塵用の貫通穴
55を設けてなるワーク保持手段56にワーク53を保
持させた状態で、空気供給管(エアノズル)57の空気
吹出し口58から圧縮空気を吹き出す(エアブローす
る)ことにより、ワーク53に付着した異物59を吹き
飛ばして除去し、集塵ダクト51を経て所定の場所に異
物59を集める(集塵する)方法である。なお、ワーク
53の下面側の異物(図示せず)は、自然落下やその近
傍に生じる空気流などにより落下して除去される。
【0005】しかし、上記従来の方法には、以下のよう
な問題点がある。
な問題点がある。
【0006】ワーク53の斜め上方に配設されたエア
ノズル57により、吸着パッド60のワーク53への接
近(接触)が妨げられる。
ノズル57により、吸着パッド60のワーク53への接
近(接触)が妨げられる。
【0007】また、吸着パッド60の動作への上記エ
アノズル57による干渉を回避しようとすると、別途エ
アノズル57の移動機構が必要となり、設備コストが増
大する。
アノズル57による干渉を回避しようとすると、別途エ
アノズル57の移動機構が必要となり、設備コストが増
大する。
【0008】さらに、ワーク53の斜め上方からエア
ブローすると、ワーク53が風圧によって吹き飛ばされ
たり位置ずれを生じたりする。
ブローすると、ワーク53が風圧によって吹き飛ばされ
たり位置ずれを生じたりする。
【0009】異物を除去するためのエアブロー専用の
エアノズルが必要で設備コストが増大するばかりでな
く、配設スペースが必要となる。
エアノズルが必要で設備コストが増大するばかりでな
く、配設スペースが必要となる。
【0010】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、気体を吹き出すための専用ノズル(エアノズルな
ど)が不要で、ワーク吸着時に吸着パッドの接近が妨げ
られたり、ワークが風圧によって吹き飛ばされたりする
ことなく、ワークの吸着とワークに付着した異物の除去
を確実に行うことが可能なワーク吸着装置を提供するこ
とを目的とする。
り、気体を吹き出すための専用ノズル(エアノズルな
ど)が不要で、ワーク吸着時に吸着パッドの接近が妨げ
られたり、ワークが風圧によって吹き飛ばされたりする
ことなく、ワークの吸着とワークに付着した異物の除去
を確実に行うことが可能なワーク吸着装置を提供するこ
とを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のワーク吸着装置は、ワークを真空吸着する
とともに、ワークに付着した異物を吹き飛ばして除去す
る機能を有するワーク吸着装置であって、ワークを真空
吸着するための真空吸引口とワークに付着した異物を吹
き飛ばすための気体を吹き出す気体吹出し口を備えた吸
着パッドと、真空吸引ラインを経て前記吸着パッドの真
空吸引口から真空吸引を行う真空吸引手段と、気体供給
ラインを経て前記吸着パッドの気体吹出し口から気体を
吹き出させる気体供給手段とを具備することを特徴とし
ている。
に、本発明のワーク吸着装置は、ワークを真空吸着する
とともに、ワークに付着した異物を吹き飛ばして除去す
る機能を有するワーク吸着装置であって、ワークを真空
吸着するための真空吸引口とワークに付着した異物を吹
き飛ばすための気体を吹き出す気体吹出し口を備えた吸
着パッドと、真空吸引ラインを経て前記吸着パッドの真
空吸引口から真空吸引を行う真空吸引手段と、気体供給
ラインを経て前記吸着パッドの気体吹出し口から気体を
吹き出させる気体供給手段とを具備することを特徴とし
ている。
【0012】また、前記吸着パッドの真空吸引口が気体
吹出し口を兼ねていることを特徴としている。
吹出し口を兼ねていることを特徴としている。
【0013】さらに、前記吸着パッドの真空吸引口が気
体吹出し口を兼ねており、かつ、真空吸引を行うための
真空吸引ラインが、気体吹出し口から吹き出させる気体
を供給するための気体供給ラインを兼ねていることを特
徴としている。
体吹出し口を兼ねており、かつ、真空吸引を行うための
真空吸引ラインが、気体吹出し口から吹き出させる気体
を供給するための気体供給ラインを兼ねていることを特
徴としている。
【0014】
【作用】本発明のワーク吸着装置においては、真空吸引
することによりワークを真空吸着するための真空吸引口
と、ワークに付着した異物を吹き飛ばすための気体を吹
き出す気体吹出し口の両方を備えた吸着パッドが用いら
れているため、前述の従来の吸着方法(装置)の場合の
