CN218133746U - 一种芯片承载模具吹气清洁装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种芯片承载模具吹气清洁装置，包括控制单元，控制单元电连接进气单元和吸尘单元，识别模具升降台的位置并控制进气单元和吸尘单元启停；进气单元，进气单元与吹气单元管道连接，进气单元接收指令将压缩清洁气体传输至吹气单元；吹气单元，吹气单元安装在控制单元的支架上，气刀孔斜向下指向模具，工作时压缩气体经由气刀孔对模具吹气；吸尘单元，吸尘单元设置于吹气单元对面，工作时运用负压搜集吸气单元吹散的异物质。本实用新型采用激光传感器、控制器过滤器、空气压缩机、气刀和集尘器相结合进行全自动操作，能够清除较顽固的异物质，节省人力、更加高效精确并且能防止二次污染。

Description

一种芯片承载模具吹气清洁装置

技术领域

本实用新型涉及芯片加工设备领域，尤其是涉及芯片加工设备清洁领域，具体为一种芯片承载模具吹气清洁装置。

背景技术

在半导体承载测试的转换过程中，装载模具表面常残留有异物质，异物质的存在导致无法将测试盘上的自锁扣完全打开，造成装载不良，从而发生大量产品丢失，传统的清洗方式通常需要人为。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种芯片承载模具吹气清洁装置，用于解决现有技术的难点。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种芯片承载模具吹气清洁装置，包括：控制单元，所述控制单元电连接进气单元和吸尘单元，所述控制单元识别模具升降台的位置信号并控制进气单元和吸尘单元同步启停；

进气单元，所述进气单元与吹气单元管道连接，所述进气单元接收控制单元指令将压缩清洁气体传输至吹气单元；

吹气单元，所述吹气单元设置于模具正面并安装在控制单元的支架102上，所述吹气单元内部有腔室，外部有气刀孔302，所述气刀孔302斜向下指向模具，工作时压缩气体经由气刀孔302对模具吹气；

吸尘单元，所述吸尘单元设置于吹气单元对面，所述吸尘单元的吸纳口401内壁下方与模具操作台上表面齐平连接，工作时运用负压搜集吸气单元吹散的异物质。

根据优选方案，控制单元包括控制器101、支架102、底座103和激光传感器104，所述激光传感器104电连接控制器101，所述激光传感器104的激光头朝向模具并安装在吹气单元下部，所述激光传感器104采集模具升降台的位置信号并传输至控制器101，当模具升降台下降到最低位置时，所述控制器101发出指令控制进气单元和吸尘单元启动。

根据优选方案，控制器101安装在支架102上，所述支架102竖直安装在底座103上，所述支架102高度高于模具台面。

根据优选方案，进气单元包括过滤器201、空气压缩机202和电磁阀203，所述过滤器201将过滤完成的空气经由气管传输至空气压缩机202，所述电磁阀203设置在空气压缩机202上，工作时，电磁阀203接收控制器101传送的信号启动空气压缩机202。

根据优选方案，吹气单元包括进气口301和气刀孔302，所述进气口301连通吹气单元内部腔室，所述进气口301密封连接进气单元，所述进气口301将传输过来的压缩气体从气刀孔302。

根据优选方案，气刀孔302为小圆孔，数个所述气刀孔302阵列排布的在吹气单元外表面并与吹气单元内部腔室相通。

根据优选方案，吸尘单元包括吸纳口401、电机402和收纳盒403，所述电机402和收纳盒403设置在吸纳口401下面，所述电机402转动形成负压，将吹气单元吹散的异物质经由吸纳口401收集到收纳盒403中。

本实用新型采用激光传感器和控制器相结合进行全自动操作，节省人力、更加高效精确；采用过滤器吸气，确保清洁过程使用的气体是清洁气体；采用空气压缩机和气刀相结合使气体能够清除较顽固的异物质；采用吸尘单元，使异物质能够及时搜集处理防止二次污染。

下文中将结合附图对实施本实用新型的最优实施例进行更详尽的描述，以便能容易地理解本实用新型的特征和优点。

附图说明

图1显示为本实用新型的立体结构示意图；

图2显示为本实用新型的背面的立体结构示意图；

图3显示为本实用新型的正面的立体结构示意图；

101、控制器；102、支架；103、底座；104、激光传感器；201、过滤器；202、空气压缩机；203、电磁阀；301、进气口；302、气刀孔；401、吸纳口；402、电机；403、收纳盒。

具体实施方式

为了使得本实用新型的技术方案的目的、技术方案和优点更加清楚，下文中将结合本实用新型具体实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。附图中相同的附图标记代表相同的部件。需要说明的是，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

与附图所展示的实施例相比，本实用新型保护范围内的可行实施方案可以具有更少的部件、具有附图未展示的其他部件、不同的部件、不同地布置的部件或不同连接的部件等。此外，附图中两个或更多个部件可以在单个部件中实现，或者附图中所示的单个部件可以实现为多个分开的部件。

除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不必然表示数量限制。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

本实用新型提出一种芯片承载模具吹气清洁装置，用于工艺中，本实用新型对模具的类型不做限制，但该高压气刀吹吸清洁结构特别适用于芯片承载模具清洁中。

总体上，本实用新型所提出的芯片承载模具吹气清洁装置主要包括控制单元、进气单元、吹气单元和吸尘单元，其中，可以参见图1，其示出了控制单元、进气单元、吹气单元和吸尘单元的布置关系。