ように、吸着パッドとは別に、気体を吹き出すための専
用ノズル(エアノズルなど)を設けることが不要にな
り、ワーク吸着時の、吸着パッドの動作に対する専用ノ
ズルによる干渉を回避するための専用ノズルの移動機構
などが不要となる。
することによりワークを真空吸着するための真空吸引口
と、ワークに付着した異物を吹き飛ばすための気体を吹
き出す気体吹出し口の両方を備えた吸着パッドが用いら
れているため、前述の従来の吸着方法(装置)の場合の
ように、吸着パッドとは別に、気体を吹き出すための専
用ノズル(エアノズルなど)を設けることが不要にな
り、ワーク吸着時の、吸着パッドの動作に対する専用ノ
ズルによる干渉を回避するための専用ノズルの移動機構
などが不要となる。
【0015】したがって、設備コストの低減や設備の小
型化、簡略化を図ることができるようになる。
型化、簡略化を図ることができるようになる。
【0016】また、気体をワークの正面(真上)から吹
き出すことが可能になるため、気体吹出し時にワークが
吹き飛ばされたり位置ずれが生じたりすることを防止し
つつ、吸着パッドから気体を強く吹き出して、ワークに
付着した異物を効率よく除去することが可能になる。
き出すことが可能になるため、気体吹出し時にワークが
吹き飛ばされたり位置ずれが生じたりすることを防止し
つつ、吸着パッドから気体を強く吹き出して、ワークに
付着した異物を効率よく除去することが可能になる。
【0017】また、吸着パッドの真空吸引口を気体吹出
し口としても機能させるようにしたワーク吸着装置にお
いては、吸着パッドの構造を簡略化して、設備コストの
低減を図ることが可能になる。
し口としても機能させるようにしたワーク吸着装置にお
いては、吸着パッドの構造を簡略化して、設備コストの
低減を図ることが可能になる。
【0018】さらに、吸着パッドの真空吸引口を気体吹
出し口としても機能させるとともに、真空吸引ラインを
気体供給ラインとしても機能させるようにしたワーク吸
着装置においては、吸着パッドの構造及び真空吸引ライ
ンや気体供給ラインなどの配管構成を簡略化して、設備
の小型化、低コスト化をさらに促進することができる。
出し口としても機能させるとともに、真空吸引ラインを
気体供給ラインとしても機能させるようにしたワーク吸
着装置においては、吸着パッドの構造及び真空吸引ライ
ンや気体供給ラインなどの配管構成を簡略化して、設備
の小型化、低コスト化をさらに促進することができる。
【0019】
【実施例】以下、本発明の実施例を図に基づいて説明す
る。
る。
【0020】[実施例1]図1は本発明の一実施例にか
かるワーク吸着装置の要部を示す斜視図、図2はこの実
施例にかかるワーク吸着装置の全体の概略構成を示す図
である。
かるワーク吸着装置の要部を示す斜視図、図2はこの実
施例にかかるワーク吸着装置の全体の概略構成を示す図
である。
【0021】この実施例のワーク吸着装置は、図1に示
すように、集塵ダクト1の先端の開口部に配設されたプ
レート2にワーク(この実施例では未焼成のセラミック
成形体)3と係合する係合部4や複数の集塵用の貫通穴
5を設けてなるワーク保持手段6に保持されたワーク3
を、吸着して、移動、搬送するためのワーク吸着装置で
ある。
すように、集塵ダクト1の先端の開口部に配設されたプ
レート2にワーク(この実施例では未焼成のセラミック
成形体)3と係合する係合部4や複数の集塵用の貫通穴
5を設けてなるワーク保持手段6に保持されたワーク3
を、吸着して、移動、搬送するためのワーク吸着装置で
ある。
【0022】そして、ワーク3を吸着するための吸着パ
ッド11は、金属や樹脂などの剛性材料からなる吸着パ
ッド本体11aと、ワーク3と接触する、ゴムなどの弾
性材料からなる先端部11bから構成されており、吸着
パッド本体11a及び先端部11bを縦方向に貫通する
ように、4つの真空吸引口12と、ワーク3に付着した
異物9を吹き飛ばすための気体を吹き出す気体吹出し口
13が形成されている。
ッド11は、金属や樹脂などの剛性材料からなる吸着パ
ッド本体11aと、ワーク3と接触する、ゴムなどの弾
性材料からなる先端部11bから構成されており、吸着
パッド本体11a及び先端部11bを縦方向に貫通する
ように、4つの真空吸引口12と、ワーク3に付着した
異物9を吹き飛ばすための気体を吹き出す気体吹出し口
13が形成されている。
【0023】次に、この実施例のワーク吸着装置の全体
の概略構成を図2に基づいて説明する。このワーク吸着
装置は、前述のように、ワーク3を真空吸着するための
真空吸引口12とワーク3に付着した異物9を吹き飛ば
すための気体を吹き出す気体吹出し口13を備えた吸着
パッド11と、真空吸引ライン14を経て吸着パッド1
1の真空吸引口12から真空吸引を行う真空吸引手段1
5と、気体供給ライン16を経て吸着パッド11の気体
吹出し口13から気体(この実施例では圧縮空気)を吹
き出させる気体供給手段17とを備えて構成されてい
る。
の概略構成を図2に基づいて説明する。このワーク吸着
装置は、前述のように、ワーク3を真空吸着するための
真空吸引口12とワーク3に付着した異物9を吹き飛ば
すための気体を吹き出す気体吹出し口13を備えた吸着
パッド11と、真空吸引ライン14を経て吸着パッド1
1の真空吸引口12から真空吸引を行う真空吸引手段1
5と、気体供給ライン16を経て吸着パッド11の気体
吹出し口13から気体(この実施例では圧縮空気)を吹
き出させる気体供給手段17とを備えて構成されてい
る。
【0024】さらに、この実施例のワーク吸着装置にお
いては、真空破壊用気体供給ライン16aが真空吸引ラ
イン14に接続されている。これは、吸着パッド11に
吸着されたワーク3を所定の位置に移動させた後、真空
吸引を停止し、真空破壊用気体供給ライン16aから真
空破壊用の気体(この実施例では空気)を供給すること
により、吸着ヘッド11に付着したワーク3を落下させ
るようにするものである。
いては、真空破壊用気体供給ライン16aが真空吸引ラ
イン14に接続されている。これは、吸着パッド11に
吸着されたワーク3を所定の位置に移動させた後、真空
吸引を停止し、真空破壊用気体供給ライン16aから真
空破壊用の気体(この実施例では空気)を供給すること
により、吸着ヘッド11に付着したワーク3を落下させ
るようにするものである。
【0025】また、真空吸引ライン14には真空吸引バ
ルブ18が配設され、気体供給ライン16には気体供給
バルブ19及び流量制御バルブ20が配設されている。
さらに、真空破壊用気体供給ライン16aには、真空破
壊用バルブ21及び流量制御バルブ22が配設されてい
る。
ルブ18が配設され、気体供給ライン16には気体供給
バルブ19及び流量制御バルブ20が配設されている。
さらに、真空破壊用気体供給ライン16aには、真空破
壊用バルブ21及び流量制御バルブ22が配設されてい
る。
【0026】さらに、図3は、この実施例のワーク吸着
装置のワーク搬送機構を示す斜視図である。この実施例
のワーク吸着装置においては、図3に示すように、ワー
ク搬送用ベルトコンベア33により搬送されるワーク3
を吸着パッド11に吸着させるとともに、吸着パッド1
1を、ワーク搬送用シリンダ31及びワーク昇降用シリ
ンダ32により上下、左右に移動させることにより、ワ
ーク3を、その表面に付着した異物9を吹き飛ばして除
去する位置(ワーク保持手段6の位置)まで搬送するよ
うに構成されている。
装置のワーク搬送機構を示す斜視図である。この実施例
のワーク吸着装置においては、図3に示すように、ワー
ク搬送用ベルトコンベア33により搬送されるワーク3
を吸着パッド11に吸着させるとともに、吸着パッド1
1を、ワーク搬送用シリンダ31及びワーク昇降用シリ
ンダ32により上下、左右に移動させることにより、ワ
ーク3を、その表面に付着した異物9を吹き飛ばして除
去する位置(ワーク保持手段6の位置)まで搬送するよ
うに構成されている。
【0027】次に、上記のように構成されたワーク吸着
装置を用いてワークの吸着及び異物の除去を行う場合の
動作について説明する。
装置を用いてワークの吸着及び異物の除去を行う場合の
動作について説明する。
【0028】まず、ワーク搬送用ベルトコンベア33
により運ばれたワーク3に吸着パッド11を当接させ、
真空吸引バルブ18を開としてワーク3を真空吸着す
る。
により運ばれたワーク3に吸着パッド11を当接させ、
真空吸引バルブ18を開としてワーク3を真空吸着す
る。
【0029】それから、吸着パッド11をワーク搬送
用シリンダ31及びワーク昇降用シリンダ32により所
定の方向に移動させて、ワーク3をワーク保持手段6の
上方にまで搬送する。
用シリンダ31及びワーク昇降用シリンダ32により所
定の方向に移動させて、ワーク3をワーク保持手段6の
上方にまで搬送する。
【0030】次いで、真空吸引バルブ18を閉じると
ともに、真空破壊用バルブ21を開として真空を破り、