如前文所述，本实用新型为了使清洁实用的气体纯净且具备清洁力，所以进气单元与吹气单元管道连接，分别实现入气净、出气有劲，其中进气单元包括过滤器201、空气压缩机202和电磁阀203，工作时，电磁阀203接收控制器101传送的信号控制空气压缩机202启停，在电磁阀203接到情动指令后，电磁阀203启动空气压缩机202，空气压缩机202入口形成负压将空气经由过滤器201吸入并进行压缩，压缩后的空气传输至吹气单元；吹气单元包括进气口301和气刀孔302，为防止输送过程的气压过度衰减，输送管道与接口处均需密封处理，吹气单元安装在控制单元的支架102上正对模具，数个气刀孔302横向阵列排布斜向下指向模具，工作时，压缩气体经由吹气单元内部腔室顺着阵列排布的气刀孔302方向均匀覆盖模具吹气，能清除不同位置上顽固附着的异物质，模具上的异物质被吹开往后方散去。

为了使被吹散的异物质不会造成二次污染，所以设置吸尘单元在下风口位置及时吸纳吹散的异物质，吸尘单元的吸纳口401内壁下方与模具操作台上表面齐平连接，吸尘单元包括吸纳口401、电机402和收纳盒403，电机402和收纳盒403设置在吸纳口401下面，电机402转动形成负压，工作时，运用负压将吹气单元吹散的异物质收集到收纳盒403中。

为了使整个清洁过程更节省人力、更加高效精确，采用控制单元进行信息采集和自动化控制，控制单元包括控制器101、支架102、底座103和激光传感器104，控制器101电连接激光传感器104、进气单元和吸尘单元以实现全程自动化，激光传感器104的激光头朝向模具并安装在吹气单元下部，使得激光传感器104不会被遮挡且具备合适的采集角度，工作时，激光传感器104采集模具升降台的位置信号并传输至控制器101，当模具升降台下降到最低位置时，控制器101发出指令控制进气单元和吸尘单元启动，在完成清洁后控制器101控制进气单元和吸尘单元停止等待下个周期。

为了增加设备的稳定性，设计时采用支架和底座进行加固安装，控制器101安装在支架102上便于操作和观察，支架102竖直安装在底座103上更加稳固，支架102高度高于模具台面，便于其他部件安装合适的位置和角度。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (7)

1.一种芯片承载模具吹气清洁装置，其特征在于，包括：

控制单元，所述控制单元电连接进气单元和吸尘单元，所述控制单元识别模具升降台的位置信号并控制进气单元和吸尘单元同步启停；

进气单元，所述进气单元与吹气单元管道连接，所述进气单元接收控制单元指令将压缩清洁气体传输至吹气单元；

吹气单元，所述吹气单元设置于模具正面并安装在控制单元的支架(102)上，所述吹气单元内部有腔室，外部有气刀孔(302)，所述气刀孔(302)斜向下指向模具，工作时压缩气体经由气刀孔(302)对模具吹气；

吸尘单元，所述吸尘单元设置于吹气单元对面，所述吸尘单元的吸纳口(401)内壁下方与模具操作台上表面齐平连接，工作时运用负压搜集吸气单元吹散的异物质。

2.根据权利要求1所述的芯片承载模具吹气清洁装置，其特征在于，所述控制单元包括控制器(101)、支架(102)、底座(103)和激光传感器(104)，所述激光传感器(104)电连接控制器(101)，所述激光传感器(104)的激光头朝向模具并安装在吹气单元下部，所述激光传感器(104)采集模具升降台的位置信号并传输至控制器(101)，当模具升降台下降到最低位置时，所述控制器(101)发出指令控制进气单元和吸尘单元启动。

3.根据权利要求2所述的芯片承载模具吹气清洁装置，其特征在于，所述控制器(101)安装在支架(102)上，所述支架(102)竖直安装在底座(103)上，所述支架(102)高度高于模具台面。

4.根据权利要求1所述的芯片承载模具吹气清洁装置，其特征在于，所述进气单元包括过滤器(201)、空气压缩机(202)和电磁阀(203)，所述过滤器(201)将过滤完成的空气经由气管传输至空气压缩机(202)，所述电磁阀(203)设置在空气压缩机(202)上，工作时，电磁阀(203)接收控制器(101)传送的信号启动空气压缩机(202)。

5.根据权利要求1所述的芯片承载模具吹气清洁装置，其特征在于，所述吹气单元包括进气口(301)和气刀孔(302)，所述进气口(301)连通吹气单元内部腔室，所述进气口(301)密封连接进气单元，所述进气口(301)将传输过来的压缩气体从气刀孔(302)。

6.根据权利要求1所述的芯片承载模具吹气清洁装置，其特征在于，所述气刀孔(302)为小圆孔，数个所述气刀孔(302)阵列排布的在吹气单元外表面并与吹气单元内部腔室相通。

7.根据权利要求1所述的芯片承载模具吹气清洁装置，其特征在于，所述吸尘单元包括吸纳口(401)、电机(402)和收纳盒(403)，所述电机(402)和收纳盒(403)设置在吸纳口(401)下面，所述电机(402)转动形成负压，将吹气单元吹散的异物质经由吸纳口(401)收集到收纳盒(403)中。

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