ワーク3を吸着パッド11から落下させてワーク保持手
段6の係合部4に係合、保持させる。
ともに、真空破壊用バルブ21を開として真空を破り、
ワーク3を吸着パッド11から落下させてワーク保持手
段6の係合部4に係合、保持させる。
【0031】それから、気体供給バルブ19を開とし
て吸着パッド11の気体吹出し口13から圧縮空気を吹
き出すことにより、ワーク3に付着した異物9を吹き飛
ばす。
て吸着パッド11の気体吹出し口13から圧縮空気を吹
き出すことにより、ワーク3に付着した異物9を吹き飛
ばす。
【0032】この実施例のワーク吸着装置においては、
真空吸引口12と気体吹出し口13の両方を備えた吸着
パッド11が用いられているため、従来の吸着方法(装
置)の場合のように、吸着パッドと別に、空気などの気
体を吹き出すための専用ノズル(エアノズルなど)を設
けることが不要になり、ワーク吸着時の、吸着パッドの
動作に対する専用ノズルによる干渉を回避するための専
用ノズルの移動機構などが不要となる。
真空吸引口12と気体吹出し口13の両方を備えた吸着
パッド11が用いられているため、従来の吸着方法(装
置)の場合のように、吸着パッドと別に、空気などの気
体を吹き出すための専用ノズル(エアノズルなど)を設
けることが不要になり、ワーク吸着時の、吸着パッドの
動作に対する専用ノズルによる干渉を回避するための専
用ノズルの移動機構などが不要となる。
【0033】したがって、設備コストの低減や設備の小
型化、簡略化を図ることができるとともに、気体をワー
クの正面(真上)から吹き出すことが可能になるため、
気体吹出し時にワークが吹き飛ばされたり位置ずれが生
じたりすることを防止しつつ、吸着パッドから気体を強
く吹き出して、ワークに付着した異物を効率よく除去す
ることが可能になる。
型化、簡略化を図ることができるとともに、気体をワー
クの正面(真上)から吹き出すことが可能になるため、
気体吹出し時にワークが吹き飛ばされたり位置ずれが生
じたりすることを防止しつつ、吸着パッドから気体を強
く吹き出して、ワークに付着した異物を効率よく除去す
ることが可能になる。
【0034】[実施例2]図4は本発明の他の実施例に
かかるワーク吸着装置の要部を示す斜視図、図5はこの
実施例にかかるワーク吸着装置の全体の概略構成を示す
図である。
かかるワーク吸着装置の要部を示す斜視図、図5はこの
実施例にかかるワーク吸着装置の全体の概略構成を示す
図である。
【0035】この実施例のワーク吸着装置は、図4に示
すように、吸着パッドとして、真空吸引口12が気体吹
出し口13を兼ねる吸着パッド41が用いられている。
なお、その他の構成は、上記実施例の場合と同様であ
り、図4,図5において、図1,図2と同一の符号を付
した部分は、図1,図2と同一の部分または相当する部
分を示している。
すように、吸着パッドとして、真空吸引口12が気体吹
出し口13を兼ねる吸着パッド41が用いられている。
なお、その他の構成は、上記実施例の場合と同様であ
り、図4,図5において、図1,図2と同一の符号を付
した部分は、図1,図2と同一の部分または相当する部
分を示している。
【0036】この実施例のワーク吸着装置においては、
吸着パッド41の構造が簡略化されるため、吸着パッド
などの設備の小型化やそれによるコストの低減を図るこ
とが可能になる。
吸着パッド41の構造が簡略化されるため、吸着パッド
などの設備の小型化やそれによるコストの低減を図るこ
とが可能になる。
【0037】[実施例3]図6は、本発明のさらに他の
実施例にかかるワーク吸着装置の全体の概略構成を示す
図である。
実施例にかかるワーク吸着装置の全体の概略構成を示す
図である。
【0038】この実施例のワーク吸着装置においては、
吸着パッドとして、上記実施例2(図4)の場合と同様
に、真空吸引口が気体吹出し口を兼ねる吸着パッド41
が用いられているとともに、真空吸引を行うための真空
吸引ライン14が、吹出し用の気体を供給するための気
体供給ライン16及び真空破壊用気体供給ライン16a
を兼ねており、また、気体供給バルブ19が真空破壊用
バルブ21を兼ねている。
吸着パッドとして、上記実施例2(図4)の場合と同様
に、真空吸引口が気体吹出し口を兼ねる吸着パッド41
が用いられているとともに、真空吸引を行うための真空
吸引ライン14が、吹出し用の気体を供給するための気
体供給ライン16及び真空破壊用気体供給ライン16a
を兼ねており、また、気体供給バルブ19が真空破壊用
バルブ21を兼ねている。
【0039】なお、その他の構成は、上記実施例1の場
合と同様であり、図6において、図2と同一の符号を付
した部分は、図2と同一の部分または相当する部分を示
している。
合と同様であり、図6において、図2と同一の符号を付
した部分は、図2と同一の部分または相当する部分を示
している。
【0040】この実施例のワーク吸着装置においては、
吸着パッドの構造が簡略化されるとともに、真空吸引ラ
インや気体供給ラインなどの配管構成が簡略化されるた
め、設備の小型化、低コス化をさらに促進することがで
きる。
吸着パッドの構造が簡略化されるとともに、真空吸引ラ
インや気体供給ラインなどの配管構成が簡略化されるた
め、設備の小型化、低コス化をさらに促進することがで
きる。
【0041】なお、本発明は、上記実施例に限定される
ものではなく、ワークの種類や形状、真空吸引口及び気
体吹出し口の配設数や配設位置などの吸着パッドの構造
や形状、異物除去のために吸着パッドの気体吹出し口か
ら吹き出す気体の種類、真空吸引ラインや気体供給ライ
ンなどの配管構成などに関し、発明の要旨の範囲内にお
いて、種々の応用、変形を加えることが可能である。
ものではなく、ワークの種類や形状、真空吸引口及び気
体吹出し口の配設数や配設位置などの吸着パッドの構造
や形状、異物除去のために吸着パッドの気体吹出し口か
ら吹き出す気体の種類、真空吸引ラインや気体供給ライ
ンなどの配管構成などに関し、発明の要旨の範囲内にお
いて、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【0042】
【発明の効果】上述のように、本発明のワーク吸着装置
は、真空吸引口と気体吹出し口を備えた吸着パッドと、
真空吸引ラインを経て前記吸着パッドの真空吸引口から
真空吸引を行う真空吸引手段と、気体供給ラインを経て
前記吸着パッドの気体吹出し口から気体を吹き出させる
気体供給手段とを備えて構成されているため、吸着パッ
ドの小型化、簡略化を図ることが可能になるとともに、
気体をワークの正面(真上)から吹き出すことが可能に
なるため、気体吹出し時にワークが吹き飛ばされたり位
置ずれが生じたりすることを防止しつつ、吸着パッドか
ら気体を強く吹き出して、ワークに付着した異物を効率
よく除去することができる。
は、真空吸引口と気体吹出し口を備えた吸着パッドと、
真空吸引ラインを経て前記吸着パッドの真空吸引口から
真空吸引を行う真空吸引手段と、気体供給ラインを経て
前記吸着パッドの気体吹出し口から気体を吹き出させる
気体供給手段とを備えて構成されているため、吸着パッ
ドの小型化、簡略化を図ることが可能になるとともに、
気体をワークの正面(真上)から吹き出すことが可能に
なるため、気体吹出し時にワークが吹き飛ばされたり位
置ずれが生じたりすることを防止しつつ、吸着パッドか
ら気体を強く吹き出して、ワークに付着した異物を効率
よく除去することができる。
【0043】また、吸着パッドの真空吸引口を気体吹出
し口としても機能させるようにしたワーク吸着装置にお
いては、吸着パッドの構造を簡略化して、さらに設備の
小型化やコストの低減を図ることが可能になる。
し口としても機能させるようにしたワーク吸着装置にお
いては、吸着パッドの構造を簡略化して、さらに設備の
小型化やコストの低減を図ることが可能になる。
【0044】さらに、吸着パッドの真空吸引口を気体吹
出し口としても機能させるとともに、真空吸引ラインを
気体供給ラインとしても機能させるようにしたワーク吸
着装置においては、吸着パッドの構造や真空吸引ライン
や気体供給ラインなどの配管を簡略化して、設備の小型
化、低コスト化をさらに促進することができる。
出し口としても機能させるとともに、真空吸引ラインを
気体供給ラインとしても機能させるようにしたワーク吸
着装置においては、吸着パッドの構造や真空吸引ライン
や気体供給ラインなどの配管を簡略化して、設備の小型
化、低コスト化をさらに促進することができる。
【図1】本発明の一実施例にかかるワーク吸着装置の要
部を示す斜視図である。
部を示す斜視図である。
【図2】本発明の一実施例にかかるワーク吸着装置の概
略構成を示す図である。
略構成を示す図である。
【図3】本発明の一実施例にかかるワーク吸着装置のワ
ーク搬送機構を示す斜視図である。
ーク搬送機構を示す斜視図である。
【図4】本発明の他の実施例にかかるワーク吸着装置の
要部を示す斜視図である。
要部を示す斜視図である。
【図5】本発明の他の実施例にかかるワーク吸着装置の
概略構成を示す図である。
概略構成を示す図である。
【図6】本発明のさらに他の実施例にかかるワーク吸着
装置の概略構成を示す図である。
装置の概略構成を示す図である。
【図7】従来のワーク吸着装置の要部を示す斜視図であ
る。
る。
3 ワーク 6 ワーク保持手段 9 異物 11,41 吸着パッド 11a 吸着パッド本体 11b 先端部 12 真空吸引口 13 気体吹出し口 14 真空吸引ライン 15 真空吸引手段 16 気体供給ライン 16a 真空破壊用気体供給ライン 17 気体供給手段 18 真空吸引バルブ 19 気体供給バルブ 20,22 流量制御バルブ 21 真空破壊用バルブ 31 ワーク搬送用シリンダ 32 ワーク昇降用シリンダ 33 ワーク搬送用ベルトコンベア
Claims (3)
- 【請求項1】 ワークを真空吸着するとともに、ワーク
に付着した異物を吹き飛ばして除去する機能を有するワ
ーク吸着装置であって、 ワークを真空吸着するための真空吸引口とワークに付着
した異物を吹き飛ばすための気体を吹き出す気体吹出し
口を備えた吸着パッドと、 真空吸引ラインを経て前記吸着パッドの真空吸引口から
真空吸引を行う真空吸引手段と、 気体供給ラインを経て前記吸着パッドの気体吹出し口か
ら気体を吹き出させる気体供給手段とを具備することを
特徴とするワーク吸着装置。 - 【請求項2】 前記吸着パッドの真空吸引口が気体吹出
し口を兼ねていることを特徴とする請求項1記載のワー
ク吸着装置。 - 【請求項3】 前記吸着パッドの真空吸引口が気体吹出
し口を兼ねており、かつ、真空吸引を行うための真空吸
引ラインが、気体吹出し口から吹き出させる気体を供給
するための気体供給ラインを兼ねていることを特徴とす
る請求項1記載のワーク吸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18550594A JPH0825268A (ja) | 1994-07-13 | 1994-07-13 | ワーク吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18550594A JPH0825268A (ja) | 1994-07-13 | 1994-07-13 | ワーク吸着装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0825268A true JPH0825268A (ja) | 1996-01-30 |
Family
ID=16171960
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18550594A Withdrawn JPH0825268A (ja) | 1994-07-13 | 1994-07-13 | ワーク吸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0825268A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014220449A (ja) * | 2013-05-10 | 2014-11-20 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP2017069357A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 株式会社日立ハイテクマニファクチャ&サービス | 試料搬送装置 |
-
1994
- 1994-07-13 JP JP18550594A patent/JPH0825268A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014220449A (ja) * | 2013-05-10 | 2014-11-20 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP2017069357A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 株式会社日立ハイテクマニファクチャ&サービス | 試料搬送装置 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20011002 |